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取扱説明書 - OptoSigma Global Top
文書番号 SC12205-K10-15001 初版 3 軸ステージコントローラ ステージコントローラ HSCHSC-103 取扱説明書 1 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 本資料及び本製品ご利用に際しての留意事項 本資料は、お客様が適切に本製品をご利用いただくための資料ですので次の内容をご確 認の上、ご使用の程、宜しくお願い致します。 （１）本資料中の技術情報はシグマ光機株式会社が所有する知的財産権等の権利の実施 や使用を許諾するものではありません。 （２）本資料中の技術情報は、発行時点のものであり、予告なしに変更することがあり ます。 （３）本資料中の技術情報は 正確、慎重に製作したものですが万一資料の記述誤りに 起因する損害が生じた場合、シグマ光機株式会社はその責任を負いません。 （４）本資料の転載、複製については、文書によるシグマ光機株式会社の事前の承諾が 必要です。 ご使用に関してのお問合わせ、ご相談は次の営業担当までお願い致します。 シグマ光機株式会社 東京本社 シグマ光機株式会社 シグマ光機株式会社 営業部 TEL 03-5638-6551 大阪支店 TEL 06-6307-4835 九州営業所 TEL 092-481-4300 2 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 目次 安全にお使いいただくために ............................................................................................... 4 第 1 章 使い始める前に ...................................................................................................... 6 1-1.パッケージ内容の確認 1.パッケージ内容の確認 ............................................................................................... 6 1-2.概要 2.概要 ............................................................................................................................ 6 1-3.HSC3.HSC-103 系統図 ........................................................................................................ 6 1-4.各部の名称と働き 4.各部の名称と働き ...................................................................................................... 7 第 2 章 接続手順 ................................................................................................................. 8 2-1.HSC1.HSC-103 と自動ステージを接続する .......................................................................... 8 2-2.HSC2.HSC-103 と PC や周辺装置を接続する ........................................................................ 8 2-3.電源ケーブルを接続する 3.電源ケーブルを接続する ........................................................................................... 8 2-4.USB ドライバのインストール ..................................................................................... 9 第 3 章 各種設定 ............................................................................................................... 10 3-1.HSC1.HSC-103 の設定をする .............................................................................................. 10 3-2.メモリスイッチ項目一覧と設定詳細 2.メモリスイッチ項目一覧と設定詳細 ....................................................................... 10 第 4 章 HSCHSC-103 を動作させる .......................................................................................... 21 4-1.パソコンより 1.パソコンより HSCHSC-103 を動作させる ....................................................................... 21 4-2.コマンド一覧 2.コマンド一覧 ........................................................................................................... 21 4-3.プログラム機能 3.プログラム機能 ........................................................................................................ 36 4-4.周辺装置 4.周辺装置(JS 周辺装置(JS(JS-300,JB300,JB-400,JD400,JD-100)を使用する 100)を使用する ......................................................... 40 第 5 章 回転系ステージ（直動ステージとの差異） ......................................................... 41 5-1.設定項目 1.設定項目 .................................................................................................................. 41 5-2.コマンド／ステータス 2.コマンド／ステータス ............................................................................................. 41 5-3.速度 3.速度 .......................................................................................................................... 41 第 6 章 駆動電流値の設定 .................................................................................................. 42 第 7 章 仕様 ........................................................................................................................ 43 7-1.仕様 1.仕様 .......................................................................................................................... 43 7-2 コネクタピンアサイン ............................................................................................. 44 7-3.外形寸法図 3.外形寸法図 ............................................................................................................... 46 3 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 安全にお使いいただくために ご使用する前に、この“ 安全にお使いいただくために”と“ 取扱説明書”をご熟読のうえ、正しくお使い下さい。本書には使 用者や他の人への危害や財産への損害を未然に防ぎ、安全にお使いいただくために、守っていただきたい事項を示しています。 本書をお読みになった後は、本機器をお使いになる時、いつでもご覧いただけるよう大切に保管して下さい。 警告表示について 警告表示は本機器を安全に正しくお使いいただき、使用者や他の人に加えられるおそれのある危害や損害を未然に防止するため の目印となるものです。内容をご理解のうえ、本書をお読み下さい。 ! 警告 ! 注意 この表示を無視して、誤った取扱をすると、使用者が死亡 この表示を無視して、誤った取扱をすると、人が傷害を負 または負傷を負う可能性が想定される内容を示していま う危険性が想定される内容、および物的損害の発生が想定 す。 される内容を示しています。 また、危害や損害の内容がどのような種類のものかを区別するために、上記の表示と同時に次のような記号を使っています。 使用できる電源コード 入力電圧 コネクタ コード プラグ 100-120V 装置と同梱されている電源コードをご使用して下さい。 200-240V 定格：7A、250V Type VCTF もしくはHVCCTF， No.18 ＡＷＧ以上、３線材 ( 単相：２活電部とアース) 上記の電源のコードは、長さ4.5m 以下 4 定格：7A、250V 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 免責事項について ①本機器の使用または使用不能から生ずる付随的な損害に関して、当社は一切責任を負いません。 ②取扱説明書で説明された以外の使い方によって生じた損害に関して、当社は一切責任を負いません。 ③火災、地震、第三者による行為、その他の事故、使用者の故意または過失、誤用、その他の異常な条件下での使用により生じ た損害に関して、当社は一切責任を負いません。 ! ! 警 告 ●引火性ガス、爆発性・腐食性のある場所、水分や湿気の多い場所、通気性 の悪い場所や可燃物の近くでは使用しないで下さい。 注 意 ●電源プラグを抜く時は、電源ケーブルを引っ張らずに電源プラグを持っ て抜いて下さい。 ●通電状態での接続、点検作業をしないで下さい。 ●電源を切っても残留電圧がありますので、約10 秒間は入・出力端子に触 ●取付（設置）や接続作業は専門知識のある技術者が行って下さい。 れないで下さい。 ●電源ケーブルや接続ケーブルは曲げたり、引っ張ったり、傷つけたり、加 工したりしないで下さい。 ●機器材を接続する前に、その機器材に適合するように初期設定（パラメー タの設定）を行って下さい。 ●機器内部には触れないで下さい。 ●機器材の接続は入力電源を切ってから、接続図により行って下さい。 ●接地端子を接地して下さい。 ●異常が発生した場合に直ちに非常停止や電源を切れる状態で電源投入（運 ●異常な臭いがしたり、過熱、発熱、異音がする場合には電源を切って下さい。 ●機器を落としたり、強い衝撃を与えた場合には電源を投入しないで下さい。 転）をして下さい。 ●機器の開口部（ 通風孔）をふさがないで下さい。 ●自動ステージの動作中は触れないで下さい。 ●清掃には乾いた布をご使用して下さい。 ●振動のある場所、密閉した場所、直射日光の当たる場所などには 放置しないで下さい。 ●濡れた手で操作しないで下さい。 5 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 第 1 章 使い始める前に 1-1.パッケージ内容の確認 本コントローラを初めてご使用するにあたり、以下のものがすべてそろっているかご確認 下さい。□マークにチェックしながらご確認下さい。付属品が足りない時や破損している 時は、弊社営業部までご連絡下さい。 □HSC-103 ステージコントローラ本体 □取扱説明書 □AC電源ケーブル2.3 ｍ 本コントローラのメモリスイッチの設定につきましては、サンプルソフトウェアにて設 定可能です。サンプルソフトウェアにつきましては、下記ホームページアドレスよりダ ウンロードできます。 ホームページアドレス ホームページアドレス http://www.globalhttp://www.global-optosigma.com/jp/software/sample_jp.html 1-2.概要 2.概要 本コントローラは 5 相ステッピングモータ駆動用ドライバを内蔵した 3 軸ステージコン トローラです。マイクロステップドライバを内蔵していますので、高分解能でスムーズ な動作が可能です。 市販のパソコンと USB インターフェイスを介して接続し、パソコンから単純な命令を送 ることで自動ステージを正確に目標位置へ移動させることができます。 また、ジョイスティック(オプション品)等を接続することにより、簡易的にマニュアル 動作が可能です。 1-3.HSC3.HSC-103 系統図 I/O 制御 外部機器 住友スリーエム㈱製 10120-3000PE を使用して接続して下さい。 USB ケーブル PC MDR ケーブル HSC-103 本体 JS-300/JB-400/JD-100 D15D15A ケーブル Exe) HST-50X /HST-100X /HST-200X /HST-120YAW/HST-160YAW 6 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 1-4.各部の名称と働き 4.各部の名称と働き HSC-103 フロントパネル ②POWER LED ①電源スイッチ HSC-103 ④USB コネクタ ⑦AC インレット ① 電源スイッチ リアパネル ⑤OPTION コネクタ ⑥I/O コネクタ ③STAGE コネクタ(1 軸,2 軸,3 軸) ：電源 ON(|側)にしますと電源が入ります。 OFF(O 側)にしますと電源がきれます。 ② POWER LED ：電源が投入されている時に点灯します。 ③ STAGE コネクタ ：ご使用になる自動ステージを接続します。(1 軸、2 軸、3 軸) ④ USB コネクタ ：パソコンより USB 通信(シリアル通信)で制御する際に接続し ます。 ⑤ OPTION コネクタ ：JS-300 や JB-400 又は JD-100 で制御する際に接続します。 (JS-300、JB-400、JD-100 のご使用方法については、各種取扱 説明書をご確認下さい。) ⑥ I/O コネクタ ：外部装置への入出力信号や停止信号を接続します。 ⑦ AC インレット ：付属の電源ケーブル(2.3m)を接続します。 注意 安全のためコネクタ接続の際には必ず電源を OFF にして接続して下さい 7 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 第 2 章 接続手順 接続手順 2-1.HSCHSC-103 と自動ステージを接続する HSC-103 とご使用になる自動ステージを接続します。 ① HSC-103 の電源スイッチが OFF になっていることを確認して下さい。 ② 使用になる自動ステージにケーブルを接続します。必ず本コントローラとご使用に なる自動ステージに適合するケーブルをご使用して下さい。HSC-103 に適合するケー ブルは D15D15A/D15RP-CA ケーブルです。 ③ 1 軸目として制御したい自動ステージをコントローラ STAGE1 コネクタに接続します。 2 軸目として制御したい自動ステージをコントローラ STAGE2 コネクタに接続します。 3 軸目として制御したい自動ステージをコントローラ STAGE3 コネクタに接続します。 2-2.HSC 2.HSCHSC-103 と PC や周辺装置を接続する HSC-103 と PC 及び周辺装置(JS-300/JB-400/JD-100)を接続します。 ① HSC-103 の電源スイッチが OFF になっていることを確認して下さい。 ② USB ケーブルは、TypeA / TapeB オスコネクタのケーブルをご使用して下さい。 （純正：USB-1 / USB-2） ③ USB ケーブルを HSC-103 の USB（Type B）コネクタに接続します。PC には USB（Type A）コネクタを接続します。 周辺装置をご使用の場合④～⑤の手順にて周辺装置を接続します。 ④ 周辺装置用ケーブルは専用ケーブル MDR14-CA-2.5 をご使用して下さい。 ⑤ 周辺装置のコネクタに MDR14-CA ケーブルの片側を接続します。HSC-103 の OPTION コネクタに周辺装置と反対側のコネクタを接続します。 2-3.電源 3.電源ケーブルを接続する 電源ケーブルを接続する 付属の電源ケーブルを HSC-103 の AC インレットに接続し、電源プラグをコンセントに差 し込んで下さい。 注意 ご使用の環境で付属の電源ケーブルの接地端子を必ず接地して下さい。 8 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 2-4.USB ドライバのインストール ドライバのインストール HSC-103 は、FTDI 社製(FT232)を使用して USB シリアル変換を行っています。USB ケー ブルを使用してパソコンより制御する際に、まずパソコン側にドライバをインストール する必要があります。ドライバインストール方法については、下記を参照のうえインス トールして下さい。 Windows 7/Windows 8/Windows 8.1 の場合、インターネットが接続された状態で、HSC-103 を接続した場合は、自動でドライバのインストールが開始されます。 ※インターネットに接続されていない場合、インターネットに接続されたパソコンで ※インターネットに接続されていない場合、インターネットに接続されたパソコンで FTDI 社のホームページより、ドライバ(VCP のホームページより、ドライバ(VCP Driv Drivers)のダウンロードを行って ers)のダウンロードを行って、 のダウンロードを行って、HSCHSC-103 を接続するパソコンにダウンロードしたドライバを移し、 を接続するパソコンにダウンロードしたドライバを移し、ドライバの パソコンにダウンロードしたドライバを移し、ドライバのインストール ドライバのインストールを行 インストールを行 って下さい。 って下さい。 FTDI 社ホームページ (http://www.ftdichip.com/index.html) 9 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 第 3 章 各種設定 各種設定 3-1.HSCHSC-103 の設定をする HSC-103 の各種設定については、メモリスイッチにて設定を行います。 メモリスイッチの設定変更は、サンプルソフトウェア(SGSample)にて設定します。 ホ ー ム ペ ー ジ http://www.global-optosigma.com/jp/software/sample_jp.html よ り SGSample をダウンロードしてご利用下さい。 ※）メモリスイッチを変更後は、必ず HSCHSC-103 の電源を再投入して下さい。 3-2.メモリスイッチ項目一覧と設定詳細 ・3-2-1 一般 No メモリスイッチ内容 設定範囲／選択項目 工場出荷時 1 SPD SEL 1～4 1 2 SPD 1 S 1～999999999 10000 3 SPD 1 F 1～999999999 100000 4 SPD 1 R 1～1000 200 5 SPD 2 S 1～999999999 30000 6 SPD 2 F 1～999999999 300000 7 SPD 2 R 1～1000 200 8 SPD 3 S 1～999999999 70000 9 SPD 3 F 1～999999999 700000 10 SPD 3 R 1～1000 200 11 SPD 4 S 1～999999999 100000 12 SPD 4 F 1～999999999 1000000 13 SPD 4 R 1～1000 200 14 IO_LVL ACT HIGH/ACT LOW ACT HIGH 1) SPD SEL：電源投入時速度の選択 電源投入時の初期設定速度 No.を指定します。 [設定範囲] 1～4 2)～13) SPD 1～4(S)(F)(R)：速度設定 電源投入時の自動ステージ移動速度(最小速度 S,最大速度 F,加減速時間 R)を 4 種類設 定します。また、JS-300 等マニュアル操作時及び内部プログラム動作時には、本移動速 度設定にて動作します。 [設定範囲] S：1～999999999(単位：0.01μm/s) F：1～999999999(単位：0.01μm/s) R：1～1000(単位：ms) 10 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 *)速度設定にて最小速度 *)速度設定にて最小速度 S は最大速度 F より小さい値に設定して下さい より小さい値に設定して下さい。 下さい。 14) IO_LVL：I/O 出力論理設定 I/O 信号の出力信号論理(電圧レベル)を選択します。 [選択項目] ACT HIGH：通常時 LOW レベル(Normal low) ACT LOW：通常時 High レベル(Normal High) ・3-2-2 インターフェイス No メモリスイッチ内容 設定範囲／選択項目 工場出荷時 1 BAUDRATE 9600/38400/57600 38400 1) BAUDRATE：ボーレート設定 USB(シリアル通信)のデータ通信速度を設定します。 [選択項目] 9600：9600bps 38400：38400bps 57600：57600bps ・3-2-3 軸 No メモリスイッチ内容 設定範囲／選択項目 工場出荷時 1 STG UT1 PULSE/MICRO/DEGREE MICRO 2 STG UT2 PULSE/MICRO/DEGREE MICRO 3 STG UT3 PULSE/MICRO/DEGREE MICRO 4 PLS_RATE1 1～1000000 1000 5 PLS_RATE2 1～1000000 1000 6 PLS_RATE3 1～1000000 1000 7 MOVE1 POS/NEG POS 8 MOVE2 POS/NEG POS 9 MOVE3 POS/NEG POS 10 ORG1 SEL OFF/MINI/CENTER/ORGS/NORM/ZPM/ZPP MINI 11 ORG2 SEL OFF/MINI/CENTER/ORGS/NORM/ZPM/ZPP MINI 12 ORG3 SEL OFF/MINI/CENTER/ORGS/NORM/ZPM/ZPP MINI 13 ORG OFFSET1 0～999999999 0 14 ORG OFFSET2 0～999999999 0 15 ORG OFFSET3 0～999999999 0 16 CONFIG1 ON/OFF OFF 17 CONFIG2 ON/OFF OFF 18 CONFIG3 ON/OFF OFF 11 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 1～3) STG UT1～3：表示単位選択(1～3 軸) 各軸の座標単位及び OPTION(JS-300、JB-400)の表示単位を選択します。 [選択項目] PULSE：パルス数単位 MICRO：μm 単位 (0.01μm 単位) DEGREE：°単位 (0.0001°単位) 4～6) PLS_RATE1～3：パルスレート設定(1～3 軸) 各軸自動ステージの 1 パルスあたりの移動量を入力します。 ドライバの分割数は 40 分割となっています。分割数も考慮のうえ、必ず正しい値に設定し て下さい。正しくない設定の場合、正しい位置決め動作ができません。 (設定単位：0.1nm 単位 *) [設定範囲] 1～1000000 (0.1nm～100μm *) *)STG_UT1～ *)STG_UT1～3 の設定が DEGREE 設定の場合、0.000001 設定の場合、0.000001°単位で設定して 0.000001°単位で設定して下さい °単位で設定して下さい。 下さい。 7～9) MOVE1～3：移動方向設定(1～3 軸) 各軸の＋側の移動方向を選択します。 [選択項目] POS：正転 NEG：逆転 10～12) ORG1 SEL～ORG3 SEL：原点復帰方式設定 各軸の原点復帰方式を選択します。 [選択項目] OFF：原点復帰動作 OFF (ORG0) MINI：ORG1 CENTER：ORG2 ORGS：ORG3 NORM：ORG4 ZPM：ORG5 ZPP：ORG6 *)各方式については、P14～18『原点復帰方式』を参照下さい。 13～15) ORG OFFSET1～3：ORG offset 設定 各軸における自動ステージの機械原点復帰時(ORG1、ORG5、ORG6)の ORG offset 量を設定し ます。 [設定範囲] 0～999999999(単位：0.01μm) *)設定値が「0」の時は ORG offset 量は 0.5mm になります。 12 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 16～18) CONFIG1～3：オートコンフィグ設定 各軸におけるオートコンフィグ機能の 有効 / 無効 を選択します。 [選択項目] ON：オートコンフィグ有効 OFF：オートコンフィグ無効 13 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 『原点復帰方式』 原点復帰方式には下記に示す 6 種類があります。設定ソフトにより、ご使用方法及び ご使用される自動ステージにあわせてそれぞれ最適な原点復帰方式を選択して下さい。 又、原点復帰に関するパラメータとしては原点復帰速度（S,F,R,M）や原点オフセット(ORG OFFSET)があります。これらのパラメータも軸毎に個別に設定が可能ですので設定ソフトに より最適値を設定して下さい。 原点センサとして Z 相を使用する場合（ORG5、ORG6 の場合）、モータドライバの励磁原 点を使用しますので自動ステージ側には原点センサは不要です。 ①ORG0 原点復帰は行わない。 ②ORG1 (MINI 方式互換) (ORG OFFSET の初期値は 0.5mm となっています。) CW(CCW)センサ 原点復帰速度(F) CW リミット検出 原点復帰速度(M) 原点復帰速度(S) 原点復帰速度(M) 0.5mm 移動 CW リミット検出 ORG offset 分移動 14 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 ③ORG2 SC12205-K10-15001 初版 (CENTER 方式) CCW(CW)センサ CW(CCW)センサ 原点復帰速度(F) CW リミット検出 原点復帰速度(M) 原点復帰速度(S) 原点復帰速度(F) 0.5mm 移動 CW リミット検出 CCW リミット検出 原点復帰速度(M) 0.5mm 移動 原点復帰速度(S) CCW リミット検出 原点復帰速度(M) CW/CCW リミット の 1/2 位置へ移動 LS 間中点 ④ORG3 ④-1 (ORGS 方式) 3 センサ用(LS+ORG) CW(CCW)センサより原点センサが手前にある場合 CW(CCW)センサ 原点センサ 原点復帰速度(F) 原点センサ検出 原点復帰速度(M) 原点復帰速度(S) 0.5mm 移動 原点センサ検出 15 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 ④-2 SC12205-K10-15001 初版 CW 方向にて原点センサを越えている場合 CW(CCW)センサ 原点センサ 原点復帰速度(F) CW リミット検出 原点復帰速度(M) 原点センサ検出 原点復帰速度(M) 0.5mm 移動 原点復帰速度(S) 原点センサ検出 注 1)CW(CCW)センサを検出後 CCW 方向に移動し、原点センサが検出できない場合(原点セン サがない場合)は、CCW(CW)センサにて停止します。 ⑤ORG4 ⑤-1 (NORM 方式) 4 センサ用(LS+SD+ORG) CW(CCW)センサより原点近接センサが手前にある場合 原点近接センサ 原点センサ 原点復帰速度(F) CW(CCW)センサ 原点近接センサ検出 原点復帰速度(S) 原点センサ検出 16 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 ⑤-2 SC12205-K10-15001 初版 CW 方向にて原点近接センサを超えている場合 原点復帰速度(F) 原点近接センサ 原点センサ CW(CCW)センサ CW センサ検出 原点復帰速度(M) 原点近接センサを検出 原点復帰速度(S) 原点センサを検出 注 1)CW(CCW)センサを検出後 CCW 方向に移動し、原点近接センサが検出できない場合(原点 近接センサがない場合)は、CCW(CW)センサにて停止します。 注 2)原点近接センサを検出後 CW 方向に移動し、原点センサが検出できない場合(原点セン サがない場合)は、CW(CCW)センサにて停止します。 ⑥ORG5 (ZPM 方式) 3 センサ用(LS+ORG(Z 相)) CW(CCW)センサ 原点センサ(Z 相) 原点復帰速度(F) CW センサ検出 原点復帰速度(M) ORG offset 分移動 原点復帰速度(S) 原点センサ検出 17 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 ⑦ORG6 (ZPP 方式) SC12205-K10-15001 初版 3 センサ用(LS+ORG(Z 相)) 原点センサ(Z 相) CW(CCW)センサ 原点復帰速度(F) CW センサ検出 原点復帰速度(M) 原点復帰速度(S) ORG offset 分移動 原点センサ(Z 相)検出 後 0.5mm 移動 原点復帰速度(S) 原点センサ(Z 相)検出 18 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 ・3-2-4 センサ No メモリスイッチ内容 設定範囲／選択項目 工場出荷時 1 LS LVL1 NM OPEN/NM CLOSE NM CLOSE 2 LS LVL2 NM OPEN/NM CLOSE NM CLOSE 3 LS LVL3 NM OPEN/NM CLOSE NM CLOSE 4 OS LVL1 NM OPEN/NM CLOSE NM OPEN 5 OS LVL2 NM OPEN/NM CLOSE NM OPEN 6 OS LVL3 NM OPEN/NM CLOSE NM OPEN 7 NS LVL1 NM OPEN/NM CLOSE NM OPEN 8 NS LVL2 NM OPEN/NM CLOSE NM OPEN 9 NS LVL3 NM OPEN/NM CLOSE NM OPEN 1～3) LS LVL1～3：リミットセンサ入力論理設定(1～3 軸) 各軸のリミットセンサ検出信号の状態(入力論理)を選択します。 [選択項目] NM OPEN：ノーマルオープン(通常 OFF 状態よりリミットセンサ検出で ON します。) NM CLOSE：ノーマルクローズ(通常 ON 状態よりリミットセンサ検出で OFF します。) 4～6) OS LVL1～3：原点センサ入力論理設定(1～3 軸) 各軸の原点センサ検出信号の状態(入力論理)を選択します。 [選択項目] NM OPEN：ノーマルオープン(通常 OFF 状態より原点センサ検出で ON します。) NM CLOSE：ノーマルクローズ(通常 ON 状態より原点センサ検出で OFF します。) 7～9) NS LVL1～3：近接センサ入力論理設定(1～3 軸) 各軸の近接センサ検出信号の状態(入力論理)を選択します。 [選択項目] NM OPEN：ノーマルオープン(通常 OFF 状態より近接センサ検出で ON します。) NM CLOSE：ノーマルクローズ(通常 ON 状態より近接センサ検出で OFF します。) 19 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 ・3-2-5 速度 No メモリスイッチ内容 設定範囲／選択項目 工場出荷時 1 ORG1 SPD S 1～999999999 50000 2 ORG1 SPD F 1～999999999 500000 3 ORG1 SPD R 1～1000 200 4 ORG2 SPD S 1～999999999 50000 5 ORG2 SPD F 1～999999999 500000 6 ORG2 SPD R 1～1000 200 7 ORG3 SPD S 1～999999999 50000 8 ORG3 SPD F 1～999999999 500000 9 ORG3 SPD R 1～1000 200 10 ORG1 SPD M 1～999999999 250000 11 ORG2 SPD M 1～999999999 250000 12 ORG3 SPD M 1～999999999 250000 1～12) ORG1～3 SPD(S)(F)(R)(M)：原点復帰速度設定 各軸における自動ステージの機械原点復帰速度(最小速度 S,最大速度 F,加減速時間 R,原点 復帰速度 M)を設定します。 [設定範囲] S：1～999999999(単位：0.01μm/s) F：1～999999999(単位：0.01μm/s) R：1～1000(単位：ms) M：1～999999999(単位：0.01μm/s) *)速度設定にて最小速度 S は最大速度 F 及び原点復帰速度 M より小さい値に設定して下さ い。 20 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 第 4 章 HSCHSC-103 を動作させる 4-1.パソコンより HSCHSC-103 を動作させる パソコンと HSC-103 の接続は USB インターフェイスを使用します。 パソコンからコマンド(文字列)をコントローラに送信することで自動ステージを制御す ることができます。工場出荷時の USB インターフェイス通信(シリアル通信)環境設定は 次の表になります。パソコン側の設定を表に従って、設定して下さい。 ※)パソコンと HSC-103 を接続した場合、パソコン側には COM ポートとして認識されます。 設定項目 設定内容 ボーレート 38400bps デリミタ CR+LF パリティ なし データビット 8bit ストップビット 1bit フロー制御 ハードウェア(RTS/CTS) 4-2.コマンド一覧 HSC-103 のコマンド形式は、当社コントローラ(HIT / PGC)と互換となります。 ・4-2-1 コマンド形式 一般的な形式は下記の通りです。但し、コマンドの種類によっては下記形式と異なる 場合がありますので、詳細はそれぞれのコマンドの説明を参照下さい。 code：p1,p2,p3 code 英文字 1 字でコマンドを指定 ： コマンドの区切り（コロン（：）） p1～p3-2 軸目～3 軸目に対応するパラメータをカンマ（,）で区切って指定します。こ れらは整数である必要があります。小数の場合は不正指令となり、NG が返送 されます。 +符号は省略できます。+1000 も 1000 も同じに扱います。 移動量等のパラメータは距離（単位 0.01μｍ）で指定します。 対応する軸番号の動作を NOP（No Operation）にしたい場合はパラメータを 省略します。この場合カンマ（,）を省略してはいけません。 （例）,p2,p3 1 軸目のパラメータを省略 p1,,p3 2 軸目のパラメータを省略 p1,p2 3 軸目のパラメータを省略 21 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. SC12205-K10-15001 文書番号 初版 英文字は大文字と小文字の区別はしません。 BackSpace は有効で、直前の１文字を削除します。 コマンド列の前後に SPACE があってはいけません。不正指令として NG を返送します。 H、M、A、E、K、J コマンドのような駆動系コマンドが正常に受け付けられた場合は、直 ちに移動系処理を実行します。SHOT コントローラのように、駆動指令（G:）は不要です。 コマンドを発行すると Q、？、！、I コマンドの場合は対応するステータスが返送され ます。その他のコマンドの場合は OK(正常受付)又は NG(不正指令のため受付拒否)が返送 されます。 ビジー状態の軸に Q、？、L、！、I、O コマンド以外のコマンドを発行すると不正指令と して NG を返送し、その指令全体が実行しません。 ・4-2-2 コマンド一覧 コマンド 動作 内容 H 機械原点復帰 機械原点を検出 M 相対位置移動 移動軸、方向、距離もしくはパルス数を相対座標で設定 A 絶対位置移動 移動軸、方向、距離もしくはパルス数を絶対座標で設定 E 円弧移動移動 円弧補間で移動 K 直線補間移動 直線補間で移動 J ジョグ移動 最小速度（S）で移動 L 移動停止 減速停止又は即停止 R 論理原点設定 現在位置を電気(論理)原点に設定 D 移動速度設定 M、A コマンド等の S、F、R を設定 B 原点復帰速度設定 原点復帰指令の S、F、R、M を設定 C 励磁切替 モータの励磁をオン/オフ Q ステータス 1 リード 現在位置の座標を返送 ！ ステータス 2 リード 1(ビジー)、0（レディ）を返送 ？ 内部情報リード 内部情報を返送 O I/O 出力命令 I/O コネクタの OUT 端子へデータ出力 I I/O 入力確認 I/O コネクタの IN 端子のデータを返送 P プログラム制御 内蔵プログラムへの指令 22 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. ・4-2-3 H コマンド （機械原点復帰指令） （１）機能 自動ステージの機械原点を検出し、その位置を原点とします。座標値は 0 にクリアされ ます。 軸番号に対応するパラメータが１の場合に原点復帰を実行します。パラメータが 0 又は 省略された軸に対しては何もしません。 （２）例 H:1,1,0 1 軸、2 軸目の機械原点復帰動作を実行します。 3 軸目は原点復帰動作しません。 ・4-2-4 M コマンド （相対移動指令） （１）機能 相対移動を指示する指令です。 移動量は距離（単位 0.01μｍ）で指定します。 *)コントローラ出力可能パルス数は *)コントローラ出力可能パルス数はコントローラ出力可能パルス数は-999999999 パルス～＋999999999 パルス～＋999999999 パルスのため、 これを超える距離値を指定した場合は NG を返送し、自動ステージは動作しません。 自動ステージは動作しません。 (1 パルス当たりの移動量が小さい時に、 パルス当たりの移動量が小さい時に、上記制限に抵触することがありますのでご 注意下さい。) 注意下さい。) （２）例 M:100000,,-20000 1 軸目,3 軸目に対しそれぞれ現在位置より 1mm、-0.2mm 移動させます。 ・4-2-5 A コマンド （絶対移動指令） （１）機能 絶対移動を指示する指令です。 移動量は距離（単位 0.01μｍ）で指定します。 *)コントローラ出力可能パルス数は *)コントローラ出力可能パルス数はコントローラ出力可能パルス数は-999999999 パルス～＋999999999 パルス～＋999999999 パルスのため、 これを超える移動距離値を指定した場合は NG を返送し、自動ステージ を返送し、自動ステージは動作しま 自動ステージは動作しま せん。実際の移動距離値は指令で指定された絶対移動距離値からコントローラが自 せん。実際の移動距離値は指令で指定された絶対移動距離値からコントローラが自 動的に算出します。(1 動的に算出します。(1 パルス当たりの移動量が小さい時に、上記制限に抵触するこ とがありますのでご注意下さい。) とがありますのでご注意下さい。) （２）例 A:, 0,-20000 2 軸目、3 軸目に対しそれぞれ絶対位置の原点(0)、-0.2mm、 0.3mm の位置に移動させます。 23 ・4-2-6 E コマンド (円弧補間動作指令) （１）機能 円弧補間動作を実施するためのコマンドで、移動軸、回転方向等を指示します。円弧を 指定するためのパラメータの違いにより、3 つのモードがあります。任意の 2 軸間で円 弧補間動作が可能です。 ビジー状態や未接続状態の軸に本コマンドを指令すると不正指令として NG を返送し、そ の指令全体が実行しません。 又、補間動作を実行する場合は 1 パルス当りの移動量(PLS_RATE) パルス当りの移動量(PLS_RATE)が補間軸間で同一であ (PLS_RATE)が補間軸間で同一であ る必要があります。これらが異なると正しい補間動作が実行しません る必要があります。これらが異なると正しい補間動作が実行しません。円弧補間時の補 しません。円弧補間時の補 間動作速度( 間動作速度(合成速度) 合成速度)は補間軸の一番小さい軸番号の設定速度の S 速度で動作します。 円弧を規定するための座標は全て現在位置からの相対値(距離値 単位 0.01μm)で指定 します。 E：0 コマンド (円弧補間動作指令 0)では終点座標を指定しますが、右図のように円弧 からずれている場合、終点象限で片方の軸 が終点位置に到達した位置で補間動作は完 了し、その後終点座標まで移動します。 また、円弧補間の終点座標として右図の斜 線の部分に設定した場合は停止することが できずに、永久円弧補間となりますでのご 注意下さい。 又、E：1 コマンド (円弧補間動作指令 1) では終点座標を、E：2 コマンド (円弧補 間動作指令 2)では中心座標を計算で算出 しているため計算誤差が発生します。実機 で確認の上、ご使用して下さい。 24 文書番号 ・4-2-6-1 E：0 コマンド SC12205-K10-15001 初版 (円弧補間動作指令 0) （１）機能 円弧を指定するために終点座標・中心座標を指定します。 （２）例 E：0,axis1,axis2,d,e1,e2,c1,c2 axis1、axis2：1～3 円弧補間動作を実行する軸番号を指定します。この番号が同一 であったり、未接続であってはいけません。axis1 が X 軸、axis2 が Y 軸に対応します。 d：0 又は 1 0 の場合 CW 回転(時計回り)、1 の場合 CCW 回転(反時計回り) e：終点座標 e1 axis1 設定値、e2 axis2 設定値 (設定単位は 0.01μm 単位) c：中心座標 c1 axis1 設定値、c2 axis2 設定値 (設定単位は 0.01μm 単位) E：0,1,3,0,0,0,5000,-5000 1 軸目、3 軸目の自動ステージで、中心座標を現在 位置からの相対座標(0.05mm,-0.05mm)として終点位置 まで時計回りで円を描く様に移動 3軸 0.05mm 1軸 -0.05mm 25 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. ・4-2-6-2 E：1 コマンド (円弧補間動作指令１) （１）機能 円弧を指定するために中心座標と終点角度(deg)を指定します。 （２）例 E：1, axis1,axis2,d,c1,c2,ae axis1、axis2：1～3 円弧補間動作を実行する軸番号を指定します。この番号が同一 であったり、未接続であってはいけません。Axis1 が X 軸、axis2 が Y 軸に対応します。 d：0 又は 1 0 の場合 CW 回転(時計回り)、1 の場合 CCW 回転(反時計回り) c：中心座標 c1 axis1 設定値、c2 axis2 設定値 ae：終点角度(deg) 設定範囲：0°<ae≦360°の整数であること。 E：1,2,3,0,5000,-5000,90 (設定単位は 0.01μm 単位) 左記以外は NG 2 軸目、3 軸目の自動ステージで、中心座標を現在 位置からの相対値(+0.05mm,-0.05mm)として現在位 置から終点角度 90°の位置まで CW 方向へ円を描く 様に移動 3軸 0.05mm 2軸 90° -0.05mm 26 ・4-2-6-3 E：2 コマンド (円弧補間動作指令 2) （１）機能 円弧を指定するために通過点座標、終点座標を指定します。但し、現在位置座標、通過 点座標、終点座標の 3 つの座標が同一直線上にあると円弧が規定できませんので、同一 直線上にあってはいけません。 （２）例 E：2, axis1,axis2,p1,p2,e1,e2 axis1、axis2：1～3 円弧補間動作を実行する軸番号を指定します。この番号が同一 であったり、未接続であってはいけません。axis1 が X 軸、axis2 が Y 軸に対応します。 p：通過点座標 p1 axis1 設定値、p2 axis2 設定値 (設定単位は 0.01μm 単位) e：終点座標 e1 axis1 設定値、e2 axis2 設定値 (設定単位は 0.01μm 単位) E：2,1,2,5000,3000,8000,12000 1 軸目、2 軸目の自動ステージで、通過点座標及び 終点座標を各自動ステージの現在値から 相対値(+0.05mm,+0.03mm)と (+0.08mm,+0.12mm)と して円弧を描く様に移動 2軸 0.12mm 0.03mm 1軸 0.05mm 0.08mm 27 ・4-2-7 K コマンド (直線補間動作指令) （１）機能 直線補間動作を実施するための移動軸、相対移動量を指示して直線補間動作を実行させ ます。任意の 3 軸までの直線補間動作が可能です。 ビジー状態や未接続の軸に本コマンドを指令すると不正指令として NG を返送し、その指 令全体が実行しません。 又、補間動作を実行する場合は 1 パルス当りの移動量(PLS_RATE) パルス当りの移動量(PLS_RATE)が補間軸間で同一であ (PLS_RATE)が補間軸間で同一であ る必要があります。これらが異なると正しい補間動作が実行しません る必要があります。これらが異なると正しい補間動作が実行しません。直線補間時の補 しません。直線補間時の補 間動作速度( 間動作速度(合成速度) 合成速度)は補間軸の一番小さい軸番号の設定速度の S 速度で動作します。 直線を規定するための座標は全て現在位置からの相対値(距離値 単位 0.01μm)で指定 します。 （２）例 K：axis1,axis2,axis3,e1,e2,e3 axis1,axis2,axis3-2～3 直線間動作を実行する軸番号を指定します。これらの番号 が同一であったり、未接続であってはいけません。2 軸で 直線補間を行う場合は axis3 を省略して下さい。 e：終点座標 (e1 axis1 設定値、e2 axis2 設定値、e3 axis3 設定値) 2 軸で直線 補間を行う場合は e3 を省略して下さい。 (設定単位は 0.01μm 単位) K：1,3,,+10000,20000 1 軸目、3 軸目の自動ステージで、終点座標を現在値からの相 対値(+0.1mm,+0.2mm)とする直線上を移動 3軸 0.2mm 0.1mm 1軸 28 ・4-2-8 Ｊコマンド (ジョグ動作指令) （１）機能 自動ステージを最小速度(S)にて連続して駆動(定速駆動)します。この指令動作中はリミ ットセンサを検出又は停止指令（Ｌコマンド）受信までは停止しません。 （２）例 J：s,s,s ＋の場合+方向、－の場合－方向、省略の場合 NOP（No Operation） s：＋、－又は省略 J：,+,- 2 軸目は+方向、3 軸目は－方向にジョグ移動します。1 軸目は動 作しません。 ・4-2-9 L コマンド (減速停止指令) （１）機能 自動ステージを減速停止させます。 （２）例 L:p,p,p p:0,1 又は省略 1 の時、対応する軸番号の自動ステージを減速停止させます。 0 又は省略の時は NOP（No Operation） L:,,1 ・4-2-10 3 軸目の自動ステージを減速停止させます。 L：E コマンド (即停止指令) （１）機能 全軸の自動ステージを即停止させます。 （２）例 L:E 全軸の自動ステージを即停止させます。 29 R コマンド ・4-2-11 (論理原点設定指令) （１）機能 対応する軸番号の自動ステージの現在位置を論理原点(座標値 0)に設定します。 Busy 状態の軸に本コマンドを指令すると不正指令として NG を返送し、その指令全体 が実行しません。 （２）例 R:p,p,p p:0,1 又は省略 1 の時、対応する軸番号の自動ステージの現在位置を論理原点 に設定します。0 又は省略の時は NOP（No Operation） R:0,1,1 2 軸目、3 軸目の自動ステージの現在位置を論理原点(座標値 0) に設定します。1 軸目の現在位置は論理原点設定しません。 D コマンド ・4-2-12 (速度設定指令) （１）機能 指定された軸番号の速度を設定します。複数の軸に同時に設定することはできません。 Busy 状態の軸に本コマンドを指令すると不正指令として NG を返送し、実行しません。 電源投入時は、メモリスイッチの設定速度となります。 （２）例 D:axis,s,f,r axis：軸番号 1～3 s: 起動速度(初速度) 設定範囲は 1～999999999、単位は 0.01μm/s f: 最大速度 設定範囲は 1～999999999、単位は 0.01μm/s r: 加減速時間 設定範囲は 1～1000、単位は ms s≦f の条件を満足する必要があります。 の条件を満足する必要があります。 *)出力可能な最大速度はパルス数換算で 4000000(pulse/s)のため、これを超える速度 (距離値：0.01μm/s 単位)を指定した場合は OK を返送しますが、パルス数換算で 4000000(pulse/s)の速度に設定されます。 D:3-20000,200000,200 3 軸目に対し起動速度 0.1mm/s、最大速度 2mm/s、加減速時間 200ms の速度に設定 30 文書番号 B コマンド ・4-2-13 SC12205-K10-15001 初版 (原点速度設定指令) （１）機能 指定された軸番号の原点復帰速度を設定します。複数の軸に同時に設定することはで きません。 Busy 状態の軸に本コマンドを指令すると不正指令として NG を返送し、実行しません。 電源投入時は、メモリスイッチの設定速度となります。 （２）例 B:axis,s,f,r,m axis：軸番号 1～3 s: 起動速度(初速度) 設定範囲は 1～999999999、単位は 0.01μm/s f: 最大速度 設定範囲は 1～999999999、単位は 0.01μm/s r: 加減速時間 設定範囲は 1～1000、単位は ms m: 原点復帰速度(M) 設定範囲は 1～999999999、単位は 0.01μm/s s≦m≦f の条件を満足する必要があります。 *)出力可能な最大速度はパルス数換算で 4000000(pulse/s)のため、これを超える速度 (距離値：0.01μm/s 単位)を指定した場合は OK を返送しますが、パルス数換算で 4000000(pulse/s)の速度に設定されます。 B:3-20000,200000,200,100000 3 軸目に対し起動速度 0.1mm/s、最大速度 2mm/s、加減 速時間 200m、中間速度 1mm/s の原点復帰速度に設定 ・4-2-14 C コマンド (励磁オン／オフ指令) （１）機能 モータの励磁をオン／オフする指令です。 Busy 状態の軸に本コマンドを指令すると不正指令として NG を返送し、その指令全体 が実行しません。 （２）例 C:p,p,p p:0,1 又は省略 1 の時、対応する軸番号の自動ステージのモータ励磁をオンし ます。0 の時、対応する軸番号の自動ステージのモータ励磁を オフします。省略の時は NOP（No Operation） C:0,0,1 1 軸目、2 軸目励磁オフ、3 軸目励磁オン 31 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. ・4-2-15 Q コマンド (現在位置・リード指令) （１）機能 軸番号 1～3 までの 3 軸分の自動ステージの現在位置(単位 0.01μm)を返送します。 メモリスイッチにて STG_UT の指定がパルス指定の場合は、パルス数を返送します。 返送データの現在位置はカンマ(,)区切りで表示します。－の場合は－符号がつきます。 各数値は符号含めて MAX10 桁の可変長で左詰めで表示されます。 （２）例 Q： -1000,1000,100 返送データ：1 軸目の現在位置は-0.01mm、2 軸目の現在位置 は 0.01mm、3 軸目の現在位置は 0.001mm を示してます。 ※ドライバで不具合が生じた場合( ドライバで不具合が生じた場合(Driver Alarm がオンの時 がオンの時) の時)は、カンマ(,) カンマ(,)のみが (,)のみが 返送されます。 ・4-2-16 Q：S コマンド (ステータス・リード指令) （１）機能 コントローラ及び各軸(1～3 軸)のステータスを返送します。 返送データはカンマ(,)区切りで表示します。 （２）例 Q：S stm,sts,sts,sts 00:直前に受信したコマンドは正常に受け付けられた stm 01:直前に受信したコマンドは不正コマンドで拒否された 00～FF sts 対応する軸番号のステータスを 16 進数 2 桁で返送します。16 進数の各ビ ットとステータスの対応は下表を参照下さい。各ビットは 0 で未検出、1 で検出で す。 7 6 5 4 3 2 1 0 - DRV Reserve Z limit Near ORG +LS -LS 0 0 or 1 0 or 1 0 or 1 0 or 1 0 or 1 alarm 0 0 or 1 返送データ例 00,01,02,40 コントローラは直前のコマンドを正常に受け付けた。1 軸目で-LS を検出、2 軸目で+LS を検出、3 軸目ドライバアラーム検出 32 ・4-2-17 ！コマンド (ステータス・リード指令) （１）機能 各軸の Busy／Ready 状態を返送します。 （２）例 ！： sts1,sts2,sts3 返送データ 0 の時、対応する軸が Ready であることを示します。 sts 1 の時、対応する軸が Busy あることを示します。 返送データ例 1,0,0 1 軸目は Busy 状態、2 軸目、3 軸目は Ready 状態を示します。 ※ドライバで不具合が生じた場合( ドライバで不具合が生じた場合(Driver Alarm がオンの時 がオンの時) の時)は、カンマ(,) カンマ(,)のみが (,)のみが 返送されます。 ・4-2-18 ？コマンド （内部情報リード指令） （１）機能 コントローラの情報を返送します。 （２）例 ?：Paxis P パラメータ文字で下表を参照 Axis パラメータ文字が D、B 又は R の時のみ、軸番号(1～3)を指定します。 パラメータ文字 返送データ 返送データ例 N 装置名 HSC-103 V バージョン V1.00-001 D 移動速度(μm/s 単位) 100,1000,200 B 原点復帰速度(μm/s 単位) 500,5000,200,2500 L プログラム実行状態 ProgNo、ProgRun、LineNo、Loop 残 count (例)2,1,13,4 プログラム番号 2 の 13 行目が run 中で ループカウンタの残カウントが 4 P 1 パルスあたりの移動量 (単位：μm / 0.0100,0.0100,0.0100 °) 33 O コマンド ・4-2-19 （データ出力指令） （１）機能 I/O コネクタの出力端子(4 ビット)にデータを出力します。 出力値 0 1 2 3 OUT1 OFF ON OUT2 OFF OFF ON OUT3 OFF OFF OFF OFF ON OUT4 OFF OFF OFF OFF OFF OFF OFF OFF ON OFF ON ON 4 5 OFF ON 6 7 OFF ON OFF OFF ON ON ON 8 9 OFF ON 10 11 OFF ON OFF OFF ON ON OFF OFF OFF OFF ON ON 13 OFF ON ON ON ON 12 14 15 OFF ON OFF OFF ON ON ON ON ON ON ON ON ON ON 11 12 13 14 15 （２）例 O:14 OUT2,3,4 出力 ・4-2-20 Ｉコマンド （データ入力指令） （１）機能 I/O コネクタの入力端子(4 ビット)のデータ値を返送します。 データ値 0 1 2 3 IN1 OFF ON IN2 OFF OFF ON IN3 OFF OFF OFF OFF ON IN4 OFF OFF OFF OFF OFF OFF OFF OFF ON OFF ON ON 4 5 OFF ON 6 OFF ON OFF OFF ON ON 7 ON 9 OFF ON 10 OFF ON OFF OFF ON ON OFF OFF OFF OFF ON I: 返送データ 34 ON ON ON OFF ON ON （２）例 14 8 ON OFF ON OFF OFF ON ON ON ON ON ON ON ON ON P コマンド ・4-2-21 （内蔵プログラム制御指令） （１）機能 内部プログラムのプログラム No.選択及び実行／停止等を指示します。プログラム機能 の詳細については”4-3 プログラム機能”を参照下さい。 （２）例 P：p p：P、S、E、U0、U1 が指定可能です。 P：Pn とし、n でプログラム No.を選択します。n は 0～9 が選択可能。左記以外の 値は不正指令となり NG となります。電源投入時は 0 になっています。 （例）P:P2 プログラム No.2 を選択 S：プログラム動作開始。選択しているプログラムを動作開始します。（例）P:S E：プログラム動作を終了させます。終了コマンドを受け付けた場合、実行中の Line No.動作が終了した時点で終了します。（例）P:E U0：プログラムを一時停止します。コマンドを受け付けた場合、実行中の Line No. 動作が終了した時点で一時停止します。例）P:U0 U1：プログラム再開。P：U0 にて一時停止したプログラム動作を再開します。 例）P:U1 35 4-3.プログラム機能 HSC-103 の内部に No0～9 までの 10 種類のプログラムを格納することができます。こ れらのプログラムは不揮発性メモリに記憶しますので電源を切断しても消えることは ありません。 各プログラムの最大容量は 1024 行です。プログラムの作成、編集、読み出し、格納に は SGsample をご使用して下さい。 位置決めのためのパラメータは距離値(単位 0.01μm)で指定します。メモリスイッチ の PLS_RATE が正しい値に設定されていないと正常な位置決め動作ができませんので ご注意下さい。移動速度はメモリスイッチで指定された速度番号が使用されます。 ・4-3-1 プログラムデータの形式 プログラムは 1 行で 1 個の指令を構成しています。 各指令は最大 16 個のフィールドからなり、各フィールドはカンマ(,)で区切られます。 動作指令の種類により、必要なフィールドが異なります。 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬ ⑭ No Command Parameter Speed ⑮ ⑯ out wait ① 行番号 1～1024 で 1 からの連続した数値として下さい。 ②：運転パターン M：相対移動位置決め (0.01μm 単位) A：絶対移動位置決め (0.01μm 単位) H：原点復帰動作 K：直線補間動作 (3 軸まで補間可能) E：円弧補間動作 ?：IO 端子入力確認 C：連続動作 F：繰り返し回数指定 N：繰り返し動作終了 Y：プログラム終了 36 1～2,147,483,647 まで入力可 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 連続動作(C)は、以下の点にご注意下さい。 ・連続実行範囲内では動作軸の変更しないで下さい ・連続実行対象として指定可能な指令は M,A,K,E,の 4 種類のみとなります ・連続実行範囲内では M と A 又は K と E になります ・C のカウント値で指定された連続動作対象の指令の OUT，WAIT は連続実行範囲の 最後のコマンドのフィールド以外のものは無視されます ・？：L コマンドで返送される行番号は、連続実行範囲後の行番号となります。 プログラムの最終行の運転パターンは必ず Y として下さい。 F～N の繰り返しループのネスティングは不可となります。 ③～⑤：1 軸～3 軸指示値 M,A,H,K,E の場合はコマンド仕様と同等です。距離 値(単位 0.01μm)で指定します。メモリスイッチの PLS_RATE が設定されていないと正しい位置決め動 作ができませんのでご注意下さい。 ？及び F と C の場合は③のみ設定し④～⑤は省略。 N 及び Y の場合は③～⑤は省略。 ⑥～⑩：補間指示値 1～3 補間動作コマンド仕様と同等です。距離値(単位 0.01μm)で指定します。メモリスイッチの PLS_RATE が設定されていないと正しい位置決め動作ができ ませんのでご注意下さい。 K の場合は⑥、⑦を入力し⑨、⑩は省略。M,A,H,?,C， F,N,Y 場合は⑥～⑩は省略。 ⑪～⑬：1 軸～3 軸速度 設定速度については、メモリスイッチの SPD_SEL の 4 種類から 1 個を選択します。 K 及び E の場合は⑪のみ設定し⑫～⑬は省略。K,E コマンドでは速度⑪と対象軸番号の最も小さい番 号の軸のパラメータ(PLS_RATE)からパルス速度を 計算し、そのパルス速度をすべて補間対象軸の速度 に設定します。 H、？、F、N、Y の場合は⑪～⑬は省略。 ⑭：出力 I/O の OUT 信号の出力 0～15 を指定します。F、N、Y の場合は 省略。指定がない場合は前の状態を維持します。 ⑮：待ち時間 0～32767 まで入力可能 (単位：0.1S) F、N、Y の場合 は省略。 37 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 運転パターンによる各パラメータの必須、省略可等については下記参照下さい。 下表で必須項目(省略不可)については◎、場合により省略可については○、常に省略は －で示します。 ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬ ⑭ ⑮ M ○ ○ ○ － － － － － ○ ○ ○ ○ ○ A ○ ○ ○ － － － － － ○ ○ ○ ○ ○ H ○ ○ ○ － － － － － － － － ○ ○ K ◎ ◎ ○ ◎ ◎ ○ － － ◎ － － ○ ○ E ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ○ ◎ － － ○ ○ ？ ◎ － － － － － － － － － － ○ ○ ・4-3-2 C ◎ － － － － － － － － － － － － F ◎ － － － － － － － － － － － － N － － － － － － － － － － － － － Y － － － － － － － － － － － － － プログラム例 1,M,1000,-1000,,,,,,,1,2,,,15,100 2,H,1,1,1,,,,,,,,,,5,100 3,A,200000,200000,,,,,,,3,3,,,10,5 4,K,1,2,3,10000,20000,30000,,,3,,,,1,500 5,E,0,1,2,1,0,0,0,100000,4,,,,5 6,?,3 7,F,1000 8,M,100,,,,,,,1 9,N 10,C,2 11, A,1000000, ,,,,,,,2 12, A,0, ,,,,,,,2,,,,5,10 13,Y 38 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 〔1〕 1 軸目移動速度 1 にて 10μm、2 軸目移動速度 2 にて-10μm 移動し、停止後 OUT 出力は 1516 を出力し 10S ウェイト。 〔2〕 1 軸、2 軸、3 軸目原点復帰動作を実施し、停止後 OUT 出力(4 ビット)は 516 を 出力し 10S ウェイト。(*原点復帰速度については、各軸にて設定の原点復帰速 度) 〔3〕 1 軸目は移動速度 3 にて+2mm 位置へ、2 軸目移動速度 3 にて+2mm 位置へ移動す る。停止後 OUT 出力は 1016 を出力し 0.5S ウェイト。 〔4〕 1 軸、2 軸、3 軸にて 3 軸直線補間を実施し 100μm、200μm、300μm 移動する。 移動速度(合成速度)は速度 3 の S 速度。停止後 OUT 出力は１16 を出力し 50S ウ ェイト。 〔5〕 1 軸、2 軸目にて円弧補間動作。現在位置から相対中心座標(0mm,1mm)として現 在位置まで CCW 回転にて円運動を実施。移動速度(合成速度)は速度 4 の S 速度。 OUT 出力は５16 を出力。 〔6〕 入力信号待ちで入力 IN(4 ビット)が 16 進数の 316 になるまで停止。３16 になっ たら次ステップを実行。 〔7〕 次の 8 行目から 9 行目までのループを 1000 回繰り返す。 〔8〕 1 軸目を移動速度 1 にて 1μm 移動。OUT 出力は１16 を出力。 〔9〕 繰返し動作終了指示 〔10〕 次の 11 行目から 12 行目までの 2 行をハードウェアのプリロード機能を利用し て連続実行する。 〔11〕 1 軸目を 10ｍｍ移動させる。移動速度は速度 2。 〔12〕 1 軸目を-10ｍｍ移動させる。移動速度は速度 2。停止後 OUT 出力は 516 を出力 し 1S ウェイト。 〔13〕 本プログラムの終了を示す。 ・4-3-3 プログラム実行中のコマンド発行 プログラム実行中に発行可能なコマンドは ステータス・リード系 ：Q コマンド、！コマンド、？コマンド 停止コマンド ：L コマンド プログラム制御コマンド ：P コマンド(P:E と P:U0) 上記以外のコマンドを発行すると不正指令として NG が返送されます。 39 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 4-4.周辺装置(JS 周辺装置(JS(JS-300,JB300,JB-400,JD 400,JD,JD-100) 100)を使用する HSC-103 では周辺装置(JS-300,JB-400,JD-100)を接続して使用できます。 周辺装置を使用することにより、マニュアル操作及び座標値等を表示できます。 周辺装置をご使用の際には、JS-300,JB-400,JD-100 の取扱説明書をご確認のうえご使 用して下さい。 40 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 第 5 章 回転系ステージ（直動ステージとの差異） 前章までは主として直動ステージについて記載してきましたが、本章では回転系ステー ジ固有の項目について記載します。 直動ステージの A コマンドや M コマンドでは移動距離を指定します。 一方、HST-120YAW などの回転ステージの場合は移動距離ではなく、回転角度で指定する 必要があります。 5-1.設定項目 STG_UT(メモリスイッチ)：表示単位設定を DEGREE に設定します。 PLS_RATE (メモリスイッチ)： 1 パルス当りの回転角度を 0.000001°単位で設定します。 参考)HST-120YAW / HST-160YAW の場合 オートコンフィグ設定が有効の場合、メモリスイッチの項目が自動で設定されます。 ・STG UT1～3：DEGREE ・PLS_RATE1～3:125 (1 パルス当りの回転角度) ・ORG_OFFSET1～3：25000 ・ORG (角度表示) (原点復帰時の offset 量：2.5°) SPD1～3：原点復帰速度 S10000(1°/SEC) F100000(10°/sec) R200(200ms) M50000(5°/sec) ※回転ステージが接続された軸のみ変更されます。 5-2.コマンド／ステータス A コマンド、M コマンド：回転角度を 0.0001°単位の整数で指定します。 Q コマンドで返送される位置情報：現在位置を 0.0001°単位の角度で返送します。 (例)M コマンドで 45°回転させる場合は M:450000 と指定します。 Q コマンドで 450000 と返送された場合は現在位置が 45.0000°であることを示します。 5-3.速度 回転系ステージの場合、メモリスイッチで指定される速度、または D コマンドや B コマ ンドで設定する速度は回転角度(0.0001°単位)／秒で設定します。 (例)F 速度が 300000 の場合は 300000×0.0001°＝30°／秒を示します。 41 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 第 6 章 駆動電流値の設定 駆動電流値の設定 HSC-103 では、モータへの駆動電流値を 0.75A/相(出荷時：1.4A/相)に変更を行うことが できます。 HST シリーズ以外の自動ステージを使用する場合は、必ず、モータ駆動電流値を確認し、 設定を変更します。設定(RUN)ボリュームは、コントローラ上面部に各軸分あります。 ボリューム(拡大) 設定ボリューム 3軸 2軸 1軸 HSC-103 上面部 駆動電流(RUN 電流)設定 モータ駆動時の電流を RUN ボリュームにて設定します。工場出荷時は 1.4A/相設定にな っています。0.75A/相に設定する場合はボリュームを 3 に設定して下さい。 Vol.目盛 RUN 電流 (A/相) 0 3 A 0.45 0.75 1.4 42 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 第 7 章 仕様 7-1.仕様 (1)一般仕様 電源電圧 AC100-240V 50/60Hz 消費電力 200VA 動作温度 5～40℃ 保存温度 -20～60℃ 周囲湿度 20～80%RH(結露なきこと) 外形寸法 260W×260D×95H(突起物を除く)mm 重量 3.3kg (2)性能仕様 制御軸数 最大 3 軸 最大駆動速度(F) 0.01～9999999.99μm/s (1～4000000PPS) 最小駆動速度(S) 0.01～9999999.99μm/s (1～4000000PPS) 最大出力パルス数 -134217728 パルス～＋134217727 パルス 加減速時間(R) 1～1000ms センサ入力 原点センサ/近接センサ/CW(-)リミット/CCW(+)リミット (各センサの入力論理はメモリスイッチにて切り替え可能) インターフェイス USB インターフェイス(シリアル通信) 通信パラメータ I/O ・ボーレート 9600/38400/57600bps ・データビット 8bit ・パリティ 無し ・ストップビット 1bit ・フロー制御 ハードウェア ・デリミタ CR+LF 入力 4 点(フォトカプラ入力 内部抵抗 2.2kΩ) 出力 4 点(オープンコレクタ出力 最大使用条件 DC24V 20mA) 制御信号 原点復帰指令- 1 点(フォトカプラ入力内部抵抗 2.2kΩ) 緊急停止- 1 点(フォトカプラ入力内部抵抗 2.2kΩ) 正転運転- 3 点(フォトカプラ入力内部抵抗 2.2kΩ) 逆転運転- 3 点(フォトカプラ入力内部抵抗 2.2kΩ) (3)ドライブ部仕様 駆動方式 バイポーラペンタゴンミクロステップ方式 駆動電流 1.4A/相（0.75A/相） カレントダウン 0.7A/相（0.375A/相） 分割数設定 40 分割 43 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 7-2 コネクタピンアサイン ・7-2-1. I/O コネクタ 番号 名称 番号 名称 1 24V_EX 11 JOGY- 2 GND_EX 12 - 3 JOGY+ 13 JOGX+ 4 - 14 JOGX- 5 STOP 15 ORG 6 IN1 16 IN2 7 IN3 17 IN4 8 JPGZ+ 18 JPGZ- 9 OUT1 19 OUT2 10 OUT3 20 OUT4 使用コネクタ 10220-52A2PL (住友スリーエム株式会社製) ※)I/O 信号をご使用の際には、外部より 24V_EX(1 ピン) ピン)、GND_EX(2 ピン) ピン)を供給して下 を供給して下 さい。 さい。 Fig.4-2：IN1～4,JOGX,Y,Z,ORG,STOP 入力回路図 Fig.6-2：OUT1～4 出力回路図 44 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 ・7-2-2. STAGE1～3 コネクタ 番号 名称 番号 名称 1 青：モータ配線色 9 Autoconfig 2 赤：モータ配線色 10 Reserve 3 橙：モータ配線色 11 LS(+)：+側リミット検出 4 緑：モータ配線色 12 LS(-)：-側リミット検出 5 黒：モータ配線色 13 GND 6 GND 14 NEAR：近点検出 7 ORG：機械原点検出 15 センサ電源(+24V) 8 センサ電源(+24V) 使用コネクタ XM3B-1522 (オムロン株式会社製) ・7-2-3. USB コネクタ 番号 名称 番号 名称 1 - 3 DATA+ 2 DATA- 4 GND 使用コネクタ XM7B-0442 (オムロン株式会社製) ・7-2-4. OPTION コネクタ 番号 名称 番号 名称 1 GND 8 GND 2 +5V 9 +5V 3 RXD+ 10 RXD- 4 TXD+ 11 TXD- 5 STOP 12 CONNECT 6 - 13 - 7 - 14 - 使用コネクタ 10214-52A2PL (住友スリーエム株式会社製) 45 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 7-3.外形寸法図 3.外形寸法図 46 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd. 文書番号 SC12205-K10-15001 初版 SIGMAKOKI CO., LTD. http://www.global-optosigma.com 東京本社 〒130-0021 東京都墨田区 1-19-9 TEL：03-5638-6551 FAX：03-5638-6550 E-mail：[email protected] 大阪支店 〒532-0011 大阪市淀川区西中島 4-9-28 TEL：06-6307-4835 FAX：06-6307-4834 E-mail：[email protected] 九州営業所 TEL：092-481-4300 技術センター 〒812-0014 福岡県福岡市博多区比恵町 3-17 FAX：092-481-4310 E-mail：[email protected] 〒924-0838 石川県白山市八束穂 1-1 47 Copyright 2015, SIGMAKOKI Co.,Ltd.