MT-3000 MT-5000 MT-9000

高精細デジタルカメラ
微小線幅測定システム
MTシリーズ
様々な半導体シーンに対応した
高精度デジタルカメラ方式の測定器登場！
高精度微小線幅測定
高速顕微鏡 AF+線幅画像用 AF の画像取り込みとボ
トム、インサイド等の設定やプロファイル表示等
の線幅に特化した機能で高精度自動測定が出来ま
す。
高精細カラーデジタルと画像ファイリング
高精細デジタルカメラで微小寸法測定！
半導体検査顕微鏡の全ての顕鏡方法においても、
オールラウンドなデジタル微小寸法測定装置です。
カラー画像観察は重要な要素です。200 500 万画素
微小線幅測定器
200 万画素デジタルモノクロカメラバージョン
デジタルカメラで蛍光、レジストや DIC の段差像
を鮮明なカラー画像でファイリングできます。
MT-3000
デジタルカメラ+デジタルカメラ用 AF ユニットの組合せ
線幅測定、データ集計、画像ファイリングなどが出来ます。
微小線幅測定器
500 万画素デジタルモノクロカメラバージョン
MT-5000
フローベル 1100 万画素カメラと組み合わせ可能
デジタルカメラ+デジタルカメラ用 AF ユニットの組合せ
フローベル製 1100 万画素カメラ ADK-1100(カラ
線幅測定、データ集計、画像ファイリングなどが出来ます。
ー・モノクロ)との組み合わせで超高解像度測定可
微小線幅測定器
1100 万画素デジタルモノクロカメラバージョン
能。(ADK-1100 とオートフォーカスの組み合わせは
出来ません)
MT-9000
35mm フィルムサイズ 1100 万画素 CCD 実行画素数
4008(H)x2672(V)で超高解像度測定が可能！
※用途に合わせて各カメラのカラー版もご用意できます。
微小線幅測定装置MTシリーズ
MT-3000,MT-5000,MT9000
主な仕様
デジタルカメラ
撮像素子
有効画素数
MT-3000
MT-5000
MT-9000
1/1.8 型デジタルカメラ
2/3 型デジタルカメラ
35mm フィルムサイズ CCD
1636(H)×1236(V) 約 210 万画素
2588(H)×1960(V) 約 520 万画素
4008(H)x2672(V) 約 1100 万画素
CameraLink / LVDS
映像出力
デジタル画像測定器
線幅測定
測定再現性
3σ=0.02μm(対物 100 倍、基準スケールを AF 動作にて繰り返し測定
0.001μm
最小表示
線幅エッジ検出
内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
レンズ倍率にあわせて 10 種類登録が可能
校正値
測定データを CSV 方式として保存可能
データ出力
コンピュータ部と OS
PC/AT 互換機
RS232C
外部インターフェイス
オートフォーカスユニット
WindowsXP
USB2.0 IEEE1394（オプション）
デジタルカメラの映像信号の画像処理
合焦精度
AF 検出位置
Z 軸制御
対物レンズの焦点深度の約 1/3
映像視野内の任意の位置と領域の設定で AF 可能
専用 5 相ステッピングモーターカプラ使用
Z 軸分解能
0.05μm
（オートフォーカスユニットはオプションです）
測定例
(MT-3000 の場合)
対物レンズ
画面視野(um)
画素分解能(um)
モニタ倍率
線幅精度(um)
※繰返し精度は、弊社オ
ートフォーカス（AF/σ
100 倍
48×60
0.04
5400 倍
0.01
50 倍
96×130
0.08
2700 倍
0.02
20 倍
240×320
0.20
1100 倍
0.05
10 倍
480×640
0.40
550 倍
0.10
０回測定した３σの値で
5倍
960×1280
0.80
225 倍
0.20
す。(サンプルの条件によ
※210 万画素カメラ ADP-210B にて測定
‐D）を使用し、サンプ
ルの入れ替えはなしで、
照明等同じ測定条件で１
り上記と異なることがあ
ります)
システムブロック図
※ ご使用の顕微鏡によ
っては、RS-232C で制御
が可能です。
■販売代理店
■開発元
（ 2006.7 ）