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SEM 用品／その他器材
ゲルパック (Gel-Pak)
最新テクノロジーを確実にガードする究極のチップ＆ウェハーキャリア
[アプリケーション]
光電子工学・半導体デバイス・センサー・マイクロメカニカルデバイス・ハードドライブヘッド・生体デバイス・試料の保管
[　特　徴　]
● ゲルパックシリーズは、傷の付き易い試料や部品の保護、保管、持ち運びのためにデザインされており、ゲルが収納品を
確実に保持するため、移送中の振動で発生する静電気や収納品の破損・反転等を防ぎます。
● 高度に架橋されたゲルポリマーは、粘着力によってではなく、部品表面との摩擦力及び界面力によって部品を確実にキャ
リア上に保持することができ、また、ピンセット等により簡単に取付け・取外しができます。
● ゲルは非常に用途が広く耐久性があり、特性は-40℃～220℃まで変わりません。※ケースの耐熱温度は70-80℃です。
● ゲルの保持力はリテンションレベルにより変化します。
リテンションレベル( R LV )のガイドライン
Low (0) : 高度に研磨された表面　Medium (4) : エッチングされた表面　High (8) : セラミック等粗い表面
※この他、XT(Very Lowタイプ)、X5タイプも選択可能です。
● ケース及びトレイの材質特性
T : クリアースチレン(静電放電に敏感ではない部品用・透明)
C : 導電性ブラックポリカーボネート(静電放電からの保護)
AS : 帯電防止クリアープラスチック(高視認性・半透明)
※ 組み合わせによるコンビネーションが可能です。
● プリント (特別注文)　AD-22CAS-00-X0-P0016A (5×5)
様々な種類のグリッドパターンをプリントすることができます。グリッドパターンはメーカーホームページにあるリスト
をご参照ください。メーカーホームページ：http://www.gelpak.com/psw/prints.asp
[　技 術 情 報 ]
● ゲルの吸水率：25℃、７日間浸漬後 - 0.1%以下
● ゲルの引張強度：50kgf/cm2
● ゲルの体積固有抵抗：2×1015Ω/cm
● ゲルの絶縁破壊強度：22kv/mm
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SEM 用品／その他器材
[ ADシリーズ ]
キャリアケースの底にゲルを直接塗布したボックスタイプ。大型サブストレート、モジュール、パッケージドデバイス等の
移送・搬送・保管に使用されます。
品番ガイド：
ゲルの保持力：XT, X0, X4, X5, X8から選択可能 (XT, X5は特別注文)
Gel-Box (AD)
ケース種類：[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能)
[ BDシリーズ ]
キャリアケース内に、ゲルを塗布した取外し可能なトレイが備えられています。トレイの耐熱温度70-80℃。有効サイズ
38.1×38.1mm(空間サイズ1.65mm)。トレイの材質は、クリアースチレン(T)と導電性ブラックポリカーボネート(C)の2種
類があります。BDシリーズはインラインで装置に投入する場合等、トレイに小型チップを搭載するのに使用されます。
品番ガイド：
ゲルの保持力：XT, X0, X4, X5, X8から選択可能
Gel-Tray (BD)
トレイ収納方法：[02] トレイをキャリアケースに収納するタイプ
トレイ種類：[T] 又は [C]　ケース種類：[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能)
[ CDシリーズ ]
キャリアケース内に、ゲルを塗布した取外し可能なガラススライドが備えられています。ガラススライドの耐熱温度は220℃
迄。有効サイズは49.3×49.3mm(空間サイズ5.45mm)。CDシリーズはガラストレイに小型チップを搭載し、高温下での実
験、作業をするのに適しています。
品番ガイド：
Gel-Slide (CD)
ゲルの保持力：XT, X0, X4, X5, X8から選択可能
トレイ収納方法：[02] ガラストレイをキャリアケースに収納し、リテイナーで固定するタイプ
トレイ種類：[T] 又は [C]　ケース種類：[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能)
サイズ
11T
11C
22
23
803
1135
内寸 (mm)
25.4 × 25.4 × 6.4(h)
25.4 × 25.4 × 12.7(h)
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
50.8 × 76.2 × 9.5(h)
63.5 × 89 × 12.7(h)
89 × 114 × 12.7(h)
有効サイズ (mm)
19 × 19
44.5 × 44.5
44.5 × 70
57 × 83
----
空間サイズ (mm)
4.2
9.5
4.2
7.1
9.5
----
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[ VRシリーズ 2インチ・4インチ]
VRシリーズはトレイ上にメッシュを敷き、その上にゲル膜を貼ったトレイタイプです。VRシリーズには、キャリアケースへ
収納するタイプと、カバーを被せて専用クリップで固定するタイプがあります。VRシリーズは真空装置を使用することで容
易に部品を取り外すことができます。真空ピンセットを用いて取り扱われるチップ部品に適しています。
トレイメッシュサイズ：#16・#33・#76・#103・#137・#195
VR機能を最大限に生かすために、チップのサイズに合わせメッシュサイズを選択します。
※ メッシュサイズ16(～195)は1インチ四方当たり16本(～195本)の糸でメッシュが組まれています。
VR シリーズ推奨メッシュサイズ
チップサイズ
VRシリーズは、右図の様にトレイとゲル(B)の間に真空用通路を作り出すためにメッシュ(C)を施しています。チップ又は
ウェハー(A)を保持する時には面接触で行い、取り出しの時にトレイの下から真空に引くことにより、チップ又はウェハー
(A)の吸着面のゲルを部分的(強制的)に引き離し、点接触に近い状態にします。
VR-meshCC-02-Xn　VR-meshCT-00B-Xn　GP-CLIP-22C　GP-CLIP-22T　ゲルの保持力：XT, XL, X4, X8から選択可能 (X8はﾒｯｼｭｻｲｽﾞ#16･#33のみ)
トレイ収納方法：[02] VRトレイをキャリアケースに収納するタイプ (2ｲﾝﾁﾀｲﾌﾟのみ)
[00B] VRトレイにトレイカバーを被せ、専用クリップ(GP-CLIP)で固定するタイプ
トレイ種類：[T] 又は [C]　ケース種類：[T] [C] [AS] (組み合わせによるコンビネーションが可能)
品番ガイド(2ｲﾝﾁ)：
品番ガイド(4ｲﾝﾁ)：
※ 4インチ以上の大型ウェハー用をご希望の際はご相談ください。
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[ WFフィルム ]
ポリエステルフィルムの上に直接ゲルを塗布し、その上にセロハン紙
を重ねた三重構造のシート状になっています。セロハン紙を剥がした後チップを載せます。　ゲルの保持力：XT, X0, X4, X8から選択可能
シートサイズ：2×2インチ角(20)～7×7インチ角(70)まで0.5インチ刻みで選択可能 (標準厚み6mil)
(20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55, 60, 65, 70)
接着剤使用指定：A (接着剤はゲル片面のﾎﾟﾘｴｽﾃﾙﾌｨﾙﾑに直接付いています)
品番ガイド：
[ ハンドバキュームポンプ VHP-24 ]
バキュームプレートVP-24付。ハンドバキュームポンプはピス
トル型の引き金を引くことによって真空を引くことができま
す。バキュームプレートは2インチ／4インチVRシリーズに使
用できます。真空は635mm/Hgまで引くとチップの取り外し
がスムースにできます。
[ バキュームステーション VRS-24 ]
バキュームプレートVP-24付。ON/OFFスイッチで真空引きを
コントロールします。バキュームプレートは2インチ／4イン
チVRシリーズに使用できます。真空は635mm/Hgまで引くと
チップの取り外しがスムースにできます。
[ ペンバック ]
真空吸着式部品ピックアップです。(真空機能内蔵型)
2種類のノズル、3種類の吸着カップが付属されています。
自重：17g　吸着カップ：ESD≦108Ω
吸着カップ型番
吸着カップ径 (mm)
最大吸着引力
PV125
φ 3.2
5g
PV250
φ 6.4
40g
PV375
φ 9.5
80g
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【 AD シリーズ 】
Cat No.
AD-11T-00-X0
AD-11T-00-X4
AD-11T-00-X8
AD-22T-00-X0
AD-22T-00-X4
AD-22T-00-X8
AD-23T-00-X4
AD-1135T-00-X4
AD-11C-00-X0
AD-11C-00-X4
AD-11C-00-X8
AD-23C-00-X4
AD-22C-00-X0
AD-22C-00-X4
AD-22C-00-X8
AD-22CAS-00-X0
AD-22CAS-00-X4
AD-22CAS-00-X8
AD-803CAS-00-X0
AD-803CAS-00-X4
AD-803CAS-00-X8
AD-22AS-00-X0
AD-22AS-00-X4
AD-22AS-00-X8
内寸 (mm)
材質
25.4 × 25.4 × 6.4(h)
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
T
50.8 × 76.2 × 9.5(h)
89 × 114 × 12.7(h)
25.4 × 25.4 × 12.7(h)
50.8 × 76.2 × 9.5(h)
C
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
CAS
63.5 × 89 × 12.7(h)
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
AS
内寸 (mm)
材質
R LV
0
4
8
0
4
8
4
4
0
4
8
4
0
4
8
0
4
8
0
4
8
0
4
8
1ヶ
1,600
2,300
3,500
1,900
2,400
価格 ( 円 )
50 ヶ
50,000
55,000
62,000
68,000
62,500
116,000
56,500
62,000
74,000
73,000
79,500
2,800
85,500
93,500
3,000
99,000
3,400
110,000
2,700
85,500
89,000
【 BD シリーズ 】
Cat No.
BD-22TT-02-X0
BD-22TT-02-X4
BD-22TT-02-X8
BD-22CC-02-X0
BD-22CC-02-X4
BD-22CC-02-X8
BD-22CAS-02-X0
BD-22CAS-02-X4
BD-22CAS-02-X8
ﾄﾚｲ：T
ｹｰｽ：T
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
ﾄﾚｲ：C
ｹｰｽ：C
ﾄﾚｲ：C
ｹｰｽ：AS
R LV
0
4
8
0
4
8
0
4
8
入数
R LV
0
4
8
0
4
8
入数
価格 ( 円 )
90,000
142,000
50
103,000
113,000
116,000
128,000
【 CD シリーズ 】
Cat No.
CD-22TT-02-X0
CD-22TT-02-X4
CD-22TT-02-X8
CD-22CAS-02-X0
CD-22CAS-02-X4
CD-22CAS-02-X8
内寸 (mm)
材質
T
50.8 × 50.8 × 6.4(h)
AS
価格 ( 円 )
96,000
50
104,000
110,000
120,000
※ VRシリーズ・WFフィルム・バキューム治具・ゲルパックへのプリントをご希望の際は、弊社までご連絡ください。
価格及び納期を確認の上、速やかに御見積り申し上げます。
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