カタログダウンロード

Analyzer Touch
マルチスキャニング・ナイフエッジ・ビームプロファイラ
Main Applications:
CWレーザー用 先進ビーム分析装置
コンパクト: タッチスクリーン＆測定
ヘッド付き省スペース＆高性能スタンド
アローンユニット
特許技術: 独自の断層撮影法画像再生
による2D/3Dイメージ
多機能: ビームプロファイル、サイズ、
ビーム形状、位置、パワーを測定
広帯域: 190∼2700 nm
高精度: ビームサイズ 3μm∼9mm を
分解能 0.1μm で計測
主な特長
New! 12 bit A/D
高分解能 同時サンプリング（全モデル）
ビームプロファイル、
サイズ、
ガウシアンフィットをリアルタイム計測
ビームのリアルタイム 2D/3Dプロット
ビーム位置、楕円度、パワーを測定
Excel/テキストファイルへの直接データロギング
RS232やTCP/IPによるデータストリーミング
スレーブ/サーバーモードによる遠隔操作
外付けVGAスクリーンへの接続時
フル Windows アプリケーションプログラム
Website: http://www.duma.co.il
販売代理店：
[東 京 本 社]
[大 阪 支 店]
[名古屋支店]
URL: www.japanlaser.jp
〒169-0051 東 京 都 新 宿 区 西 早 稲 田 2 - 1 4 - 1
〒533-0033 大 阪 市 東 淀 川区 東中島1- 2 0 -12ユニゾーン新 大 阪 2階
〒460-0003 名 古 屋 市 中 区 錦 3 - 1 - 3 0
E-mail: [email protected]
TEL 03-5285-0861 FAX 03-5285-0860
TEL 06-6323-7286 FAX 06-6323-7283
TEL 052-205-9711 FAX 052-205-9713
特許技術
CCDカメラによる3D強度再構成画像を生成。
極小スポットを高分解能、大きなダイナミックレンジで測定
Beam Analyzer は、多重走査ナイフエッジ測定技術を基礎とし、断層画像再構成技術を組み合わせて2D/3D画像を生
成します。 ドラムが回転すると、ナイフエッジがビームを伝搬方向の垂直面でカットします。回転ドラム内にある
静止した大きなディテクタが光強度を測定します。光減衰が必要な場合は、回転ドラムとディテクタの間にビルトイ
ンの無歪曲光学フィルタが挿入されます。これによりビーム品質に影響を与えずに光減衰できます。各スキャニング
・ナイフエッジは、異なる角度でドラム上に配置されており、ドラムの回
転と共に、ビームパスを異なる方向に横切ります。その結果、ドラムが1
回転する間に、複数のプロファイル曲線が1組生成されます。それぞれの
プロファイル曲線は異なる方向から見たビームの強度プロファイルを示し
ます。このデータは断層画像再構成アルゴリズムで処理され、2D/3D強度
ナイフエッジ
フィルタ
プロファイルが生成されます。
Beam Analyzer の測定ヘッドは2タイプです：
BA7 は7個のナイフエッジで構成される高精度なヘッドで、全7スキャンの
センサ
レーザービーム
データをまとめることで、正確なビーム形状及びビーム寸法を測定できま
す。一方 BA3 のナイフエッジ数は3です。比較的小さいサイズの擬似ガウ
シアンビームの測定に好適です。ナイフエッジの数が多いほど、より高精
回転ドラム
度測定が可能です。非ガウシアンビームのビーム歪みについては、BA7 は
実ビームに限りなく近づくようプロットを再構成します。
システム機能
BeamAnalyzer Touch
Beam Width (μm)
5000 (µm)
V
W
783.2
cgfdg
fdf
623.3
xcgryk
my
X
Y
-505.4
36.96
fghhgghg dfgf gf
fgh hgfdgh
633
13.6
cvbbn
vbvcn
xzvcbhjs fds
l
l
V
W
40
50
60
80
90
20
l
XY
70
30
l
10
P
0
10
W
0
0.384
80.27 µw
xzvcbhjss
-5000
0
771.2
828.0
V
5000
(µm)
+
630
13.5
Wave
(nm)
Level
(%)
+
-
Position(μm)
W
V
-326.9
-6410
X
Y
6/28/2012 3:43:55 PM
メイン画面。この画面から各ボタンをタップすることで、
全ての機能を起動できます。
SN: ba715
0.389
Power
(mW)
A
Average:
OFF
Filter: Off
f
ff
SA スクリーンでは主な測定値の数値データを表示します：
あるクリップレベルでのビーム幅（V&W）、パワー、波長、
ビーム位置（X,Y）
ビームプロファイル＆ビーム幅測定（プロファイル V または W）
Profile W
Centrod (μm)
100%
1028
X
80.0%
-1493
Y
60%
Beam (μm)
50/0%
Gauss(μm)
305.6
80.0 (%)
282.5
523.1
50.0(%)
497.9
754.9
13.5(%)
846.2
40%
20%
13.5%
Corr. %
90.26
0%
1000
6/28/2012 3:45:13 PM
0(µm)
1000
SN: ba715
A
Average:
OFF
Filter: Off
f
ff
Beam Analyzer は、直交する2本のナイフエッジによりプロファイルを
表示します。これらメインのプロファイルは、ヘッドのベースから45°
の角度に位置するもので、 V 及び W と呼ばれます。タッチスクリー
ンからプロファイルVまたはWを選択できます。
ビーム幅は、ユーザーが選択した3つまでの任意のパワーレベルでの値
を、最大分解能 0.1μm でデジタル表示します。ビームプロファイルは、
画面のサイズや分解能に合わせてオートスケール表示（オプション）で
きます。超高分解モードではさらに細部までの測定結果が得られます。
また測定プロファイルに重ねるようにガウシアンフィット・プロファイ
ルをリアルタイム表示できます。その補正値やフィット値はデジタルで
表示されます。
チャートモード
時間経過に伴うビーム幅（またはビーム位置）の変化をモニタす
る必要がある場合には、チャートモードが便利です。このモード
ではこれらパラメータがストリップチャート形式で表示され、長
時間安定性やドリフトを観察できます。測定データのスクリーン
表示、保存も可能です。
Chart
1776.42
Number of points: 24
Width (μm)
Width W
Width V
1595.54
1414.67
Pause
1233.79
Reset
1052.91
872.03
Save
Elapsed time: 4(sec)
9/5/2012 2:09:46 PM
Beam Analyzer Touch by DUMA OPTRONICS LTD.
Time: 0.2(sec/div)
SN: ba6911
Average: OFF
A
Filter: Off
f
ff
r
システム機能（続き）
2D & 3D 強度プロット
プロジェクション機能では、断層画像再構成を利用して生成されるビーム強度プロファイルを、2次元または3次元
プロット表示できます。
2Dび3D等高プロットを、走査軸やグリッド線有りまたは無しで表示できます。これらプロットは、ビームの光軸に
沿って回転させたり反転させることができます。これによりユーザーは、生成されたイメージをビームに沿った
様々な角度から観察できます。また3Dプロットの線密度のコントロールが可能、さらに3DプロットのXZまたはYZ
平面への投影図を表示できます。
ビームサイズや位置に関するデータは、デジタル表示されます。
Projection 2D
Projection 3D
Centrod (μm)
Centrod (μm)
1000 µm
X
-11.22
X
1026
Y
-680.9
Y
-1491
Beam Width (μm)
Beam Width (μm)
0
W
SN: ba6911
256.6
310.8
80.0 (%)
80.0 %
339.2
1371
492.1
528.3
50.0 (%)
50.0%
636.3
1589
1084
753.6
13.5 (%)
13.5%
808.1
Average:
A
OFF
6/28/2012 3:45:54 PM
Filter: Off
f
ff
SN: ba715
2D プロット
パワー測定
W
937.9
1000 µm
9/5/2012 2:10:52 PM
V
V
Average:
A
OFF
Filter: Off
f
ff
3D プロット
ビームパワーは、デジタル読取り値、バータイプ、またはアナログ針との
組み合わせで表示されます。パワーの表示単位は、mW、μW、dBm から
選択可能です。またゼロオフセット機能で、周囲の迷光を除去できます。
組込みのフィルタ透過率ファイルを選べます。測定範囲を定義及び表示し
て、規定範囲内でのビームパワーをモニタ可能。オーディオアラームはオ
プションです。
プロットパワー機能で、時間経過に伴う
Plot
ビームパワー変化をチャート形式でモニ
タでき、長時間におけるパワー安定性を
テストできます。
データはスクリーン表示またはさらなる
分析のために保存もできます。
5.000
0.000
Filter
10.00
Number of points: 64
Width (μm)
1.88
Power
1.603 mW
Null
1.78
9/5/2012 3:02:13 PM
SN: ba6911
Average:
A
OFF
Filter: Offfff
1.68
Pause
1.58
Reset
1.48
1.38
Save
Time: 0.2(sec/div)
Elapsed time: 13(sec)
9/5/2012 2:11:35 PM
SN: ba6911
Average:
A
OFF
Filter: Off
f
ff
ビーム位置＆楕円度
Position
Centrod (μm)
5000 (µm)
W
V
X
1024
Y
-1489
Ellipse Data
0
major axis
(μm)
989.0
minor axis
(μm)
485.6
Orientation (°)
-5000
6/28/2012 3:44:42 PM
0
SN: ba715
ビームの重心位置は、センサ領域の中心と相関的に、連続的
かつリアルタイムにモニタされます。この際、ビーム形状、
楕円度（長軸、短軸）、角度方向も表示されます。
チャート機能御において、指定したクリップレベルでのビー
ム位置をモニタすることで、時関経過に伴うビーム位置安定
性の変動を観測できます。
-2
5000 (µm)
Average:
OFF
A
Filter: Off
f
ff
他のソフトウェア機能
以下のような様々なパラメータを簡単に設定できます：
- 平均、波長、フィルタ、ヘッド傾き
- ヘッドS/N 校正ファイルのロード
- クリップレベルの設定
- テキスト/Excelファイルへのデータロギング
- TCP/IP通信プロトコル及び遠隔操作
- RS-232で他のコンピュータにデータ転送
- スレーブモード：リクエストによる測定を制御
- サーバーモード：リモートユニットへデータ転送
Average
Head SN:
On
-
1
Log Data
Load
Off
+
-
BA6556
+
Interval
-
hh:mm:ss
Duration
Wavelength (nm)
-
633
Clio Level (%)
-
+
-
80.0
+
-
50.0
+
13.5
+
Filter
-
NONE
Off
+
+
hh:mm:ss
00 : 00 : 05
+
Link
COM1
Slave
+
Server
Off
Data Folder
Head Tilt (º)
-
-
Off
Send Data
On
On
00 : 00 : 01
0
+
C:\Users\Embedded\AppData\Local\Vir
Browse...
Beam Analyzer Touch by DUMA OPTRONICS LTD.
仕様
BA3 / BA7 ヘッド寸法図
BA7
171
37.6
105
50
203
15
68
55
11
87
9
35.2
15
BA3
5.4
スタンドアローンユニット寸法図
148
3x M4
Thread
M22x0.5
Thread
3.5
15
M4 Thread
Cable outlet
13
15
2x M4 Thread
Deep 3.5
Dimensions are in mm
センサタイプ
波長範囲
ブレード数
ビームサイズ範囲
3µm-5mm
15µm-10mm
15µm-9mm
3µm-3mm
15µm-3mm
3µm-5mm
15µm-5mm
ビーム幅分解能
ビーム幅精度
パワー精度
パワー範囲
飽和パワー
パワー分解能
位置精度
位置分解能
PCインタフェース
使用温度
重量
測定レート
CE 準拠
Silicon (Si), UV-Silicon (UV-Si)
InGaAs (IR) or IR Enhanced (IRE)
Si
350-1100nm
UV-Si
190-1100nm
IR
800-1800nm
IR Enhanced (E) 1200-2700nm
3 for BA3 heads, 7 for BA7 heads
for BA3-Si and BA3-UV
for BA7-Si and BA7-UV (Oval)
for BA7-Si and BA7-UV (Round)
for BA3-IR3 and BA3-IR3-E
for BA7-IR3 and BA7-IR3-E
for BA3-IR5
for BA7-IR5
Stand alone unite 1.95Kg with
0.1µm for beams<100µm in size
±2%
±5% for Si and UV-Si heads,
±10% for InGaAs heads
10μW to 1W with filters for Si and
UV-Si heads, 10μW to 5mW (no
filters provided) for the InGaAs
heads
0.1 W/cm² without filter, 20W/cm²
with NG9 (Si and UV-Si )
0.1μW
±15μm
1μm
USB 2.0
10º to 35ºc
Sensor head 755 gr with cable,
Stand alone unite 1.95Kg with
built-in touch screen
5Hz
スタンドアローンユニット仕様
Small footprint industrial unit with built-in capacitive touch screen
(LCD 7 wide, resolution 800X400, contrast ratio 350:1).
Processor Intel Atom D525 1/8Ghz, one 16GB CF(32 optional)
Windows 7 pro, 4xRS-232, 2x LAN PORT.
発注のご案内
システム構成品：2.5m長着脱ケーブル付き測定ヘッド、ポスト、
ハウジング搭載NG4及びNG9フィルタ（Si及びUV-Siヘッドのみ）、
ユーザーマニュアルCD
BA3-Si-SAT
3-blades, Si detector 5mm circular
BA3-UV-SAT
3-blades, UV-Si detector 5mm circular
BA7-Si-SAT
7-blades, Si detector 9mm square
BA7-UV-SAT
BA3-IR3-SAT
BA3-IR3E-SAT
BA7-IR3-SAT
BA7-IR3E-SAT
BA3-IR5-SAT
BA7-IR5-SAT
7-blades, UV-Si detector 9mm circular
3-blades, InGaAs detector 3mm circular
3-blades, InGaAs Enhanced 3mm circular
7-blades, InGaAs detector 3mm circular
7-blades, InGaAs Enhanced 3mm circular
3-blades, InGaAs detector 5mm circular
7-blades, InGaAs detector 5mm circular
追加アクセサリ
SAM3-B
ビームサンプラー。マウントアダプタ付き。
BA-Fiber
FCコネクタ付きファイバアダプタ
BA-Mount
サンプル抽出係数 0.0016（平均値）
マウント。光軸に対してヘッドを回転可能。
Website: http://www.duma.co.il
販売代理店：
[東 京 本 社]
[大 阪 支 店]
[名古屋支店]
URL: www.japanlaser.jp
〒169-0051 東 京 都 新 宿 区 西 早 稲 田 2 - 1 4 - 1
〒533-0033 大 阪 市 東 淀 川区 東中島1- 2 0 -12ユニゾーン新 大 阪 2階
〒460-0003 名 古 屋 市 中 区 錦 3 - 1 - 3 0
E-mail: [email protected]
TEL 03-5285-0861 FAX 03-5285-0860
TEL 06-6323-7286 FAX 06-6323-7283
TEL 052-205-9711 FAX 052-205-9713