R/L 導入機 - キヤノンアネルバ

R/L 導入機
■概要
本運動導入機は磁気結合型の導入機で回転導入機と直線導
入機を兼ね備えており、回転及び直線運動を行なうことがで
きます。
■特長
1. ロングストローク
ので保守部品である軸受を交換するだけで半永久的に
移動距離の長い試料等の搬送に適しています。
2. 容易なメンテナンス
使用できます。
3. 構造がシンプル
磁気結合により真空内に回転及び直線運動を伝達する
試料の受け渡しを行う場合は、ロッド先端の位置調整が可能となる組立設計を考慮願います。
■仕様
型
名
駆
接
動
続
駆
方
フ
動
ラ
ン
方
954-7670
954-7671
954-7672
式
磁気結合
ジ
φ70ICF フランジ
法
手動
直
線
運
動
量
伝
達
ト
ル
ク
0.4N・m
力
29.4N
100℃
直
進
推
許
容
加
熱
温
度
先
端
許
容
荷
重
リ
質
272
ー
ク
250mm
750mm
1000mm
200g
量
量
500mm
954-7673
1.33 × 10
2.3kg
Pa・m /sec（1× 10 − 10Torr・L/sec）以下
− 11
2.6kg
3
2.9kg
キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社
3.2kg
1
■外形寸法図
真空側先端に M6 ネジが付いています。
任意の直進ストロークについても対応可能です。
また、回転・直進ストッパー付も対応可能です。
型名
A 寸法
954-7670
250
954-7671
500
954-7672
750
954-7673
1000
■オーダリングインフォメーション
製品コード
商　品　名
型　名
備　考
品　名
36640
954-7670
R/L 導入機
回転直線導入機 ストローク 250mm
36641
954-7671
R/L 導入機
回転直線導入機 ストローク 500mm
36642
954-7672
R/L 導入機
回転直線導入機 ストローク 750mm
36643
954-7673
R/L 導入機
回転直線導入機 ストローク 1000mm
■回転・直進ストッパー付外形図
₄₂
₇
₆₀．₈
₄₂
₇
₁₅₅＋ストローク 2
キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社
273
2011年9月作成
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本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、
弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/