Comments
Description
Transcript
M-551/553/561
User’s Manual No.99MBC118B1 Series No.519 ミューチェッカ表示器 M-551／553／561 はじめに 2. 外観及び各部の名称 ご使用の前に本書をよくお読みの上、正しくお使いください。お読みになっ た後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。 本書に記載の使用法に依らない使用により損害が発生した場合には、 弊社は一切その責任を負いません。 本書の記載内容は、お客様に事前予告なく変更することがあります。 （1） 前面パネル ② ① ● M-551 輸出及び非居住者への技術提供にあたってのご注意 本製品は、「外国為替及び外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 若しく は外国為替令別表に定める 16 の項」によるキャッチオール規制貨物・キ ャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。 本製品の輸出及び日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産 業省の許可が必要になる場合があります。 ⑦ ⑧ ⑥ 安全上のご注意 本製品のご使用にあたっては、記載の仕様・機能・使用上の注意に従っ てご使用ください。それ以外でご使用になりますと安全性を損なう恐れが あります。 注意 本製品に付属の AC アダプタを分解しないでください。感電 の恐れがあります。 電源電圧をご確認ください。AC アダプタの定格と異なると 故障や火災をまねく恐れがあります。 ④ ③ ② ① ● M-553 ご使用上の注意 注記 ⑦ カバーを外すなど、分解をしないでください。異物の混入や 静電気による故障の恐れがあります。 本製品は、精密機器です。衝撃を加えるなど、無理な力が かからないよう、ご注意ください。 周囲温度 0～40℃、非結露で温度変化の少ない場所でご 使用ください。（屋内でのご使用に限ります） 次のような場所では使用しないでください。 切粉、切削油、ほこり、振動の多いところ 直射日光のあたるところ 高圧・大電流を扱う機器の周辺 ⑤ ⑧ ⑥ ④ ③ ● M-561 電磁両立性について 本製品は、EMC 指令に適合していますが、この要求を超える電磁妨害に 対しては保証外となり、適切な対策が必要となります。 ⑦ 分別処理を行っている EU（欧州）諸国で電気・電子機器 の廃棄をする際のご注意 ⑤ ⑧ 本製品または包装に記されたこのシンボルマークは、EU 諸国で本製品を廃棄する時に一般家庭ゴミと一緒に捨て ないようにするためのものです。WEEE（廃電気電子機器） を土壌に埋め立てする量を減らし環境への影響を低減す るために、本製品の再利用とリサイクルにご協力ください。 処理方法に関する詳しい内容は、お近くのお買い上げにな った小売店や代理店にお問い合わせください。 保証 本製品は、厳重な品質管理のもとで製造されていますが、お客様の正常 な使用状態において、万一お買い上げの日から 1 年以内に製造上の責 により故障した場合には、無償で修理させていただきます。お求めの代理 店、あるいは弊社営業所へご連絡ください。また、本保証はお買い上げい ただいた国においてのみ有効です。 1. 概要 ミューチェッカは、一般に電気マイクロメータとして知られ、原理的に高精 度な測定を可能とします。専用に開発したモジュールを採用することで、 信頼性と安定度が高く、扱いが簡単であるのが本製品（表示器）の大きな 特長です。 M-551：アナログメータ表示、 1 ヘッド接続 M-553：アナログメータ表示、 2 ヘッド接続 M-561：デジタル表示、 2 ヘッド接続 本製品は、弊社 519 シリーズのヘッドを接続できます。 （コネクタの異なる旧機種の一部を除きます） ⑥ ④ ③ ① メータ ゼロ点調整 （M-551,553） メータのゼロ点調整 ② POWER-LED （M-551,553） POWER ランプ ③ POWER-SW 電源スイッチ： ④ RANGE-SW レンジ（感度）選択 ⑤ INPUT-SW （M-553,561） 測定ヘッドを選択：[A], [B], [A+B] ⑥ ZERO-VR ゼロ点調整 ⑦ ZERO-SW ワンタッチゼロ設定 ⑧ ABS/CMP-SW OFF ON CMP：ワンタッチゼロ設定を有効 ABS：ワンタッチゼロ設定を無効 （2） 背面パネル M-551,553 ● M-551 ⑬ ⑫ ⑪ ⑨ ⑩ ● M-553 M-561 RANGE DIV RANGE DIV ±1500µm 50µm ±2.0mm 0.001mm ±500µm 10µm ±0.2mm 0.0001mm ±150µm 5µm ±50µm 1µm ±15µm 0.5µm ±5µm 0.1µm （2） 測定ヘッドを選択：INPUT-SW 2 ヘッド機種の機能で、使用する測定ヘッドを選択し ます。[A+B]では、ヘッド[A],[B]の値の加算値を測定 値とします。 [+/-]-SW により、ヘッド[A],[B]の値の差を 測定値とすることもできます。 ⑬ ⑫ （3） ヘッドの計数方向を選択：[+/-]-SW 図示の選択ができます。 ⑪ ⑨ ⑩ ⑮ ⑭ ● M-561 （4） アナログメータのゼロ点調整 電源 OFF の状態でゼロ値に指針を合わせます。 ⑬ ⑫ メータのゼロ点調整 ⑪ ⑨ ⑩ ⑨ DC IN AC アダプタを接続 ⑩ INPUT ヘッドを接続 ⑪ [+/-]-SW ヘッドの計数方向を選択 ⑫ SP-VR 感度校正 ⑬ ANALOG-OUT アナログ出力（電圧出力） “/ZERO”入力信号 ⑭ CODE-OUT （M-561） デジマチックコードアウト （プリンタなどの対応機器を接続） ⑮ EXT（M-561） デジマチック用 EXT 入力 （5） ゼロ点調整：ZERO-VR 前面パネルのツマミで±40µm のゼロ点調整ができます。 2 ヘッド機種では[A],[B]各々選択できます。 （6） ワンタッチゼロ設定：ZERO-SW ZERO-SW を押すだけで表示値をゼロ値にする 機能です。 設定領域 ZERO-LED 3. 準備 ワンタッチゼロ設定 接続は電源 OFF で行なってください。2 ヘッド 機種ではヘッド[A],[B]いずれか 1 ヘッドのみの 接続でも使用できます。 設定領域 アナログ表示：±15%/FS デジタル表示：±0.68mm アナログ表示が 大きく振動 設定領域外で ZERO-SW を押した場合 デジタル表示： ZERO-LED 点灯：[ABS]で設定領域内の値 消灯：[CMP]、または設定領域外の値 デジタル表示が 点滅（3 回） 設定領域外で ZERO-SW を押した場合 ABS/CMP-SW [CMP]：ワンタッチゼロ設定を有効 [ABS]：ワンタッチゼロ設定を無効 注記 ヘッドや各種機器の接続は POWER-SW を OFF の状態で行 なってください。 （電源 ON 状態で接続すると故障する恐れがあります。） 参考 接地端子を背面パネルに設けてあります。電気ノイズの影響 を受けて測定値がばらつくなどの不具合を生じる場合には、 良質の接地を施してください。 4. 主な機能と操作 （1） レンジ（感度）選択：RANGE-SW 一 般 的 に は 、 広 い レ ン ジ （ ±1500µm 、 ±2.0mm）で粗調整を行なってからご使用 の狭いレンジまで順次切替をします。 注記 参考 ゼロ点調整を行う場合は[ABS]にしてください。 ±50µm を超えるワンタッチゼロ設定を行わないでください。 （ヘッドの精度保証範囲を外れます） ワンタッチゼロ設定[CMP]では、レンジを変更しないでくださ い。（レンジを変更すると値が大きく変わり、誤差が生じま す） デジタル表示機種（M-561）でのワンタッチゼロ設定の適用 は表示とデジタル出力だけです。アナログ出力には適用さ れません。 感度校正の手順 1） 感度校正を行いたいレンジにします。 2） ゲージブロック 0、または無しでゼロ点調整を行います。 3） ゲージブロック 1 で SP-VR を調整して段差の値を表示するようにしま す。 4） ゲージブロック 0、または無しに戻してゼロ点を確認します。誤差があ る場合は手順を繰返します。 表示値をゼロにできないときは、設定領域外です。[ABS]で 測定値を確認し、設定領域内の値に調整してください。 背面パネルの“ANALOG-OUT”コネクタの“/ZERO”入力 信号でも、ワンタッチゼロ設定を実行できます。 （1） 適切な頻度でゼロ点の確認を行い、必要に応じてゼロ点調整を行な ってください。（調整手順は「5.キャリブレーション」を参照ください） 5. キャリブレーション（感度校正） 次のような場合はヘッドのゼロ点調整と感度校正を行ってください。 初めて使用する場合、またはヘッドを変更した場合。 （ヘッド毎に感度が異なります） 測定に使用するレンジを変更した場合。 （レンジ間には感度誤差があります） [+/-]-SW を変更した場合は特にゼロ点調整が必要です。 長時間経過（周囲の温度が変動）した場合は特にゼロ点調整が必要で す。 ヘッドの取付けを変更した場合。（取付け方向が感度に影響します） 参考 レンジ間には感度誤差（±2.0%/FS）がありますので、厳密 な校正は測定に使用するレンジで行ってください。一般的に は、ゼロ点調整を狭いレンジで行い、感度校正を広いレン ジで行うと全体の誤差を小さくできます。（ゼロ点調整の誤 差は各レンジに同じ値で影響し、感度誤差は各レンジに同 じ比率で影響します。） 2 ヘッド機種では、ヘッド[A],[B]毎にゼロ点調整と感度校正 が必要です。 電源 ON 直後やヘッド取付け直後の 20～30 分は機器の温 度上昇などにより、測定値が変動することがありますので、 値が落ち着いたことを確認してから校正を行ってください。 6. 測定 参考 厳密な測定を行う場合は、温度変動の小さい環境でご使用 ください。 電源 ON 直後やヘッド取付け直後の 20～30 分は機器の温 度上昇などにより、測定値が変動することがありますので、 値が落ち着いたことを確認してから測定を行ってください。 （2） ヘッド[A], [B]による板厚測定（M-553,561） 1） 計数方向：[A],[B]共に[+]を選択します。 2） [A],[B]各々に対して、ゼロ点調整と感度校正を行います。 3） [A],[B]各々のゼロ点を中心に測定を行ないます。 4） [A+B]にすると板厚測定です。 5） ワンタッチゼロ設定は[A+B]で行います。 （3） ヘッド[A], [B]による段差測定（M-553,561） 段差 1） ヘッドの取付けをゼロ位置に調整 必ず[ABS]にしてください。 測定値が 0±30µm 以内となるまでヘッ ドの取付け位置を調整します。 （広いレンジで粗調整して、順次狭いレ ンジに変更してください） 位置調整 （1） ゼロ点調整 ゼロ点調整は次の 3 段階で行います。 ヘッドの取付けをゼロ点位置に調整 ZERO-VR によるゼロ点調整 ZERO-SW によるワンタッチゼロ設定 1） 計数方向：[A]は[-]、[B]は[+]を選択します。 2） [A],[B]各々に対して、ゼロ点調整と感度校正を行います。 3） [A],[B]各々のゼロ点を中心に測定を行ないます。 4） [A+B]にすると段差測定です。 5） ワンタッチゼロ設定は[A+B]で行います。 7. ANALOG-OUT コネクタ （アナログ出力と“/ZERO”入力信号） FG（GND） 2） ZERO-VR によるゼロ点調整 必ず[ABS]にしてください。感度校正するレンジで調整 します。測定値がゼロ値となるように調整します。 3） ZERO-SW によるワンタッチゼロ設定 [CMP]にして、ZERO-SW を押すことで表示 値をゼロ値にできます。 ⑦/ZERO ⑥NC ③A.OUT ①NC ⑤A.0V ④GND ②NC ANALOG-OUT コネクタ（背面パネル） 注記 ±50µm を超えるワンタッチゼロ設定を行わないでください。 （ヘッドの精度保証範囲を外れます） 参考 感度校正でのワンタッチゼロ設定は、±5%未満でご利用くだ さい。（補正量が大きいと感度校正の手順を繰返すことになり ます） （1） 特別付属品（別売品） パーツ No. 品名 934795 アナログ出力コード A 529035 アナログ出力コネクタ （2） 感度校正 感度校正は背面パネルの SP-VR で行います。 感度校正には各種ゲージブロックなどを ご利用ください。狭いレンジでは図示のよ うな 0,1 の段差で感度校正を行います。 No.934795／アナログ出力コード A 段差 （2） 信号名と機能 Pin 信号名 ③ A.OUT ⑤ A.0V ④ GND ⑦ /ZERO 機能 アナログ出力 入力信号用 GND ワンタッチゼロ設定入力（負論理） （3） アナログ出力仕様 感度 ±1.0V/FS 負荷 300kΩ 以上（保護抵抗：100Ω） 精度 プローブ性能による （4） “/ZERO”入力信号 ワンタッチゼロ設定（ZERO-SW）として動作します。 図示のようにプッシュ SW を接続してご使用ください。 無接点入力の場合は“LOW（MAX）：1.0V（0.3mA）”です。 注記 入力に電圧を加えないでください。 （電源 OFF 時に電圧が加わると故障する恐れがあります） +5V 22kΩ 7:/ZERO 表示器 M-551 等 例 プッシュ SW /ZERO 4:GND 8. デジマチックコードアウトコネクタ（M-561） DP シリーズプリンタ、インプットツール、U-WAVE などの各種デジマチック 機器を接続することができます。但し、接続には別売のデジマチック接続 ケーブルが必要です。 ⑨⑦⑤③① ⑩⑧⑥④② EXT コネクタ （背面パネル） デジマチックコードアウトコネクタ （背面パネル） （1） 特別付属品（別売品） パーツ No. 品名 936937 デジマチック接続ケーブル 937179T フットスイッチ （2） 出力範囲と最小表示量 レンジ 出力範囲 最小表示量 ±2.000mm ±2.047mm 0.001mm ±0.2000mm ±0.2047mm 0.0001mm （3） 仕様：ミツトヨ デジマチックコードアウト規格 （4） データ出力 下記の 2 つの方法でデータ出力ができます。 （プリンタでは測定値を印字、インプットツールでは測定値を PC 画面 に表示します） 1） 方法 1：デジマチック機器の[DATA]ボタンやフットスイッチにより、 データ出力を要求します。 2） 方法 2：M-561 の EXT コネクタに接続したフットスイッチにより、 デジマチック機器にデータ受信を要求します。 参考 レンジ変更を行って少数点位置が変わるとデジマチック機器 が異常データとみなします。（エラーを印字または表示します） デジマチック機器の[CL]ボタンなどにより、全データをクリアす ると、正常に復帰できます。 9. トラブルシューティング 現象 No. 原因 対策 1 メータが大きく振れて安定しない。 ワンタッチゼロ設定が不適切です。 [ABS]で値を確認して、設定領域内の値でワンタッチ または、ワンタッチゼロ設定を実行できな 設定領域外の値でワンタッチゼロ設定を ゼロ設定を行ってください。 い。 行った場合。 2 レンジを変更すると値が大きく異なる。 （ゼロ値が大きく変わる） ワンタッチゼロ設定の影響 [ABS]で値を確認してから、レンジを変更してくださ [CMP]ワンタッチゼロ設定では、レンジを い。 変更すると大きく値が変わります。 3 表示範囲が選択したレンジの範囲より狭 い。 1） ワンタッチゼロ設定が不適切です。 1） [ABS]で値を確認して、±50µm 未満の値でワンタ 大きな値でワンタッチゼロ設定を行うと有 ッチゼロ設定を行ってください。 効レンジが狭まります。 2） 適切な感度校正を行ってください。 2） 感度校正（SP-VR）が不適切です。 「5.キャリブレーション」項を参照ください。 4 M-561 において、 アナログ出力が表示値と異なる。 1） ワンタッチゼロ設定の影響 M-561 のアナログ出力にはワンタッチゼ 1） [ABS]の表示値でご確認ください。 ロ設定が適用されません。 [CMP]では、表示値とアナログ出力が異 なります。 2） 表示とアナログ出力には AD 変換誤差が 2） ±10mV 以内の誤差は正常です。 あります。 5 M-561 において、 “+OF” または “-OF” を表示する。 6 レンジを変更して少数点位置が変わると、デ デジマチック機器の[CL]ボタンなどにより、全データ デジマチックコードアウト出力がエラーに ジマチック機器が異常データとみなしてエラー をクリアすると、正常に復帰できます。（デジマチック なる。 を印字します。 機器のマニュアルを参照ください） 7 測定値が変動し安定しない。 1） ワークやヘッドに振動や温度変動の影響 1） 振動や温度変動の影響を考慮してご使用くださ があると、測定値が変動します。 い。 2） 2 台のヘッドが近接していると磁気結合が 2） 近接したヘッドを遠ざけてご確認ください。対策と 生 じて、測定値が変動することがありま しては、ヘッド間を鉄板などで磁気遮蔽してくださ す。 い。 8 2 ヘッド接続の機種において、一方のヘッ 一方のヘッドの変位量を大きく変えて、影響の有無を 接続するヘッドの種類によっては、微小な影 ドの変位量が他方の測定値に影響する。 ご確認ください。影響を無視できる範囲の変位量でご 響を受けることがあります。 （M-553,561） 使用ください。 9 メータが振れる、表示がちらつく 工作機械等の消費電力変動が大きい装置とは別の 電磁妨害により、正常な測定結果が得られな 専用電源を用意する。アースを接続する等のノイズ い場合があります。 対策を実施して下さい。 10 表示が消える 短時間停電が発生した場合は、本体の電源 電源を再起動してご使用ください。 が遮断される場合があります。 ヘッド位置が表示範囲を超えています。 “+OF” の場合はマイナス値方向にヘッド位置を 調整してください。 “-OF” の場合はプラス値方向にヘッド位置を調整 してください。 10. 外形寸法図 （単位：mm） 11. 仕様 符号 コード No. M-551 M-553 519-551□ 519-553□ 表示 M-561 519-561□ アナログメータ表示 接続ヘッド数 デジタル表示 1 ヘッド 2 ヘッド － [A], [B], [A+B] （[+/-]-SW により、[A-B], [B-A]も可能） 測定ヘッドの選択 ±1500µm（50µm） ±2.000mm（0.001mm） ±500µm（10µm） ±0.2000mm（0.0001mm） ±150µm（5µm） 表示レンジ （目量、最小表示量） ±50µm（1µm） ±15µm（0.5µm） ±5µm（0.1µm） 直線性：±1.0%/FS （ヘッドの誤差を除く） 表示値の指示精度 直線性：±3 デジット±1 （ヘッドの誤差を除く） 感度：±1.0V/FS 直線性：ヘッドによる アナログ出力（電圧出力） レンジ間の感度誤差 ±2.0%/FS ZERO-VR の調整範囲 ±40µm [CMP]（適用）と[ABS]（無効）を選択可能 設定誤差：±0.2%/FS 制限事項：レンジ変更不可 ワンタッチゼロ設定 設定領域：±15%/FS アナログ出力にも適用 デジマチックコードアウト 質量（本体） 設定領域：±0.68mm アナログ出力に適用しない － 標準装備 1.8kg 2.0kg 外観寸法（W x D x H） 134 x 183 x 208 mm 電源（本体） DC9V 0.5A（4.5W） 電源（AC アダプタ） AC100-240V 50/60Hz 使用環境 温度： 0℃～40℃ 湿度：80%RH 以下（非結露） 保存環境 温度：-10℃～50℃ 湿度：80%RH 以下（非結露） EMC Directive：EN61326-1 Immunity test requirements：Clause 6.2 Table2 Emission limit：ClassB CE マーキング RoHS Directive：EN50581 ● 標準付属品 コード No. パーツ No. AC アダプタ 519-5□□ 06AEG302JA 519-5□□A 06AEG302JA 519-5□□D 06AEG302D 519-5□□E 06AEG302E 519-5□□DC 06AEG302DC 519-5□□K 06AEG302K 取扱説明書 99MBC118B1 12. 特別付属品（別売品） パーツ No. 品名 271214 垂直スタンド 934795 アナログ出力コード A 529035 アナログ出力コネクタ 936937 デジマチック接続ケーブル 937179T フットスイッチ 934386 エクステンションコード A ※1：表示器本体取付け用穴 ※2：その他機器取付け用穴 （単位：mm） No.271214／垂直スタンド ※3：表示器本体の切欠部に垂直スタンドのツメを掛けてください。 ※4：M3（L=10）のネジで表示器本体に固定してください。 ネジの長さが違うと故障や脱落の恐れがあります。 （単位：mm） 垂直スタンド取付け図 株式会社ミツトヨ 神奈川県川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533