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Kobe University Repository : Thesis 学位論文題目 Title 逆導通パワーデバイスによる高周波インバータと強力超 音波応用に関する研究 氏名 Author 畑中, 義博 専攻分野 Degree 博士(工学) 学位授与の日付 Date of Degree 1987-04-24 資源タイプ Resource Type Thesis or Dissertation / 学位論文 報告番号 Report Number 乙1084 URL http://www.lib.kobe-u.ac.jp/handle_kernel/D2001084 ※当コンテンツは神戸大学の学術成果です。無断複製・不正使用等を禁じます。 著作権法で認められている範囲内で、適切にご利用ください。 Create Date: 2017-03-30 神 戸 大 学 博 士 論 文 逆導通パ ワーデバ イスによる高周波 インバー タと 強力超音波応用 に関す る研 究 昭 和 畑 6 2年 3 月 中 義 博 F ii i ]巨頭 E T E喜: 闇 本論 文 は 、神 戸 大 学 工 学 部 電 気 工 学 科 丸橋 徹 教 授 お よび 中 岡 陸 地 助教 授 の 御 指叫 の も とに、 昭和 4 9年 か ら 12年 間 に亙 り、強 力 超 音 波 励 振 源 と して の 、 逆 蒔通 パ ワーデ バ イス に よ る高周 波 イ ンバ ー タに関 して 研 究 して きた成 果 を ま と め た もの で あ る。 従 来 、強 力超音 波 の 高周 波 電 源 に は 、真 空 管 や トラ ンジ ス タに よ る発 振 増 幅 器 が使 わ れ て い たが 、 S C Rが商 品化 され る と、 高効 率 大 電 力 動 作 に お いて優 るサ イ リス タ高周 波 インバ ー タ方 式 が実 用 され る よ うにな った。強 力 超 音 波 応 用 に お け るサ イ リス タ高周 波 インバ ー タの 適 用 に お いて は 、電 気 一概 械 一音 響 変 換 系 と しての超 音 波 振 動子 系 に お け る負 荷 特 性 の把 握 、 お よび 、 イ ンバ ー タ固持 の実 際 面 に即 した周 波 数 限 界 さ らに は転 流 重複 現 象 の解 析 な どが 重要 な 課 題 で あ った 。 また、 近 年 の 自己消 弧 素 子 の 開 発 、進 展 に伴 い、従 来 の サ イ リス タ インバ ー タ 方 式 に加 えて 、出力 容 量 、出 力 周 波 数 に応 じた電 力 用 半 群 体 素 子 に よ る高周 波 イ ンバ ー タの 開発 が急 務 とな った。 本 論文 で は、 これ らの 問題 に対 して 、強 力 超 音 波 応 用 に お け る数 KHzか ら数 十 K Hzの用 途 に対 して は高速 サ イ リス タを用 いて 、 また、数 百 KHz以 上 の用 途 には S IT (静 電 鼓等 トラ ンジ ス タ) の適 用 に よ り、高 周 波 インバ ー タの 改 良 お よび 開 発の ため の過 渡 ・定 常 特 性 解 析 並び に 回 祐 実 設 計 な どの 研 究 を行 って い る。 第 1章 で は 、電 力 用 半 群 体 素 子 の歴 史 的 な技 術 背 景 の も とに 、強 力 は 音波 発 掘 装 置 と して の 高周 波 インバ ー タに 関 して 、従 来 方 式 直列 共 振 形 か ら逆 群 通 サ イ リ ス タ方 式 に い た る研 究 上 の 問題 点 とその 技 術 的 発展 の 過 程 につ いて述 べて い る。 さ らに 、近 年 の よ り一層 の 高周波 化 の 要 望 と自己消 弧 素 子 の発 展 に伴 う 、S IT 高周波 インバ ー タの 開発 につ いて述 べ た後 、本 研 究 の 目的 お よび 概 要 につ いて触 れて い る。 第 2章 で は 、 まず 、強 力 娼 音 波 振 動子 系 の電 気 一機 械 一音響 変 換 の 基本 原 理 に 基づ く負荷 等 価 回 指 を も とに 、逆 鞘 通 サ イ リス タ方 式 基本 形 高 周 波 インバ ー タに 関 して、無 次 元化 の 手 法 を群 人 した定常 特 性 解 析 に よ り、転 流 余 裕 時 間 との 関連 に おけ る発掘 動 作 域 お よび 発 振 周 波 数 限界 な ど を明 らか に して い る。 さ らに、 固 持投計前 段 で必要 ときれ るス イ ッチ ン グ素子 の 動 作責 務 、人 ・出 力 波 形 評 価 お よ び 諸特性 立 につ いて述 べ る と とも に 、実 験 結 果 よ りそ の理 論 を裏 付 け て い る。 第 3章 で は、第 2章 で述 べ た逆 群 通 サ イ リス タ方 式 基 本 形 高 岡 波 インバ ー タの /dtの軽 減 な どを 目的 発掘 周波数限 界 の 向上 お よび サ イ リス タオ ン電 流 上 昇 率 di とす る、転流 重複現 象 を積 極 的 に取 入 れ た固 持 方 式 を検 討 して い る。 す な わ ち 、 Ⅰ 逆 尊 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 高周 波 インバ ー タの定 常特 性 解析 と評 価 を中心 に 、 転 流 重複 糾 問 の 大 小 に影 響 す る諸 因 子 と定 常 特 性 の 関 係 を明 らか に して い る。 ま た 、 従 来 形 イ ンバ ー タ との特 性 比 較 よ り、 改 良形 が強 力 超 音 波 振 動 子の よ うな回 指 の 尖 鋭 度 の 高 い負 荷 に適 して い る こ とを特 徴 付 け て い る。 第 4葦 で は 、 第 3章 の 逆 斗 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 高 周 波 インバ ー タの安 定 動 作 の 組 点 か ら、 起 動 時 お よび 負 荷 急 変 時 の 過 渡 特 性 解 析 と評 価 に焦 点 を絞 り、従 来 形 インバ ー タ との 特 性 比 較 、 お よび 過 渡 特 性 と定 常 特 性 の 比較 よ り、転 流 余 裕 時 間 に よ る安 定 動 作 域 を提 案 す る と とも に 、代 表 的 無 次 元 化 固 持 パ ラ メー タに お け る実 験 結 果 よ りそ の 諸 特 性 を明 らか に して い る。 第 5葦 で は 、 第 3葦 、第 4章 で述 べ た逆 斗 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 高周 波 イン バ ー タの 発 振 周 波 数 限 界 を上 回 る、 8 0KHzの 発 振 動作 が 可 能 な逆 i #通 サ イ リス タ方 式 新 形 高 周 波 インバ ー タ と して の 2倍 周 波 イ ンバ ー タを提 案 して い る。 その 過 渡 ・定 常 特 性 解 析 よ り、従 来 の電 圧 形 、 電 流 形 の 欠 点 を改 善 す る折 中 形 と して の 特 長 を明 らか に して い る。 第 6章 で は 、 数 百 KHz帯 の強 力 超 音 波 応 用 に対 応 す る静 電 誘 串 トラ ンジ ス タ方 式 新 形 高 周 波 インバ ー タの 開 発 に つ いて 述 べ て い る。 これ は 、第 5章 で述 べ た逆 導 通 サ イ リス タ方 式 新 形 高 周 波 インバ ー タ と して の 2倍 周 波 インバ ー タの 利 点 を いか しつ つ 、 そ の 欠 点 を S ITの 適 用 並 び に 回 指 構 成 の 適 切化 に よ り克 服 した も の で あ る。 そ の 過 渡 ・定 常 特 性 解 析 に お いて 、ゲ ー トパ ル ス幅 の 影 響 を厳 密 に考 慮 した特 性 数 値 解 析 よ り出 力 電 力 の速 応 制 御 法 を提 案 す る と と もに 、 そ の特 性 評 価 を 、理 論 と実 験 の 比 較 対 照 よ り行 って い る。 第 7章 で は 、逆 鮮 通 パ ワ ーデ バ イス に よ る高周 波 インバ ー タの強 力 超 音 波 発 振 機 へ の 応 用 に 関 して 、 今 まで述 べ た各 種 インバ ー タの 中 か ら逆 導 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 高周 波 インバ ー タを取 りあげ 、強 力 超 音 波 振 動 子 の 負荷 特 性 解 析 に基 づ き、 そ の 固相 実 設 計 を実 施 す る と とも に 、強 力 超 音 波 発 振 機 と しての 性 能 を 、 シ ステ ム の駆 動 結 果 よ り評 価 検 討 して い る。 第 8章 で は 、以 上 の 研 究 成 果 の絵 描 お よび 展 望 に つ い て述 べ て い る。 Ⅱ 昔 と召 内容硬概 第 1章 序論 第 2章 逆 導 通 サ イ リス タ方 式 基 本 形 高 周 波 イ ン バ ー タ ・ コ ∵ 3日: 2. 1 緒 言 - (5) 2.2 2.3 2. 3. 1 2. 3. 2 強 力 超 音 波 振 動 子 系 の電 気 回路 モデ ル ・ ・ ・ (6) 基 本 形 イ ンバ ー タ ・ ・ ・ (8) 回持株 成 - (8) 動作原理 ・ ・ ・ (9) 2.4 定 常 特 性 解 析 ・ ・ ・ く11) 2. 4. 1 定 常 周 期 解 と諸 特 性 量 -(ll) 2. 4. 2 波形評価 -( 1 4) 2. 4. 3 転流余裕時間 - (1 5) 2. 4. 4 周波数 限界 ・ ・ ・ (1 6) 2.5 実 放 括 巣 と検 W' - (17) ・ ・ ・ (1 8) 2.6 緒 言 第 3章 逆 gF通 サ イ リス タ方 式 改 良 形 高 周 波 イ ンバ ー タ - 定常特性解析 - 3. 1 緒 言 - (1 9) 3.2 改 良形 イ ン バ ー タ ・ ・ ・ (20) 3. 2. 1 回持株 成 -(20) 3. 2. 2 動作原 理 -(20) 3.3 転 流 重 複 域 の 特 性 解 析 -( 21) 3.4 転 流 重 複 期 間 の 評 価 -( 25) 3. 4. 1 リア ク トル 比 の 影 響 ・ ・ ・ ( 25) 3. 4. 2 電 磁持 合度 の影響 ・ ・ ・ (26) 3. 4. 3 無 次 元 化 周 波 数 ,無 次 元 化 負 荷 の 影 響 -(27) 3.5 従 来 形 イ ンバ ー タ との 特 性 比 較 ・ ・ ・ (28) ・3. 5. 1 サ イ リス タ電 圧 / 電 流 責 務 -く28) 3. 5. 2 転 流余裕時 間 - (29) 3. 6 無 次 元 化 平 面 に お け る転 流 余 裕 時 間 ・ ・ ・ (30) 3.7 実 験 結 果 と検 討 3. 8 結 言 - (30) ・ ・ ・ ( 33) (1) 付 録 1 各 モ ー ド周 期 解 ・ ・ ・ (33) 付録 2 -(34) 第 4章 定常 諸特性 圭 逆 斗 通 サ イ リス タ方 式 改 良 形 高 周 波 イ ンバ ー タ - 過 渡特 性 解析 - 4. 1 緒 言 -( 36) 4.2 起 動 時 の 動 作 解 析 ・ ・ ・ ( 36) 4. 3 従 来 形 イ ン バ ー タ との 特 性 比 較 -(39) 4. 3.1 サ イ リ ス タ電 圧 / 電 流 最 大 値 -(40) 4. 3. 2 サ イ リ ス タオ ン電 流 上 昇 率 -・ く 41) 4. 3. 3 転流余 裕 時 間 -く 41) 4.4 過 渡 特 性 と定 常 特 性 の 比 較 -( 42) 4. 4.1 サ イ リス タ電 圧 / 電 流 最 大 値 ・ ・ ・ (42) 4. 4. 2 サ イ リス タオ ン電 流 上 昇 率 -( 44) 4. 4. 3 転 流 余 裕 時 間 に よ る安 定 動 作 域 -(44) 4.5 負 荷 急 変 時 の 動 作 解 析 -( 45) 4. 6 実 験 結 果 と検 討 -( 47) 4.7 結 首 ・ ・ ・ (50) 第 5章 逆 等 通 サ イ リス タ方 式 新 形 高 周 波 イ ンバ ー タ 5. 1 緒 言 ・ ・ ・ (51) 5. 2 -(51) 2倍 周 波 イ ンバ ー タ 5. 2.1 回 路 構 成 -( 51) 5. 2. 2 動作原理 -(5 2) 5. 3 動 作 解 析 -( 53) 5.4 定 常 諸 特 性 -(57) 5. 4. 1 直 流 リア ク トル の 効 果 -( 57) 5. 4. 2 キ ャパ シ タ ン ス比 の 影 響 -(59) 5. 4. 3 負荷話特性 -( 61) 5. 4. 4 周波数特性 -(61) 5. 5 過 渡 特 性 ・ ・ ・ ( 62) 5.6 過 渡 お よび 定 常 出 力 波 形 ・ ・ ・ ( 63) 5.7 結 言 -く64) 第 6章 静 電 誘 尊 トラ ン ジ ス タ方 式 新 形 高 周 波 イ ンバ ー タ 6. 1 緒 言 -( 65) 6. 2 主 回 路 構 成 と特 徴 -( 66) (2) 6.3 回 路 動 作 -( 67) 6.4 状 態 方 程 式 ・ ・ ・ (67) 6.5 ・ ・ ・ (72) ス イ ッチ ン グ モ ー ド 6. 5. 1 ゲ - トパ ル ス休 止 斯 間 を設 け た場 合 -(72) 6. 5. 2 ゲ ー トパ ル ス重 な り期 間 を設 け た 場 合 - (73) 6.6 定 常 特 性 -(73) 6. 6.1 ゲ ー トパ ル ス幅 の 影 響 ・ ・ ・ ( 73) 6. 6. 2 周 波数 特 性 ・ ・ ・ ( 75) 6. 6. 3 負荷 特 性 ・ ・ ・ ( 76) 6.7 過 渡 特 性 -(77) 6.8 括 首 ・ ・ ・ (78) 静 電 訴 # トラ ン ジ ス タ ドラ イブ 回 路 付録 第 7章 - (80) 逆 導 通 サ イ リス タ方 式 改 良 形 高 周 波 イ ンバ ー タの 強 力 超 音 波 発 振 機 への応 用 7. 1 緒 言 ・ ・ ・ (81) 7.2 強 力 措 音 波 ホ モ ジ ナ イザ の 負 荷 話 特 性 - (81) 7. 2. 1 強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ の 構 成 ・ ・ ・ (81) 7. 2. 2 油 深特 性 - (82) 7. 2. 3 ク リア ラ ン ス特 性 ・ ・ ・ (83) 7. 2. 4 粘度特性 - (83) 7. 2. 5 周波数特性 - (84) 7.3 高 周 波 インバ ー タ躯 動 強 力 は 音 波 発 振 機 の 設 計 - (85) 7・ 3. 1 設計概念 -(85) 7. 3. 2 設計デ ー タ ・ ・ ・ (86) 7・ 3・ 3 設計手順 ・ ・ ・ (88) 7・ 3・ 4 数値 設計例 -(90) 7・4 高 周 波 インバ ー 夕空 勤 強 力 描 音 波 ホ モ ジ ナ イザ ・ ・ ・ (92) 7. 4. 1 設計装置 - (92) 7. 4. 2 実 放 結 果 と検 討 -(93) 7.5 括 言 第 8喜 -(96) 捨論 ・ ・ ・ (97) 参考文献 (1 02) ・ ・ ・ 研究業援 - (1 06) 謝辞 ・ ・ ・ (111 ) (3) 第 序 1 章 言合 近年 、 高周 波 電 力応 用 の 一 環 と して 、強 力 超 音 波 お よび 講 等 加 熱 な どが 注 目 さ れ て い る。 これ ら高周 波 電 力 応 用 の 電 源 に は 、従 来 は真 空 管 あ る い は トラ ンジ ス タに よ る発 振 増幅 器 が実 用 され て い た。 しか し、真 空 管 発 振 増 幅 器 は効 率 が悪 く、 形 状 も大 き い し、保 守 設 備 負 が 高 くつ く。 また トラ ンジ ス タ発 振 増 幅 器 は 、大 電 力 動 作 の点 で 問題 が あ った 。 195 7年 に 、 サ イ リス タが 商 品化 きれ る と、 発 振 周 波数 限界 の制 約 は あ るが 、大 電 力 、 高効 率 動 作 に適 して い るサ イ リス タ イ ンバ ー タ方 式 が広 く用 い られ る よ うにな り、 サ イ リス タの 高 耐 圧 、大 電 流 化 並 び に高 速 化 が 進 ん だ 。 197 0年 代 に入 ると、 自己消 弧 素 子 が相 次 いで 開発 さ れ 、 高周 波 インバ ー タに多 大 な インパ ク トを与 え た。 そ の後 の 自己消 弧 素 子 の 進 展 は 、従 来 真 空 管 が採 用 され て い た 100m 2以 上 の 高周 波領 域 へ の S IT (静 電 誘 導 トラ ンジ ス タ) あ るい は M OSFETの 代 替 z帯 の 比 較 的 低 周 波 大 電 力 領 域 に は 、従 を促 進 しつ つ あ る。 これ に対 して 、数 KH 来 通 りの サ イ リス タ インバ ー タが実 用 に供 され 、 また 、数 KHZか ら数 十 KHzの 中 間 周 波数 領 域 で は 、 A - S C R (非 対 称 S C R) や GA T T (ゲ ー ト補 助 ター ンオ フサ イ リス タ) な どの 高速 サ イ リス タお よび B P T (バ イポ ー ラ トラ ンジ ス タ) が競 合 して い る。 本 研 究 は 、 この よ うな電 力 用 半 導 体 素 子 の 歴 史 的 な 技 術 背 景 を も とに 、 用 途 に 応 じた出力 周 波 数 、 出 力 電 力 の 高周 波 インバ ー タを開 発 しよ う とす るもの で あ る。 本 論 文 で は、 高 周 波 インバ ー タの 負 荷 と して強 力 招 音 波 振 動 子 系 ( 1 )-( 3 )を考 t 2か ら数 十 KHzの 用 途 に対 して は 、 高速 サ イ リス タに よ り、 また、数 百 川 え、数 Kl Z以 上 の 用 途 に対 して は 、 S ITの 適 用 に よ り高性 能 高 周 波 イ ンバ ー タを実 現 し て い る。 従 来 、 高速 サ イ リス タを用 い た 高周 波 インバ ー タに は、 直列 共 振 形 イ ンバ ー タが広 く実 用 され て きた。 これ は 、 高 周 波 化 に伴 う回 持 株 成 素 子 の小 形 化 が可 脂 で 、 比較 的広 い負 荷 範 囲 に お いて 、 出 力 波 形 が 正 弦 波 に近 く、 高効 率 動 作 が可 能 とい う理 由 に よ る。 数 川 2か ら数 十 m Zの 中 間周 波 数 領 域 に お け る直 列 共 振 形 高周 波 インバ ー タに 関 して は 、 196 2年 に 、 Thomp son氏 に よ りサ イ リス タを用 い た 2KW , 10KH2 の 高周 波 インバ ー タ (4) (5) が発 表 され 、 そ の後 、Okeke氏 や Revankar氏 らに よ り、主 と して 高周 波 訪 韓 加 熱 の電 源 く6)- (8) と して 発 展 した。 しか し、 サ イ リス タを用 いた直列 あ るい は直 並 列 共 振 固持 で は 、負 荷 変 動 や周 波 数 制 御 に伴 うサ イ リス タの 動 作 責 務 が厳 し く、 固 持 設 計 お よび 安 定 動 作 が 難 しい と い う問 題 が あ っ た。 これ に対 して 、 サ イ リス タに逆 並 列 に 高速 ス イ ッチ ング ダ イオ ー ドを接 続 し l た逆 串 通 サ イ リス タ方 式 が 19 6 7年 に M apham氏 に よ り発 表 (9 ) され 、 サ イ リス タの 動 作 責 務 の 緩 和 お よび 転 流 余 裕 時 間 の 増 大 に よ る転 流 安 定 度 の 向 上 が実現 し た 。 19 7 0年 代 に入 る と、逆 蒔 通 サ イ リス タの 開発 と相 ま って 、 Revankar氏 や Rosenberg氏 らに よ り高周 波 誘 串 加 熱 へ の応 用 を 目的 とす る逆 叫 通 サ イ リス タ 方 式 高周 波 インバ ー タの 研 究 が 次 々に報 告 (10)- (13)・ (16) され 、逆 蒔 通 サ イ リス タ方 式 が 中 間 周 波 数 領 域 に お け る主 流 とな った。 一 方 、強 力 娼 音 波 振 動 子 系 に逆 等 通 サ イ リス タ方 式 高周 波 インバ ー タを適 用 す る場 合 、従 来 そ の 動 特 性 に未 知 の 要 素 が 多 く、 回 路 設 計 前 段 で必 要 とされ る特 性 評 価 が 充 分 明 らか に さ れ て い な か っ た。特 に 、 周 波数 限 界 との 関 連 に おけ る転 流 重 複 現 象 の解 析 は 、 高周 波 電 力 応 用 に お け る重 要 な 課題 で あ った。 本 論 文 で は 、 これ らの 問題 を解 決 す る ため に 、 まず 第 2章 に お いて 、強 力 招音 波 振 動 子 系 を負 荷 とす る逆 祥 通 サ イ リス タ方 式 高周 波 インバ ー タの 動特 性 を明 ら か に した。 (17) (24)そ して 、 ター ン オ フ タ イム との 関 連 に お け る実 用 安 定 動 作 域 を無 次 元 化 平 面 に提 示 し、 回 路 設 計 基 準 を与 え るこ とに よ り、強 力 担 音 波応 用 へ の 道 を 開 い た。 さ らに第 3章 に お いて 、 周 波 数 限 界 向 上 の ため に 、転 流 重 複 朋 間 を根 極 的 に取 入 れ た回 指 方 式 を検 討 し、 新 た に 開 発 した転 流 重 複 期 間 の厳 密 解析 法 を も とに、 定 量 的 な特 性 評 価 を実 施 した 。 (25)- (31)以 上 の 研 究 に よ り、 中 間周 波 数領 域 に お け る強 力 は 音 波 励 振 源 と して の 逆 畔 通 サ イ リス タ方 式 高周 波 インバ ー タの実 用 周 波 数 限 界 の 問題 、 さ らに は 高周 波 化 に伴 うサ イ リス タの 動 作 責 務 の 問題 を解 決 した。 高周 波 インバ ー タの 固持 設 計 に お いて 、回 路 素 子 や ス イ ッチ ン グ素 子 の定格 を 検 討 す る場 合 、 一 般 に は そ の 定 常 特 性 値 を も とに決 定 す る。 しか し、逆祥 通 サ イ リス タ方 式 高 周 波 インバ ー タの場 合 、起 動 時 あ るい は負 荷 急 変 時の 退 場 状 態 に お いて 、安 定 動 作 上 最 も厳 しい値 を と る こ とが あ る。 さ らに 、起 動 時過 渡 動 作 に お いて 、転 流 余 裕 時 間 が 異 常 に小 さ くな る こ とに よ る不 安 定 現 象 の 問題 が あ り、 そ の ため の超 勤 回 指 、 あ るい は ソ フ トス ター ト回 路 が必 要 で あ った。 この過 渡特 性 解 析 に関 して は 、 Rosenberg氏 と Deuan氏 が 、 高 岡 披 講 等 加 熟 へ の 応 用 を 目的 と した限 られ た数 値 例 に お い て解 析 ( 32)して い るが 、特 性 評 価 が不 充 分 で 、実 際 の 負 荷 に適 用 す るに は 問題 が あ った。 第 4章 で は 、 この過 渡 状 態 に お け る不 安 定 問題 を解 決 す るため に、逆祥 通 サ イ リス タ方 式 高周 波 インバ ー タの 過 渡 特 性 解 析 と特 性 評 価 (33) (40 )を実 施 した。 そ の結 果 、過 渡 ・定 常 特 性 比 較 よ り、 そ の安 定 動 作 領 域 を提 案 す る と ともに 、設 計 基 準 を明 らか に した。 高速 サ イ リス タを用 い た 2 石 形 高周 波 イ ンバ ー タの実 用 周 波 数 限 界 は、従 来約 2 40K H z 程 度 で あ り、 それ 以 上 の 出 力 周 波数 が 要求 され る用 途 に た い して は 、従 来 、 時分割 方 式 (42)-(44)が採 用 され た。 時 分 割 方 式 は、 サ イ リス タの 時 分 割 に よ る群 通 お よび 負荷 分 担 に よ り、 サ イ リス タの ター ンオ フ タ イム に制 約 され ず に 出力 の 高周 波 化 お よび 大容 量 化 を実 現 す るもの で あ る。 この 時分 割 方 式 の 採 用 に よ り、 高周 波 電 力応 用 の各 分 野 に お いて は 、一 段 と大 電 力 高周 波 化 が 促 進 され た。 しか しなが ら、 時分 割 方 式 は、 時分 割 数 の 増 加 に伴 うス イ ッチ ング 素 子 数 の増 加 お よび 回指 構 成 が複雑 化 し、 そ の制 御 も難 しい。 第 5章 で は、 これ らの 問題 に対 して 、逆 祥 通 サ イ リス タに よ る新 方 式 高周 波 イ ンバ ー タと して 、2倍 周 波 高周 波 インバ ー タを開 発 し、 そ の 過 渡 ・定 常 諸特 性 5) (4 ( 47)を明 らか に した。そ の結 果 、サ イ リス タ インバ ー タの 回 指 の 簡 素 化 、 ロ ー コ ス ト化 を実 現 す る と と もに、 従 来 の 2石 形 サ イ リス タ インバ ー タの周 波 数 限 界 を は るか に越 え る 80K H z,600Wの 出 力 を可 能 に した。 H z 付 近 で あ ったが 、 従 来 、強 力 超 音波 振 動 子 の 共 振 周 波 数 帯 は 、 15-50K 最 近 は微 細 加 工 物 の 超 音 波 洗 浄 用 と して数 百 K H z 帯 の 周 波 数 利 用 も検 討 され て い る。 また、 高周 波 誘 導 加 熱 、 レーザ ー あ るい は ス イ ッチ ング レギ ュ レー タ方 式 D C- D Cコ ンバ ー タな どの 電 源 と して 、数百 K H 2か ら 1M H zの 高 周 波 電 源 の 開 発 が 望 まれ て い る。 これ ら高 周 波領 域 の 用途 に対 して は 、 ター ン オ フ タ イム の 制 約 の あ るサ イ リス タ系 列 の ス イ ッチ ン グ素 子 で は対 応 が難 しい。 これ まで に 、100 z の 高出 力 高周 波 電 源 と して は 、 S ITお よび M OSFETを用 い た mzか ら lMH 種 々の 回 路方 式 が絹 告 (48)-(52)され て い る。 な か で も、 高 出力 化 の租 点 か らは 、M OSFETの数 倍 の素 子 客 車 を有 す S IT高周 波 インバ ー タが 注 目され て い る 。 S IT高周波 インバ ー タに は 、電 圧 形 (48)(50)と電 流 形 ( 49)が あ り、 それぞ れ一 長 一短 が あ る。 す な わち 、電 圧 形 の 場 合 、串 通 損 失 が 小 さ い反 面 、停 電 時 や 負 荷 短絡 時 の 保護 が難 し く、デ ッ ドタ イム を厳 密 に設 け ね ば な らな い。 一方 、電 流 形 は 、過 電 流 保 護 が容 易 で あ る反 面 、一 般 に、逆 耐 圧 の 関 係 上 、 S ITに直 列 にダ イオ ー ドを接続 す る必 要 が あ り、導 通 損 失 も大 き い。 第 6章 で は 、第 5章 で述 べ て い る新 方 式 高周 波 インバ ー タに S ITを適 用 す る こ とに よ り、従 来 の電 圧 形 、電 流 形 に対 して全 く新 しい固 持 構 成 の 2倍 周 波 S I T高周 波 インバ ー タを開発 し、400K H zの 高周 波 出 力 を実 現 した 。 く51) ( 53)こ れ は、電 圧 、電 流 折 中 形 とも呼び う るもの で 、両 方 式 の特 長 を兼 ね備 え た もの と な って い る。 さ らに、パ ル ス幅 制 御 動 作 の影 響 を厳 密 に考 庶 した特 性 数 値 解析 を 明 らか にす るこ とに よ り、 高周 波 出 力 電 力 の速 応 制 御 を実 現 して い る。 強 力 超音 波 振 動 子系 の 高周 波 電 源 に、 高 周 波 インバ ー タを適 用 す る場 合 、従 来 電 気 端 に お け る超 音 波 振 動子 系 の入 力 負 荷特 性 が解 明 され て お らず 、そ の 設 計 法 も未 発 展 の 段 階 で あ っ た。 3 第 7章 で は 、 以 上 の 諸特 性 解 析 結 果 をふ まえて 、第 3章 、 第 4章 で述 べ た逆 群 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 高 周 波 インバ ー タに よ る強 力 超 音 波 発 振 装 置 の実 設 計 お よび シ ステ ム評 価 を行 っ た。 まず 、電 気 一機 械 一音響 系 に お け る強 力 超 音 波 振 動 子 系 の 電 気 端 に お け る人 力 諸 特 性 (54) ( 55)を分 析 した。 そ の 負 荷 諸特 性 か ら求 め た負 荷 等 価 回 定 数 に 基 づ くインバ ー タ回 指 の 設 計 手順 お よび 回 路 実 設 計 を明 らか に した 。 さ らに 、 試 作 装 置 を製 作 し、 シ ステム の 有 効 性 を実 証 した。 以 上 が本 論 文 の 主 題 の展 開 で あ るが 、そ の研 究 過 程 は 、 高周 波 化 の歴 史 その も の と言 え よ う。最 近 の 高 周 波 半 群 体電 力 素 子 の 進 歩 は著 し く、今 後 益 々高周 波 化 が 促 進 され る と考 え られ るが 、本 研 究 が 高周 波 電 力 応 用 の 一 助 とな れ ば幸 いで あ る。 4 第 三 三 章 逆 高 i # 通 周 波 サ イ イ リ ス ニノ )ヾ - タ プヲ 式 基 本 型 タ 2. 1 緒 言 超 音 波 を エ ネル ギ ー と して利 用 す る強 力 娼 音 波 の 応 用 ( 1)-く 3)と して は 、乳 化 分 散 、 洗 浄 、 溶 接 、加 工 、 切 削 を は じめ と して 、 メ ッ キ お よび 集 塵 な ど多 岐 に わ た って い る。 な か で も 、 乳 化 分 散 作 用 を利 用 した強 力 超 音 波 ホ モ ヅ ナ イザ 日日 2) は 、 最 近 省 エ ネル ギ ー 低 公 害 燃 料 と して の エ マ ル ジ ョン燃 料 を生 成 す る装 置 と し て 関 心 が 高 い。 強 7]娼 音 波 ホ モ ジ ナ イザ は振 動 面 の キ ャ ビテ ー シ ヨン (空 洞 現 象 ) を 、 また洗 浄 機 は 洗 浄 液 中 の キ ャ ビテ ー シ ヨン を利 用 す る。 この キ ャ ビテ ー シ ヨ 2の 比 較 的 低 い周 波 数 帯 で 発 生 し ン は 、 超 音 波 の 周 波数 帯 の 中 で も 15- 50KH や す い。 これ ら強 力 超 音 波 応 用 の 高 周 波 電 源 と して 、 従 来 は 真 空 管 発 振 増 幅 器 が 用 い られ て い た。 真 空 管 発 振 増 幅 器 は 、数 KH2か ら数 百 KHzの 広 い周 波 数 帯 に お い て 、大 電 力 高 周 波 発 掘 動 作 が 可 能 で あ る が 、 効 率 が悪 く、 形 状 も大 き い し、 保 守 設 備 鼓 が 高 くつ くと い う欠 点 が あ っ た 。 これ に対 して 、 最 近 の電 力 用 半 導 体 素 子 2か ら数 十 KHzと い っ た 中 間 周 波 数 領 域 に お いて は 、真 空 管 発 の 進 展 に伴 い 、 数 KH 掘 増 幅 器 に 代 って 、A -SCRや GA TTな どの 高 速 サ イ リス タお よび BP T を 用 い た 高 周 波 インバ ー タが 実 用 き れ る よ うに な っ た 。 サ イ リス タ高 周 波 イ ンバ ー タ と して は 、 これ まで に 直 列 共 振 形 お よび そ の 改 良 ll)が 、主 と して 講 等 加 熱 用 の 高 周 波 電 源 と して 広 く実 用 さ れ て き た。 直 形 (4) ( 列 共 振 形 の 場 合 、 高 周 波 化 に伴 い 回 持 株 成 素 子 の 小 形 化 、 高 効 率 動 作 が 可 能 で 、 比較 的 広 い負 荷 範 囲 に お い て 出 力 波 形 が 正 弦 波 に近 い とい う利 点 を有 す 。 しか し、 負 荷 変 動 や 周 波 数 制 御 に伴 うサ イ リス タの 動 作 責 務 が 厳 し く、 固 持 設 計 お よび 安 定 動 作 が難 しい とい う問 題 が あ っ た 。 これ に対 して 、 高 速 サ イ リス タに逆 並 列 に 高速 ス イ ッチ ン グ ダ イオ ー ドを接 続 した逆 等 通 サ イ リス タ方 式 直 列 共 振 形 高 周 波 インバ ー タ (12) く 22) は 、 直 列 共 振 形 の 特 長 に加 え て 、 無 効 電 力 の 有 効 処 理 、 転 流 安 定 度 の 向 上 さ らに は 、 サ イ リス タ部 の 順 逆 尖 頭 電 圧 が 低 く、 固 持 の 尖 鋭 度 の 高 い負 荷 に適 す な ど、種 々の 特 長 を有 す 。 逆 叫 通 サ イ リス タ方 式 高 周 波 イ ンバ ー タの 固 持 解 析 と して は 、 Revankar氏 ら が 、誇 称 加 熱 系 へ の 応 用 を 目的 と した ブ リ、 ソジ 形 の R-L負 荷 に お け る近 似 的 手 法 に よ る定 常 解 析 結 果 を報 告 (10)(1日 して い る。 しか し、 設 計 前 段 階 で 要 求 され る この 種 の イ ンバ ー タの特 性 評 価 に 関 して は 、 ほ とん どな さ れ て お らず 、 さ らに 、 本 章 で 論 じて い る インバ ー タ回 路 の 転 流 余 裕 時 間 を考 牒 した安 定 動 作 域 の 検 討 、 お よび 回 拷 設 計 法 な どは 、未 開 拓 の 分 野 で あ る。 5 本 章 で は 、 強 力 超 音 波 応 用 の 高周 波 電 源 と して適 して い る逆 i #通 サ イ リス タ方 式 基 本 形 高周 波 イ ンバ ー タ (17)I (24)を取 りあげ 、 まず 電 気 一音 響 変 換 の基本 原 )(2) を蒔 いて い る。 さ 理 か ら強 力 超 音 波 振 動 子 系 と して の 負 荷 等 価 回 指 モデ ル (1 らに 、 そ の 結 果 に基 づ き、設 計 前 段 階 で 必 要 な 諸 特 性 評 価 お よび 回路 設 計 基準 を 示 す と と も に 、実 験 に お いて 検 討 した結 果 につ いて説 明 を加 え て い る。 2.2 確 7]超 音 波 振 動 子 系 の 電 気 回 指 モデ ル 強 力 担 音 波 振 動 子 系 は 、 高 周 波 電 源 と しての 電 気 系 と、電 気 的 人 力 に よ って発 生 した横 械 振 動 を 、 目的 とす る負 荷 に伝 達 す るため の カ プ ラを含 め た機 械 系 、 さ らに は治 体 や気 休 な どの 媒 体 の 振 動 に よ る音 響 系 か ら 電 気系 故械系 F( dyne) 青書系 音圧 P (L Lb ar) 宅庄 V(V) 力 モ涜 Ⅰ( A) 速度 V ( C■ l ′S) 体は速度 横 械 インピーダ ンス 音y イン ピーダ ンス な る。 従 って 、強 力 超 音 波 振 動 子 インビ-ダ ンス ZくC L ) 系 の解析 にお いて は、機械系 、音 抵抗 RくQ) W( cI) /S Zb ( dyne /CJ L /S) Za(F Lb ar / cd I } /i) 横械抵 抗 音y抵抗 h( d y n e / c d L / S ) ra(L Lbar / C叶3 / S) 響 系 の 物 理 的 動 作 、 状 態 を電 気 系 に 置 換 えて 考 察 す る必 要 が あ る。 ma( 名 ′C 14) (H) キ ャパ シ タン ス コンプ ライア ンス コンプラ イアンス 表 1は 、機 械 系 、 音 響 系 の 活 量 を 電 気 系 に類 推 す る場 合 の 対 応 を示 表 1 電 気 一機 械 一音 響 系 の対 応 す もの で あ る。 )(2)は 、電 わ い形 振 動 子 と磁 わ い形 振 動 子 とに大 別 され る。 強 力 娼 音 波 振 動 子 (1 電 わ い形 振 動 子 は 、電 界 を加 え る こ とに よ り、 また磁 わ い形 振 動 子 は 、磁 界 を加 え る こ とに よ りそ れぞ れ ひ ず み を生 じる こ とを利 用 す る。従 って 、前 者 は電 圧 躯 勤 、後 者 は電 流 駆 動 で あ るが 、 一 般 に 、 高 い周 波 数 領 域 で は電 わ い形 振 動 子 が 、 低 い周 波 数 領 域 で は磁 わ い形 拓 軌 子 が用 い られ る。 な か で も 、電 わ い形 振 動 子 と しての チ タン酸 鉛 系 セ ラ ミ ッ ク ス と金 属 ブ ロ ッ ク をボ ル ト締 め で一 体 化 したボ ル ト締 め ラ ンジ ュバ ン振 動 子 は 、 高効 率 、 高 出 力 電 力 用 と して開 発 され た もの で 、 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ や 超 音波 洗 浄 機 な どの 10- 5 0KHzの 周 波数 帯 で主 に使 用 古れ る. 従 って 、 以後 強 力 超 音 波 振 動 子 と して 、電 わ い形 ボ ル ト締■ め ラ ンジ ュバ ン振 動 子 を考 え、 そ の 電 気 回 路 モデ ル に つ いて述 べ る。 一 般 に 、強 力 娼 音 波 振 動 子 と して の 電 わ い形 振 動 子 に 、交 流 電 界 を印加 した と 日 きの 起 励 力 お よび 電 流 の 電 気 一音 響 変 換 基 本 式 (1 2) は下 式 で 与 え られ る。 f T=-Å寸+乞bひb i=寸 d寸+Aか b F :起 励 力 Å :力 係 数 ・ ・ ・(I ) - (2) 寸 :交 流 印加 電 圧 6 Ⅰ :電 流 Lrb :振 動速度 Zb :振 動子 系 の機 械 イン ピーダ ンス Yd :制動 ア ドミタン ス 屯那 賀 劇 馴馴馴馴鮎 . P L J で あ る。 すなわ ち、(1)式 で は単位 の電 圧 に よって機械 振 動系 に誘起 きれ る力 で あ l り、(2)式 に おいて は振 動子 の単位 の 振 動 誓 .[ ︰ .仕 ここで 、A は電 気系 と機械 系 の変 換係 数 速度 に よ って訴g Fきれ る電 流 で あ り、 と 1: A もに同 じ値 と しての力係数 といわれ る。 また Yd は、振動 部 を制動 した状 態 で測 定 図 1 電 わ い形 振 動 子 系 等 価 回指 したア ドミタンスで、振 動 に関係 な く存 在 す る。機 械 端 子 に音響 イン ピー ダ ン ス Z.を接続 した ときの電 わ い形振 動 子 の等 価 回路 を図 1に示 す 。 これ は、表 1を も とに、速度 を電 流 に、起軸 力 を電圧 に 対応 させ るカ ー電 圧法 に よ り機械 振動子 Lb IA Cb Rb 系 を電気 的 に表示 した もの で あ る。 この 場合 の逆 起励 力 F'は、 卜 =え. LTb 吉b b :A T SS/N : ・ ・ ・(3) 芸三 三: / ,f2 起刷力 と逆起 励力 との 関係 よ り、 良=一之.ひ b x ・( 4) aiX a /x 2 ・・ 従 って 、 Lrb と V との 関係 は(1 )式 よ り、 けb=Å寸/ (乞i+えb ) -(5) 図 2 電 気 一音 響 変 換 負荷 等 価 回路 (5)式 をも とに電 気端 か らみ た ア ドミタン ス Y -は、 Y. =Yd+AA/ (Za+Zb )=Yd+ヤ D 。 Yl:自由 ア ドミタンス Ym 。:動 ア ドミタンス =Yf -Yd - (6) ここで 、 Yfは振動 郎 が 自由に振 動 す る状 態 で測定 したア ドミタンスで 、 Y. "は 振 動誹 が振動 す るこ とに よ っての み存 在 す るア ドミタン スで あ る。 変換 器の機械 系 は、一般 に一 つ の共振 周波 数 を有 す単一 -共 振系 と して駆 動 す る ことが 多 い。 すな わち 、強 力超 音波 振 動 子系 は 、その機 械系 の振 動 振幅 が 最大 と な り、音響放 射系 に お いて キ ャ ビテ ー シ ヨンが托著 に現 わ れ る振 動 子 系 の 共 掘 周 波数 frの近 傍 で駆 動 す る。機 械系 と しての超 音波 振動子 系 の機械 イン ピー ダ ン は、その掘 動特 性 よ り等 価質 量 mい 等 価 ステ ィフネ ス Sb お よび 等 価 抵 抗 ス Zb rbか らな る単一 共振 系 と しての集 中 モデ ル と して下式 で表 せ る。 Zb=rb+ju。 mb+Sb /ju。 い ま、音響 放射 イン ピー ダ ンス Z▲を Z.=r.+jxi と考 え ると、音響 放 射系 の負荷 を含 め た機械 系 の全 イン ピー ダ ン スは、 7 えi+ Zb= (ri+ rb) + j (xi+ W omb- Sb/ U。) - (9) U. = (- Ⅹ.+√(Ⅹ.2+ 4mbSb))/ 2mb - (1 0) とな る。 こ こで 、 U,は機 械 系 の 共 振 周波 数 で あ る 。 (9)式 よ り、 図 1の 等 価 回路 は 、 電 気 端 か らみ た電 気 一音 響 変 換 負 荷 等 価 回指 と して 図 2の よ うに表 せ る。従 って 、 自由 ア ドミ タン ス Y-は Yt= Yd+ Yb } 。 =jU。Cd /U。)〉 + 1/(R▲+ Rb+ j(X,+ U。Lb- Cb - (ll) とな る。(ll )式 で表 され る電 わ い形 振 動 子 系 の ア ドミタン ス周 波 数 軌 跡 は 、一 般 に図 3の よ うに表 され る。 一 般 に 、 o rの 近 辺 で は 、電 わ い形振 動 子 系 の 電 気 端 か ら見 た等 価 回 路 は 、振 動 子 の 損 失 を無 視 す ると 、 図 4(a)の よ うに表 せ る。 こ こで Cdは制 動 キ ャパ シ タン ス を表 す 。 ま た 、 R、 L、 C直 列 共 振 回 指 は 、振 動 の 反 作 用 と して の 動 ア ドミタン . ),で は 、 L と C ス を表 す 各 定 数 で あ る。共 振 点 t → の 直 列 共 振 イ ン ピー ダ ン スがゼ ロ とな り、等 価 同 指 は 図 4(b)の よ うに表 せ る。 また 、 この等 価回 図3 G アドミタンス周 波 数 軌 跡 C)の よ うな R。- C。直 列 回 路 に置 換 え られ る。 こ こで 、 Rm。、 Cdと 指 は 、 図 4( R。,C。の 関 係 は 、 R.= R. n ./(1+(2 7 Tj,cdR . n 。)2) ・ ・ ・(12) C。=(1+(2 7 tf,cdRm。)2) ・ Cd/(2 7 TfrcdR, n 。)2 ・ ・ ・ (1 3) とな る。 2.3 基 本 形 インバ ー タ 2. 3.1 回 指 構 成 図 5 に 、強 力 超 音 波 電 源 と して の 逆 辞 通 サ イ リス タ方 式 基本 形 高 周 波 イ ンバ ー タ く15) 図4 (22)の主 回路 構 成 共 振 点 に おけ る負 荷 等 価 回路 と定 常 動 作 波 形 を示 す 。逆 導 通 サ イ リス タ方 式 と して 、 高速 ス イ ッチ ング サ イ リス タ Thl,T h2に逆 並 列 にそれぞ れ 高 速 ス イ ッチ ング ダ イオ ー ドDl,D2が 接 続 され て い る。 図 5に お いて 、一点 鎖 線 8 で囲 まれ て い る R-C3は 、篭 わ い形 招 音 波振 動 子 系 の共 振 点 に お け る等 価 回 路 と して の 出力 変 成 器 一 次 側 等 価 回路 定 数 を vc r , [ -Lc. vo l D o l vL T h h . 示 す。一 般 に 、強 力 超 音 波 振 動 子 系 の 共 振 点 に おけ る負 荷 等 価 回 招 定 数 は、 高 イ ン ピー ダ ン ス (高抵 抗 ) とな る。 一 方 、 高周 波 インバ ー タの特 質 上 、負 荷 定 数 は 低 イン ピー ダ ン ス (低 抵 抗 ) で あ る。従 って 、 出 力変 成 器 に よ りイン ピー ダ ン ス 変 換 を行 う必 要 が あ る。 この場 合 、 出 力 変 成器 の巻 数 比 は小 さ く、二 次 側 の巻 数 が大 き くな るが 、 これ は結 果 的 に 、電 わ い形 振動 子 の駆 動 条 件 と して の 高 出力電 圧堅 勤 を実 現 す る こ とに もな る。 2. 3. 2 動 作原 理 回路 動 作 お よび 定 常 特 性 解 析 に お いて 図5 は 、以下 の 仮定 を設 け る。 (1) 主 固持 構 成 と各 部 定 常 動 作 波 形 Thl,Th2,Dlお よび D2は理 想 ス イ ッチ ング 素 子 とす る。 ( 2) l 司路 構 成 受 動 素 子 お よび 配 線 に お け る損 失 分 、 さ らに 、 漂 遊 イン ダ ク タン ス、漂 逝 キャパ シ タン スは無 視 し う る もの と し、 ス イ ッチ ング素 子 問 の 転 流 重複 相 聞 は考 庶 しな い。 (3) 直流電 圧 源 E は 、 内 部抵 抗 の な い可 変 定 電 圧 源 とす る。 (4) 各 電 圧 、電 流 の 正の方 向 を図 5 の よ うに定 め る。 また、 解析 に 際 して は 、 回搾 設 計 に おけ る汎 用 性 を 目的 と して 、次 の無 次 元 化 lお よび人 を用 い る。 パ ラメー タI 山 =27 tf。√(LC), 入 =R/ 2√(L/ C) - (14) C=2C1C3 /(2Cl+C3 ), Cl=C2, Cl/ C= a, C3 / C= b 従 って 、山 は主 と して 出力 周 波 数 f。を制 御 す る こ とに よ って変 化 す るパ ラ メー タと しての制 御 変 数 、 ま た人 は 、主 と して負 荷 変 動 時 に変 化 す るパ ラ メー タ と し て の外 乱変 数 とみ な せ る。無 次 元 化 パ ラ メー タを定 義 す るに あ た り、次 の 無次 元 化 基準 量 を定義 す る。 イン ピー ダ ンス基 準 量 :2√(L/ C), 電 圧 基 堆 圭 :E 電 流 基 堆量 : I=E/ 2√(L/ C), 時 間基 準 量 : 1/チ。=27 以 後 、無 次元 化諸士 を区 別 す る記 号 と して サ フ ィック ス'を用 い る。 また無 次 元 化 時 間 の記号 と して Z= t/ 2 Tを用 い る。 9 K J ' L l. 0 逆 斗通 サ イ リス タ方 式 基 本 形 高周 波 インバ ー タの 固持動 作 は 、サ イ リ ス タゲ ー ト トリガパ ル スが広 幅 あ る いは狭幅 ゲ ー ト トリガ パ ル スか に よ って異 な る。 ここで、広 幅 ゲ ー ト ト リガパ ル ス とは、従 来 の尖 頭 的ゲ ト トリガ パ ル ス と異な り、 1つの サ イクル に対 して、 半 周 朋 の 間 、一定 の矩 形 波 的ゲ ー トトリガ パ ル ス電 圧 をゲ ー ト、カ ソー ド間 に印加 す るこ とを意 味 す る。本 方 式 インバ ー タの 発振 動 作 に お いて は、 サ イ リス タに → o・ う 逆 方 向電 流 が流 れ るこ と、 す なわ ち 入 1 ・ 0 、 ダ イオ ー ドが斗 通 して サ イ リス タ の逆 バ イア ス期 間 を生 じるこ とが、 最小 必 要条 件 とな る。 この条 件 は、 i ' o性 7 1 o Psf 出力 電 流 の モー ド初 期 値 が L。 ' ≧0 の条 件 で与 え られ る。 i , 。 ●≧ 0を満 たすパ ラメー タ関係 式 o l * 陳 ≦21 t 禦 D. E, P 転読失敗領 域 は、後 述 (25)式 よ り、 2 k- 1≦ K 平 =√( 1-人2 )/〟 k=1, 2, 3- ・ ・ ・ (1 5) と与 え られ る。 図 6(a)は、 (1 5)式 図6 定 常 発掘 動 作域 と出力電 流 波形 の不 等 式 の 関係 をLl一入 平面 に表 した もの で、 図 6(b)は、各領 域 にお け る広幅 ゲ ー ト トリガ パル スの場 合 の定 常 出力 電 流 波 形 を示 す 。図 6 に お いて 、 A の領 域 は 、ゲ ー トトリガ 周波数 と出力 周波数 が一 致 す る基本 波 振動 領 域 で、領 域 B は、 (1 5)式 k= 2に おけ る 3倍 周波 振動領 域 、 さ らに領 域 Cは 、 k= 3に おけ る 5倍 周 波 振 動領 域 で あ り、以下 k=4, 5, 6・ ・ ・ に対 す る (2k- 1)倍周波振 動領 域 が 存 在 す る。 しか し、実 際上 、サ イ リス タ インバ ー タの場 合 は、 ター ンオ フ タイム との 関連 に お け る転 流余 裕 時間 に よ って安定 動作 域 が制 限 され る。従 って 、 k= 2以 上 の (2 k- I) 倍 周 波振 動領 域 で は、転流 余 裕 時間 も小 さ くその動作域 も 狭 い ため 、実 際 の動 作 域 と して は不 適 と言 え よ う。 狭 幅 ゲ ー トトリガ パ ル スの 場合 の動 作域 は、 図 6の広幅 ゲ ー トトリガパル スの 場 合 の動 作域 と比較 す る と、 図 6A お よび Dの領 域 に おけ る動 作 は全 く同一 とな る。一 方 、 B, C,E お よび Fの 山く√(1-人2)/ 2 10 の領 域 は、狭幅ゲ - トい ノガ パ ル スの 場 合 は 、 い わ ゆ る 自然 転 流 域 で あ り、 出 力電 流 波 形 が 不 連 続 な 休 止 朋 間 の あ るひ ず ん だ波 形 とな る。 ま た 、山 ,人 の値 に よ って は 、尖 頭 的 なパ ル ス状 の 電 流 が流 れ た後 、休 止 期 間 の 長 [ 〒 ≡ コ 唯 一 - t l . ■- / い領 域 とな る。従 って 、実 際 の動 作 領 域 と して は、広 幅 ゲ ー ト トリガパ ル ス共 通 の動 作 域 と して 、 図 6A のLL,入 領 域 で 躯 勤 す る。本 章 で は、以 後 、実 際 の騒 動 領 域 と しての 』 』 t =・ ・ ・ - l ・L ) )く√(1-人2)/山 く2 図 7 スイッチングモー ド のil,入. 領 域 に焦 点 を絞 り、 動 作 原 理 の 説 明 お よび 定常 特 性 解 析 を実 施 す る。 固持 の定 常 動 作 は、図 7の ス イ ッチ ング モ ー ドに示 され る よ うに 、 T hlお よ び Dlの順 で串 通 す るモ ー ド aと、 モー ド aの電 流 の 最 終 値 を初 期 値 と して Th2, D2の順 で蒔 通 す るモ ー ドbに分 枝 きれ る。定 常 状 態 で は 、 モ ー ド aお よび モ ー ド bの 固持 動 作 を周 期 的 に繰 り返 す 。 2.4 定常 特 性 解 析 2. 4. 1 定 常 周 朋 鰐 と話特 性 圭 定 常 特 性 解析 に あ た り、先 に示 した無 次 元 化 基 準 圭 を用 いて 、状 態 変 数 を無 次 元 化 す る。 〔モ ー ド a) i。/ Ⅰ= i ,。i `, ひcl/ E= L rlJ , Lrc2/ E=Lr2.I, けC3/ E=L r3,+ ひcl/ E=けI b+, L rc 2/ E=ひZb', ひC3/ E= L T3 b ` 〔モー ド b) i ,a/ Ⅰ= i ,。.∼, 各 モ ー ドの状 態 方 程 式 は 、次 の よ うに求 ま る。 〔モー ド a) 47 t入ノ 1 1 -47 t/〟 1 1 47 7/ D ・ ・ ・ (1 6) 4Tl入 ′J l 47 【′J l 47 t/D -7 t/2a1 1 0 0 - (17) モ ー ド aお よび モ ー ド bの 各 電 圧 、 電 流 の 初 期 値 を 、 L T.H O, i ,.'+0 ,t rbH 0お よび LbH 0の よ うに 表 す 。 各 モ ー ド初 期 値 は 、 電 荷 圭 不 変 則 お よび 電 磁 則 不 変 則 か ら叫 か れ る定 常 状 態 お よび モ ー ド遷 移 条 件 、 さ らに 回 指 の 対 称 性 の 条 件 か ら求 ま る。 す な わ ち 、 (1) け2&'(Z)お よび L llb*(2)に 関 して 、 モ ー ド遷 移 集 件 お よび 定 常 状 態 の 集 件 ひ2aH 0- 0.5= - 〈L r2a'(0. 5)-0.5) より ▲ ∴ 同 様 に して (2) ・ ・ ・ (1 8) L T2 = 0= - ひ2.*(0. 5)+ 1 Ll l bH 0= - ・ ・ ・ (1 9) L lIb+(0. 5)+ 1 L l3■(2)に 関 して も 、 回 指 の 対 称 性 お よび 定 常 状 態 の 条 件 よ り =- け 3bH 0 LF L3a H0 モ ー ド遷 移 条 件 よ り L r3b'+0= L r3&'(0. 5) 以 上 の 関 係 よ り、 L T3&'+0= (2 a- 1) (3) i, .'(2)に 関 して も 同 様 に 12 (LT24*十0- 0. 5) ・ ・ ・ (20) Lo.''0=- i ,.bH0ゴ ー i ,。..(0. 5) ・ ・ ・ (21) とな る。以上 の初期値 の 関係 式 か ら、各 モー ド定 常 周 朋解 は次 の よ うに求 ま る。 L r2.+(2)= けIb'(2)= (2 a+ 1/ 4 a) 十 e (- aZ)si n(P z+ ¢1) / 2 a√ [(I-人 2)((1+ g)2+ h2)] -・ (22) '(Z)= L T2b'(2)≡ (2 a- 1/ 4 a) - e (- az)si n(β Z+ ¢1 ) ひ1▲ / 2 al l(1-^ 2)((I+ g)2+ h2) ] ・ ・ ・ (23) L T3.∼(Z)ニーL T3 b+(Z)= (2 a- 1/ 4 a) + e (- a2)si n(P z+ ¢1) / 2 a√ [(1-人 2)くく1+ g)2+ h21 ] -(24) n(P z+ ¢2) L..'(2)≡- i ,。b'(2)= 2 e (- a2)si -(25) /√ [(1-人 2)i(1十 g)2+ h2〉] こ こ で g =e (- 7(入/ll)cos(77/山 √ (11人 2) ) h= e (- 7 t入 /〟)si nt7 t/A l√ (11人 2) i +g)√(1人 2)一 入 h)/i(I +蛋)入 +√(1人 2)h]) ¢1=t anJl[くく1 ¢2=t an lt- h/(I+ ど)〉 t入/l l, P = 2 7 t√ ( 1 人 2)/〟 α= 2 7 また、負荷 出力電圧 は、 i T。書くZ)= LT3●(2)+入 。'(Z) よ り i, L l..-(Z)= - L r 。b'(2)= (2 a- 1/ 4 a) +√くく2人 2/a)+(2a-1 /2a)2) ・ ・ ・(26) / √ [(1人 2)くく1 +8)2+h2)] e (- aZ)si n(P z+ ¢3) 入 h)/-2入 (I +g)+(2a-1 /2a)((1 十g) ¢3 =t an-1[2人 h+(2all /2a)((1 +i)√(1人 2)一 ・入†√(1人 2)・h〉 ] リアク トル電圧 L lL書くZ)は L TLa'(a)= - L FLb■(Z)≡ e (- α2)si n(β Z+ ¢4) / √(11 人 2)((I +g)2+h2〉 - (27) 4 ' 4=t anll [〈√(1人 2)(1 十g) +入 h)/〈一 入 (1 +A)-√(I人 2)h)] 以上 の定 常周 期解 よ り、実 際の 回指設計 の 目安 とな る結特 性 圭 を表 2に示 す。 ま . x',入 - LD"x '特 性 を た、人 を変数 と して 、Kをパ ラメー タとす る九 一 i,Thn図 8に示 す。 こ こで Kは(1 5)式 で定 義 して あ るが 、 これ は回指 の固有 角 周波 数 U とインバ ー タ出力角周 波数 U。との比 u/ U。に相 当す る。 図 8に お いて 、 K一 定 の場 合 は、人 の変 動 に対 して常 に +≧i . D n.x' i ,Thmax の関係 が成 り立 つ こ とがわ か る。 また、人 が小 さ くな るに したが い 、LTh."x ■お , D m. x 'が急激 に増大 して お り、固持 設計 に お いて考 庶す べ き と言 え よ う。 よび i 13 2. 4. 2 波 形 評価 人 、出力 電圧 、 電流波形評価 と し て は 、(1)人 力電 流 2) 出力 リプル 率 ( 電 流 ひ ず み率 お よ 人力電流平均値 ん● JT . ● ■ ` J . . .( .) dL サイリスタ電流平均値 ′ー▲ ● I: lJ ' . I)a. サイリスタ電流最大値 Jr ▲ ■ . . ● l l . ' ( Z . ) 出力電流実効値 ∫. . "I J阿 1 0. 5〝 I 。 -I 讐 . ( 讐 l v 恥. J . -P , a . . . l Je 「 ▲ l ■ 宇 F ● ● l J( 1-i, )ul 2十8), +h J等 び (3)出 力 電 圧 ひ ず ダイオード電流平均値 t J ) . I . : , . . .I)dE み 率 に 関 して そ れ ダイオード電流最大値 Jp _. ● ∫ . .( 1. ) ぞ れ 評 価 関 数 を求 人力電力 P 一 . ● J :1. .( Z) a. め 、 Kをパ ラ メー 出力電力 P. + 1 0. 5-- I . ' ) 帆. . . I 警l l -叫. . . - ( l ノ( . 一 一 -1-) . , )1( 2 I+E ) 一 十A,I . 一 一一A 市Af-●.I . 2 A I . ‥ i . ., ( .) dL 讐 t o. ト V , . .. . ) 讐 p. 5-0 , 4 . . , I タ と した と きの 、 コンデンサ電圧最大値 〟 . I . . ■ それ ぞ れ の山 、人 V 叫◆ ( f l ) 言誤 -( 忘 )ノ( 1 6 -) -帝 , ) 入 { く1. l̀ i ー ● ) , W ), , . .( z J ,-0 `- 読 ( 州 I, -品 ( 打一 〇 一 , zL -誌 ( 2 汀-Q . ' に対 す る波 形 を評 偏 考 価 す る。 人 力 電 流 リプ ル 率 (R ・F rmB:実 勅 使 リプ ル 率 ) は 表2 下 式 で 定 義 され る. , 諸特性 量 R ・Frms■= √ ( (Id,m S '2- Id'2) / Id') - ( 28) 図 9 に ・ K をパ ラ メ ー タ とす る入 - R ・F,hB特 性 を示 す 。 図 9に お いて 、 K一 定 とす る と、人 の 値 に よ って は R ・F,msが 急 増 す る領 域 が あ り、 回 指 設 計 に お ける ( 〟 ,入 ) の 選 定 に お い て は 、後 述 の 転 流 余 裕 時 間 との 関 連 に お いて 、掛 売余 裕 時間 を確 保 す る範 囲 で R ・FH n&を抑 え る (( Ⅰ。,hB'/ Il')2- 1) I D ・F l。= √ 言 . H 下 式 で定 義 され る。 H ・r T 次 に、 出 力 電 流 ひ ず み率 (D ・F. .) は 絹真 よ うに選 定 す べ き と言 え よ う。 -(29) Il*:出 力 電 流 基 本 波 実 効 値 図 10に 、 K をパ ラ メ ー タ とす る入 -D ・ FI O特 性 を示 す 。 図 10に お いて 、 K一 定 とす る と、人 が大 き くな るに つ れ D・F, 。 0・ 5 A8同 も増 加 の 傾 向 を示 して お り、 R ・F,E 様 に 回 路 設 計 に お いて注 意 を要 す 。 また、 14 図 8 人I I m - -人 1・ 0 ' , IDm.x' 特性 . n.x 出力電 圧 ひ ず み率 (D ・Fvこ) は下 式 で定 義 され る。 D ・Fvo=√くくV。.hB' /V。1')2- 1) -(30) Vl■:出力電 圧 基本 波 実 効値 図 11に K をパ ラ メー タとす る入 - D ・F vo 特 性 を示 す 。 図 11は 、 図 10と同 様 の た い場 合 は 、 Kの値 を で き るだ け 1に近 付 ▲ U ▲ U 2 (% )St L uir ・ t Z ー け る、す な わち 、入 一 定 に お いて山 をで き o O l 傾 向 を示 して い る。 以 上 の人 ・出力 波 形 評 価 よ り、 人 ・出力 の波 形 の ひ ずみ をで き るだ け小 さ く抑 制 し るだけ大 き く選 定 す る必 要 が あ る。 2. 4. 3 転 流 余裕 時 間 本 方 式 インバ ー タの定 常 安 定 動 作 に必 要 な条 件 は 、 サ イ リス タの転 流条 件 と考 え ら れ る。 これ は 、最 小 必 要 条 件 と して 、転 流 余裕時間 T。 〉0 0. 5 -A 1. 0 図9 人-R ・F,... 特性 と い う集 件 で 与 え ら れ る。 しか し、 これ は実 質 的 に は使 用 す る サ イ リス タの 固有 値 で あ る ター ン オ フ タ イ ム T。‖に よ り制 約 きれ る。 す な わ ち 、 。 ‖(31 ) Z c=f。・T c≧Z。‖=f。・T が、 T 。日に よ る安 定 動 作 条 件 とな る。本 方 式 インバ ー タの Z cは 、 (25)式 に お . i , . '(zl) =0 より . - Z c=0.5- Zl , ( %) 。 l h ・白 いて Z c=0.5一山(7 t-¢2)/ 27 r√(1 -人2)≧Z。‖ -( 32) と与 え られ る。 図 12に Z。日 を考 渡 した 山 一入 平面 に お け る基 本 波 振 動 領 域 の Z c 0・ 5 ー 1 の分 布 を示 す 。 図 12に お いて 、 た と えば Z。1-=0.05の場合 、 Z 。= 0.05と 図 10 人 -D・F. 。 特性 Zc=0.25の曲線 で囲 まれ る領 域 の 山 .人 の値 を回 路 設 計 に お いて 選定 す る必 要 が あ る。 15 1・ 0 O . d ︼ ( %). ・′h ・G ., - 0 2 0 J JOL ・1O 8J UI LL ノ P 1. 0 0. 5 --人 図 11 人-D ・Fv。特性 a e-0. 00 図 13 人 - f。 . A . X・T。‖特性 0. 5 図 12 1. 0 一 入 Z。 分布 2. 4. 4 周 波数 限界 サ イ リス タ定 格 値 と して の T。 ‖ に よ り、安 定 に発 掘 し うる出 力 周 波 数 限界 f。 m.xは 、 (3 2 ) 式 に お い て Z c= Z 。tf を そ の安 定 動 作 限 界 とす る と、下 式 に よ って 与 え られ る。 f。 ma x= (I- (7 7 - ¢2) / K7 日 /2T。‖ ・ ・ ・ ( 3 3) 上 式 よ り、実 際 の 堅 動 領 域 と して の 基 本 波 振 動 領 域 に お け る入 -T。 1.・f。 mA x 特 性 を 図 13 に示 す 。 強 力 超 音 波 発 振 器 と して の 本 方 式 イ ンバ ー タの 回 指 設 計 に お いて は、 サ イ リス mi xを大 き く タの T。‖ お よび 強 力 超 音 波 振 動 子 系 の共 振 周 波 数 チ.の 関 係 上 、 チ。 16 と るため に は 、 K一 定 の場 合図 13 よ り人 を小 さ く選 定 す る必 要 が あ る。 しか し、 この場 合 、図 8 に示 され る よ うに 、LTh, A . X 'も急 激 に増 加 す る。 した が って 、固 持設 計 に お いて は 、強 力 超 音 波振 動 子 系 共 振 周 波 数 5.、 お よび その 変 動 幅 を考 . " 渡 した f。 x と とも に、人 ・出力 電 力 お よび 波 形 評 価 、 さ らに は ス イ ッチ ング素 子 の電 圧 、電 流 責 務 な どの 因 子 を捻 合 的 に評 価 して ( 〟 ,入 ) を適宜 選 択 す べ き と言 え よ う。 2.5 実験 結 果 と検 討 図 14 お よび 図 15に 、基 本 波 振 動 領 域 に お け る各 部 定 常 動 作 波 形 (実 線 :哩 論 値 ,点 線 : 実験 値 ) を示 す 。 図 14 は 、 K を一定 と し、入 お よび 山 変 化 に よ る 各 部動 作 波 形 を示 す 。 (3 3) 式 よ り、 K は 、 K= (1/ (1-2T。= ・ f 。m a x) ) ・ i (7 t- ¢2) / 7 日 l くK く2 稚1 3位 と与 え られ る。回 路富 貴 Ⅴ㍍ - 計上 の Kの 目安 と して vn: は、諸条 件 を捻 合 的 に 検 討 す る と、 1. 15 図 14 お よび 図 15 に お いて 、理 論値 と実験 値 は、 ほ ぼ 10% 以 内 の誤差 で一致 して お り 天止dr O 1 0 v E l ' 1 0 くK く1. 24の範 囲 が適 当 と言 え よ う。 I--- -・ (34) -1 V。 ● 1 0 1 i 。 ●2 0 _2 、解析 にお け る仮 定 を A _0. 05 J J10・eS 考 え ると、理 論 の 妥 当 ^IO. 20 J L ・01 82 入 _0. 50 〃・0・ 72 図 14 各部定常動作波形 ( k =1. 2) 性 を示 して い ると言 え よ う。図 14 に お いて 、 K一 定 の場 合 、人 が小 さ いほ ど出 力 波 形 の ひ ず み が小 さ く、逆 に分 割 コ ンデ ンサ お よび 負 荷 電 流 の 最大 値 が大 き くな って い る。実 用 上 、 強 力 超 音 波振 動 子 系 の負 荷 は 、 そ れ ほ ど波 形 ひ ず み を問題 と しな いが 、用 途 に応 じた負 荷 の特 性 も考 庶 して ( 〟 ,入 ) を選定 す べ き と言 え よ う。 図 15は 、山 一定 に お いて人 を 1 くK く2 の 範 囲 で変 化 させ た と きの 各 郎 動 作波 形 を示 す 。人 の変 化 は実 負 荷 に お け る負 荷変 動 と考 え られ るが 、 図 15 に お いて 、人 の変 化 と とも にサ イ リス タの転 流 余 裕 時 間 、 お よび 出 力 電 圧 、電 流 の 振幅 が大 き く変 化 して お り、 回指 設 計 に お いて は注 意 を要 す る. 17 2.6 緒 言 r 一一一1 確i A iN 芙攻dl V n ' .. 形強 力超 音波振動 子系の高 n 本 章 で は 主 と して 電 わ い 0 v ・ . 1 周 波 電 源 と して 、 逆 串 通 サ イ リ ス タ方 式 基 本 形 高 周 波 O Vc・ ' 1 0 インバ ー タの定 常 特 性 解 析 を中心 に述 べ て きた。以 下 に 、 本 章 で 得 られ た結 果 に v b ・. 0 ., 。 つ い て 要 約 す る。 (I) 電 わ い 形 強力 は 音 波 -1 〇・う i 。● 振動子系 の負荷等 価回指 を も とに 、 無 次元 化 の 手 法 に よ り定 常 同 朋 解 を求 め 、 回 人0. 5 4 L o. 64 人 + 0 . 2 0 図 15 各部定常動作波形 (〝= 0. 7) 祐実 設計 に必 要 な諸特 性量 、 波 形 評 価 さ らに サ イ リ ス タお よび 転 流 回 路 要 素 の 電 圧 お よ び 電 流 責 務 を 明 らか に した。 (2) 定 常 安 定 動 作 に 必 要 な 条 件 を 、 無 次 元 化 パ ラ メ ー タ ( 〟 ,入 ) を 用 い て タ ー ン オ フ タ イ ム と転 流 余 裕 時 間 の 関 係 よ り求 め 、山 一入 平 面 に 図 式 化 した 。 (3) 定 常 安 定 動 作 条 件 よ り、 周 波 数 限 界 J 入 。m▲xを求 め 、 K をパ ラ メ ー タ とす る -fob.x・T 。‖ 特 性 を 明 示 した 。 そ の 結 果 、 サ イ リ ス タ定 格 と して の T 。日 よ り、 実 用 周 波 数 限 界 が 求 め られ る よ う に な り、 強 力 超 音 波 振 動 子 系 の 高 周 波 イン バ ー タ固 持 設 計 へ の 指 針 を 示 し た 。 (4) 基 本 波 振 動 の 定 常 安 定 動 作 域 に お け る ( 〟 ,入 ) 各 値 に お い て 、 理 論 と実 験 結 果 との 比 較 対 照 よ り、 本 理 論 の 正 当性 を実 証 し、 回 路 設 計 に お い て 考 庶 す べ き要 因 を指 摘 した 。 /dtは 基 本 形 イ ンバ ー タの 場 合 、 理 論 値 と して の サ イ リス タオ ン電 流 上 昇 率 di /dt軽 減 用 ア ノー ドリア ク トル 無 限 大 と な る。 従 って 、 大 電 力 駆 動 の 場 合 は 、di の 接 続 が 必 要 と な る。 そ の 場 合 、 ス イ ッ チ ン グ 素 子 の 転 流 重 複 現 象 が 無 視 で きな くな る が 、 こ の 点 に 関 して は 、 次 章 で 詳 述 す る。 18 第 3 葦 逆 さ 尊 通 サ イ リ ス 高 周 波 イ ニ/ ノヾ - タ 方 式 改 良 形 タ 定常特性解析 3. 1 緒 言 第 2葦 で述 べ た逆 好 適 サ イ リス タ方 式 基 本 形 高 周 波 インバ ー タ (17) (24)の 場 合 、 サ イ リス タに逆 並 列 に接 続 され るダ イオ ー ドの等 通 期 間 が転 流 余 裕 時 間 Tc とな る。 そ の定 常 動 作 に お いて 、 ダ イオ ー ドの斗 通 して い る期 間 中 に 、 次 の サ イ リス タが トリガ きれ る と、 ダ イオ ー ド電 流 の 最終 値 が サ イ リス タ電 流 の 初 期 値 と な り、理 論 的 には d i/d tは無 限大 とな る。従 って 、強 力 超 音 波 高 周 波 電 源 と して 、大 電 力 動 作 さ せ る場 合 、 ダ イオ ー ド電 流 がゼ ロ ク ロ スす る時 点 で 次 の サ イ リス タを トリガ す るか 、 あ る い は d i/d t軽 減 用 の ア ノー ドリア ク トル を接 続 す る必 要 が あ る。サ イ リス タに直 列 に リア ク トル が接 続 きれ る と、 ダ イオ ー ドか らサ イ リス タへ の 転 流 は 瞬 時 には行 わ れ ず 、共 に好 適 す る転 流 立 社 期 間 (以後 † uと略記 ) が存 在 す るよ うに な る。 この Tu の大 小 は 、 高周 波 インバ ー タの 出 力 特 性 、 す な わ ち 、Tc や LTThmaⅩ, LThm.xさ らに は人 ・出 力 電 力 に も影 響 す る。 Tuが存 在 す る場 合 の 回 路 解 析 に お いて は 、第 2章 で述 べ た よ うに 、 固 持 パ ラ メー タを指 定 しモ ー ド遷 移 条 件 や 定 常 動 作集 件 を適 用 して も 、状 態 変 数 の 解析 解 は定 式 的 に求 め るこ とが で きず 、 そ の解 析 は複 雑 とな る。 これ まで に 、 M apham 氏 や Rosenberg氏 お よび Dewan民 らが 、Tu を考 推 した固持 解析 に つ い て 報 告 (9) (ll )して い るが 、 いず れ も趣 く限 られ た数 値 例 に おけ るもの で 、Tu の 緒特 性 に 与 え る影 響 に つ いて 、 回指 実 設 計 の 観 点 か ら絵 描 的 に把 掘 す る こ とが大 きな 課題 で あ った。 これ らの 問題 に対 して本 章 で は、 d i/d tの軽 減 の み な らず 、Tu を穂極 的 に 利 用 す る逆 導 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 インバ ー タ く25)I( 31 ) (以 後 改 良形 インバ ー タ と略 言 己) と して サ イ リス タに直 列 に リア ク トル を接 続 した回 路 方式 を考 え、 Tu の 大 小 に関 係 す る因子 と定 常 諸 特 性 に対 す る影 響 を中心 に述 べ て い る。 まず 、強力 超 音 波 用 高 周 波 電 源 の 回 路 実 設 計 の 観 点 よ り、Tu の 解 析 手 法 (23)く 29)につ いて述 べ る と と もに 、 そ の 解 析 手 法 を も とに 、T uの大 小 に影 響 す る要 因 を と りあげ 、 その大 小 が Tu との 関連 に お いて 、 ス イ ッチ ング素 子 の動 作 責 務 , 人 ・出 力 電 力 さ らに は Tc, f。 T B.Xな どに い か に影 響 す るか を、理 論 値 と実 験 結 果 との 比較 対 照 よ り定 量 的 に 明 らか に して い る。 さ らに、従 来形 インバ ー タ と し ての逆 阻 止 3嫡 子 サ イ リス タを用 い た コ ンデ ンサ分 割 形 直列 共 振 インバ ー タ (以 後 従 来 形 インバ ー タ と略 記 ) との特 性 比 較 (36)よ り、改 良形 インバ ー タの特 徴 を 19 位 置 付 け て い る。 3.2 改 良形 インバ ー タ 3. 2. 1 回指構 成 図 16に 、強 力超 音 波 振 動 子 系 を負 荷 とす る従 来 形 イ ンバ ー タ と改 良形 インバ ー タの 回 路 練 成 を比 較 して示 す 。 (b) 改良形インバータ (a)従来形インバータ 図 16 高周波インバータ 改 良形 イ ンバ ー タに お いて T hl , T h2に 直列 に接 続 され る Ll ,L2は 、 d i /d t軽 減 用 の み な らず 、転 流 リア ク トル の働 きも兼 ね る 。 L l , L2が接 続 きれ る と、 固 持 の転 流 動 作 に お いて 、 回 路 パ ラ メー タに よ って は r )1と T h2, D2と T hlお よび T hlと T h2が 同 時 に群 通 す る転 流 重 複 モー ド ( 25日 3日 が存 在 す る よ うに な る。 図 16(b)に お い て 、 L3が な くて も回 路 動 作 は可 能 で あ るが 、 ここで は L3を 接続 した場 合 の Ll ,L2との リア ク トル 比 の影 響 さ らに は 、 Llと L2の電 磁 結 合 度 の影 響 に つ いて も検 討 す る。 3. 2. 2 動 作原理 回 指 の動 作 原 理 の説 明 お よび 解 析 に お いて は 、第 2章 で定 義 した無 次元 化 パ ラ メー タ山 お よび人 を本 章 で も用 い る。 た だ し、 この 場 合 の L に関 して は 、下記 の 通 り定 義 す る。 L = Ll+L3, Ll= L2, Ll/ L= 々1 , L3/ L=ml k=M /√ (LIL2) =M / Ll k :電 磁 結 合 度 M :相 互 インダ ク タン ス 20 図 17に 、1 1,人 平 面 に お け る発 振 動 作 域 と各 領 域 出 力 電 流 波 形 を、 また図 18に改 良形 イ ンバ ー タの 図 17 aの領 域 に お け る出 力電 流 の実 験 値 と理 論 値 の 比較 を示 す . 改 良形 インバ ー タの場 合 、 図 17 eの領 域 は 、 回鞄 の定 常 動 作 に お いて T h1 - D lの 順 で群 通 した後 に、全 て の ス イ ッチ ング素 子 が オ フす る休 止 期 間 が存 在 す る領 域 で あ A. 5 → l L0 る。 また 、aの領 域 は 、図 18 の 波形 か らわ か る よ うに 、Th 1- 句 Dlと群通 し、Dl が辞 退 し と、Dlと Th2の転 流 重 複 モ ー ドが存 在 す る領 域 で あ る。 ±こくl L! 〟 J や √ J L -f了:予 l o< て い る間 に Th2を トリガ す る J L >! / ¢ト▲7 〃1 ! 2 = L ' I Lh l o d e2 8 . 」 M トo A d el L l l ( 釘 ⊥上 〟 q 皇 ) _ 1 <) 図 17 I l, ll; iD TL in.o! l 5 日 \ . i1 ㌦ Y Zu . Zl , Z L J , iD . t l i 7 J √ \ k V I . L ′ . / V 1 \ 一 距 \ \ ノ ー し ノ 当 控置 l≡ 喜 \ 転 / \ \. ℃ / h '_ _ _ ⊥ 」 L 発振動作域及び出力電流波形 :z o: zy t . l1 、 - 2. O 図 18 転流重複時出力電流波形 21 . Cの領 域 は 、Thlが群 通 して い る時 点 で Th2 を トリガ す る と、 まず Thlと T h2の 転 流 重 複 モ ー ドが存 在 し、Thlの電 流 がゼ ロク ロ スす る時点 か ら、今度 は Dlと Th2の 転 流 重 複 モ ー ドとな り、 Dlの電 流 が ゼ ロ とな る時点 か ら Th2の単 流 モ ー ドとな る領 域 で あ る。 C お よび eの領 域 は、 出 力 電 流 と。の波 形 に示 され るよ うに、波 形 の ひ ずみ が大 き く、 同 一 出 力 に お いて aの 領 域 と比 較 す る と、サ イ リス タ電 圧 ,電 流 の尖同 値 が 大 き く、安 定 動 作上 問 題 が 多 いの で 、発 振 機 の実 際 の動 作 域 と して は a∼ bの 領 域 が 適 当 と言 え よ う。 従 って 、 本 章 で は 、実 際 動 作 域 と して の ダ イオ ー ドとサ イ リス タの転 流 重複 域 に 焦 点 を 当て て特 性 解 析 を行 う。 3.3 転 流 重 複 域 の特 性 解 析 各 モ ー ドご との 無 次 元 化 状 態 方 程 式 は次 の よ うにな る。 [Thl,D l単 流 モ ー ド] 入 I 1 -1 ′8a 0 0 -1 ′4b 0 0 入 1 1 -1 ′8a 0 0 -1 ′4b 0 0 t/〟 +47 -(35) 【Th2,D2 単 流 モ ー ド] 22 -(36) 【Dl ・Th2,D2・T hl; Thl ・T h2転 流 重 複 モ ー ド] 入 入 入 入 =-47t/〟(I+l・k々1) m (1 + t q1k々1 ) ′ 8 a (1 + m1kQl)′8a +47 t/ LLPl(1 + ml k々l ) (I +k ) 7) -( 3 各 モ ー ド解 析 解 は 、各 モー ドご との初 期 値 を含 ん だ形 で表 され る。 (付 録 1参 照)定 常 状 態 に お け る各 モー ド初 期 値 は 、始 動 時 に お け る初 朋 値 と して 、 リアク トル電 流初 期 値 Ll H0= i , 2' '0= O,各 コンデ ンサ電 圧 初 期 値 ひ1 日0=け2■ J3 日0= Oを与 え、 モ ー ド遷 移 条 件 に よ り、 モ ー ド最終 値 を次 モ ー 'o= 0. 5 ,t ド初 朋 値 と して繰 り返 し計 算 を行 い、定 常 判 定 条 件 よ り定 常 値 を求 め た。 そ の 場 合 の定 常 判 定 条 件 は 、 nサ イ クル 目 と (n +1) サ イクル 目の初 期 値 の変 動 が 1 %以 内 を も って定常 状 態 と判定 した。 上 記計 算 方法 に お いて 、 これ まで課 題 ときれ て い たの は、 転 流重 複 朋 聞 く以 後 Zuと略 記 )の計 算 方 法 で あ る。 図 19に、 開発 した手 法 に よ る Zuの計 算 方 法 ( 2 3)( 29)を示 す 。 ダ イオ ー ドとサ イ リス タの Zuの 計 算 は、 サ イ リス タの トリガ 時点 よ り、 ダ イ オー ドを流 れ る電 流 がゼ ロ とな る まで の期 間 と して計 算 し、電 流 ゼ ロ ク ロ スの判 定 は、 その電 流 の絶 対値 が 10 3以 下 を も ってゼ ロ と判 定 した 。 図 19(b)にそ のゼ ロク ロ スポ イン トを求 め る場 合 の 直線 近似 法 を、 また そ の場 合 のゼ ロ ク ロ ス ポ イン トの計算式 を (3 8) ∼ (4 0) に示 す 。 23 . . ;. .. _ .I . (a) フローチャート (I )) 図 19 転流重視期間計算法 図 19(b) (1)の 場 合 Zo= (Zb- t+ Zbi ,. '/i ,b'〉/ (1+ i.'/Lb*† 図 19(b) (2)の 場 合 Zo'= fZo+ Zbi ‥ソ Lb●〉/ tl十 と。リ Lb●) 図 19(b) (3)の 場 合 j . . ∼ /i パリ Zo'= 〈Za+ Zo / (1+ 24 i , . ' /i ,C■) 直線近 似法 図 19(b)お よび 上式 におい̀て 、 (1)の場合 は L2●が負 に (Dl ・T h2転 流 重複 モー ド時 は正 に )反転 した時点 に おけ る第 1回 目の 直線 近 似 で 、その場 合 の 」2■の絶 対値 が 10 3以下 にな らな い場 合 は、第 1回 目のゼ ロ ク ロ スポ イン トに おけ る i ,2'の正 負 に よ り、 (2) また は (3)の場 合 の 直線 近 似 を行 う。 3. 4 転 流 重複期 間の 評価 3. 4.1 リア ク トル 比の影 響 リア ク トル比 々 1の大 小 に よる Zuの変 化 、な らび にそれ に伴 う 話特性 圭 の影 響 を図 20お よび 図 山=0. 2 1に示 す 。図 20は 、 =1に お いて 、人 7, 1 (= 0,a をパ ラメー タ と した場 合 の 々 1- Zu,Zc特性 曲線 を示 す。 図 20 において 、 々 1= 0で Zu= 0,Zc は最小 とな り、 々 1の増 加 に対 し て Zu, Zcは単 調 増加 の傾 向 を示 す こ とが明 らか とな った。逆 阻止 3端 子 サ イ リス タを用 いた従 来形 丘 ● インバ ー タの場合 、 Zuの増加 は d .● tZt 逆 に Zcの減 少 を表 したが、逆鮮 I 通 サ イ リス タ方式 と しての改 良形 = ・ インバ ー タの場合 は、 ダ イオー ド とサ イ リス タの Zuの増加 は 、 Zc の増加 につな が り、従 来 形 インバ ー タに はな い大 きな特 質 と言 え よ 01 4 う。す なわ ち 、fom▲xの向上 と言 う観点 か らは、改 良形 インバ ー タ の場 合 、 々 1= 1の 回指形態 (L3 = 0に相 当す る)が最 良で あ ると 言 え る。 図 2 1は 、山=0. 8, 人 =0 .2, 1 (= 0,a=1- 定 にお いて 、 々 lの比 を変化 させ た 場合 の諸特性 圭 の影 響 を示 す。 ( 10 0 0 0 . 0. 2 0^ - 0. 6 2- 0. 8 . 1. 0. 図 21 々 l による諸特性の影響 (L L=0. 8 2. 人= 0. 2, k = 0, a =1 ) 25 同 園 よ り、 Zuの 増 加 に 伴 い 、 i ,T bm… お よ び d i/ dtは 減 少 す る 反 面 、L TTbh.X n■が 減少す る。 P i n が 増 大 す る こ と が わ か る。 また、 Z uの増 加 に対 しては、 P i 事 の 減 少 を 補償 す るに は 、 人 力電 圧 を上 昇 さ せ れ ば よいが 、 そ の 場 合 は さ らに、 ひTh m. x 'が 上 昇 す る こ とに な る。 従 っ て 、 々1の 比 を強 力 娼 音 波 励 振 源 回 指の設 イリス タ TThm .xに 問 題 が な い 場 合 は 、 d i/ dt最小、 Zc最 大 と な る 々1= 1の 固 持 定 格t 形 態 と し、 T。日 に お け るチ 。 m.x よ り も 、むし ろLTThb . Xに問 題が あ る場 合 は 、 d i/d tも考 碇 し て々 1=0 . 1近 辺 で 固 持 設 計 すべ き と青え る。 計 に お い て 決 定 す る場 合 、 強 力 超 音 波 振 動 子 系 の 定格 出 力 におい て 、 サ 3. 4. 2 電 磁 結 合度 の影 響 図22に 、 山= 0 o に つ い て検 討 す る。 2 lとL 2の 電 磁 結 合 度 kの 影 響 I 様 に こ こ で は 、 リア ク トルL }叫 .nZ リ ア ク トル 比 々lの 影 響 同 0 ・ 5 .7 ,a = 1, 々1= 1に お い て 、人 を パ ラ メ ー タ とす る kの 大 小 に よ る Zu, Zcの 変 化 を 示 す 。 図 22よ り、 k に 関 して は 、 各山 ,人 の 値 に 対 して Zu お よび Zcが 最 大 とな る kの 値 が 0 くk く 1の 範 囲 に存 在 -∫ . 0 す る こ とが わ か る。 図 2 3に 、入 = 0. 3 ,〟 図 22 I (-Z日, 0 Z。特 性 ー & J ・ 0 (JL=0.7.0,=1.a:1) = 0. 7. 91- 1, a= 1 に お け る 、 kの 大 小 に よ る諸 特 性 の 影 響 を示 す 。 同 園 よ り 、 理 論 上 k=0に お い て d i /d tは最 小 とな り、k=+ 1, - 1に お い て 無 限 大 とな T T h E "Xに 関 して る。 ま た 、L は、 k =1で 最 大 , k=-1 で 最 小 値 を と る。 図 2 2 お よ び 図 2 3 よ り、 kの 励 振 源 回 指 設 計 に お け る考 え方 と して 、厳密 に f 。m.xの 関 係 上 Zc 図 23 kによる詣特性の影響 (F L = 0. 7, 人= 0. 3,Q l = 1 , a = 1 ) 26 を大 き くと りたい場合 は 、b くk く1の範 囲 に おけ る Zc が最大 とな る kの値 を とるべ きと言 え よう。 しか し、 k= 0に おけ る Zc の値 と、 最大 値 と しての Zcn. xの差 は小 さ く、従 って 、 d i/d tが最小 とな る k= 0に おいて設 計 す るの が無 難 と言 え よ う。 これ は 、従来形 インバ ー タが 、 kをほぼ 1で設 計 す るの に対 して 大 きな差 異で あ り、逆串 通 サ イ リス タ方式 高岡 波 インバ ー タの固持 富 貴計 に おいて 注 意 すべ き点 と言 え よ う。 3. 4. 3 無次元 化周 波数 ,無 次元 化負 荷 の影響 の大 小 に影 響 す る と ともに、 直接 的 無 次元化パ ラメー タJ 1,人 の大小 は 、Zu に各特 性 に影響 す る。従 って .励 振源 の 回路設 計 に お いて は 、山 ,人 の値 をいか に選定 す るかが重 要 とな る。図 24か ら図 27は 、3. 4. 1お よび 3. 4. 2の結 果 を も とに 、 々1= 1お よび k= 0を採 用 し、 a = 1に お いて人 をパ ラメー タと した と きの山 に対 す る詩特 性 を示 したもの で あ る。 図 24は 、山一Zu,Zc 特性 を示 す。同 国 よ り、入 一定 に お いて 、Zc が最大 1- d i+ /dz特 性 とな る山 の値 が存 在 す るこ とが明 らか とな った。 図 25は 、J /dzに関 して は、入_ の値 に よ って 、 d i' /dzの 周波数 特 性 が 異 を示 す 。 d i' 1-P。+,P. A●, Id■特性 を示 す 。 固持 の な る特徴 を示 して い る。図 26は 、J b ' = 損失分 をゼ ロ と仮定 す ると 、 P川'=P。■で あ り、無次 元 化 にお いて は 、 P l P川/ (E ・I) ≡ (E ・Id)/ (E ・I) = Id●とな る (付録 2参 照 ) 。 , 図24 〟-Zu ,Zc 特性 くら=1 k = 0, a =1 ) 図 25 27 J 1 -di・ /dz特性 (P l =1 , k = 0, a =l ) 図 26 / i-P. ∴ P。・,Ⅰ 。1寺性 図 27 J L-LT h ma /,ひT 如 Ⅹ+ 特性 (Q l =1 , k = 0, a =1 ) 図 26よ り、入 一定 の 場 合 は 、 P、b'は山 の 増加 に対 して一 様 に増 加 の傾 向 を , Th mAx+,ひTh n.x'示 す 。 図 26同様 に 、山 示 す こ とが わ か る。 図 27は 、山 一 i の 増 加 に つ れ 、 そ れ ぞ れ LTh . z L . X', けTh m.x'も増 加 の 傾 向 を示 して い る。 3.5 従 来 形 インバ ー タとの特 性 比 較 タの 高 周 波電 源 に関 して、 図 17a∼ *u t u・Al 従 来 形 イ ンバ ー タ と改 良形 イ ンバ ー 4. 0 bの実 際 動 作 領 域 に お いて 、 3 . 4的 の結 果 を も とに 、々1 = 1 (L 3= 0) ,k=0の 回 路 形 態 に お け る特 性 比較 に つ いて検 討 す る。 3・ 5.1 サ イ リス タ電 圧 /電 流 責 務 m. x'は 、 サ イ リス タ電 圧 最 大 値 ひTh 々 1= 1, k= 0に お け る ひThl, ひTh Zの 瞬 時値 の 式 か ら、 付 録 (5 4) 式 の よ うに誘 辞 され る。 改 良形 インバ ー タの 場 合 、 サ イ リス 28 図 28 1 l-uT h ma x ' 特性比較 タ順 方 向 阻 止 電 圧 は 単 流 モ ー ドに お いて の み 現 わ れ 、 ま た 、 逆 方 向 電 圧 は 、 ダ イ オ ー ド斗 通 に よ るダ イオ ー ド順 方 向 電 圧 降 下 分 の み しか 現 わ れ な い 。 従 って 、改 良 形 インバ ー タの 場 合 は 、従 来 形 イ ン バ ー タに お け る逆 耐 圧 を考 庶 す る必 要 が な く、高 圧 、 高周 波 化 に適 して い る と言 え よ う。 図 28に 、人 をパ ラ メ ー タ とす る山一 LTThm.x`特 性 比 較 を示 す 。 両 方 式 と も に 、山 の 増 加 に た い して 、入 一 定 の 場 合 は 、 LrThm.x'に 関 す る変 化 は小 さ い。 しか し、山 一 定 に お け る負 荷 変 動 、 す な わ ち 、人 の 変 動 に対 して は 、 従 来 形 インバ ー タの 場 合 著 し く変 化 す るが 、 改 良 形 インバ ー タの 場 合 は 小 さ い 。 この 傾 向 は 、 サ イ リス タ電 流 最 大 値 して も 、 同 様 の 結 果 (31)( 35)が 出 て i.Thb . X 'に 関 い る。 従 って 、 強 力 超 音 波 振 動 子 系 の よ うな Q の 高 い負 荷 の 電 源 と して 、改 良 形 イ ンバ ー タが 適 して い る と言 え る . 3. 5. 2 転流余裕時間 で サ イ リス タ イ ンバ ー タを動 作 す る場 合 、安 定 動 作 上 一 番 問 題 とな るの 主 よ、 サ イ リス タ定 格 と して の T 。日 と言 え よ う。 日に 関 す る安 定 動 作 集 件 は o・ L D ZI o・ 強 力 超 音 波 発 振 機 の よ うな 高 周 波 帯 T 。 、 第 2葺 く3 1) 式 よ り、 Z。‖ ≦ Zc で あ る。 従 って 、 Zc= Z。日が T。日 に よ る動 作 限 界 を示 す 。 図 29に従 来 形 インバ ー タ と改 良 形 インバ ー タ両 方 式 の 、山一 Zc特 性 比 較 を示 す 。 同 園 に お いて 、山 の 比 較 的 小 さ い領 域 で は 、 従 来 形 インバ ー タの 方 が 、 改 良形 イ ンバ ー タ よ りも Zcの 大 き い領 域 が あ る。 これ は 、入 一 定 に お いて 、山 を小 さ く、 す な わ ち 、F。を下 げ て ゆ くと 、 l同 朋 中 に お け る休 止 朋 間 が 増 加 す る こ とに よ る もの で あ る。 この 場 合 、 パ ル ス上 の 尖 頭 電 流 が流 れ る こ と を意 味 し、動 作 領 域 と して は 、好 ま し くな い 。 一 方 、山 の比 較 的大 き い領 域 に お いて は 、改 良形 イ ンバ ー タの 方 が 、従 来 形 イ ン バ ー タに 比 べ て 、 Zcが大 き い 。強 力 超 音 波 の 周 波 数 帯 が 15- 30KHzで あ り、 T。= = 10 F LSとす る と 、 Zc= 0. 15- 0. 30が 要 求 され る。 従 って 、 改 良形 インバ ー タの 場 合 、入 = 0. 1- 0.2,山 = 0. 7- 0. 9近 辺 に 選 定 す る こ とが必 要 と嘗 え る。 29 3.6 無 次 元 化 平面 に お け る転 流 余 裕 時 間 改 良形 インバ ー タ の 無 次 元 化山 ,入 平 面 に お け る Zc分 布 を 図 3 0に示 す 。実 =0,点 線 線 が Ql が々 l =1の 回 路 形 態 を示 す 。 同 一 の L L ,人 の値 に お いて 、 , u一入 全 域 に お いて 、 =1の 方 が Zc 々1 の 値 が大 きい こ とが m.xの 観 わ か る 。チ。 点 か らは 、 図 3 0に お いて =0の 場 0 ・ 5 → 々 1 入 川 合 、 T。‖ = 10J l sと仮 定 す る と、 Z 図30 Z。 分布 ( k = 0, a =1 ) C=0. 2 5 よ りf。 A.X= 25mzとな るの に対 して 、 々1= 1の場 合 、I l,人 の領 域 は限定 され るが 、約 30KH2の 発 振 が 可 能 で あ る こ とが わ か る。 f。 , "xは T。 r fの小 さい高速 ス イ ッチ ン グ サ イ リス タが 開発 きれ れ ば 、 さ らに向上 す る。現 在 市 販 され て い る T。f -= 7. 5〟 Sの 高速 ス イ ッチ ング サ イ リス タを採 用 す れ ば 、 40KH 2程度 は可 能 とな る。 しか し、一 般 に 、 キ ャ ビテ ー シ ヨン現象 を利 用 す る超 音波 振 動 子 系 の周 波 数 帯 は 、 20KHz付 近 が一 番 多 く用 い られ る点 を考 慮 す ると、余 裕 率 も考 えて 、人 を 0.2以下 に選 定 す る こ とに よ り、定 常 発振 動作 に お いて問題 な い と考 え られ る。 3.7 実験 結 果 と検 討 本 筋 で は、理 論 と実 験 結 果 との 比較 対 照 に つ いて述 べ る。 図 3 1に山 =0. 5, k= 0 , 々1= 1お よび a= 1に お い て人 を変 化 させ た と きの 改 良形 インバ ー タの各 部定 常 動 作 波 形 を示 す (実線 :理 論 値 、点線 :実験値 ) 。 各 実 測 波 形 は理 論 値 の傾 向 と よ く一 致 して い るが 、実 測値 が全 般 にや や小 さ 目 とな って い る。 30 これは、理 姶解析 に お いて、 ス イッチ ング素子 の好適損 失 や ス イ ッチ ング ロ スを 劃FJ H T劃 JL LL 1 i霊﹄ ■ 嘉 男 i 酎劃附 i■ 一 以■ rJ ■ 遍 _ _ ■讐 1 雷一遍i ]一 声 轟 義 J rlJ b ■ t ■ '] ■ L L. 以 t J Id r F ]■ '. ﹄■ F l LT t 轡 iJt r J L JF r LI JJ ll 一t ﹃i L l ■ t J_ I EM ﹃■_ ■ ■Z St J I i.' 慢 ■_ JjZ と考 え られ る。 !J r J JE ■I 串 I lJ L IJ t J L 一﹃劃 ■ ' h r7 Z 竃 J t L E 壌 J ■ { } 一切無視 して い るため と考 え られ る。 しか し、 その誤 差 も 10% 以 内 で 問題 な い J J J ■ L 一 ■' 一 訂 判一I I ︼ だ I 伽 ■ 鷺 ﹃ 肝 J Li iF l ri_ I ■ } ■ JL 図 31 人変化による各部定常動作波形 (J l= 0. 5, k :0,9 , :1 , 実線 ' ,理論値, 点線 ;実験値) 図 30の Zc分布 と対 照 して み ると、実 測波 形か らも 、山=0.5に おいて は、 人 が小 さ い程 Tc(Thl,Th之の逆 バ イア ス朋 間)が大 き くな って い る こ とが わか る。 その反面 、出力電流 のひず みがや や大 き くな って い るが 、強 力超 音波 振 動子系 の実 際の動作 において は、出力電流 の ひ ずみ は ほ とん ど問題 には な らな い。 3I 従 来 邦壬 一 一一 改 良 形 t VT 己2 0 4 0 : 3 S 写 VTL2 2 d T 6 6 .4 2 0 I I l2 v 1 0 . 1 I L -05 1 1 0 . 3 I L -0 . 5 A -0 . 5 J ・ -0 . 5 図32 従来形と改良形の各部定常動作波形 図 3 2に ・ 々1= 1, k= 0にお け る従来 形 インバ ー タ と改良形 インバ ー タの同 一山 人 に おけ る各 部定 常 動作 波 形 の 比較 (実 線 :従 来 形 インバ ー タ、点線 :敬 良形 インバ ー タ) を示 す 。図 3 2に お いて、人 がゼ ロに近 付 くに従 い、従来形 イ ンバ ー タの場 合 は 、 LThh・xや LrThmAxが急 上 昇 す るの に対 して、改 良形 インバ ー タの 場 合 は 、 その変 動 が比較 的小 さ く、 図 28の特性 比較 の傾 向 とよ く一致 して い る。 32 3.8 結 首 本 章 で は 、転 流 重 複 現 象 を厳 密 に解 析 す る た め に 、新 た に 開 発 した解 析 手 法 に よ り、 Zuの 緒 特 性 に 対 す る影 響 を分 析 す る と と も に 、 従 来 形 イ ン バ ー タ と して の逆 阻 止 3端 子 サ イ リス タに よ る直 列 共 振 形 イ ンバ ー タ と改 良 形 インバ ー タ と し て の 逆 辞 退 サ イ リス タ方 式 インバ ー タ を托特 性 に お い て定 量 的 に比 較 す る こ と に よ り、 改 良形 インバ ー タの 特 賞 を明 確 に した 。 以 下 に 、 本 章 で 得 られ た主 な 結 果 を要 約 す る。 (1) 強 力 超 音 波 発 振 機 の 種 々の 特 性 に大 き く影 響 す る転 流 重 複 現 象 に 関 して 、 Zuを厳 密 に解 く解 析 手 法 を 開 発 した 。 そ の 解 析 手 法 に 基 づ き 、 Zuの 大 小 に 影 響 す る要 因 と して の リア ク トル 比 々 1, リア ク トル の 電 磁 結 合 度 kさ らに は無 次 元 化 回 路 パ ラ メ ー タ山 ,人 の 影 響 を 明 らか に した 。 (2) Q 々 1に 関 して は 、 々 1を大 き くと る と Zuも増 し、 そ れ に伴 い Zcも増 加 し、 l =1に お いて 最 大 に な る と と も に 、 d i/d tは最 小 とな る こ と を示 した 。 そ の 反 面 、 Zuの 増 加 に伴 う人 ・出 力 電 力 の 減 少 、 お よび LTThm.xの 上 昇 な どの 影 響 が定 量 的 に明 らか とな っ た。 そ の 結 果 、 T 。 H との 関 連 に お い て 、 チ 。n.xに余 裕 が あ る場 合 は 、 々1= 0. 1近 辺 で 、 ま た強 力 超 音 波 振 動 子 系 共 振 周 波 数 fr およ び そ の 変 動 幅 か ら f 。m.xを大 き く設 定 した い場 合 に は 、 = 1近 辺 で 回 路 設 計 々1 す べ き点 を指 摘 した 。 0くk く1の あ る kの 値 に お い て 、 Zuお よび Zcが 最 大 に (3) kに 関 して は 、 な る こ とを明 らか に す る と と も に 、 諸 特 性 に与 え る影 響 に つ い て 定 量 的 に 検 討 し た。 そ の 結 果 、従 来 形 イ ンバ ー タ と異 な り、 改 良形 イ ンバ ー タの 場 合 は 、Zu, Zcとも に大 き く、 d i/d tが 最 小 とな る k= 0で 設 計 す べ きで あ る こ と を提 案 した。 (4) 改 良形 イ ンバ ー タの 特 覚 を 、 従 来 形 イ ンバ ー タ との 特 性 比 較 よ り、定 立 的 に 明 らか に した 。 そ の結 果 、 広 い負 荷 変 動 域 に お いて 、 改 良 形 インバ ー タの 方 " X, i ,TbE " xさ らに は d i/d tに お いて そ の が従 来 形 インバ ー タ よ りも 、 LrThT 変 動 幅 が 小 さ く安 定 で あ り、 強 力 超 音 波 振 動 子 系 の よ うな Q の 高 い負 荷 に 適 して い る こ と を立 証 した 。 (5) 改 良形 インバ ー タの 実 際 動 作 領 域 に お け る無 次 元 化 山 ,入 平 面 に お い て 、 =0 と 々 1=1に お け る Zc分 布 を明 らか に し、 強 力 超 音 波 発 振 機 の 回 路 設 計 々1 に お け る指 針 を示 した。 付 緑 I. 各 モ ー ド周 期 解 33 lT hl, Dl単 涜 モ ー ド] i .l'(2)= L 。一(2)= e (- a Z) [i ,lHOcosP z- (2 (L r2''0+ t J3''0- I) ・ ・ ・ ( 41) L rさくZ)≡ (1+ (2 a- 1) L r2日0- ひ3''0)/ 2 a+ e (- α Z) [(け2' '0 +t J3''0- I) cosβ Z/ 2 a+ ( 入 (t I2''0+ L r3''0- 1)/ 2 a+ i ,1日0/4a) +入 LlH0)sinβ Z/√ (11人 2) ] sj nβ Z] ・ ・ ・ (42) L r3'+0(2)≡ (2 a- 1) HTさく2)- L T2''01 + L T3日0 ・ ・ ・ く43) lD l・T h2, D2・T hl, T hl・T h2転 流 重 複 モ ー ド] i ,1●(Z)= e (- aMz) [(LlH0+ i ,2''0)cosβ ' 'i/ 2- ( 入 (LlH0+ i ,2''0) / 2+ ひ2 日0+ L r3 ''0- 0. 5)〉si nβ "Z/√ (く1+ml-k々1 〉/ 2 1人2 )] i (LlH0+ 」2日0)/ 2+ 27 TZ/ 山 々 1(1+ k) ・ ・ ・ ( 4 4 ) i ,2'(2)= e (- a"Z) [ (LlH0+ LZH0)cosP〃 Z/ 2 - (入 (j .lH0+ 〉/ L2''0) / 2+ L T2' '0+ L l3 ''0- 0. 5)〉si nβ "Z/√ くく1+ml-k々1 2 -人 2) 】 - (LlH0+ L2日0) / 2- 27 t2/ D 々 1(1+ k) ・ ・ ・ (45) L T3'(2)≡ (2 a- 1) (ひ2●(2)- Lr2''0〉 + L r3''0 ・ ・ ・ (46) i , 。暮(2)≡ i ,1 '(2)+ L2'(2 :) ・ ・ ・ (47) こ こで a" = 4 7 t入 /〟 (1+m l- k 々1) β 〃 =4 7 t √ 〈(1+ml- k々1 ) /2-人 2〉/〟 (1+m l- k や1) lT h2, D2単 流 モ ー ド] i ,2`(2)= i ,。■(2)= e (- a 2 ;) lL2HOcosβ Z - (2 くけ2''0+ け3日0) + 入i ,2' '0Isi ne z/√ (1-人 2)] ・ ・ ・ (48) ひ2'(2)≡ il+ (2 a- 1) け2''0+ ひ3''0) / 2 a+ e (- a z)[tL r2HD t T3 ''0)cosP z/ 2 a+ ( 入 (ひ2.'0+ ひ3''0〉 / 2 a+ L2''0/ 4 a)sine Z/ √ く1-人 2) 】 L l3'(2)≡ (2 a- 1) くけ3'く2)- ひ2 ''0〉 + L r3日O 負荷出力電圧 t T。●(Z)は 各 モ ー ド共 通 で L l。●(2)=入 L。+(Z)+ L r3 '(2) 付録 2. 定 常 諸 特 性 立 回 持 設 計 に お い て 重 要 な 定 常 諸 特 性 圭 を下 記 に 示 す 。 (I) P. A +, P。 書, IdI .1書くZ)- L2*(2)〉 d z P…'= E Id/ E I= Id+=∫ S(j ・ ・ ・ (52) P。●=入 l0, E "2'= 2人 rti. 。2●(2)Z ・ ・ ・ (53) 34 く2) け T I D . X ' t TTh b ▲ x+= l+ (山 々1/ 4 7 t) e (-a 2 : 也) [ta i ,1 日0+2β (ひ2日0+ 汁 /√ く1-人2) -β ilH0)sinβ zb] - ¢n) / 27 t √( 1-人2) 3 + +0- 1+入 Ll H0/2) ここで ZE .=山 (7t ¢ - (54) h , =t an-1(2 ( 入 LlH0+t T2日0+t T3' '0- 1) / [i ,l H0√ (1- 人2) 一入 〈2 くけ2' '0+L r3 ' '0- 1) +入 LlH 0〉/√ (I-人2)] (3) d i' /d z d i' /d z=-47 t(入 L2'+0+L r 2'+0+ひ3 ' '0-0.5)/〟 (1+m l- k +27 t/山 々 1 (1+ k) (4) Zc ・ ・ ・ (55) や l) l ・ ・ ・ (56) zl'=山 ( -¢' )/ 2 7 t √( 1-人2) ¢' =t an - - [日.1 日0 √ (1-人2))/ 〈2 (け2日0+ L l3 ' '0- 1) +入 Ll● Zc=0.5-ZI ', L '(zl) =0, 7 t I +0〉 ] 35 第 4-章 高 逆 導 通 す 周 波 イ ニ/ ノヾ - イ ー } ス タ ブヲ 式 改 良 形 タ 過渡特 性解析 4. 1 緒 言 強 力 超 音 波 高 周 波 電 源 と して の 逆 半 速 サ イ リス タ方 式 高 周 波 インバ ー タの 回 路 設 計 に お い て は 、 ます 第 - に 固 持 形 態 を設 計 す る上 に お いて 、 定 常 特 性 解 析 (25) -( 31)に よ り転 流 重 複 期 間 の 話 特 性 に与 え る影 響 、 な らび に強 力 娼 音 波 振 動 子 系 定 格 出 力 との 関 連 に お け る定 常 話 特 性 圭 を把 握 す る こ とが 重 要 で あ り、 この 点 に 関 して は 前 章 に お い て 詳 し く述 べ た 。 次 に 、 強 力 超 音 波 励 振 源 の 安 定 動 作 とい う 披 点 か らは 、 起 動 か ら定 常 状 態 、 お よび 負 荷 急 変 時 に お け る過 渡 特 性 の 把 堀 が 重 要 とな る。 逆 阻 止 3端 子 サ イ リ ス タを用 い た従 来 形 インバ ー タの 場 合 は 、 起 動 か ら定 常 状 態 に 至 る過 渡 動 作 に お い て 、 インバ ー タの 安 定 動 作 に影 響 す る諸 特 性 垂 が 単 調 増 加 の 傾 向 を示 す 。 従 って 、繰 り返 し ピー ク値 と して の 尖 頭 値 的 な LTTbm.x, hmaxさ らに d i/d tな どに 関 して は 、 定 常 値 を 参 考 に 回 掲 設 計 す れ ば 良 い。 し か し、 逆 祥 通 サ イ リ ス タ方 式 と して の 改 良形 イ ンバ ー タの 場 合 は 、 け Thm.x, hm… お よび i ,T i ,T d i/d tな どの安 定 動 作 に影 響 す る諸 圭 が過 渡 動 作 に お い て 増 減 の 傾 向 を示 し、 過 渡 時 に ピー ク 値 を有 す こ とが 明 らか とな っ た 。 (32) 本 章 で は 、 従 来 形 イ ンバ ー タ と改 良形 イ ンバ ー タの 過 塘 特 性 比 較 (41) (37)に よ り、 改 良形 イ ンバ ー タの 過 渡 特 性 に お け る特 質 を明 らか に す る と と も に 、強 力 超 音 波 発 振 機 の 固 持 設 計 の 租 点 よ り過 渡 一定 常 特 性 比 較 を実 施 し、 さ らに実 験 結 果 に よ り検 討 を加 え て い る。 4.2 起 動 時 の 動 作 解 析 回 招 動 作 の 説 明 お よび 解 析 に お い て は 、 前 章 で 用 い た無 次 元 化 基 準 量 お よび 無 次 元 化 回 指 パ ラ メ ー タ山,人 を本 章 に お い て も採 用 す る。 図 33に 、 起 動 時 の 発 3(a)の 場 合 、 起 動 第 1サ イクル 目 振 動 作 原 理 と して の 出 力 電 流 波 形 を示 す 。 図 3 で i ,1' ( 0. 5)〉0の ため 、 この 時 点 で Th2を トリガ す る と 、 T hlと T h2の 転 流 重 複 モ ー ドとな る。 この 転 流 重 複 期 間 中 に Ll 'が ゼ ロ ク ロ ス しな い と、 図 33(a i ,1● が 発 散 して し ま い 、 D lの 斗 通 期 間 と して の Zcが ゼ ロ とな り転 流 失 敗 す る こ とに な る。 従 って 、 図 33(b)の よ うに 、i ,1書 が 転 流 重 複 期 間 中 にゼ )の よ うに ロ ク ロ ス す る こ とが 過 渡 発 振 動 作 に お け る最 小 必 要 条 件 とな る。 36 * (b) 11収束 図33 過渡電流の発散と収束 改 良形 インバ ー タの場 合 、起 動第 1サ イクル 目に お いて 、 図 3 3(b)の よ うに Ll'が収 束 す る と、後 の定 常 状 態 に至 る まで の過 渡 状 態 は、 ほ ぼ Zc〉 0の条 件 を満 たす 。過 渡 計 算 に お け る起動 第 1サ イ クル 目 Zc〉 0の判 定 は 、 Thlと Th 2の転 流 重複 期 間中 L l 書く- 1× 10 3と した。 過 渡 計算 手 法 は 、前 章 付 録 (4 1) ∼ (5 0)式 を も とに 、起 動 時初 期 値 と し て L l'+0= L2''0= O ,LT2''0= 0 . 5お よび ひ3''0= Oを与 え 、 モー ド遷移 条 件 に よ り繰 り返 し計 算 を行 い、一定 の刻 み幅 ご とに必 要 諸 量 を全 て打 ち 出 す 方 法 に よ り過 渡諸 特 性 卓 を求 め た。 各発 振 動作 域 に お け る動 作原 理 , ス イ ッチ ング形 態 は前 章 で述 べ たの とほ ほ 同 一 とな るが、 図 17 Cの領 域 は 、過 渡 独 特 の ス イッチ ン グ形 態 を示 し複 雑 とな る。 図 34 にその ス イ ッチ ング形態 に よ る境 界 を、 また図 3 5 (a)(b)にそ れぞ れ の 領 域 に お け る出 力 電流 波 形 を 示 す。 すな わ ち 、 図 34 clの領 域 は、 図 35(a)の 出 力電 流 波形 に示 され るよ うに、起動 初朋 の サ イクル に は 、 T hl と Th2の転 流 領 域 が存 在 す るが 、定 常 状態 に お いて は 、 Thlと D 2あ るい は Th2と Dl の転 流 領 域 の み が存 在 し 0. 8 0 、過糖 と定 常 状 態 で ス イ ッチ ング形態 が逢 う。 図 34 37 0. 1 0. 2 0. 3 0. 4 0. 5 = =E Z ! Th-Th転読重複過渡発掘動作域 0. 6 4 02 れ S V 0. 5 1. 0 1. 5 2. 0 2. 5 . 5→Z 4 . 0 3 0) . 0′ b 4 1 JF 2 o 0 2 1 * o W▼ 4 2 0 廿 は 叩一 V 20 * hl 仰▲ Y (a) Cl 領域 ( 入= 0. 1,〃=1 . 0 4) 0 . 5 1 . 0 1. 5 2 . 02 . 6 4 0 2 1 ★0 V 2 1 ♯ o 2 l 4 - (b) C2 領域 ( 入= 0. 1,〃=1 . l l ) Bl 35 Thl -Th2 転流重複過渡動作波形 また、 図 3 4 C 2の領 域 は、図 3 5(b)に示 され るよ うに、過 渡 ,定 常状態 ともに Th1-Th2 転 流 重 複 域 が 存 在 す る。 38 過 渡 安 定 動 作 に お いて は 二 サ イ リス タ定 格 との 関 連 に お い て特 に繰 り返 し ピー ク値 と して の け Thh. X 、i , h.Xお よび d i/d tな どが重 要 で あ り、 高周 波 サ イ T h リス タ インバ ー タに お い て は 、 T。日 との 関 連 に お け る Tcが 問 題 とな る。従 って 、 過 渡解 析 に お いて は 、起 動 か ら定 常 状 態 に至 る各 半 サ イクル 、各 モ ー ドご とに上 記 特 性 丑 を打 ち出 し、各 半 サ イクル ご との 比 較 に お いて 、 け Thm.x, LThn&xお よ /dzに関 して は そ の最 大 値 を、 また Zcに関 して は最 小 値 を、過 渡 安 定 び d i' 動 作 上 一 番厳 しい値 と しての 過 渡 値 と した 。 4.3 従 来 形 インバ ー タとの特 性 比 較 r ' へ ● 一 ・ - 強 力 超 音 波 用 高周 波 ンバ ー タ と従 来 形 イン I o ? uzI 電 源 と しての 改 良形 イ バ ー タに関 して 、実 際 ⊂ノ 2 0 駆 動 領 域 に おけ る過 渡 諸特 性 比較 につ いて述 べ る。従 来 形 インバ ー タの 場 合 、起動 か ら定 0. 20 常 状態 に至 る過 渡状 態 に お いて 、各 特 性 圭 が 徐 々に単 調 増加 の傾 向 0.15 を示 す 。従 って 、4. 2節 で定 義 した過 渡値 1 2 う 1 2 う 4 ー 5 6 5 6 nt he yele は、 i ,Thh.X , LrThm.x お よび d i/d tに関 して は過 渡 値 =定 常 値 とな り、 回 指 設 計 に お いて は定 常 値 よ り繰 り 返 しピー ク値 を検 討 す れ ば 良 い。 しか し、改 良形 イ ンバ ー タの 場 合 、 各特 性 垂 が増 減 の傾 向 を示 す の で 、過 渡 値 → を把 掘 して 回路 設計 す るこ とが重 要 とな る。 4 .Z。 過渡応答 図 36 Zu 39 nt he yele 1 う 2 4 5 6 _ 十nt hc yc le 図37 L T ThD.X ',iThE B&X ' 過渡応答 図 3 6に 冬山 ,人 に お け る Zu, Zcの 過 渡応 答 を 、 また図 3 7に ThE b.X' の過 渡 応 答 を示 す 。 図 3 6よ り、改 良形 i .Th机.x ', 汁 インバ ー タの場 合 、 Zcに関 して は 、起 動 第 1サ イクル 日が 最 小 とな り、過 渡 安 定 動 作 上一 番厳 しい値 と して の過 渡 値 とな る。 以下 、改 良形 イ ンバ ー タ と従 来 形 イ ンバ ー タの過 渡 諸 特 性 に お け る 過 渡 値 に関 して定 量 的 に比 較 検 討 した結 束 につ いて述 べ る。 4. 3. 1 サ イ リス タ電 圧 /電 流 最大 値 両 方 式 インバ ー タの サ イ リス タ電 圧 お よび 電 流 最 大 値 の 過 渡値 tITh. "x ', i,Th ▲ x .に関 して 、山 ,入 各 値 に お い て計 算 した結 果 を も とに比 較 検 討 す る。 図 38に 、人 をパ ラ メー タ とす る山一 LTThm▲x*特 性 を、 また図 39に山一LTh m 40 バ ー タの場合 、人 が小 さ い程 初 朋 サ 改良形 インバ- タ T l 占 ^ー に おけ る計 算結 果 よ り、改 良形 イン 従栗形 インバー タ 4 特 性 を示 す。起動 時の特性 解析 m ■x' tノ イクル に過 渡値 が現 わ れ るこ とが 明 らか とな った。図 3 8お よび 図 3 9 に おいて 、従来 形 インバ ー タの場 合 は、実 際躯 動領 域 と して の 自然 ∼ 臨 界転流 域 内 で は、 LrThmAx'お よび i , r -N 入 -0. 5 ; = = = =・ 入 一0. 7 "x ■過渡値 は入 一定 に おいて 出力 Th. 周 波数 が変化 して も、 ほ とん ど一 定 で あ るこ とがわ か る。 また、定常 特 島 性 比較 と同様 の傾 向 と して 、人 がゼ ロに近付 くに伴 い、従 来形 インバ ー 。. . 6 。. 7 0. 8 。・ . , .I . o L ■ l' J h D 図38 L L- ひT . X ■ 過渡特性 .Thm タに おいて は著 し く LlThm.x書,i ンバ ー タに お いて は大 き く変 化 せ ず ・過渡特性 比較 に お いて も改 良形 イ wX * eulLl+ x ●が急 増 す るの に対 して改 良形 イ 従荒形 インバータ 改良形 インバー タ ラ ンバ ー タは安定 と言 え る。 4・ 3・ 2 サ イ リス タオ ン電 流上 昇率 図 4 0に両方 式 インバ ー タの d i '/d z過渡 値 のLL,入 平面 に お け る 分布 を示 す 。同 図 に おいて改 良形 イ ンバ ー タの場 合 は 、LL,人 の広 い領 域 にわ た って 18-60とい う安 定 な値 を示 す。一 方 、従 来形 インバ ー タの場合 は、人 がゼ ロに近 付 くに従 い、著 しい上 昇 を示 し、安定 動 作上 問題 が多 い。 4. 3. 3 転流余裕 時 間 図 4 1に両 方式 インバ ー タの Zc 過渡値 のLl,入 平面 におけ る分 布 を 示 す 。 Zcは改 良形 インバ ー タの場 合 ダ イオー ド群通期 間で あ り、従来 形 図39 〃 - LTbt "x ' 過渡特性 インバ ー タの場 合 は、休 止期 間 を含 む逆 バ イア ス期 間 よ り、 それぞ れ過 渡 計算 に おいて求 め る。 41 0. 5 一 ・ 十人 1. 0 図 41 Zc 分布 両 方 式 イ ンバ ー タに 、 Z 。‖ ≦ Z cな る安 定 動 作 粂 件 を適 用 して 考 え る と、 た とえ は 強 力 超 音 波 振 動 子 系 共 振 同 波 数 fr= 18K H z,使 用 す る高 速 ス イ ッチ ング サ イ リス タ T。.= 10F LSとす る と 、 Z。ff=0. 18≦Zcとな る。従 って 、今 山 =0. 9 ,人 = 0. 1に 選 定 した場 合 、 改 良形 イ ンバ ー タの 場 合 Zc=0.2な の で 発 振 可 鵬 とな るが 、 従 来 形 インバ ー タの 場 合 は 、 Zc=0. 16とな るの で 、 起 動 第 1サ イクル 目 に お い て 転 流 失 敗 して 発 振 不 可 能 とな る こ とが わ か る。 図 4 1に お い て 、 同 一 山 ,人 の 値 に おけ̀ る Zcの 値 を比 較 す る と 、山 ,人 の 広 い筒 域 に わ た って 改 良形 インバ ー タの Zcの 方 が大 き く、 Zc過 禎 値 に 関 して も改 良 形 イ ンバ ー タの 方 が 有 利 な こ とが わ か る。 4.4 過 渡 特 性 と定 常 特 性 の 比 較 前 説 に お け る従 来 形 イ ンバ ー タ との 過 渡 諸 特 性 比 較 よ り、改 良 形 インバ ー タの 安 定 動 作 に影 響 す る諸 特 性 垂 が 過 渡 時 に 増 減 す る こ とが 明 らか とな った 。本 節 で は 、 第 3章 との 関 連 に お い て 、 そ れ らの 特 性 圭 が定 常 値 と過 渡 値 に お い て どの 程 度 異 な るか を定 量 的 に 明 らか に す る こ と に よ り、 発 振 機 回 指 実 設 計 に お け る資 料 とす る こ と を 目的 とす る。 4. 4. 1 サ イ リス タ電 圧 / 電 流 最 大 値 nax 'の山 一入 平 面 に お け る分 布 の 過 渡 -定 常 特 性 比 較 を示 す 。 同 図 42に LrTh. 園 よ り、 改 良形 イ ンバ ー タの 全 発 振 可 能 領 域 に お い て 、 同一 山 ,人 の 値 で 比較 し 42 た場 合 、 LT,hh.X■過 渡 値 の カ が定 常 値 よ りも大 き い こ とが わ か る。 過 渡 値 と定 常 値 の 差 は 、人 が 小 さ い領 域 程 そ の 差 の大 き い傾 向 を示 して い る。 強 力 超 音 波 発 振 機 の場 合 、一 般 に Zc,人 ・出 力 電 力 お よ び 繰 り返 し ピー ク値 な どの 関 係 よ り、山 ,人 を選 定 す る場 合 、0.1≦ 入 ≦0.3,0 . 6≦山 ≦ 0. 9 近辺の 山 ,人 を 選定 す る こ とが 多 い 。 そ の 場 合 、 図 4 2 よ り、 この 領 域 に お い て は 過 渡 値 と定 常 値 の 差 が 大 きい こ とが 示 され て お り、 固 持 設 計 に お い て 注 意 を要 す 。 また 、 T h-T h 分布過渡-定常特性比較 図 42 ひThM x' 転流重複領 域 に おいて は、過 渡 値 の山 の 変 化 に対 す る上 昇 率 が大 き い こ とが示 され て い る。 しか し、 いず れ に せ よ改 良形 イ ンバ ー タの T 也- T h 転 流 重 禎 領 域 を除 け ば 、山 一 入 発 振 可 能 動 作 域 の 広 い領 域 に お いて 、電 源 電 圧 の 2倍 程 度にL TThm.xの 値 が抑 え られ るこ とが 図 42 よ り明 らか と な った。 図 4 3に図 4 2同 様 、無 次 元 化 パ ラ メー タ山 ,入 平 面 に X '分 布 の 過 渡 一 おけ る LThhi 定 常 特 性 比 較 を示 す 。 図 4 2 0・ う ー 入 1・ 0 同様 に 、人 の比 較 的 大 き い領 域 に お け る両 値 の差 は小 さ い 図 43 。 しか し、実 際 の 固 持 設 計 領 43 L Tbt " /分布過渡一定常特性比較 域 に お け る両 値 の差 が 比 較 的大 きい ので 、 L rTh mlx同様 注 意 を 要 す 。i , Th haX+の 単流 モー ド中 に現 わ れ る が 、人 が 0. I よ り小 さい領 域 付近 では転 流 重 複モー ド中 に現 れ る傾 向 を示 す 。 過 渡計 算 に お い て 、 一般 に LTh mi x'は、 わ 4. 4. 2 サ イ リス タ オ ン電 流 上 昇率 d iリ dzの 過 渡 計 算 に お いて は、初 別 使 の関 係 上 、超 1. 2 動 第 1サ イク ル 目の 値 が最 小 しての 最大 値 は 、山-人 の値 を にL 面 dz 関 示 .6の dz過 が 、J _ く 1 に よ って 異な る傾 向 図 44 示 す。 L一入 平 に おけ 分布 に す る過 渡 一定 常 特 性 比 較 を す 。同 図 よ り、山 ≦ 0 領域に お いて は d iリ 渡値 と る d i+ / 定 常値 の差 は 小 さ い 0 . 6、 人 。 ー ・ 千 I- とな る 。 d i'/dz過 渡 値 と l≧ 0. 近辺 に お いて は その 差 が大 きい こ と が示 され て い る。 高 速ス イ ッ チ ング サ イ リ ス タの d i/d 0・ う tの 一般 的 な 定 格 は 50- 2 00 [A/〃 S]程 度 で あ り 、 々 1= 1,k=0の 改 良形 ー 入 1・ 0 図 44 di. /dz分布過渡 一定常時性比較 インバ ー タの 回 路 形態 に お いて は、 数Kw以 下 の強 力 超 音波 発振機 と して ははは 全 域 に お いて 上 限値 以 内 に納 まる。 4 . 4. 3 転 流余 裕 時 間 に よ る安 定動作 域 図 4 5に、山,入 平 面 に おけ るZcに よ る過 渡 一定 常 安定 動 作 域 の比較 を示 す 。 図 4 5は、 改 良 形 イ ンバ ー タの起 動 第 1サ イクル 目に おけ るZc〉 0の条 件 に 域であ り、実 際の サ イ リス タ定格 と して の T。日を考慮 した場 c≧ Z に よ って狭 め られ る。同園 に おいて 山 く√ 合 の安定 動 作 域 は Z よ る発 振可 能 動 作 。日 (1-人 2) /2 の休 止期 間 が存 在 す る自然 転 流動作 域に お いて は、 Zc過渡 値 と定常 値 は全 く等 くなるこ とが示 されて い る。 この領 域 は 、 Zcの値 が 大 き く、 チ。 . A,xの 関係 か らは有 効 な領 域 とい え るが、電 源電 圧一 定 に おい て人 ・出力電力 てのL TTb m. が小 さ く、従 って人 力 電 圧 を上 昇 させ た場 合 、 ピー ク繰 り返 し値 とし maxの 上 で 問 題 が あ り、定常 軌作 領 域 と して は適 さな い。 xや i .Th 44 しか し、電 源電 圧 一定 で発 振 機 の負 荷 変 動 時 に一 時 的 に同 領 域 で動 作 させ る場合 は 、安 定 な転 流動 作 が確 保 され る領 入 ≦0.3の領 域 は 、Zc 過渡 d. - 域 とな る。 図 45に お いて 、 値 と定 常 値 の差 が大 き く、特 に発振 機 固持設 計 に お いて は 考E tLな ければ な らな い。 す な わ ち 、定 常 値 を も とに 、入 =0.12,山=0. 85に お いて T‥ =10〃S,強 力 娼 音波 振 動子 系 共 振周 波 数 f r=25K H z,余 裕 率 をみ て 、 出力 周波 数 限 界 f。n.x= 2 8 0・ 5 K H zとす ると 、 Z H =0.2 8で定 常 発 振可 蛇 と考 え られ → 入 1・ 0 図 45 Zc による過渡,定常安定動作域 るが、過 渡値 Zc=0.21の ため 、起動 第 1サ イクル 日で 発掘 不 服 とな る。従 って 、発 振 機 回 路 設 計 に お いて は、過 渡 値 Zc 分 布 を も とに山 ,人 の選 定 をす る必 要 が あ る。 4.5 負 荷 急 変 時 の動 作解 析 改 良形 インバ ー タの起 動 か ら定 常 状 態 に至 る過 渡 動 作 に関 して 、 これ まで に種 々の特性 量 を定 量 的 に検 討 したが 、本 節 で は負 荷 急変 時 と して 、定 常 動 作 中 事 こ、 人 がゼ ロ にな る負 荷 増 給 現 象 を 、各山 ,人 に お け る計 算 波 形 よ り解 析 す る。 図 4 6 ,図 4 7お よび 囲 4 8に、定 常 動 作 中 に負 荷 短 絡 した場 合 の過 渡 動 作 各 帥波 形 の計 算 値 を示 す 。 そ れぞ れ 山=0.6,0.8お よび 0 . 95- 定 ,入 = 0. 1共通 の 定常 状 態 に お いて 、人 がゼ ロ とな った時 の 各 辞波 形 を示 す 。 負 荷 娼 給 の現 象 は 、強 力超 音 波 発 振機 に お いて 、実 際上 は負 荷 駆 動 中 に お け る結 線 接 触 に よる故 障 あ るい は操 作 ミス と考 え られ る。改 良形 インバ ー タに よ る発 振 機 の場 合 、各 国 よ り安 定 動 作 に影 響 す る諸 特 性 圭 が 、負 荷 短 絡 に よ って著 し く急 変 す る ことな く安 定 に動 作 す るこ とが明 らか とな った。特 に Zc に注 目す ると、負 荷 増 給 に よ りむ しろ Zc が増 加 して お り、 T 。Hの 関係 に お け る転 流 条 件 に お いて安 定 な動 作 が確認 され る。 45 入 ◆ O do _ _ _ J⊃J コ. j v T ・ L : 0 L n」A' 1 1 v T・ L ::O 」 o △_ 2 二 1 1 人 Ul I I (U l ● J O JJ む む 図 46 負荷短絡時過渡動作波形 (L E = 0. 6 ) I . 5 vc :こと = ゝ 2 . 0 - i / ( \ ) / 「 \ \〉 / 図47 負荷短絡時過渡動作波形 (J L=0 .8) _ 16 2 . 5 { \ 3 . 0 一 一 一Z J l 図48 負荷短絡時過渡動作波形 (J L = 0. 9 5 ) 以上の現 象 は、改 良形 インバ ー タに よ る発振機 の場合 、負 荷増給 故 障 に おいて も、 負荷 か らダ イオ- ドを通 して電源 に至 る婦 道 ル ー プが構 成 されて い るため に、サ イ リス タ電圧 ,電 流 さ らには出力 電圧 ,電 流 が突 発 的 に急 増 して素子 や振 動子 を 破壊 す るとい う事 故 を回避 しう るこ とを示 し、強 力は 音波 発振機 と しての適性 を 再確認 す るもので あ る。 4.6 実験結 果 と検 討 本節 に おいて は、以上 の理 論解析 を実 験 結果 よ り比較 検 討 す る。 図 49に従 来形 インバ ー タと改 良形 インバ ー タの理 論 お よび 実測 に よ る各部過 渡 動作波 形の比較 を示す。本 解析 に おいて は、サ イ リス タや ダ イオー ドの準通 損 失 や配線 におけ る漂遊損失 を無視 して い るの で 、特 に人 の小 き い領 域 に おけ る実 験 値 と理論値 の誤差が若干大 き くな る傾 向 を示 す。 しか し、そ の誤差 も数 %以 内 で あ り、理論値 と実験結果 の傾 向 は よ く一致 して い る。 47 4 ■ 2 h m ▲ Ⅴ 0- 4 2 2 ★h m ▲ V " U . l 2 三 0. 5 二二 _ 二 1 . 52 . O 2 . 5て = _ _ I 1 . 0 一 ・ ・ ・ 一 2 1 1 4 3 0 1 . I 2 l 1 0 〃 0 1 1 図 49 過渡動作波形 ( 入= 0. 1 , p: 0. 8 ) 48 Z 図 49(a)の従来 形 インバ ー タの各 部動 作 波形 よ り、 Th. n… i ,Th. " x■ ( L。m.x' )や 、L r ■が過 渡動作 に お いて単 調増 加 して ゆ く傾 向 が わ か る。 また 、 Tc過 渡 値 に 関 して も、 サ イ リス タ最小 逆バ イア ス期 間 は、起動 第 1サ イクル 目に現 わ れて い る。一方 、改 良形 インバ ー タの場 合 は、図 4 9(b)に示 され るよ うに、起 動 か ら 定常 に至 る過渡状態 に お いて 、安 定 動 作 に影響 す る各特 性 値 が増減 す る様 子 が示 されて い る。 な お、 ダ イオ ー ド辞 退 期 間 と して の Tc過 渡 値 は、や は り従来 形 イ ンバ ー タ同様 に、起 動第 1サ イクル 目に現 わ れて い る。 図 5 0(a)(b)に改 良形 インバ ー タの過 渡 一定 常 特性比 較 と して の理 論 お よび 実 験 波形 を示 す。人 の値 の小 さいほ ど起動 か ら定常 状態 に至 る まで 時間 が かか るが 、 入 = 0. 1の場 合 で も改 良形 インバ ー タの場合 ほ ぼ 10サ イクル 以 内 に おいて定 常状態 と判定 され る。 図 5 0(b)に お いて も、群 通損 失等 の 関係 上若 干 の 誤差 は 見 られ るが 、理論値 お よび 実 測 値 の波 形 比較 に お いて、その傾 向 は よ く一致 して お り、本章 に おけ る過 渡特 性解析 結 果 の妥 当性 を立証 して い る。 (b) 実験波形 入= 0. 1,〟= 0. 5 2) 図 50 過渡動作波形 ( 49 4.7 緒言 サ イ リス タ インバ ー タ発 振 機 に お け る強 力 は 音 波 振 動 子 系 の躯 動 に お いて は、 起 動 時 に お け る安 定 動 作 が 重 要 な 問題 で あ る。 本 章 で は強 力 超 音 波 発 振機 と して の 従 来 形 インバ ー タ と改 良形 インバ ー タの 過 渡 諸 特 性 を理 論 お よび 実 験 の両 面 よ り解 析 した結 果 、 次 の よ うな結 論 が 得 られ た。 (1) 無 次 元 化 パ ラ メー タ山 ,入 各 値 に よ る計 算 お よび実 験 結 果 よ り、転 流余 裕 時 間 に 関 して は、 従 来 形 インバ ー タお よび 改 良形 インバ ー タの 両 方 式 と もに 、起 動 第 1サ イクル 日が転 流 動 作 上 一 番 厳 しい値 と しての最 小 値 を示 す こ とを明 らか に した。 従 って 、強 力 超 音 波 振 動 子 系 の共 振 周 波 数 お よび サ イ リス タ T。 日 との 関 連 に お け る周 波 数 限 界 に 関 して は 、起 動 第 1サ イクル 日 Zc過 渡 値 を考 庶 す べ き点 を指 摘 した。 (2) 強 力 超 音 波 振 動 子 系 特 有 の 共 振 周 波 数 近 傍 に お け る負 荷 イン ピー ダ ン スの 急 変 、 あ る い は 、負 荷 短 絡 の 故 障 に お いて 、改 良形 インバ ー タは 、定 常 特 性 比較 同 様 に 、従 来 形 インバ ー タ よ り LrThm.x, LThm" お よび d i/d tな どの繰 り返 し ピー ク値 過 渡 諸 特 性 に お いて安 定 で あ るこ とを定 量 的 に明 らか に した。 (3) 強 力 超 音 波 発 振 機 と して 種 々の特 性 に お いて適 して い る改 良形 インバ ー タ に つ いて 、安 定 動 作 上 重 要 な 繰 り返 しピー ク値 と して の LThn.x, t ITh. n" お よび d i/d tに 関 して 、無 次 元 化 山 一入 平 面 発 振 可 能 領 域 に お け る分 布 を過 渡値 と 定 常 値 を 比 較 して 囲 示 した。 そ の結 果 、人 の大 き い領 域 に お いて は両 値 の 差 は小 さ く問題 とな らな いが 、入_ の比 較 的 小 さ い 入 ≦0.2 の 領 域 に お いて は その 差 が大 き く、 回 路 実 設 計 に お いて十 分 考 慮 す べ きで あ る こ とを指 摘 した。 ( 4) 高周 波 インバ ー タの安 定 動 作 上 特 に影 響 の 大 きい Tor rとの 関連 に おけ る Z cに関 して 、 回 路 実 設 計 に重 要 な 役 割 を果 す無 次 元 化山 一大 平 面 発 振可 臆動 作 域 に お け る分 布 を過 渡 値 、定 常 値 と も に比 較 しな が ら示 した。 その結 果 、 Zcに よ る転 流 安 定 動 作 領 域 を明 らか に した 。 Zc分 布 に 関 して も、入 ≦ 0. 3の領 域 に お い て過 渡 値 と定 常 値 の 差 が大 き く、実 例 に よ り回指 設 計 指 針 を示 した。 (5) 上 記 諸 特 性 に関 して 、各 部 過 渡 動 作 波 形 に お け る理 論 値 と実 測 値 の 比較 検 討 に よ り、理 論 解 析 の 安 当性 を確 認 した 。 50 第 5 章 逆 高 可算 通 周 波 サ イ イ リ タ 方 ス ニ/ ノヾ - 式 新 形 タ 5. 1 緒 言 高 周 波 イ ンバ ー タの 大 電 力 応 用 に お い て は 、 ス イ ッチ ン グ 素 子 の 電 力 定 格 の み な らず 、d i/d I,dv/dtさ らに は 出 力 周 波 数 限 界 (f。m.x) な どが 特 に 問 題 とな る。 電圧形 (7) (13) お よび 電 流 形 イ ンバ ー タ く6) (14日 15) の 両 方 式 と も に 、 これ ら の 用 途 に広 く活 用 され て い るが 、 一 般 に電 圧 形 の 場 合 は 、 d v/d tお よび 人 力 直 流 電 流 の リプ ル 率 が 著 し く大 き い 。 一 方 、 電 流 形 の 場 合 、 d i/d tが 大 き く 、特 別 の 起 動 回 指 が 必 要 な どの 問 題 (6)が あ る。 さ らに 、 サ イ リス タ高 周 波 イ ン " xが あ る。 バ ー タ共 通 の 問 題 と して 、 ター ン オ フ タ イム 定 格 との 関 係 に お け る f。. 時分 割 方 式 ( 42日 43)を採 用 す れ ば 、 動 作 周 波 数 範 囲 を大 き くとれ 、 大 電 力 化 も 同 時 に可 能 とな るが 、 ス イ ッチ ン グ 素 子 の 増 加 に 伴 い 、 回 指 構 成 が 複 雑 とな り信 頼 性 も低 下 す る。 第 2章 か ら第 4章 に お い て は 、電 圧 形 高 周 波 イ ンバ ー タの 一 方 式 と して 、 2石 形 逆 等 通 サ イ リス タ方 式 高 周 波 イ ンバ ー タに つ い て 述 べ た が 、 そ の 場 合 の 実 用 F 。E A&Xは約 4 0K t l 2とな る。 特 に 、 負 荷 パ ラ メ ー タに よ っ て は 、 起 動 時 過 渡 動 作 に お い て 、転 流 余 裕 時 間 が著 し く小 さ くな り、 f。mH が 低 下 す る場 合 が あ る 。 ( 40) 従 って 、強 力 描 音 波 応 用 等 に お い て 、 招 音 波 振 動 子 系 の 共 振 周 波 数 とサ イ リス タ イ ンバ ー タの f。m.xとの 関 係 に お け る余 裕 度 の観 点 か らは 、 起 動 時 過 渡 動 作 を含 め た転 流 余 裕 時 間 の 大 きな 回 指 方 式 が 望 ま しい 。 本 章 で 述 べ る逆 等 通 サ イ リス タ方 式 新 形 高 周 波 イ ンバ ー タ (以 後 新 形 インバ ー タ と鴨 記 ) (45日 47)は 、 従 来 の 2石 形 サ イ リス タ イ ンバ ー タの f 川 .xを は るか に 2出 力 周 波 数 を可 能 に した 2倍 周 波 イ ンバ ー タ (45)I (47)で あ る。 ま 越 え る 80KH た 、電 圧 形 と電 流 形 の 折 中 形 と して の 利 点 を活 か した 回 路 構 成 に よ り、電 圧 形 と 電 流 形 の欠 点 を改 善 して い る。 5.2 2倍 周 波 インバ ー タ 5. 2. 1 回指構成 図 5 1に新 形 イ ンバ ー タ と して の 2倍 周 波 イ ンバ ー タの 主 回 指 構 成 を示 す 。 ス イ ッチ ン グ素 子 の 構 成 は 、 従 来 の 逆 群 通 サ イ リス タ方 式 と同 様 の 構 成 で あ るが 、 A s y m m e t ri c alS CR)と 高 速 ス イ ッチ ング 逆 群 通 サ イ リス タの 代 りに 、ASCR ( 51 ダ イオ - ドの 逆 並 列 接 続 を採 用 して い る。 A S C R は 、従 来 の 逆 祥 通 サ イ リス タ また は 高速 ス イ ッチ ング サ イ リス タに 比 べ て 、 同 一 の 電 力 定 格 に対 して T。 日が極 め て 小 さ く、 d i/d tお よび d v/d t耐 量 に お い て もす ぐれ て い る (RCA杜S731 0N:尖 頭 噸 素 子電 圧 8 0 0V ,実 効 順 電 流 4 0A で T。 ‖ 2 . 8 〃 S, d i/d t2 0 0 0A/ 〃 S, d v/d t5 5 0 V/〃 S) 。新 形 イ ンバ ー タの特 徴 を下 記 に示 す 。 (1) 出 力 変 成 器 を中 点 タ ップ 構 成 とす る こ とに よ り、 出 力 周 波 数 f。が 、 ゲ ー ト ト 図 51 主回柁構成 の 2倍 とな りf。 . naxが飛 躍 リガ周 波 数 fL 的 に向 上 で き る。 さ らに 、 コンデ ンサ C1 , C2を介 した出 力 変 成 器 の接 続 に よ り直流 偏 髄 の 問題 が な く大 電 力化 に適 す 。 く 2) 電 流 形 と電 圧 形 の折 中 形 と して の Ldインプ ッ ト構 成 (図 5 1に お いて 、 L d は電 流 形 に比 べ て小 さ く設 計 ) に よ り、 人 力 直 流 電 流 リプル 率 を大 幅 に軽 減 で き る。 しか も、電 流 形 の よ うな特 別 な 起 動 回 路 ( 6)は不要 で あ る。 (3) d i/d tも広 い負 荷 変 動 域 に お いて著 し く小 さ く転 流 余 裕 時間 も大 きい。 5. 2. 2 動作原 理 図 5 2 に 、 各 ス イ ッチ ン グ素 子 の オ ン ,オ フ に よ るス イ ッチ ング モ ー ドを示 す 。 起 動 時過 渡 動 作 に お いて 、 A S CR l くA Slと略 記 ) を トリガ す る前 に電 源 E が投 入 きれ る と、 図 5 2 モ ー ド a で示 され る よ うに 、 Eか ら Ldを通 して C1, C 2が 初 朋 充 電 きれ る。初 期 充 電 完 了 後 A Slが トリガ され る と、 モー ド bに示 され る よ うに 、 Clの 電 荷 に よ り Cl - Ll-A Sl(Dl) - C3と い うル ープ お よび E - Ld - Ll-A Sl(D l) - C3- C2に振 動 電 流 が流 れ る。 次 に A SC R 2 (A S2と略 記 ) が トリガ きれ る場 合 、 モー ド bの ス イッチ ング素 子 を流 れ る振動 電 流 の 正 負 に よ り、下 記 の 3つ の 転 流 動 作 が起 りう る。 (1) A S2(A Sl) 単 流 転 流 動 作 した後 、Dl電 流 モー ド bに お い て A Sl, D lの順 に導 通 LDlが ゼ ロ とな る と、全 て の ス イ ッチ ン グ 素子 が オ フの休 止 モ ー ドとな る。 この 時 点 で A S2が い )ガ され る と 、 A Sと, D 2の順 に等 通 す るモ ー ド C の 単 流 モ ー ドとな る。 (2) D l・A S2 (D Z・A S l) 重 流 転 流 動 作 モ ー ド b に お いて 、 A Slを流 れ る振 動 電 流 が ゼ ロ ク ロ ス して D lが導 通 して い る時点 に お いて 、 A S2を トリガ 52 す る と 、 D lと A S2が 同 時 に 鮮 通 す る重 流 モ ー ドとな る。 この モ ー ドで Dlの 電 流i.Dl がゼ ロ とな れ ば 、 この 時 点 か らA S2の 単 流 モ ー ドに移 行 す る。 (3) A Sl・A S2重 流 転 流 動作 モ - ド(a) 初 朋 充 電 , 休止モI r モ ー ド bに お い て 、 A Slの 電 流 モ ー ド( b)A Sl又 は Dl _ 4流 モ ー ド 上人sl がゼ ロク ロ スす る前 に A S2が トリガ き れ る と 、 A Slと A S2が 同 時 に群 通 す る重 流 モ ー ドとな る 。 本 方 式 イ ンバ ー タの 転 流 余 裕 時 間 は 、 A Sに 逆 並 列 に 接 C) A S2又 はD 2 モ ー ド( 杜淀 モ ー ド 続 され て い るダ イオ ー ドの 好 d) Dt. ▲S 2 モ ー ド( J L式 モ ー ド 適 に よ る逆 バ イ ア ス期 間 で 与 え られ る。 従 って 、 この 場 合 、 この モ ー ドの 後 に LASlが ゼ ロ ク ロ ス しな い と転 流 失 敗 す る。 モ - ド( e) A SI . 1 53 図 53に上 記 各 転 流 動 作 に j Lは モ ー ド お け る ス イ ッチ ン グ 素 子 の 電 sh . D 2 モー J {(f) A 正統モー ド B] 52 スイッチングモー ド 流 と出 力電 流 の 関 係 を示 す 。 図 53に示 さ れ る よ うに 新 形 インバ ー タで は 、チ 。は fL の 2倍 とな る。 ld ll 5.3 動 作 解 析 12 第 2章 ∼ 第 4章 同 様 に 解 析 お よび 回 路 設 計 に お 10 け る汎 用 性 を 目的 と して 、 次 に示 す基 準 量 で 無 次 元 化 した無 次 元 化 パ ラ メ a)単流 転流 ( (b) Dl. AS2, D 2. ASl皇 涜 転 結 (C) ASl・ AS2重 流 転 涜 図 53 各転流動作における電流波形 ー タ を用 い て解 析 す る。 53 電圧基準生 ES=E, 電 流 基 隼 量 電力基準量 PS=E878, 無次元 化負荷抵抗 こ こで Ts =1/f l 山 =27 Tfl √ (LC) 無 次元 化 周 波 故 無次元化電 流 時 間基 準 丑 ZB= 2√ (L/C) イン ピー ダ ン ス基 埠 圭 無次元 化時間 18=E/ 2√ (L/C) 入 = n2R/2√ (L/C) Z= t/T& =fl・i, 無 次 元 化 電 圧 i ,'(2)= L(t)/ Ⅰ ‥ L=Ll=L2, 々d=Ld /L, 無 次元 化 電 力 1/C= 1/Cl+ 1/C3, p=C/Cl, l t T'(Z)= ひくt )/ES P◆ = P/PB Cl=C2 q= C/C3 n :巻数比 = n . /n2= nlb/n2 起 動 か ら定 常 に 至 る過 渡 動 作 に お いて は 、 ス イ ッチ ン グ モ ー ド遷 移 の 判定 を 、A Sあ るい は ダ イオ ー ドを流 れ て い る電 流 の 正 負 に よ って行 う。 図 52に示 され る各 ス イ ッチ ン グモ ー ドは 、次 の 4つの 無 次元 化状 態 方程 式 で 代 表 さ れ る。 (I) モ ー ド a ASl,AS2オ フ休 止 モ ー ド 0 0 p′4 0 0 p′4 十4 7 7/(々 d山) -(57) ( 2) モ ー ド b ASlまた は Dl単 流 モー ド 54 0 0 0 p′4 0 0 0 p′4 0 0 0 0 -1 ′々 d -1 ′々 d 0 +4 7 t/くせ d山 (3) モ ー ド c 4人′々 d -・ (58) ) A S2ま た は D2単 流 モ ー ド 0 0 0 p′4 0 0 0 0 -1′々 d -] /々 d 55 0 4人′々 d + 4 7 1 / ( 々 d l l ) (4) モ ー ド d モー ドf DlとA S2重 流 モ ー ド,モ ー ド e - (59) A Slと A SZ亜 流 モ ー ド D2と A Sl重 流 モ ー ド 0 0 0 p′4 0 0 0 0 -1 ′々 d -1 ′々 d 0 1 0 -1 56 4人′々 d 2人 q′4 0 0 p′4 q′4 q′4 +47 t/ (P d山 ) 2人′々 d 2人 ′々 d 一 入 一 入 一 入 入 - (60) 各 モ ー ドに お け る出 力電 流 i ,O +,出 力 電 圧 L r吉お よび A S l,A S2の 各 電 圧 L r ^S ! . Ll^S左は次 式 で表 され る。 し:=n(2L3-i , ;-i , 圭 ), 各 モー ド共 通 モ ー ド a、 モ ー ド b モ ー ドa、モー ド c L T. '=入 j . 言/ n 2 ・ ・ ・ (61) L T ^ S 茎=n Lr吉+ t rc さ+t Tc ' 3 L r As ‡=n ひ. '+ L r c ‡-けC ' 3 ・ ・ ・ (62) ・ ・ ・ (63) 各 モー ドの状 態 方 程 式 は 、 4次 ル ンゲ ク ッ タ数 値 解 析 法 に よ り解 析 した。 起 動 時 過 渡 動 作 の 計 算 に お いて は 、超 勤 初 期 値 と して 、 け clH 0= L Tc2''0= 0 .5と し、 他 の初 期 値 は全 てゼ ロ と した。 モ ー ド遷 移 の 判 定 を 自動 的 に計 算 器 で行 い 、起 動 か ら定 常 状 態 まで繰 り返 し計 算 を実 施 。定 常 状 態 の 判 定 は 、 nサ イクル 日の電 圧 初 期 値 Lrcl (A)∼+0と (n+1) サ イクル 日の Lrcl(A.日 日 0を比 較 し、 そ の変 動 分 の絶 対値 が 1%以 内 を もっ て定 常 状 態 と した。 5.4 定常詰特性 5. 4. 1 直流 リア ク トル の 効 果 電 流形 インバ ー タに お いて は、人 力 の 直流 リア ク トル Ldは非 常 に大 きな 値 で 、従 って 、人 力 直 流電 流 i , dは 、 リプル 率 の極 め て小 さ い直 流 とな る。 一 方 、電 圧 形 インバ ー タの 場 合 は 、 Ldが な いの で Ldの リプル 率 は大 き くな るが 、電 涜 形 の よ うな特 別 の起 動 回指 は不 要 で あ る。 57 して 、必 要 最 小 限 の Ldを接 続 す るこ と に よ り両 方 式 の 特 質 を活 か して い る。 す な わ ち 、 Ldの大 小 は 、 リプル 率 , d i/ l 0 d I,人 力 電 力 P . hさ らに は foE " Xな ど . ∼. 1n. J H d・ I 0 p ▲ 新 形 インバ ー タで は 、両 方 式 の 折 中形 と に大 き く影 響 す る。 こ こで は 、 Ldと L の リア ク トル 比 や d の 大 小 に よ る定 常 話 特 性 の 影 響 (た だ し 、山= 0. 5 3,p = 0. 3 3 ,n = 0. 25)に つ いて 述 べ る。 0.1 1 10 100 1000 々dに対 す る P… ',人 力 直 流 電 流 平 均 値 Q d ー 図 54は、人 をパ ラ メ ー タ と した時 の 図 54 9。 -Pl ∴ ld ' 特性 Id事の特 性 を衰 して い る。 な お、 無 次 元 A'と Id'は等 しいの で 化 に お いて は P . 、 以 後 P.A'で 代 表 して 表 す 。 図 54に お い て 々dの 小 さ い領 域 で は 、 P .h'が非 常 に小 さ く、バ ワ が 入 りに くい。 の 々 d A'ほ ほほ 直 線 的 に増 増 加 に従 って 、 P. 加 す るが 、 5 0 ≦ 々dの 領 域 で は PID■は ほ ぼ 飽 和 して 増 加 しな い こ とが 明 らか と な った。 図 5 5 は 、 同様 にパ ラ メー タ人 に お け ー る 々 dに対 す る A Sの オ ン電 流 上 昇 率 d i'/d zの 特 性 を示 して い る。 々d- P , n● 特 性 同 様 に 、 々 dの小 さ い領 域 で は P 図 55 々d- Qd di ■ / dz鴨性 d の 増 加 に 伴 い d i' /dzは ほ ぼ 直線 的 に増 加 す るが 、 々d= 10- 10 0付 近 で は ほ ぼ 飽 和 して い る。 こ こで 、 d i/d t定 格 [A/〟 S] と無 次 元 化 d iり dz の関 係式 は d i/d I lA/I LS] = d i'/d z ・E/2√( L/C)・f l・ 10-6 ・ ・ ・ ( 64) とな る。 また 、 Ldの 大 小 は 、 i ,dの リプ ル率 に大 き く影 響 す る 。 j Jdの平均 値 リ プ ル 率 R ip [% ] は下 式 で定 義 され る。 R ip l% ] = (i ,d m.x'- i ,d m川') / IdX I0 O ・ ・ ・ (65) こ こで i ,dm. x'お よび i ,d m▲ n+は そ れぞ れ 直流 電 流 の最 大 値 お よび 最 小値 を示 す。 図 5 6 に 、人 をパ ラ メー タ と した と きの 々dに対 す る R ip% を示 す 。電圧 形 イ ンバ ー タで は 々 d =0 と考 え られ るが 、図 5 6に お いて 、 の小 さ い範 囲 で は R 々 d i Pが著 し く大 き くな る 。 R ip低 減 の 械 点 か らは 、 Qdを 10 0 0以上 に と るこ 58 とが 望 ま しい が 、 これ は Ld の大 型 化 , 80 々 dの 選 定 ポ n nl 重 圭 化 に つ な が る。 従 って 、 いて 最 適 な 々 dの 値 ー 6 0 に 関 して は 、 他 の 諸 特 性 値 との 関 連 に お を設 計 す べ き と言 え よ う。 4 0 サ イ リス タ イ ンバ ー タの 高 周 波 イ ンバ ー タ応 用 に お い て は 、 特 に ,T。 日 に よ って 制 約 き れ る f。bH が 問 題 とな る。 こ こで 、 固 持 の 転 流 余 裕 時 間 Tcの 無 次 元 化 値 を Zcとす る と、 新 形 イ ンバ ー タで は A Sの T。 日 を考 慮 した f。h" と Zc の 1 関 係 は 下 式 で 表 せ る。 図 56 上 式 に よ りf ・ ・ ・ ( 6 6) m 。 .xを機 討 す る場 合 、 々d 1 0Q+色3000 も-R ip特性 4 'け oL O 山 (J 。/2)・T. rr≦Zc f 。t b . X=2Zc /T。Er 1 0 入-0. 75 あ る い は他 の 回 指 パ ラ メー タに よ って 、 7 ノ o O Z。の 値 が どの よ うに変 化 す るか 把 掘 す る こ とが 重 要 とな る。 図 57は 、人 をパ ラ メ ー タ と した と きの 々 Jに対 す る Z。の 関 係 を表 して い る。 同 図 に お いて 、 の 小 さ い範 囲 で は 々 dの 大 小 増 減 が 大 きい が 、50≦ Q d に よ る Zc の 0.2 0. 1 zcも ほ ぼ 一 定 とな る こ とが 判 明 した 。 以上 の 1 々 dの 範 囲 で は 々 dの 大 小 に対 す 1 0 1 000 1 00 ー RJ 図 57 P J -Zc 特性 る諸 特 性 を捻 合 的 に考 庶 す る と 、 々 dの 遺 定 に 関 して は 、 Ldの 大 型 化 ,重 量 化 を抑 制 しつ つ 、 リプ ル 率 の 低 減 効 果 が あ り、 しか もバ ワ の 入 りや す い 々d=50- 100付 近 が 最 適 と言 え よ う。 5. 4. 2 キ ャパ シ タン ス比 の 影 響 々 d同 様 に キ ャパ シ タ ン ス の 比 C/ C1=C/ C2= Pお よび C/ C3= qの 大 小 は 、定 常 諸 特 性 に大 き く影 響 す る。 な お 、 p+q =lな の で 、 こ こで は pの 大 小 0. 5 3, 々d : 5 0,n = 0. 2 5 )に つ い て 述 べ る。 に よ る諸 特 性 の 影 響 (た だ し山= 新 形 インバ ー タで は 、 原 理 的 に は C3が な くて も イ ンバ ー タ動 作 は可 能 で あ る が 、 Clと C2との 関 係 に お け る C3 の 大 小 は 、Pl h`, d i+ /dz,A Sの 電 圧 最 大 値 Lr^sM'さ らに は Zc に も影 響 す る。 従 って 、C3を適 当な 値 に 選 定 す れ ば 、 高 周 波 イ ンバ ー タ と して 良好 な 特 性 を発 揮 し う る。 A■を 表 して い る。 図 58の 各 図 58は 、 パ ラ メ ー タ人 に お け る p に 対 す る P. 59 人 に お いて 、 p の 増 加 に伴 い 、 Pl . + 0. 7 は一 様 に上 昇 して い る。 従 来 の 逆 素 子 3端 子 サ イ リス タを用 いた従 来 形 イン バ ー タで は 、 Cl , C2の 値 を C3に対 p * i n O・ 6 †o・ 5 して か な り大 き くと り、 C1, C2を電 0. 4 源 分 割 E/2に置換 えて い る。 新 形 イ 0. ラ ンバ ー タで Cl ,C2の値 を大 き くと る 、 また は C3値 を小 さ くす る こ とは p をゼ ロ に近 付 け る こ とに な る。 そ の場 0. 2 0. 1 合 、 図 5 8 よ り P. A+が大 幅 に減 少 し 0 てバ ワ が 入 りに く くな るの で 、 従 来 の 電 源 分 割 的 な C1, C2の 設 計 は適 さな う 乃 K) 0 0 0 ㍉ い。 図 5 9 は 、 パ ラ メー タ人 に お け る p に対 す る d iリ d zを表 して い る。 図 5 8の P-P..■特 性 同様 に 、 p の増 て い る。特 に 、 p が 1付 近 で は 、人 の 値 に よっ て は 、 d i'/d zが急 上 昇 し て お り、設 計 の 際 p=0.9- 1.0 付 近 は避 け るべ き と言 え よ う 。 A Sの に 関係 す る。 高周 波 インバ ー タで は チ 。 1 .I , 動 作 責 務 は 、 Eの み な らず f。に密 接 o・ う 図 59 pl ー p-d i' / dz特性 E . a Xの 関 係 上 Zcが大 き い方 が望 ま し い が 、 これ は 、 A Sの 動 作 責 務 との 関 係 に お い て考 渡 しな け れば な らな い。 図 60にパ ラ メー タ人 に お け る p に 対 す る Z。の特 性 を示 す 。 同 園 で p ≦ 0.7で は 、 p の 増 減 に対 す る Z。の 変 化 は小 さ い。 しか し、人 の値 に よ っ ては 、p〉0.7の あ る範 囲 で Z。が跳 躍 す る現 象 が 認 め られ る 。 Z。が 跳 躍 し て も他 の 諸 特 性 は跳 躍 して お らず 、 こ れ は Z。固 有 の現 象 で あ る。 従 って 、 この 跳 躍 現 象 は 、f。." xとの 関 係 に お 60 0 0. 5 1 . . . . ・ . ・ . 一 p 図 60 p -zc l 引ま L L ノ仁 ノ 12.0 0 0 加 に伴 い 、一 様 に d i'/d zは上 昇 し いての み 考 慮 す れ ば よ いが 、 `この よ うな領 域 の 回 路 設 計 は避 け るべ き と言 え よ う。 以 上 の pに対 す る定 常 削 毒性 を総 合 的 に考 慮 す る と 、 pを選定 す る場 合 P. B・ が比較 的 大 き く、ASの 動 作 責 務 に お いて Ⅴ^sM' , d i+/d zが小 さ く、 しか も Z。の大 きい 0.3≦ p ≦0.7の 範 囲 が 適 して い る と言 え よ う。 5. 4. 3 負 荷 話特 性 回拍 設 計 に お いて と ま、負 荷 変 動 に対 す る諸特 性 の 変 化 を 把 掘 す る必 要 が あ る。 図 6 1 に 、山=0. 53, 々d=50,p=0. 6 25に お け る人 に 7お よびn=0. 対 す る d i' /d z, Ⅴ ^S仙●, P lb ',Zcお よび R ip % の 特 性 を示 す 。 図 6 1に お いて 、人 の 増 加 に伴 い d i'/d z , Zcお よび V^sN■は上 昇 し て い るが 、0.375≦入 付 近 で飽 和 して い る。 一 方 、 R 0 ip% お よび P. h'は、 そ れ ぞ れ入 = 0. 2 5付 近 で そ れ 0 ・ 25 図 61 負荷特性 ぞ れ最 小 お よび 最 大 とな る こ とが 明 らか とな った。従 って 、固持 設 計 に お いて人 を選 定 す る場 合 、人 力電 力 が 大 きい 割 に d i'/d zお よび VAsM* の AS動 作 責 務 が比 較 的 ゆ る や か で 、 しか も R ip% が小 さ く Zc の大 き い 0.l≦九 ≦0.3の範 囲 で設 計 す るの が適 当 と言 え よ う。 5. 4. 4 周波数特性 回搾 設 計 に お いて は 、負 荷 諸特 性 同様 に、周 波 数 の 変 動 に対 す る定 常 諸特 性 の影 響 を 図 62 周波数特性 把 握 して お く必 要 が あ る。 61 0 ・ i_, 入〇 ・ 75 図 62に 、入 = 0. 2 5, 々 d=50,p:0.33お よび n=0.25に お け る山 に対 す る d i'/d z , V▲S"',p. b', Z cお よび R ip% を表 す 。 図 62に お いて 、J lの増 加 に比 例 し b'お よび て R ip% が 減 少 して い る。 一 方 、 VAs"',P. Z cは 、山 の 増 加 に対 し て 上 昇 傾 向 を示 して い る。 す な わ ち 、 わ ず か の 周 波 数 変 動 に対 して 、各特 性 値 の 変 化 が 著 しい こ と を表 し、 動 作 績 域 と して は適 さな い。 ま た 、0.3≦山 の領 域 で は R ip% お よび d i'/d zが 急 上 昇 して い る。 従 って 、 以 上 の 周 波 数 特 性 を捻 合 的 に考 慮 す る と、 回 指 設 計 に お いて は 、0. 3 ≦山≦0.8の 範 囲 の山 を選 択 し、動 作 周 波 数 範 囲 も この 範 囲 に限定 す べ きと 言 え よ う。 5.5 過 渡 特 性 図 6 3に ・山= 0・ 5 3, や d=50, p=0. 67お よび n=0. 25に お いて 、 0. 5 人 をパ ラ メー タ とす る起 動 時 過 渡 動 作 に お け る Z c過 渡 応 答 を 示 す 。 図 6 3の 各人 の 値 に お い て 、定 常 状 態 の Z cの値 と、 過 渡 動 作 に お け る Z cの 最 小 値 . h Zc 川 に お いて は 、 か な りの 隔 た りが あ る こ とが わ か る。 従 って 、定 常 状 態 に お け る Z 。に よっ て f。E b.Xを計 算 して負 荷 を騒 動 した場 合 、 起 動 時 過 渡 動 作 に お い て転 流 失 敗 す る場 合 も考 え ら 5 - ∩l c yc l 司o れ る。 図 64は 、 過 渡 動 作 に お け る Z 図 63 Zc過渡応答 。の 跳 躍 現 象 を 、 A S お よび ダ イオ ー ドを流 れ る電 流 に よ って説 明 す るもの で あ る。 図 64の過 渡 動 作波 形 に お いて 、 Z=2. 5で は A S2の 電 流 LAs2*= i , さは まだゼ ロ ク ロ ス して いな い。 こ の 時 点 で A S lを トリガ す る と A SZと A Slが 同 時 に導 通 す る重 流転 流 モー ドと な り、 そ の 後 Z =2. 52で i , 芸が ゼ ロク ロ ス した後 D2が Z c=0.1 9の 期 間串 通 す る 。 一 方 、 Z =3. 0に お い て A S2を トリガ した と きは 、 す で に D lは Z=2. 83の 時 = 点 で 辞 通 して お り、 Z c 0. 38の 期 間 等 通 す る こ とにな る。 す な わ ち 、 A S電 流 l が 、 トリガ リング の 半 周 朋 の 間 にゼ ロ ク ロ ス しな い と A Sl ・A S2重 流転 流 モ ー 62 ドとな り、 この 場 合 の Zcu小 さ い。 と こ ろが 、 トリガ リング の 半 周 期 の 間 にゼ ロ ク ロ ス し、A Sl・D2 ある いは AS2・Dl の 重 流 転 流 モ ー ドが 存 在 す る場 合 は 、 Z。は跳 躍 して大 き くな る。 一 方 、 A S電 流 が い )ガ リ ング の 半 同朋 にゼ ロ ク ロ ス して ダ イ オ ー ドが鮮 通 した場 合 で も、 そ の 半 周 期 中 にダ イオ ー ド電 流 が再 び ゼ ロ ク ロスす る と休 止 モ ー ドとな り、 こ の 場 合 の Z'も小 さ い。 す な わち 、 Z。の 跳 躍 現 象 は 、 A S l・D2 あ るい は AS2・Dlの 重 流 転 流 モ ー ドが存 在 す るか否 か の 塩 兼 集 件 に お いて発 生 す る こ とが 明 らか と な った。 図 64 過渡動作波形におけるZ。 の跳躍 5. 6 過 渡 お よび 定 常 出力 波 形 v o ■ 0 1 寧 事 『 璽 F g 1 . 5 * 過 渡 ・定 常 特 性 解 析 結 果 よ り、 新 形 インバ ー タの 最 適 な固 持 パ ラ メー タの 範 囲 と して 、0.3≦山 . 5 , ' u T iiii ij i京 _ ≦0.8, 0. 1≦ 入 ≦0.3 r J Ll{r JK J■T I 滞超訂正' ii i 1 L糧E JL l 50≦ 々d≦ 100お よび 0 k T 等曇等璽聖 ii i i毒亘妻 . 3 ≦ p ≦ 0. 7が あげ られ る。 f o可O K Hz 以 上 の結 果 をふ まえ、種 々の 固 持 ( a)定 f 0 8 0K Hz 常 出 力 披 形 パ ラ メー タの実 験 結 果 の 中 か ら、 代表 的 回 路 パ ラ メー タと して 、山 = 0.52, 1.04, 人=0 J ; : . j l l I 『 ■ 迫 il Ll■Fl .25, 々d=50お よび p= 0.33に おけ る過 渡 お よび 定 常 出力電 圧 波 形 を図 65に示 す 。 そ {㍍謂■儀IM1 1 1 4! L Y ii! , r l l ri ! 最j JJ れぞ れ の 出 力電 圧 波 形 に お いて 、 f o 壬 1 4 0K Hz ( b )過 理 論値 と実 測 値 の傾 向 は よ く一 致 渡 出 力 波 形 図 65 過渡および定常出力電圧波形 して い る。 ただ し、 固持 バ ラ メ- 63 タの 値 に よ って は 、 特 に人 が 0. 1よ りも小 さ い領 域 で は 、 両 値 の 誤 差 が や や 大 き くな る傾 向 が あ る。 これ は 、 数 値 解 析 に お け る定 常 判 定 の 打 ち 切 り誤 差 な どが 影 響 して い る も の と考 え られ る。 しか し、 そ の 誤 差 も 10% 以 下 で あ り、解 析 結 果 の 有 効 性 は裏 付 け られ た と考 え る。 また 、 図 65( a)子。=80Mzの 出 力 電 圧 波 形 の ひ ず み が大 き い が 、 これ は 固 持 を F 。 =4 0KHzで 設 計 し、 そ の 回 路 パ ラ メ ー タ に お い て 出 力 周 波 数 だ け 上 げ た た め で あ る 。F。 =80KHzの 場 合 は 、山=2 7 tjL √(LC)、 入 =n2R/2√ (L/C) の 関 係 よ り、L/Cの 比 を変 え る こ と な く、√ (LC)の 値 を l/2とす れ ば 、 々 dの 比 は大 き くな るが 、11お よ び人 は J 。 =4 0KHzの 場 合 と変 らな い の で 、 ほ ぼ 同 様 の 出力 波 形 が 得 られ る。 5.7 緒 言 本 章 で は 、 新 形 イン バ ー タ と しての 2倍 周 波 イ ンバ ー タの 過 渡 お よび 定 常 諸特 性 に つ い て 、 回 路 設 計 の 技 術 的 観 点 か ら検 討 した 。 そ の 結 果 、A - S CR あ るい は 高 速 ス イ ッ チ ング サ イ リス タを用 い た 2石 形 インバ ー タで も 、 8 0KHzまで の 大 電 力 高 周 波 発 掘 が 可 能 で あ り、強 力 超 音 波 、 高 周 波 誘 祥 加 熱 あ るい は ス ィ 、 ソチ ング レギ ュ レー タ方 式 DC-DCコ ンバ ー タな どの 電 源 と して の 今 後 の展 望 を聞 い た。 新 形 イ ンバ ー タは 、 コ ンデ ン サ C1,C2を 介 した 出 力 変 成 器 の 接 続 に よ り、直 流 偏 磁 の 問 題 が な いの で 、 大 容 量 自 己 消 弧 デ バ イ スの 適 用 に よ る、 一 層 の 大 電 力 高 周 波 化 に も有 用 で あ る。 この 点 に 関 して は 次 章 で の ぺ る。 64 第 6 章 言争 電 誘 導 高 波 イ 周 ト ラ ニ/ ジ ニ/ ノヾ - ス タ ブヲ 式 新 形 タ 6. 1 緒 言 強 力 超 音 波 の 高周 波電 源 と して 、 高速 ス イ ッチ ング サ イ リス タあ るい はAI SCR を用 い た新 形 インバ ー タにつ いて第 5章 で述 べ た。 サ イ リス タを用 い た 高周 波 イ ンバ ー タの 場 合 、電 力 定格 の みな らず 、d i/dt,dv/d t、特 に T。flに よ り動 作 周 波 数 が限定 され る。 これ は 、 固持 方 式 に も よ るが 、前 章 で述 べ た よ うに 2石 形 で は 80KHz程 度 が 出 力周 波 数 の 限 界 とな る。 従 来 の強 力超 音波 振 動 子 の 共 振 周 波 数 帯 は 、 15- 50KH2付 近 で あ った が 、 最 近 は 、微 細 加 工物 の超 音 波 洗 浄 用 と して 、数 百 KH2帯 の 周 波 数 利 用 も具 体 的 に 検 討 され て い る。 さ らに、 この よ うな強 力 超 音 波 応 用 の み な らず 、 高周 波 誘 斗 加 熱 , レーザ ー あ るいは 、 ス イ ッチ ング レギ ュ レー タ方 式 D CIDC コ ンバ ー タな どの電 源 (48)A (52)と して 、近 年 インバ ー タの 動作 周 波 数 は益 々高 周 波 化 の 傾 向 に あ る。 100KHzか ら 1MHZの 大電 力 高 周 波 電 源 と して は 、SI Tお よび MOSFETを用 い た 種 々の 回招方 式 が報 告 ( 48)I (52)され て い る。 な か で も 、 高出 力化 の 枕 点 か らは 、 MOSFE Tの数 倍 の 素 子容 量 を有 す SI T高周 波 インバ ー タが注 目され て い る。 SI T高周 波 インバ ー タは 、電 圧 形 (48)(50)と電 流 形 (49)に大 別 きれ る。電 圧 形 の場 合 、叫 通 損 失 が小 さ い反 面 、停電 時 や負 荷 矩 絡 時 の 保 津 が 難 し く、デ ッ ドタ イム を厳密 に設 けな けれ ば な らな い。 一 方 、電 流 形 は 、過 電 流 保 護 が寄 島 で あ る 反 面 、一 般 に逆耐 圧 の関 係 上 、SI Tに直列 に ダ イオ ー ドを接 続 す る必 要 が あ り、 しか も鮮 通 損 失 も大 きい。 この よ うに 、電 圧 形 ,電 流 形 とも に、 そ れぞ れ一 長 一 短 が あ るが 、 その短 所 を改 良 す る制 御 方式 も具 体 的 に検 討 ( 49)され て い る。 これ ら従 来 の電 圧 形 ,電 流 形 に対 して 、本 章 で 提 案 す る静電 誘 斗 トラ ンジ ス タ 方 式新 形 高周 波 インバ ー タ (以 後 SI T新 形 インバ ー タ と略 記 ) は 、 前 章 で述 べ た サ イ リス タに よ る 2倍 周波 インバ ー タの利 点 を活 か しつ つ 、 そ の欠 点 をSI Tの 適 用 、並び に固 持構 成 の適 切 化 に よ り克 服 した もの で あ る。 す なわ ち 、電 圧 ・電 流 T 折 中形 と して 、両 方 式 の特 長 を兼 ねそ な え た もの とな って い る。本 章 で は 、SI 新 形 インバ ー タの過 渡 お よび 定 常 特 性 に関 し、パ ル ス幅 制御 動 作 の 影 響 を厳 密 に 考 慮 した特 性数 値 解 析 を明 らか に して い る。 さ らに、 電 圧 ・電 流 折 中形 と して の 特 性 評 価 を、理 論 と実験 の 比較 対 照 よ り行 って い る。 65 6.2 主 回指構 成 と特 徴 図 66(a)に、電 圧 ・電 流 折 中 形 と しての SI T新 形 インバ ー タの主 回招 構 成 を 、 図 6 6(b)に 30 0W , 4 0 0KHzに おけ る各部 定 常 動 作波 形 を示 す。既 に報 SCRを用 い た新 形 告 したÅ- インバ ー タの 場 合 、 d i/ dt . の 抑 制 と、転 流余裕 時 ( a )主回托構 成 間 を大 き くと るため に 、ASCRに直列 に ア ノー ドリア D ug s : 1寵 ク トル を接 続 した。 しか し 2 L L s /di y 1 0 0 V /di v 50 0 V /di 1 0 v A / d i v 岳転 、SI Tを用 い た新 形 インバ ー タの場 合 は 、転 流 余 裕 時 5 A /di v 間 の 問題 はな い。 む しろ、 直列 に リア ク トル を接 続 す る と、Sl Tの ドレイン電流 を強 制 的 に オ フす る際 、 リ ア ク トル エ ネル ギ等 横 に伴 うスパ イク電 圧 が発生 す る b )各 部定常 動作波形 図 66 S汀新形 イ ン バ ータ主回 指構成 と 定常動作波形 ( 。従 って 、極 力 配 線 にお け る インダ ク タンス を小 さ くす る必 要 が あ る。SI T新形 インバ ー タの特 徴 は、次 の とお りで あ る。 (1) 電 流 形 と同 じ人 力 に直流 リア ク トル (以 後 Ldと略記 ) を もつ構 成 で あ りな Tの よ うな逆 耐 圧 の な い 自己 ター ンオフデ バ イスを用 い るこ とが で きる が ら、Sl Tl, 2同 時蒔 通 領 域 か ら、同 時 オ フ領 域 まで 、 どの動作領 域 で 。 すな わち 、SI も躯 動 で き、広 い領 域 で のパ ル ス幅 制御 が可 能で あ る。 (2) 電 流 形 の場 合 、一 般 に数 百 m Hの Ldの接 続 に よ りほぼ定電 流 源 を実現 して T新 形 インバ ー タで は リア ク トル 比 (後述 表 2 い るが 、Sl 参 照 )の適 当な選 々 d 定 に よ り、数 m Hの Ldに よ り、電 圧 形 よ りは るか に人 力 直流電流 の リプル率 を 軽 減 で きる。 (3) 停 電 ,負 荷矯絡 時 の過 電 流 保護 が容 易 で あ る。 (4) 出力 周 波 数 が、ゲ ー ト トリガ 周 波数 の 2倍 とな るの で、従 来 のSI Tインバ ー タよ りも周 波 数 限界 が拡大 で きる。 66 6.3 回指 動作 固持 の ス イ ッチ ング動 Tl,2 (Sl, 作 は 、SI S2と以後 略記 ) ,ダ イ オー ドD lお よび D2の オ ン ,オ フに よ り大 別 して 下記 の よ うな 3つの主 モ モー ドa . S lま た は D 1 単涜 モー ド モー ドb モ ー ド cI S l・ ・D 2 重涜 モー ド モ ー ド C2 S 2 ・D l 重涜モー ド S 2 または D 2 単式 モ - ド ー ド、 お よび 図 67に示 す よ うな サ ブモー ドに分 類 され る。す な わち 、 (Ⅰ) 単流 動 作 モ- ド Slまたは D l, SZま たは D2のみ辞退 す るモ ー ド。 ( Ⅰ) 重流動作 モー ド Slと D2, SZと D lま たは Slと S2が同時 に祥 通 す るモー ド。 た だ し、 Slと S2が 同時 に鮮通 す るモー ドは 、 S lと S2の モ ー ドC3 S 1 ・S 2 重読 モー ド ゲ ー ト同時逆バ イアス期 モー ドd 休止 モー ド 図 67 スイッチングモー ド 間 と してのデ ッ ドタイム を設 けた ときは存 在 しな い。 (Ⅱ) 休止 モー ド Sl, S2, D lお よび D2の全 て の ス イ ッチ ング素子 が オ フ す るモー ド。休 止 モー ドは、 パ ル ス幅 制御 時 に お いて 、 Slと S2が共 にゲ ー ト逆 バ イアスされて い る期 間 中、 あ るいはパル ス幅 制御 を しな い場 合 、デ ッ ドタイム 期 間中 のみ に起 りう るモー ドで あ る。各 ス イ ッチ ング モ ー ド遷 移 の詳 細 は次章 で 述 べ る。 6.4 状態方程 式 特性 解 析 に際 し、各 ス イッチ ング素子 は理想 ス イ ッチ と し、 また、出力変成 器 は理想変圧 器 とす る。 回路状態 変数 と して の各電圧 ,電 流 の 正 の方 向 を図 66(a )の ように定 め る。 67 図 6 6(a)の 負 荷 に お い て 、 R。- C。は電 わ い形 超 音 波 振 動 子 の 共 振 点 に お け る 等 価回路定数 ( 7) (磁 わ い形 で は R。-L。) を示 し 、L。は整 合 用 リア ク トル (敬 わ い形 で は C。が 整 合 用 コ ン デ ン サ ) を意 味 す る。 解 析 に お い て は 、 表 3に 示 す よ うな 無 次 元 化 基 準 量 で無 次 元 化 した無 次 元 化 パ ラ メ ー タ を 用 い る。 蓑3 [基准量] 電圧 E.=E, 電 流 無次元化パラメータ F.=E/ 2√ (L/C) , 電 力 P.=E..I. T.= 1/ jI インピ-ダンス Z.= 2√ (L/C), 時 間 [無次元化真] 周 波 故 山 =2T EfL √ (LC) , 時 間 Z= t/ T‥ 負 荷 抵抗 入 =n2R./ 2√ (L′C) , 電 圧 L r' ( 2)こけ(I )/E. 電流 L●(∼)= i , (t )/ ー‥ 電 力 P●=P/Ps, ここ で j L:トリガ 間 波 数 =J ./ 2, f。:出 力 周 波 数 A :巻 致 比 = nl . / n2=nl b/ n2 P○:出 力 電 力 =2人 rJ(L○ ●)adz [定 n ] L=n2L.+L3. C=CIC./ くC.+n2cl) , Cl=C2, 々d=Ld/ L, せ。=n2L./L . Q3-L3 / L, pl=C/ C1, p2= n2C/C.0, 々。+ 々3= 1. pl+p2= 1 kl= (〟/4 m) (々d十4々Lo十 やdQo/L3 ), k2= (々。/ 々3)- 1 k3= 1/ e 3, k4=2 Q./ Qd, k8=Llや○/ 7 1, kg=2n 図 67に 示 す 各 ス イ ッチ ング サ ブ モ ー ドは 、次 の 4つ の 無 次 元 化 状 態 方 程 式 で 表 さ れ る。 (I) モ ー ドa S lま た は D l単 流 モ ー ド 0 0 0 k2′kl 0 0 pl /u 0 0 p17 t 0 0 -k3′kl -k9′kl 68 / . u -pl/u 0 2p去7 t/lln -p27 t/ 〟 -1 く 10′kl k10′2kl - (67) (I) モ ー ドb SZま た は D 2単 流 モ ー ド 0 0 0 pl 7 7/〟 0 0 0 0 p17 t/l l -p17 t/〟 0 0 0 2p27 t/ J ln -p27 【′ 山n く 2 ′kl -k3 ′kl l -k9′l く 1 -klO′kl kl O′2kl k6′k4 k5′k4 k9′21 く 4 k1 0/2k4 -k1 0′4k4 - (68) 69 (Ⅱ) モ- ドc I Sl ・D2重 流 モ ー ド, モー ド C 3 Sl ・S2重 涜 モー ド モー ド C 2 S2・Dl重涜 モー ド 0 0 0 p_ 17 t/〟 0 0 0 p1 7 t/〟 0 0 0 2p27 (/山 n 0 0 0 0 k3 ′k8 k2/k8 kg′k8 k10′k8 -pl7 t/〟 0 -p27 (′〟 n 0 . -k10′2k8 -(69) 70 ( l V) モー ドd 休止モー ド 0 0 0 pl7 t/〟 0 0 0 p17 t/〟 0 0 0 2p27 一′ 山n ・ ・ ・ (70) 各 モー ドの出力電 流 i , 吉,出 力電圧 ひ:お よび S l,S2 の 各電 圧 ひ.!, L rSさは次式 で表わせ る。 各 モー ド共通 i , . ' =n(2i , 3-i , ‡ -i , 茎 )- (71) LT言=(入 /n2)i , . + +ひ C ;-(72) モー ド a, b L lS ! ,L T8 さ=1- (山 々 d/ 47 t)(di d '/d2) ・ ・ ・ (73) モー ド d L T B f=(I-(山 々芸/47 7)(di 岩/dz)- Lrc茎+ t rs芝=tll(山 LrcH /2 -( 7 4 ) 々芸 / 47 t) 起 動 か ら定常 状態 に至 る過渡 動作 を含 め て 、各 モー ドご との状態 方 程式 は 、 4 次ル ンゲ ク ツ タ数値解 析 法 に よ り求め た。起 動 初朋値 は、ゲ ー ト トリガパ ル ス を 加 えてか ら電源 を印加 す る起動手 順 よ り、全 てゼ ロ と した。定常 状 態 の判定 は 、 け cT の nサ イクル 日と (n+1)サ イクル 目の初期値 を比較 し、そ の変 動 分 の絶 対値 が 、 0.5% 以内 を も って定常状 態 と した。 モー ド遷 移 の具 体例 を次 に述 べ る。 7I 6.5 ス イ ッチ ン グ モー ド パ ル ス幅 を考 庶 したSI Tの ス イ ッチ ング 動 作 は複 雑 とな る。 す な わ ち、 起 動 か ら 定 常 に至 る過 渡 動 作 に お い て 、 各 ス イ ッ チ ング モ ー ドは 、 Lrsl,L rB2あ るい は Ll 「TF , 」2の 正 負 に よ り自然 に モ ー ド遷 移 す る 場 合 と、パ ル ス幅 の オ ン ,オ フ時 点 に お いて強 制 的 に モ ー ド遷 移 す る場 合 とが あ る。 また強 制 的 に モ ー ド遷 移 す る場 合 で 0 も、 図 68に示 す よ うな Sl ・S2同 時ゲ - ト逆 バ イア ス (約 40V) 期 間 と して の Zdを設 け た場 合 と 、 Sl, S2同 時 ゲ ー ト V品 2 図 68 ZdとZ ,Q 順 バ イ ア ス (約 0. 7V)期 間 と しての Z々 を設 け た場 合 とで は ス イ ッチ ング 時点 に お け る動 作 が全 く異 な る。 6. 5.1 ゲ ー トパ ル ス休 止 期 間 を設 け た場 合 (1) 0 < Zく( 0. 5Zd) a.単 流 モ ー ドの 場 合 Z=0で S lが ター ンオ ン して 斗 通 して い る間 に 、 S2の 電 圧 ひB 芸が負 にな った場 合 は、 そ の 時点 か ら Sl ・D2 重 流 モ ー ドに移 行 す る。 一 方 、Z=0で D lが斗 通 して い る単 流 モ ー ドの場合 は 、 D lの電 流 と して の i 」 がゼ ロク ロスす る時 点 か ら Slの 単流 モ ー ドとな る。 b. 垂 流 モー ドの 場 合 S l・D2同 時導 適 量 流 モ ー ドに お いて 、 D2電 流 と し J 茎が ゼ ロ ク ロ スす る場 合 は 、 そ の 時点 で Sl単 流 モー ドに移 行 す る。 ての i (2) Z =( 0. 5Zd ) a .単 流 モ ー ドの 場 合 」; ( 0. 5Zd ) > 0の Sl導 通 時 に、 S lゲ ー ト逆 バ イア ス に よ り S lオ フ 。 D2が 一 日 ( 0. 5Zd )を初 期 値 と して斗 通 す る単 流 モー ドとな る。一 方 、 L‡ ( 0. 5Zd ) < 0で D lが畔 適 時 は、 モ ー ド遷 移 はな く そ の ま ま D lが串 通 す る。 b. 重流 モ ー ドの場 合 Sl ・D2重 流 モ ー ドの場 合 は 、 S lはZ =( 0. 5Z d )でゲ し き ) を初 期 値 とす る D 昌 一 ー ト逆 バ イ ア スに よ りオ フ し、 そ の 時点 に お け る (L 2の 単 流 モ ー ドに移 行 す る。 ( 3) ( 0. 5Zd ) <Z < 0. 5 Dlまた は DZ導 通 の 単 流 モー ドに お いて 、 i , T(=i , D T) または i , 左(= i , Dを)が ゼ ロ クロ スす る時 点 で 、全 て の ス イ ッチ ング葉子 が オ ブ す る休 止 モ ー ドとな る。ゼ ロ ク ロ ス しな い場 合 は 、 Z= 0. 5まで 、 D lまた は D2は そ の ま ま単流 モ ー ドと して 祥 通 し続 け る。 Dl導 通 の単 流 モ ー ドの場 合 は 、 S2タ ー ンオ ン に よ り D lは オ フ し、 - i ,7 ( 0. 5 )= i , さ( 0)を初 期値 とす る S2の単 流 モー ( 4)Z = 0。 5 a。単 流 モ ー ドの 場 合 72 ドとな る。一方 、D2 串 通 の単 流 モー Fの場合 は 、Z : 0. 5に お いて S2がゲ ー ト順 バ イアスされて もモー ド遷移 はな く、 D2は その ま ま単 流 モー ドと して祥 通 し続 け る。 b. 休止 モー ドの場合 全 て の ス イ ッチ ング素 子 オ フの休 止 モ ー ドで 、S2 が トリガ きれ ると、ゼ ロを初期 値 とす る S2の単 流 モー ドとな る。 6. 5. 2 ゲ ー トパ ル ス重 な り期 間 を設 け た場 合 ( 1 )0 < Z < Z々 Sl ,SZ共 にゲ ー ト順バ イア スの重 な り期 間 Z々に おいで は、 重 流 モ ー ドとな る。 単流 モー ドは存 在 せず 、 Sl・D2,SZ・D2あ るい は Sl・S2 従 って、 モー ド遷 移 す る場合 は 、 この 3つの重流 モ ー ド間 で行 わ れ る。 (2) Z = Z々 Z= 0で Slが トリガ きれ た場 合 は 、Z = Z々で S2がゲ ー ト逆 バ イア ス く Z々) < 0の場 合 は、モ ー ド遷移 はな く、 その ま ま D2が串 され る。 この 時点 で iさ 通 し続 け る (D2・Sl重 流 モー ド)。一方 、」さ( ZP) >0の場 合 は 、 S2は オ フす 3 ( Z々)を初期 値 とす る Slの単 流 モ ー ドに移 行 す る。 ると同時 に 、 L' ( 3)Z々< Z < 0. 5 a.単流 モ ー ドの場合 Sl蒔 通 単流 モー ドに お いて S2の ド レイン ・ソー ス間電 圧 LTsさが 負 にな った場 合 は、その 時点 か ら Sl・D2重流 モー ドとな る。 b. 重流 モー ドの場合 Sl・D2重 流 モー ドの場 合 、Z = 0. 5に お いて S2が ト が祥 通 して い るため に S2は ター ンオ ンせ ず 、従 って 、 モ ー ド リガ されて も 、D2 遷移 は起 こ らな い。 な お、 回指の対称 性 か ら、上記 固持 動 作 に おいて 、 Slを S2に、 また Dlを D2 に置換 えて も、同様 の ス イッチ ング モ ー ド遷移 が行 われ る。 6.6 定 常特性 6. 6. 1 ゲ ー トパ ル ス幅 の影 響 電圧 ・電 流折 中形 と してのSI T 新 形 インバ ー タで は 、 Sl ,S2同 時ゲ ー ト逆 バ イアス期 間 と しての Zd (電 流形 は不可 ) あ るいは、 Sl ,S2同時ゲ ー ト順バ イアス期 間 と しての Z 々 (電圧 形 は不可 ) の両方 の投定 が可 能 で あ る。 ここ で は 、 Z d , Z 々パ ル ス幅 の定常 諸特 性 に対 す る影響 につ いて検 討 0. 5 0. 1 0. う OB 2 0. 10 0.1 0. 2 0. う 0. 4 0. 5 一 一 一 一lZd Z 々一 図 69 す る。 73 Z 4,ZQの影響 図 6 9に 、山 ,人 等 の 無 次 元 化 パ ラ メ ー ター 定 に お い て 、 Zd , Z pを 変 化 した と きの 出 力 電 力 P;,SI T電 圧 最 大 値 Vs 孟 お よび 電 流 最 大 値 Tsまを 示 す 。 ま た 、 図 70に 、 Z々,Zdを そ れ ぞ れ (a) ZP= 0. 02, ( b)Z々= 0. 2 5 ,(C)Z 々=0. 32,( d)Zd ・ 0. 2 5と した と きの 各 部 定 常 動 作 波 形 を示 す 。 図 69に お い て Zdの 増 加 に 伴 い、 P; , Vs 孟お よ U I.三は一 様 に 減 少 して い る。 一 方 、Z々の 増 加 に対 して は 、Zp= 0. 25 付 近 まで は 、 ほ とん ど各 特 性 値 の変 化 は な く、0. 25を超 え る と急 激 に 各 特 性 値 が 一 様 に 上 昇 して い る。 これ は 、 図 7 0(b) Z 々= 0. 2 5の i J;,i , さの 波 形 に お い て 、Sl ,S2 (C) Z々=0. 32 の ゲ ー ト トリガ パ ル ス を Z =0-0. 25の 期 間 重 ね て も、 そ の 期 間 中 D lが 斗 通 して い る た め に ゲ ー ト順 バ イア スの 効 果 が な く、 Z や=0の 場 合 と変 りな い ため で あ る。 す な わ ち 、 Z Pの 効 果 は 、 Z Q=0の 」;の 波 形 に お いて 、 Slが ゲ ー ト トリ ガ さ れ る以 前 に D lが 祥 74 通 す るような固持パ ラメー タの場合 は 、Dl の導 通 が始 まる時点 か ら、 Sl のゲ ー トトリガ 時点 までの期 間 ZDlよ りも大 きな Z 々の場 合 に お いて有効 で あ り、 Z 々 ・ZDlにおいて は Z々の影響 はな い。一方 、 S lゲ ー トい Jガ 以 前 に Dlが串 通 し な い ような回 路パ ラ メー タの場合 は 、Z々を設 け るこ とに よ り、 P. + ,V.孟お よ び Ⅰ8 孟は一様 に上 昇 す る。 =0か ら Dl電 流 Z や同様 に Zdに関 して も , Zd=0の LTの波 形 に お いて 、Z い がゼ ロクロスす るまで の期 間 ZD2よ りも Zdが大 きい場 合 の み Zdを設 け る効 果 が あ り、 ZdくZD2の場 合 、その影 響 はな い。 以上 の Zd. Z 々変 化 に よ る出力電 力特 性 をも とに、パ ル ス幅 制 御 用 ICを用 いた実 用回持 (付録参 照 ) に よ る出力 電 力 の速 応 制御 が可 能 とな る。そ の場 合 、 ,∫. まの増 減 の傾 向 は一致 し 図 69の特 性 曲線 よ り、 P. +の増減 の傾 向 と 、 V. 丘 て お り、安定 制 御 の披点 よ り都合 が よい。な お、以 降 の定 常 托特性 のデ ー タは、 数値解析 に おいて Zdを0. 03に設 定 して調 べ た。 6. 6. 2 周波数 特性 ラメー タとす るA l-p吉特性 を示 す 。 リ p ▲ 図 7 1に入 一定 に お いて 々d(Ld/L)をパ 4★ o 無次元化 に おけ る周 波数 は山 とな る。 アク トル 比 々 dに おいて 々d=0が電 圧 形 , 々d≧1 000が電流 形 , 々dが数 十 か ら数 百 は、電圧 形 と電 流 形の折 中形 と言 え よ う。図 7 1の 山 一P. '特 性 よ り、各 パ ラ 山=0.7付近 で は メー タ 々 dにお いて も、 P;は最大 とな り効率 よ く電 力変換 され る。 々 dが30以上 の場 合 、Alの広 い領 域 l-po'特 性 図7 1 l において 々 dの大 小 に よ る P;の差異 は小 0 図 72は、同様 に 々 dをパ ラメー タと p) がわか る。 0 人 ・出力電 力 には あ ま り影響 がな いこ と Ri は ー う と電流形 を比較 した場合 、 々 dの大 小 は 1 。 さ く、従 って 、 々 d ≧30に お いて折 中形 p% を す る山 に対 す る平均値 リプル 率 Ri 示 す。 また、図 73に 、山 ,人 等 のパ ラ メー ター定 に おいて 、 々dの み を(a)々d= 1, (b)々d =30, (C)々d=200と した ときの 0. 0 1 -.〟 図 72 山一Ri p 特性 各 部定常動作 波形 を示 す。 75 2 ナS O O 4 2 0 J ・ ・ ★d く振 れ 、 そ の 結 果 図 7 2 に納 ま らな い け 々d=0の 電 圧 形 の場 合 、 図 73(a)に示 , 芸が マ イナ ス まで 大 き され る よ うに 、i 程 リプ ル 率 が 著 し く大 き くな る。 一 方 々 d ≧1 000の電 流 形 で は 、数 百mHの 人 力 直 流 リア ク トル Ldの 接 続 に よ り、 リプル 率 は極 め て 小 さ く 、厳 密 に Ldの値 を考 慮 した数 値 解 析 を しな くて も、 近 似 的 に定 電 流 源 とみ な して差 し支 えな い こ とが わ か る 。々d = 30お よび 200の 折 中 形 で は 山 ≦0. 7の 使 20 t L ノO L ^0 0 0 "0 5 。 づ 10 0 -。 め .・ ・ J 苫 h u ■ 、図 7 2 に お いて 品 山 ≧0. 7の 鏡 域 で は図 7 3(b)(C)に も示 現 従 って 、 以 上 の 特 性 よ り、 々 dが数 十 ÷ 0 制 しな が ら、 高 周 波 大 電 力 の 供給 が可 くノ . L tL Jl トル の 小 型 軽 量化 お よび リプ ル 率 を抑 。 な い し数 百 の 折 中 形 で は 、 直 流 リア ク ・ gN さ れ る よ うに比 較 的小 さ い。 ≡ 域 で は リプ ル 率 が や や大 き くな るが 、 能 とな る。 6. 6. 3 負荷特性 無 次 元 化 に お け る負 荷 は人 で表 わ さ れ る。 図 74に 、 々 d =1 00,山 =0. 7に 仙 お け る負 荷 話 特 性 を示 す 。 [ ・=.。隼 ノ0 0 仁 ★ .L ▲「0 ★o h u ▲「 I 図 73 定常動作波形 図 74 負荷話特性 76 同 国 よ り、入 =0.1 5付近 で出 力電 力 P:は最 大 とな り・ その 時 リプル奉 お よび SI T の電圧 の 最大 値 V. まも最 小 とな るこ とが わ か る。広 い負 荷 変 動 に お いて も、 リプ 孟お よび Is志が 、負 荷変 動 に伴 いやや大 き ル率 は 3%以 内 と極 め て小 さいが 、 Ⅴ& く変 化 す るので注意 を要 す 。 6.7 過渡 特性 高速 ス イッチ ングサ イ リス タあ SCRな どの 高周波 インバ るいはAー タに おけ る周波数 限界 は、主 と して T。日に よって 限定 され る。 ー 言 1 い 0 10 . 5 1 . 0 1 . 5 2 . 0 2 . 5 3 . 0う . 5 Lrg *s 1 1 1 - a すなわち、素 子 の T 。‖定 格 値 よ りも、固持 の転流余裕 時間 T。が E 大 きい ことが 、安定 動作 の必 要 条 件 にな る。 この T'は、サ イ リス ≡≡≡ 莞 喜 (a)z P= 0 . 0 2 タに逆 並列 にダ イオー ドが接 続 さ れ る方式 で は、ダ イオー ドの# 通 期 間 と して、実験 お よび 計算 に お いて求 め られ る。 起動 時過 渡動作 におけ る T。の ( b ) Z P = 0 . 3 2 値 は、サ イクル毎 に変 化 し、一 般 に定 常値 よ りも小 さ い。従 って 、 サ イ リス タを用 いた高周 波 インバ ー タの場 合 は、実 質 的 には起動 時 過渡動作 に おけ る Tcの最 小値 に よって周波数 限界 が 限定 され て し ま う。 u s * s1 * 2 い 0 -1 T高周 波 インバ ー タの 一 方 、SI 場合 は、サ イ リス タの よ うな 、 ア ノー ド,カ ソー ド間逆バ イア ス期 間 と しての T。は必 要 と しな いの で、起動 時過渡 動作 におけ るサ イ (C)Z d= 0 ・ 2 5 リス タ方式の よ うな周波 数 限界 は 図 75 起動時過渡動作波形 問題 とな らな い。 77 図 75(a)∼ (C)に 、 々 d =200、山 = 0. 75, 人 =0.11 5に お いて 、 そ れ ぞ れ (a)Z 々=0. 02, (b)Z々=0. 32,くC) z d =0. 25に おけ る起 動 時過 渡 動 作 波 形 を示 す 。 々 d =200の 場 合 は、 い ず れ の動 作 波 形 に お い て も 、S I Tお よび ダ イオ ー ド電 流 と して の i . 1 は 4=200 、人 力 直 流 リア ク トル Ldの 作 用 に (a) 々 よ り徐 々に増加 して ゆ き、数 十 サ イ クル 後 に はば定 常 値 と判 定 され る。 1の 一 方 、 図 76の P d=30お よび 0. 起 動 時 過 渡 動 作 波 形 に お いて は、起 T電 流 が 動 5- 6 サ イ クル後 に 、SI 最 大 とな り、定 常 値 よ りも大 きなSI T電 流 の 最大 値 が発 生 す る こ とが わ か る. (b)々4 =3 0 Tの 一 般 に 、 回 路設 計 に お い て SI 電 流 お よび 電 圧 の 最 大 定 格 を検 討 す る場 合 、定 常 値 を も とに そ の 最 大 定 Tの耐 圧 、 あ る いは 格 を検 討 してSI 並列 接 続 個 数 等 を決 定 す る。 しか し 、同 じ折 中 形 で も 々 dが数 十 以 下 と い う比 較 的 小 さな値 の 場 合 は 、 p d = Oの電 圧 形 の起 動 時過 膿 動 作 と同 様 に 、過 渡 値 の検 討 も必 要 と言 え よ う。 図 76 起動時過渡動作波形 6. 8 結 言 本 章 で は、電 圧 ・電 流 折 中 形 と し て のSI T新 形 インバ ー タを提 案 す る と とも に、 そ の過渡 並 び に定 常諸 特 性 を中心 に述 べ た。 そ の結 果 、 次 の よ うな こ とが 明 らか とな った。 (1)Sl T同 時ゲ ー ト逆 バ イア ス期 間 Zd、 お よび 同 時ゲ ー ト順 バ イア ス期 間 Z 々と して の パ ル ス幅 を考 放 した過 渡 ・定 常 特 性 解析 よ り、 Zd ,Z 々変 化 に よ る出力 電 力 の影 響 を定 量 的 に明 らか に した。 78 (2) Z 々制御 に よるパ ル ス幅 制御 の効 果 は 、Sl Tに逆 並列 にダ イオ ー ドが接続 き る場合 、SI Tがゲ ー ト トリガ きれ る以前 に逆並 列 ダ イオ- ドの群 通 が始 ま る時点 か らSI Tのゲ ー トトリガ までの期 間 ZDlよ りも大 きい Z 々に お いて有 効 で あ る。 Zd制御 の場 合 は 、 Z = 0に お け るSI Tの トリガ 時点 に お いて、逆 並 列接続 ダ イオ ー ドが祥 通 して い る場 合 、 Z = 0か らダ イオー ド電 流 がゼ ロ ク ロ スす るまでの期 間 ZD2よ りも Zdが大 きい場 合 の み有 効 とな る。 (3) 出力電 力の周波数特 性 に お いて 、直流 リア ク トル 比 々 d が数 十 な い し数 百 の 折 中形 と 々d≧1000の電 流 形 を比 べ ると 、 々d≧30に お いて は 、 々dの大 小 は出 力 電力 に あ ま り影響 しな い。 ( 4) 数 百 m Hの直流 リア ク トル Ld を接続 す る電 流 形 に比 べ 、折 中形 で は 、 々 d =30-200に適定 す るこ とに よ り赦m Hの Ldで人 力 直流 電 流 の リプル 率 を軽 減 で きる。 (5) 過渡 特性 にお いて 、 々dが数十 の折 中形 の場 合 、電 圧 形 同様 にSI Tお よび ダ イオー ド電流 の最大 値 に関 して、起 動 数 サ イクル後 に定 常 値 よ りも大 きい過 塘値 の発生 が確認 され た。従 って 、素 子 の最大 定格 を決 め る回指 設 計 に お いては、過 渡値の検 討 を要 す。 SI T新 形 インバ ー タの超 音波洗浄 横 の応 用 に おいて は、出力 に関 して は、振動 子 の材質 ,形 状 に よ る制約上 、現状 に お いて はせ いぜ い数 百 KHzで数 百 W で あ る 。従 って、現 在 は 、2SK180を 2個用 いた回指 で構成 して い るが 、今後 は、誘 鮮加 熱 への応用 も考渡 して 、SI Tの並列接 続 に よ り数 Kw , 1MH zの出力 を検討 した い。 79 付録 静 電 誘 斗 トラ ン ジ ス タ ドラ イブ 回 祐 CN2 (a) s ITパ ワ ー ユ ニ ッ ト用 ドラ イブ 回 路 (東 北 金 属 ) . I l I ▲▲▲▲ I 0 笥 l 1 1 4 う 2 1 ■ 7 6 う 8 2 1 SGうう24 15 6 ■ (b) パ ル ス幅 制 御 用 ゲ ー ト信 号 回 路 80 E∃ ri l堅∃ 逆 領事 通 サ イ リ ス タ プヲ 式 改 良 形 高 周 波 イ ニノ )ヾ -一 夕 の 弓翁 力 走宣 音 波 発 掘 機 へ の 応 用 7. 1 緒 言 第 2章 か ら第 6章 で は 、強 力 超 音 波 励 振 源 と して の 種 々の 固 持 方 式 に 関 して 述 べ て き た 。 本 章 で は 、 こ れ らの 回 路 方 式 の 中 か ら、 第 3章 、 第 4葦 で 述 べ た改 良 形 インバ ー タの 強 力 超 音 波 発 振 機 へ の 具 体 的 応 用 に つ い て 述 べ る。 強 力 趨 音 波 発 振 機 の 回 路 実 設 計 に 関 して は 、 振 動 子 系 電 気 端 に お け る入 力 負 荷 特 性 に未 知 の 要 素 が 多 く、 発 振 機 と して の 高 周 波 イ ンバ ー タの 動 特 性 が 十 分 解 明 され て お らず そ の吉 集計 法 も未 発 屈 の 段 階 で あ る。 高 周 波 イ ンバ ー タの 動 特 性 に 関 して は 、第 3章 か ら第 6章 に お い て 、 従 来 形 イ ンバ ー タ との 特 性 比 較 を しな が ら、 種 々の 回 路 設 計 資 料 を与 え た 。 本 章 で は 、 まず 初 め に 、強 力 超 音 波 の 具 体 的 応 用 と して の 強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ (1)(2) に 関 して 、 そ の 入 力 負 荷 特 性 (54日 )を 明 らか に す る と と も に 、 第 3 55 章 、 第 4章 の 解 析 結 果 に 基 づ く改 良 形 イ ンバ ー タに よ る発 振 機 の 回 路 実 設 計 法 ( 3 9)につ い て 述 べ て い る。 ま た 、 そ の 固 持 実 設 計 法 を も とに試 作 発 振 機 を製 作 し、 強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ を駆 動 して 改 質 燃 料 を生 成 す る と と も に 、 そ の 効 果 を分 析 検 討 して い る。 7.2 強 力 超 音 波 ホ モジ ナ イザ の負 荷 諸 特 性 7. 2. 1 強 力 娼 音 波 ホ モ ジ ナ イザ の 構 成 強力超音波発振機 の回路設計 に お いて は 、負 荷 状 態 で の 電 気 端 か ら見 た機 械 系 の 共 振 点 に お け る負 荷 等 価 固 持 定 数 を 測 定 し、 そ の 値 を も とに イ ンバ ー タ各 回 指 定 数 を ○● C▲11 ■t o r 芸. 1 三r .;. ' 三光 : ,! ∃ 設 計 す る必 要 が あ る。 従 って 、強 力超 音波 振 動子系 の負荷特性 や周 波数特性 な る。 (54) (55) の 把 堀 が重 要 と 強 力 担音 波応 用 の一例 と (a) (b) 図 77 走 塁音波ホモジナイザ と負荷特性測定回田 して の 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ の 構 成 を図 77(a)に示 す 。 81 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ に は 次 の よ うな用 途 が あ る。 (a) 繊 /液 系 分 散 :エ マ ル ジ ョン燃 料 (燃料 油 と水 等 の 混 合 乳 化 燃 料 )、乳 液等 の分 散乳化 処理 (b) 回 / 塘 系 分 散 :チ タン ホ ワ イ ト、感 光 材 料 、低 質 燃 料 等 の 分 散 処理 (C) 化学 反応 促 進 :油 脂 頬 の精 製 、脱 色 等 そ の 負 荷 変 動 要 因 と して は 、 図 7 7 に示 す 油 深 D(mm),ク リア ラ ン スC(mn),粘 cst)お よび 圧 力 な どの 変 化 が考 え られ る。 こ こで は 、 これ らの負 荷 変 動 を 度 V( 電 気 端 入 力 負 荷 特 性 と して負 荷 ア ドミタン スの 変 化 を測定 す る こ とに よ り、発振 機 へ の 影 響 を分 析 す る。 負 荷 諸 特 性 の 測 定 法 と して は 、 図 7 7(b)に示 す定 電 流 )A-B,BCの電 圧 位 相 差 測 定 , (2)A8,BCの電 測 定 法 を 採 用 した。 す な わ ち 、(1 圧 測 定 ,(3)電 流 測 定 これ ら各 電 圧 ,電 流 お よび 位 相 差 よ りア ドミ タン スを算 出 した。 7. 2. 2 液凍特性 図 78に 娼 音 波 ホ モ ジ ナ イザ の繕 深 Dmmを変 化 させ た場 合 の電 気 端 子 に お け る 負 荷 ア ドミタン スの 変 化 を示 す 。媒 質 と して A 重 油 を用 い、温度 、粘 度 、圧 力 、 cmm、発 振 機 の f。kH zを一 定 と して D を変 化 させ た もの で あ る。従 来 、超 音波 ホ モ ジ ナ イザ の Dの 変 化 は そ れ ほ ど問題 ときれ て いな か ったが 、 図 78よ り Dの変 化 に よ り大 巾 に負 荷 ア ドミタン スが変 化 す るこ とが 明 らか とな っ た。 同 園 よ り、 D が 3 2mmお よび 4 2mmのポ イン トが 負 荷 共 振 点 とな って い る。従 って、 エ マル ジ ョン燃 料 お よび 重 油 改 質 シ ステ ム な どに お いて 、 発 振 機 の 出 7]周 波 数 -定 時 に Dが変 化 した場 合 、 共 振 点 を は ず れ て効 率 が悪 くな り強 力 超 音 波 振 動 子 に余 分 な 負 担 を か け る こ とに な る。 の 4 2 岩︺ - 6 4 2 芸 叫︺ Y八 6 〃」卜 ・ ︹t 6 ︹. 0 1 -一 一 ・ Gl ms l ] 図 7 8 泊涜特性 82 すな わ ち 、振 動 子 自体 の招 集 分 に よ り発 熟 し、ひ い て は振 動 子破 壊 を招 く恐 れ が あ る。従 って 、 D を一定 に保 つ よ うに流 量 制 御 す るか 、 また は Dが変 化 す るご と に その 共 振 周 波数 を追 尾 す る必 要 が あ る。 LL 1 7. 2, 3 ク リア ラ ン ス特 性 8(T n m) ■ ヽ 一 ㌦ ・ F l tノ n フ I -+ I I 1 -′ 、 \ 野 . 措 一. 、 ● 音波 の性 質 上 、液 体 中 で は必 ず何 等 か の 吸 収 ー, L r L 一 「 ● 動 作 に よ り乳 化 あ るいは分 散 す る。 これ は娼 4 ラン ス をで き るだ け小 さ く して媒 質 を大 振 幅 ( ∽日). 内 - 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ ( 日( 2)の場 合 、 ク リア 作 用 に よ り波 の進 行 に従 い招 音 波 の 強 さが減 ′ ′ るため で あ る。 しか し、乳 化 分 散 す る媒 賃 の ノ 一 Y 一 ヽ \ ● o \ l 衰 し、同 時 に放 射圧 も低 下 す るこ とを考 凍 す 種 頬 (重 油 ,圧 延 油 ,感 光 材 ,乳 酒 な ど) お よび 粘 度 の 高低 に よ って は、 あ ま りク リア ラ 1 ン スが小 さす ぎ ると媒 質 の流 れ が 阻 害 きれ る 1 G(ms) ) 図 79 クリアランス特性 ことにな る。従 って 、媒 質 の種 類 に も よ るが 、 1- 5mm程 度 が 適 当 と言 え よ う。 一 図 79に媒 質 に A 重油 を用 い、諸 条 件 を ほぼ 一定 と LCmmを変 化 させ た場 合 の 負荷 ア ドミタン ス実 測 例 を示 す 。 同 国 よ り、 Cの わ ずか な変 異 に よ り負 荷 ア ドミ タン スが大 巾 に変 動 す る こ とが 明 らか とな った。 図 77(a)の シ ステ ム構 成例 で は 、初 め に ク リア ラ ン ス を設 定 して しまえば 形 状 的 に一 定 とな り変 動 す る こ とは な いが 、超音 波 洗 浄横 の よ うな 場合 は 、洗 浄 す る物 体 の有 無 に よ り大 き く変 動 す るの で注 意 を要 す。 7. 2. 4 粘度 特 性 超 音波 ホ モジ ナ イザ の乳 化 あ るいは分 散 させ る媒 質 と して 重 油 お よび 水 / 重 油 を考 え た場 合 、粘 度 の 変 化 に影 響 す る因 子 と しては 度 、乳 化 度 、水 分 比 率 お よび 使 用 重油 の種 精 な どが考 え られ る。 デ ィーゼ ル エ ンジ ンあ るい はボ イラバ ー ナ に おいて 、最 良の燃 焼 状 態 を保 持 す るため に は、油 の耗 化 、到 達 、分 散 お よび 分 布 の 4集件 に適 した噴 射形 態 を と る必 要 が あ る。 一 般 に、 低 質 重 油 ほ ど粘 度 が 高 く な る傾 向 が あ り、適性 粘 度 とす るため に は高退 加 熱 す る必 要 が あ る。 図 80には 度 以外 の 詩 集 件 を一 定 と した と きのほ 度 変 化 に よ る電 気 鳩 か らみ た 粘度 特 性 を示 す 。同 図 は、媒 質 と して C重 油 使 用 、 出 J]周 波 数 f。を88oCに お け 8512H之に固定 し、 36-92oCまで加 熱 、温 度 変 化 させ た場 合 の 負 荷 る共 掘 周 波数 1 ア ドミタン スの変 化 を示 す 。 図 80に お いて Vは toCに お け る動 粘 皮( c st )を示 す 。一 般 に動粘 度 とは度 の 関 係 は一 定 の 関 係 が あ る。 図 80に お いて 、共 振 点 が 88oCと64oCの 2点 に表 わ れ て い る。 83 図 80 粘度特性 液 漢 ・ ク リア ラ ン ス特 性 に お いて も共 振 点 は 1点 で はな か っ たが 、 そ の 場 合制 動 ア ドミ タン ス Ydは ほぼ 一 定 で 、 勤 ア ドミタン ス Ymの み が変 化 して い た。 しか し、 hと とも に Ydも変 化 す る こ とが明 らか とな った。 粘 度 特 性 の 場 合 は 、 YE 7. 2. 5 周波数特性 招 音 波 ホ モジ ナ イザ は 、 分 散 工 具場 面 の キ ャ ビテ ー シ ヨン現 象 (空 洞現 象 ) ち 利 用 して 乳 化 分 散 をす る。 そ の キ ャ ビテ ー シ ヨン は 、 シ ステ ム の駆 動状 態 に おけ る機 械 系 の 共 振 周 波 数 に お い て頗 著 とな る。従 って 、発 振 機 の 固 持 設 計 に お いて は 、 負 荷 状 態 に お け る周 波 数 特 性 よ りア ドミタン スル ー ブ を求 め 、そ れ か ら共振 点 に お け る等 価 国 指定 数 を も とめ る必 要 が あ る。 図 8 1に一定 負 荷 状 態 (媒 質 B重 油 、 混 合 水 分 10% 、 流量 1々/mi n、粘 度 約 15c st 、 ク リア ラ ン ス 3mm、摘 採 3 0mm) に お け る周 波 数 特 性 を示 す。 E g ]8 1に お いて共 振 周 波数 は 1 8547H2,共 振 点 に お け る動 ア ドミタン ス Ymo = 7.8 m S、 制 動 ア ドミタン ス Yd= 5.8m S。 これ らの 値 を も とに(1 2)お よび ( 1 3 ) 式よ り求 め た共 振 点 に お け る負 荷 等 価回 指 定 数 は 、 R。= 8 2 . 4 E 2, C。= 0 . 13 9 〃Fとな る。 一 般 に 、強 力 超 音 波 振 動 子 系 励 振 源 の 共 振 の鋭 さ Q は 、動 ア ドミタン スル ープ 、f2 、半 値幅 △ の原 点 か ら直 径 に対 して 4 50方 向 に相 当す る象 限周 波 数 を fl f=f2-jl,共 振 周 波 数 f,とす る と Q= 5, /Af ・ ・ ・ (76) 84 8 一」空5 } 0( 舶) / 一一 ′O 7 I . フ ( s T : ) 爪 tT l J憲::…21 /I 8蒜4 J W ー、 、JP 2う9 、 、 r1 8454 ヽ \ I ∫ ∫ ∫ う 2 1 0 ′ / 5 + 5 0 / / ' 1 8 _ー / 、1 8575 1 85号5/ -1 1 1 8. う 1 8. 4 1 a5 1 8. 6 1 8. 7 1+fo【 Ⅰ Ⅰ 2 : ) 一十 G( ms) 図 81 周波数特性 と与 え られ る。 この Q は 、 電 わ い形 振 動 子 の 方 が 磁 わ い形 振 動 子 に比 べ て 高 く、 Qの 高 い程 、機 械 系 の損 失 も小 さ くな り効 率 も 良 くな る。 しか し、 Qが 高 い こ と は図 8 1に も示 され る よ うに 、 共 振 点 近 傍 に お いて負 荷 ア ドミタン スが大 巾 に変 動 す る。従 って 、発 振 機 の 回 指 設 計 に お いて は 、共 振 点 近 傍 に お け る負 荷 変 動 に よ り、 ス イ ッチ ング素 子 あ るい は振 動 子 の破 壊 を生 じな い よ うに各 回 路 素 子 を厳 密 に選定 す る必 要 が あ る。 (76)式 よ り図 8 1に お いて Q を求 め る と、約 6 18 と な り、非 常 に尖 鋭度 の 高 い こ とが わ か る。 7.3 高 岡波 インバ ー タ駆 動 強 力 超 音 波 発 振 機 の 設 計 7. 3.1 設 計概 念 強 力超 音 波 発 振 機 に限 らず 、読 替 加 熱 系 の 高 周 波 電 源 に関 して も、 サ イ リス タ 高周 波 インバ ー タの体 系 的 な 固 持 設 計 法 は 明 らか に きれ て お らず 、一 部 直 列 イ ン バ ー タにわ ず か に論 じ られ て い る程 度 で あ る 。 く6) ( 7)本 節 で は、 この よ うな現 状 を踏 まえて強 力 超 音 波 発 振 機 の 固 相 実 設 計 に つ いて述 べ る。強 力 超 音 波 応 用 と し ての 超 音推 ホ モ ジ ナ イザ の 回路 設 計 に 際 して は 、設 計 仕 様 と して次 の よ うな 点 が あげ られ る。 (1) 負 荷 条 件 用 途 :エ マル ジ ョ ン燃 料 、感 光 材 料 な どの乳 化分 散 あ る い は重 油 ス ラ ッジ成 分 の 粉砕等 媒 質 :A , Bあ るい は C重油 ,ガ ソ リン、水 等 流 量 :総 流 量 [々/mi n] 85 粘 度 :重 油 加熱 温度 に お け る粘 度 [cst] 形 状 :ク リアラ ン ス [ m m1 ,液深 [ m m] (2) 超 音 波 ホ モジ ナ イザ お よび ス イ ッチ ング 素 子 定 格 定格出力 PolV] 、電 源 電圧 E[ V]、 振 動 子 系 共 振 周波 数 f,[Hz] サ イ リス タお よび ダ イオ ー ド定 格 :ター ンオ フ タ イム サ イ リス タ電圧 ,電 流繰 り返 しピー ク値 オ ン電 流 上 昇率 ToH [J IS] L rTh m.x[V] , i,Tbmax[A] d i/d t [ A/ 〟 S] ,オ フ電 圧 上 昇率 サ イ リス タ平 均順 電 流 i.T ha v [A ] dv/d t [Ⅴ/〃S] ,ダ イオ ー ド平 均 順電 流 ダ イオ ー ド繰 り返 しピー ク電 圧 お よび 電 流 LDa v[ A] L rDmax[ V], i , Dmax[ A] (3) 回 路 パ ラ メー タ 山 =27 tfo√( L C),入 =R/ 2√( L /C) , 々 I =Ll /L=L2 /L,m =L3 /L a= Cl/C = Cz/C, b= C3/C , k =Llと L2 電磁結合度 , n=nl /n2=出力 変 成 器 巻 数 比 設 計 仕 様 の与 え方 には種 々の方 式 が考 え られ るが 強 力 超 音 波 あ るいは誘導加 熱 の よ うな 電 力 用 高周 波 インバ ー タの場 合 は、 使 用 す る高速 ス イ ッチ ング サ イ リス タ の 定 格 に左 右 きれ る要 素 が大 きい。従 って 、 こ こで は、強 力 超 音波 振 動 子系 の定 格 出 力 P。お よび 振 動 子 系 共振 周 波 数 fr との 関係 に お いて 、 使 用 す る高速 ス イ ッ チ ン グ サ イ リス タの安定 動 作 に必 要 な 諸定 格 を満 足 す る ように 、 回搾 パ ラ メー タ お よび 出力 変 成 器 巻 数比 を設 計 す る方 式 とす る。 7. 3. 2 設 計デ ー タ 第 3葺 お よび第 4葦 に お いて 、強 力 超 音 波 発 振 機 の 回躍 設 計 に必 要 な諸 賃料 を 提 示 した が 、 こ こで は さ らに具 体 的 な 設 計 デ ー タを補 足 説 明 す る。 (1) 人 ・出力 電 力 との 関連 に おけ る L,C,R (52)式 お よび ( 53)式 に お いて 、回指 の損 失 分 を考 慮 して効 率 符とす ると、 P.+= 7 7P、 n'= 7 7・2√ (L/C)・Pth/ E2 ∴ ・ ・ ・ (77) √(L/C)=P。*E2/(2符P, A )= 7 7EZ・pl n*/ (2Po) =(7 TEZ/2P。) [(27 rZul Z /山 91- i , 芝'Ozu l )+(2al l/7 t)・ (L r さ く 0. 5)-t J芸(Zul)‡] こ こで (1 4)式 よ り √(L C)=J l/ 27 tf。 ・ ・ ・ ( 7 8) 従 って、両 式 よ り L= くilE2符PI B * )/(4=7 tf.p.) , C=山 p。/ (符7 tf。E2p. h*) 人 R= 2 √ (L/ C) -( 7 9) の よ うに L,C,Rが求 ま る。 な お 、 こ こで P ln'は、選定 した山 、人 の値 に よ り Zuを考 慮 して計算 よ り求 め るわ け で あ るが 、 図 8 2に、改 良形 インバ ー タ発掘 横 のJ J . 、入 平面 にお け る P lh 書の 分 布 を示 す 。 86 (2) サ イ リス タ電 流 平 均 値 超 音 波 振 動 子 系 の定 格 出 7] 電力 との関 連 に お いて 、 サ イ リス タ平 均 順電 流定 格 と しての サ イ リス タ 電 流 平均 値 ITh.V'が必要 とな る 。 高速 ス イ ッチ ング サ イ リス タと 高速 ス イ ッチ ングダ イオー ドを逆 並列 に接続 した方 式 と して の 逆 尊 通 サ イ リス タ方 式 の 場 合 、 IThav 'は 、 Thlまた は Th2番 通 期 間 におけ る i . !また は Lさの平 均 値 と して下 式 で与 え られ る。 〈7 TZu2/(山 々1)-0. 5 i , 茎 ' Ozu )+(aD/7 t)(ひき(Zl) -L r き'0〉) こ こで L‡ (Zl )= 0 IThiV`= 0・ 5 --人 1・ 0 図 82 P川+ 分布 - (80) . 4 . うう 図 83に改 良形 インバ ー タの特 性 上 、実 際 に 選定 され る こ との 多 い入 ≦0. 3,0. 6≦山 ≦0. 9 5の範 囲 に お け る IThAv■の 分 布 を示 す 。 (3) コンデ ンサ電 流 実効 値 ,転 流 リア ク ト ル電 流実 効低 回指 素 子 と して の コ ンデ ンサ Cl,C2お よ び 転 流 リア ク トル Ll,L2の 電流 実 効 値 Icl . ラ . 2 75 .、 ±、 二 妻妾 葦 萱 享 至 芸 … …;ラ \-ーJ メ ・ 1 75 ,2,m8'お よび IL1 ,2.ms'はそ れぞ れ下 式 で与 え られ る。 〈 0. 5・ L4 Si ,O '2(Z)dZ〉 ・ ・ ・ ( 81 ) l Ll .2,m8 * √ t∬∼ いく Z ) 2d Z〉 - (82) Icl ,2. ms'= √ = 0. 1 図 8 4お よび 図 85に、入 ≦0. 3,0. 6≦山 ≦ 0. 95の範 囲 に お け る Icl.2 h S 'お よび 日 日 h8 ILl,2 図 83 0. 2 0. ラ . ・ . ・ ・ . 十人 tTH v' 分布 書の分布 を示 す。 発掘 機 の 回指設 計 に お いて は、安 定 動 作 の規 点 よ り過 渡 値 と して の LThmax, uThm.x, d i/d tお よび T 。 日 を考 癒 し、定常 定 格 出 力 の 観 点 か ら P. ‥ P。, Id,Ⅰ。. , n ‥ V。… &,lThav,Icl,2,msお よび ILl.2,h8等 の定 常 値 を検 討 す る。 87 7. 3. 3 設計手順 以上 の設計デ ー タ ≡: :三 t : ・I . _ 享 …三 三 一̀ ・ ÷ 指 実 設 計 に お け る手 帽 に つ い て 述 べ る。 )] 等 [ステ ップ (1 価 固 持 定 数 R。,C。 の算 出 強力超音波ホモジナ イザ の使 用 目的 (エ マル ジ ョン燃 料 生 成 ,重 油 中 ス ラ ッジ 成 分 の粉 砕 な ど) に お け る負 荷 条 件 (重 油 0.1 2→0 . 3 入 0. - 図 84 Icl,2,ms' o・1 図 85 そ一入 0・ う 0 IL1.2,hS + 分布 の 種 頬 ,流 量 ,粘 度 , ク リア ラ ン ス ,液 潔 な ど) に お いて 、 周波 数 ア ドミタンス を測 定 す る と とも に 、i,に おけ る制 動 ア ドミタン ス 軌 跡 を測 定 。共 振 周 波 数 fr Ydお よび 動 ア ドミタ ン ス Ym。よ り、 負 荷 等 価 回指 定 赦 R。, C。を算 出 す る。 2) ] 娼 音 波 ホ モ ジ ナ イザ 定 格 , ス イ ッチ ング素 子 制約 条 件 の 指定 [ステ ップ ( 強 力 担 音 波 ホ モ ジ ナ イザ の 定 格 出 力 は 、処 理 流 量 に 比 例 す る。従 って 、定 格 出 力 P。川 ]を決 定 す るに は 、厳 密 な 処 理 流 量 と所 要 電 力 の 関 係 を把 掘 す る必 要 が あ る。 しか し、可 能 処 理 流 量 に 関 して は 、 流 体 の様 相 、 ク リア ラ ン スさ らに は押 し込 み 圧 力 な どの 諸 因 子 に よ って変 化 し、 そ の 関 係 を厳 密 に把掘 す るこ とは難 しい。燃 料 改 質 シ ステ ム (36) (38) に お いて は 、概 算 と して 1. 5-3. 0々/ mi n・ K uと考 え られ る。 イ ンバ ー タ出 力 周 波 数 f。は原 則 と して チ.に等 しいが 、 f。 . b l Xに関 して は、 2倍 程 度 に考 え る。 また、電 源 電 圧 E は可 変 電 圧 源 負 荷 変 動 幅 を考 庶 して t。の 1. とす る。 ス イ ッチ ング 素 子 に関 し、特 に 高速 ス イ ッチ ン グサ イ リス タの 制約 条 件 と して は 、市 販 の 高 速 ス イ ッチ ン グ サ イ リス タに お け る T。 日 と電 流 ,電 圧 耐 量 との 関 係 に お いて 、 T. (-の下 限 、 さ らに ひ Thm.x, i,Th. nix, d i/d tお よび d v/d tの 上 限 が 制 約 され る。 また効 率 符は 、約 0. 8程 度 で あ り、 符を仮 定 す る。 な お 、 ダ イオ ー ド定 格 に 関 して は 、 尖 預 使 お よび 平 均 値 の 各 特 性 値 が 、固持 の特 性 上 サ イ リス タの 特 性 値 以 上 に は な りえず 、従 って 、 サ イ リス タ制 約 集 件 に準 じて考 え る。 3)] 回 指 パ ラ メー タの 決 定 , ス イ ッチ ング素 子 の 選定 [ステ ップ ( 88 上記 定格 出力 、 ス イ ッチ ング素子 制約 条 件 の も とに固持 パ ラメー タ山 ,入 , L , Cお よび Rを設計 す ると ともに、 サ イ リス タ,ダ イオー ドを遺定 す る。 固持パ ラメー タ決定 、 スイ ッチ ング素 子選 定 に おけ る設 計 フ ローチ ャー トを図 8 6に示 す 。図 8 6 にお いて まず 、 ステ ップ (2)に おいて求 め た E お よび f。よ り、 サ イ リス タの制約集 件 の中の け Th, A.X お よび T 。日を考 妊 して山 、人 を選 定 す る。 . 1-1. 2)を考 旺 して 山 この場 合 、 LlThm.xに関 して は図 45よ り Zc=Z。 HX(1 ,人 を選定 す る。山 ,人 を選定 した ら√ (LC)を算 出す る ととも に(78)式 お よび 図 82を参考 に して√(L/C)を求 め る。 √ (L/C)の算 出 よ り まるので 、 Ⅰお よび 図 43を参 考 に して 、 Ⅰ=E/ 2 √(L/C)が求 L Thm. xが制 約 値 以 内 か どうか をチ ェ ックす る。制約 値 以 内で な い場 合 は、 ステ ップ (2)に も どって E の値 を変更 す る か、 または山 ,人 の値 を再 選定 す る 。 LThhaX が制約 値 以 内の場 合 は、次 に d i/ d tを同様 にチ ェ ックす る。 LTh,AiX,d i/d tが選定 した山 ,人 の値 にお いて 79)式 よ り、 L,C 制約値 以内 の場 合 は、 ( お よび Rが求 まると ともに 、 ▲x, d i/d t, LTh. " T 。fr , LrThm , ( お よび 図 8 3 lTh . V ■か ら得 られ る ITい Vをも とにサ イ リス タお よび ダ イオー ドの素 子 を選定 す る。 [ステ ップ ( 4) ] 巻数 比決定 ,イン ピー ダ ンス変換 図 87に出力 変成器 に よ るイン ピーダ ン ス 変 換の フ ロー チ ャー トを示 す 。 ステ ップ (2 )で求め た R と 符か ら概 算 され る損 失抵 抗 分 rよ り、巻数 比 nを下 式 に よ り求 め る。 n=nl /n2=√ く くR- r)/R。〉 =√ ( R' /R。) -( 83) この nをも とに、 イン ピーダ ン ス変 換 に よ お よび Cとの関 り、C。の l次側換算値 C3 1 =C2,さ らに は a、 bの値 係 に おけ る C を下式 よ り求 め る。 C3=C。 /n2, cl=C2=CC3 /2 ( C3-C) - (84) ただ し a=Cl /C=C2/C,b=C3 /C [ステ ップ (5)] コンデ ンサ 、 リアク トル 定格 89 図 86 J L,入 スイッチング素子 選定フローチャー ト p.b', Td', LTh m. x', けTh , A .X', Zc, d i'/d zお よび ITblV●な どの計 算 に お い て は 、J J,入 . 々i ,kが 決 定 して い る場 合 、a, bの 値 に よ って そ れ ぞ れ の 値 は変 化 しな い t n. x -は a , bの 値 に よ って そ 。 と こ ろが 、 LTl.2 b<o c の 大 小 が 変 化 す る し、 ま た a, bの 値 も0<a, と範 囲 が 広 い。 従 って 、 LTl.2 miX`に 関 して は 、 a, bの 値 が決 定 した時 点 で (42)式 よ り算 出 す る 。 この .2 . 日x'お よび (81)式 Icl .2.nB'よ り Lll LTl A. X=L r2 miXお よび Ic2H" を求 め 、電 力 用 高 周 波 コ ンデ ンサ を選 定 す る。 ま た 、 転 流 リア ク トル に 関 して は 、 (82)式 よ り転 流 リア ク トル を流 れ る平 2を考 庶 して リ 、 ソツ 線 均 電 流 を求 め 、 余 裕 率 約 1. の 太 さ を 決 定 す る。 i7 回指定致決定 図f フローチャー ト 7. 3. 4 数値 設計例 7. 3. 3で 述 べ た設 計 手 順 に従 って 、 回 路 実 設 計 を行 う。 設 計 仕 様 と して 下 記 項 目 を 指 定 す る。 [負 荷 条 件 ] 目的 :エ マ ル ジ ョン燃 料 生 成 , 流 量 :約 1々/m in, 燃料 :B重 油 , 粘度 ' .約 15cs I, 水 分 :約 10% ク リア ラ ン ス :3mm 液 深 :30mm , 加 圧 :大 気圧 [ス テ ップ (1)] 図 8 1よ り 共 振 点 に お け る各 定 数 S.= 18547Hz,Yh。=7.8m S,Yd。=5.a lm s, R. "= 128Q,Cd=0.0498L LF,R。=82.4Q C。=0. I391 1F [ス テ ップ(2)] 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ 定 格 、 ス イ ッチ ン グ素 子 制 約 条 件 P。=600W、f。=F.= 】8547Hz、 ホ モ ジ ナ イザ定 格 E= 100- 150v可 変 ス イ ッチ ング 素 子 制 約 条 件 i , T h. " [ステ ップ ( 3)] x T。日≧ 10L LS, ひTh mix≦700V, ≦50A, d i/d t≦ 100A/〟 S, 7 1≧0.8 回 路 パ ラ メー タの 決 定 、 ス イ ッチ ング 素 子 選 定 Zc=S。・T。lr× 1. 1=0.204 お よび 図 45を参 照 して こ こで E= 120V とす る と図 42 山 =0.85,人 = 0. 15を 遺 定 。 この 時 、 L TTも ha x=L rTh h.X●・E=237V。11=0.85,人 = 0. 15よ り図 82に お い て P … *= 0. 34と求 ま る。 従 って 、(78)式 よ り 材を 0. 8と仮 定 す る と √(L / C)=0. 3 4×0. 8×1 2 02/( 2×6 0 0)=3. 2 6 1=1 2 0 / 2×3. 2 6=1 8. 4 90 図 43を も とに 1Th . n .xをチ ェ ッ ク す る と入 =0. 15,山 = 0.85で j JTh t h a X.= 1.9 ∴i ,Th max= i ,Th mlx'・I=34. 96<50A 次 に 図 44を も とに d i/d tを チ ェ ッ ク す る と入 = 0. 15,1 1= 0. 85で ∴ d i/d t= (d i' /dI) ・I・f. ・10 d i'/d z=24.5 6 =8. 3 6 A /J JS<1 00^/J JS √(LC)=l l/ 27 tj 。=7.294×10-6 ∴( 79)式 よ り L=23. 7F LH, C=2. 24〟F, R=0. 98E 2 サ イ リス タ を選 定 す る場 合 の 定 格 値 と して 図 83よ り入 =0. 15,J l=0.8 5に て ITh. V+=0. 32 ∴ ITいV= ITh. V+ ・Ⅰ=0 . 32×1 8. 4=5. 80A 上 値 を ダ イオ ー ド選 定 に お いて も準 用 す る。 [ス テ ップ ( 4) ] 巻 数 比 決 定 , イ ン ピー ダ ン ス変 換 2次 側 R。= 82.L IE 2, とす る と 1枚 側 R=0.98E 2, 損 失 抵 抗 rを 0. 18Q R'=0.98-0. 18=0.8E 2 従 って ( 83)式 よ り nは n=√ ( 0. 8 / 8 2. 4)=0. 0985, nl : n2= l :1 0.1 5 n=0. 0985よ り C。の 1次 側 換 算 値 C3お よび Cl=C2は ( 84)式 よ り C3= C。 /n2=0. 1 3 9/(0. 0985)2=1 4. 33〃F, ∴ Cl=C2=1. 33〃F a=Cl /C=Cz/C=0. 594, b=6. 397 [ス テ ップ ( 5 ) ] コ ンデ ンサ , リア ク トル 定 格 コ ンデ ン サ お よび リア ク トル 定 格 は 、 図 84お よび 図 85に お い て入 =0. 15, Ll=0.85よ り 従 って Ic. ms`= 0.75, Ic. . "=TcH" IL,mS'= 0. 94 ■ ・Ⅰ=0 . 75×1 8. 40=1 3. BOA, IL, mB= TL" bS ' ・T=0 . 94×1 8. 4=1 7. 30A とな る。 ま た 、 a=0.594 ,人 = 0. 15,山 =0. 85, や I = 1, k= 0に お い て L Tc m. x'を算 出 す る と、 L Tc E b lX'=1.1 84 ∴ L Tc . n ▲x=t Pc m.x'・E= 1. 184×1 20= 142. 1V とな る。 以 上 の 回 指実 設 計 例 を ま とめ る と、 [岡 持 定 数 お よび パ ラ メ ー タ] 々 ) =1, k= 0, a=0.594, b= 6.397,山 = 0.85, 人 =0. 15,L=Ll=LZ= 23.7J IH,C=2. 24〃F, Cl=C2= 1.33〃F, n= 0.0985 [サ イ リス タ定 格 ] m. x=237 V , LTh. n ax=34.96A, ITい,= 5. 8A , L TTh d i/d t=8.36A/ 〟 S, T。 ‖= 10〃 S [コ ンデ ン サ定 格 ] ひc max= 142. 1v , Ic. ms= 13.8A l転 流 リア ク トル 定 格 ] tL. . "= 17.3A 91 各 ス イ ッチ ング 素 子 、 固 持 素 子 の 選 定 ,設 計 に お いて は 、上 記 各 値 に余 裕 率 をか け て 選 定 す れ ば よ い。 7.4 高周 波 インバ ー タ駆 動 強 力超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ 7. 4. 1 設計装置 上 記 固 持 設 計 例 に従 い 、定 格 出 力 6 0 0W 、出 力 周 波 数 18. 5KH2に お け る 強 力 摺 音 波 ホ モジ ナ イザ の 発 振 機 と しての 改 良形 インバ ー タに おけ る各 ス ィ、 ソチ ン グ素 子 定 格 を次 の よ うに選 定 す る。 LTht "x≦42 [A] , T。日 ≦ 10 [F LS] d i/d t≦ 10 [A / F LS] , LTh. V≦ 7 [A ] けTh m… ≦ 284 [Ⅴ] , ダ イオ ー ド定 格 値 は 、改 良 形 インバ ー タの特 性 よ り上 記 以 下 で よ いが 、余 裕 をみ て サ イ リス タ定 格 に準 じて選 定 す る。 従 って 、上 記 定 格 値 を も とに 、高速 ス イッ チ ング サ イ リス タと して 東 芝 SH1 6F1 3(T。ff=1 0I LS、 L rTh ma x=300V、 i ,Th. V =1 6A、 d i/d t=1 00A/J LS) を 、 ま た 高速 ス イ ッチ ング ダ イオ ー ドと して三 S20B40R(定 格 ピー ク繰 り返 し逆 電 圧 400V、定 格 最 大 順 電 流 5 0A) を選定 社電機H した。 図 8 8 に 、超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ 燃 料 改 質 シ ステ ム試 作 装 置 と発 振機 回路 を示 す 。 出 力 変 成 器 は 高 周 波 トラ ン ス と しての電 力 用 フ ェラ イ トコ ア を用 い 、 I 次 側 巻 数 nl= 10七、 2次 側 巻 数 n2= 100tと した。 転 流 コ ンデ ンサ Cl=C2 は 、 高 周 波 に お け る誘 電 損 失 の少 な い電 力 用ポ リエ ステ ル フ ィル ム コ ンデ ンサ を 用 い 、 ま た 、配 線 に は 高 周 波 用 リ ッツ線 を採 用 した。 l ・ 1 LF ◆ CF 工 C, D1 千 ち′ 払 D う I J 1 -L2 2 C1 -C211・ )( J J F) ' C ′ -0. 047( 仰 ) R -20( a) t で 1・ 0( ml り cF51000UI F) nl ・1 0(t) n2 -100(t) 図 88 試作装置と強力娼苗波発振機 92 Th1 車 Th 謹 千 7. 4. 2 実与 貧結 果 と検 討 燃 料 を生 成 し、 そ の 効 果 を評 価 、検 討 し 郎 動 作 波 形 を示 す 。 ま た 、 図 90お よび 図 9 1に E = 10 0 V お よび E = 8 0 V 数 特 性 を示 す。 図 90に お いて 共 振 周 波 数 は 1 8. 53KHz って い る。 本 実 験 に お い て は 、 人 力 電 圧 わ乱 8. 49KH2とな で あ り、 図 9 1に お い て は 1 ‰ 仏笹 に おけ る人 ・出 力 電 力 お よび 効 率 の 周 波 B.抑‰ 慧 た。 図 8 9に 、 E = 12 0V に お け る各 仙 乳 図 8 8 に よ る試 作 シ ステ ム に よ り改 質 上 昇 に 伴 い、共 振 周 波 数 も上 昇 の 傾 向 を 示 した。 これ は 、 振 動 子 の 特 性 と も考 え られ るが 、入 力 電 力 の 大 小 に よ る流 体 中 図 89 各部動作波形 ( E =1 2 0 V,f。 =1 8. 5 4 川2, 2 0〃S/ di v) キ ャ ビテー シ ヨンの 影 響 も あ り、 一 概 に は論 じ られ な い 。 しか し、 いず れ に せ よ図 90お よび 図 9 1の 周 波 数 特 性 よ り人 力 電圧 一定 に お いて は 、 共 振 周 波 数 に お いて著 し く人 ・出 力電 力 お よび 効 率 が上 昇 して い る こ とが わ か る。本 実 験 シ ス テ ム に お いて は 手 動 に よ りサ イ リス タ トリ ガ周 波 数 を変化 さ せ た が 、 実 シ ステ ム に お いて は上 記結 果 か らも共 振 周 波 数 を 自 動 的 に追 尾 制 御 す る必 要 が あ り、 今 後 の 検 討 課題 で あ る。 図 90 人 ・L I 1 力電力の周波数特性( E =1 0 0 V)図 9 1 人 ・出7] 電J] の周波数特性( E = 8 0 V) 93 図 92に 、機 械 的 に ミキ シ ン グ処 理 した改 質 燃 料 と、改 良形 イ ンバ ー タ 堅 動 強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ に よ る 改 質 エ マ ル ジ ョン燃料 を示 す 。 エ マ ル ジ ョン燃 料 の燃 焼 に お いて は 、燃 料 の 微 粒 化 が燃 焼 効 率 の 向 上 お よび 公 害 源 と して の NOxの 低 減 に つ な が る。 (36) (38)この 微 粒 化 滴 形 エ マル ジ ョン (36) ( a) 機械的処理 は 、油 中 水 (38) の場合、 ( b) 超音波1 ・ t シ" ナ イ サ ' ' 処理 図f )' j 改 門 エ マ ル ン :lン損 料 燃 焼 に お け る水 の爆 発 的 気 化 に よ り 実 現 す る もの で 、 その ため に は 、油 中 水 滴 の 粒 子 が均 一 に微 粒 化 さ れ る 必 要 が あ る。 図 92よ り、機 械 的 ミ キ シ ング処 理 よ りも改 良形 インバ ー タ騒 動 強 力 超 音 波 ホ モジ ナ イザ 処 理 の 方 が 、 よ り均 一 に微 粒 化 され て い る様 子 が わ か る。 図 9 3 は 、 同 じ燃 料 改 質 シ ステ ム (a) 処理前ス ラ ッ シ ー 成分 に お いて 、燃 料 と して 低 質 C 重 油 を (I )) 処理後 図 93 重油の改質 用 い 、重 油 中 に含 まれ て い る ス ラ ッ ジ 成 分 の粉 砕 を実 施 した場 合 の 処 理 前 後 を比較 した もの で あ る。 近 年 、舶 用 燃料 に お け る重 油 の低 質 化 傾 向 は著 しい。 本 シ ステ ム を低 質 重 油 改 質 シ ステ ム と して実 際 に駆 動 す る場 合 には 、実 際面 に即 した改 良 を加 えね ば な らな いが 、低 質 重 油 改 質 シ ステ ム と して も応 用 可 能 で あ る こ とが 、本 実 験 結 果 に お いて証 明 され た。改 賃 前 C 重 油 の顕 微 鏡 写 真 に お いて は、 図 93(a)に示 され る よ うな ス ラ ッジ 成 分 が多 く存 在 して お り、 良好 な燃 焼 を阻 害 す るが 、摺 音 波 処理 す る こ とに よ りス ラ ッジ成 分 が粉 砕 、微 細 化 され効 率 的燃 焼 が実 現 す る。 以 上 の 回 路 実 設 計 に よ る試 作 装 置 の 駆 動 に よ り、燃 料 改 質 シ ス テ ム と して の有 効 性 を確 認 した が 、今 後 の 検 討 課題 と して次 の よ うな点 が指 摘 され る。 まず 第 1に 、 最 適 な 共 振 点 追 尾 制 御 方 式 の検 討 が あげ られ る。本 章 で明 らか に した種 々の 負 荷 特 性 に お け る負 荷 変 動 に お いて 、一 般 に はプ ロセ ス制 御 に よる負 荷 一 定 制 御 が行 わ れ るが 、強 力 超 音 波 振 動 子 系 の 共 振 の 尖 鋭 度 が非 常 に大 きいの で 、小 幅 の 負 荷 変 動 に お いて も負 荷 イン ピー ダ ン スの 変 動 さ らに は効率 の低下 を 生 じる恐 れ が あ る。 94 図 94に 、共 振 点 追 尾 制 御 の ブ ロ ッ ク図 を示 す 。 す な わ ち 、強 力 超 音波 振 動 子 系 の 共振 周 波 数 に お いて は 、振 動 子 人 力電 圧 V.と振 動 速 度 けは同 相 と考 え られ る の で 、振 動子 振 動速度 に同相 の情 報 を ピ ック ア ップ検 出 器 に よ り検 出 す るか 、 あ るいは 、振 動速 度 と一 定 の位 相 関 係 に あ る電 気 的 な 立 を検 出 し、 位相 補 正 す る こ とに よ り、 V C 0 (Volt age Contr oll ed Oscill at or) の 発掘 周 波 数 を制 御 し て共振 周 波 数 を追尾 制 御 す るもの で あ る。 ≡ … ≡ 図 94 共振点追尾制御ブロック図 第 2の 問 題 と して 、処 理 流 量 増 大 に対 処 す るため の定 格 出 力 の増 大 が あげ られ る。 図 95に、 高 出 力 対 応 と して の 群 間位 相 差 制 御 方 式 を示 す 。改 良形 インバ ー タをユ ニ ッ トインバ ー タと して 、数 台の インバ ー タを人力 側 で並 列 に接 続 し、出 力 側 で 出 力変 成 器 に よ り直列 接 続 す るもの で あ る。 さ らに 、 ユ ニ ッ トイ ンバ ー タ 間 の群 間 位 相 差 角 を、負 荷 の 変 動 に応 じて制 御 す るこ とに よ り、強 力 招 音波 振 動 子 の定 振幅 制 御 も可 能 とな る。 T h1 圭 T hう r:群rptl位相差角 i 干 ト リ T ℡ ガ h hパ 2 1 ル ス i T T h 2千 I T Th4 千 l 舶 MMi . 呈 rー 裡廷FF. 「 「 トリ T ℡ ガパルス h4 1 ー 図 95 群間位相差制御方式 ㌃ ℡V l t㌦ ∩[ [ T 人 ∩ 「「 「「 l 共 振 点 追 尾 制 御 と群 間 位 相 差 制 御 は 、個 別 に制 御 す るの で は な く、連 係 して制御 す べ きで あ り、今 後 の 検 討 課 題 と言 え る。 7.5 緒 言 本 章 に お いて は、強 力 超音 波 振 動 子 系 の 入 力 負 荷 特 性 を明 らか に す ると ともに 、 強 力 超 音 波 発 振 機 の 固 持 実 設 計 法 を提 案 し、 そ の 試 作 装 置 の駆 動 に よ り効 果 を確 認 した。 本 章 で得 られ た結 果 を要 約 す る。 (1) 電 気 端 入 力 負 荷 特 性 と して 、 強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ に お け る液 探 、 ク リ ア ラ ン ス 、 お よび 粘 度 変 化 時 の負 荷 ア ドミタン スの 挙 動 を分 析 す る と ともに、実 験 結 果 よ り、 そ れぞ れ の 共 振 特 性 を明 らか に した。 (2) 強 力 L g音 波 振 動 子 系 に お け る周 波数 特 性 と して の ア ドミタン ス軌 跡 を示 す と とも に 、共 振 点 に お け る等 価 回 路 定 数 を も とめ 、強 力 超 音波 発 振機 回路設 計 の 指 針 を示 した 。 (3) 強 力 超 音 波 発振 機 と して の 改 良形 インバ ー タの 定 常 諸 特 性 お よび 過 渡 話 特 性 を も と に、定 格 人 ・出 力 との 関 係 に お いて定 常 諸 特 性 値 を、 また、安 定 動 作 の 規 点 よ り、過 渡 特 性 値 を採 用 して 、実 負 荷 を考 慮 した体 系 的 な強 力 超 音 波 発振 機 固 持 設計 法 を提案 した。 (4) 固 持 実 設 計 法 に基 づ き、強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ の発 振 機 を魁 作 し、 その 試 作 装 置 に よ り燃 料 改 質 シ ステ ム を躯 動 して そ の 効 果 を分 析 検 討 した。そ の結 果 、 本 シ ステ ムの 有 効 性 を立 証 した。 (5) 本 シ ステ ム具 現 化 に お け る問題 点 と して 、共 振 点 追 尾 制 御 お よび 群 間位相 差 制 御 方 式 の 適 用 を示 し、実 シ ステ ム へ の 展 望 を開 い た。 96 8 葦 第 結 富合 回 路 の 尖 鋭 度 の 高 い負 荷 に対 して も、安 定 性 の 高 い逆 導 通 パ ワーデ バ イ ス方 式 高周 波 インバ ー タに 関 して 、無 次 元 化 の 手 法 を鮮 人 した特 性 解 析 に基 づ き、 そ の 動特 性 を明 らか にす るこ とに よ り、強 力 担 音 波 発 振機 へ の応 用 を 目的 と した改 良 お よび 開 発 の 研究 を行 った。 特 性 解 析 に お け る無 次 元 化 の 手 法 の 祥 人 は 、解 析 解 の 汎 用 性 を確 保 す ると同 時 に 、 固 持 設 計 に おけ る 自由度 を保 証 した 。以 下 に 、本 研 究 で得 られ た成 果 を示 す 。 まず初 め に 、逆 導 通 サ イ リス タ方 式 基 本 形 高 周 波 イ ンバ ー タを、強 力 娼 音 波 の 高周 波 電 源 に適 用 す るため に 、 そ の定 常 諸特 性 を解 析 し次 の 成 果 を得 た。 (1) 電 わ い形強 力 超 音 波 振 動 子 系 の 負 荷 等 価 同 指 に基 づ き、 基 本 形 イ ンバ ー タ の定 常 同朋 解 を求 め 、回 路 実 設 計 に必 要 な 諸 特 性 量 、波 形 評 価 さ らに は ス イ ッチ ング素子 の電 圧 、電 流 責 務 を明 らか に した。 (2) サ イ リス タの ター ンオ フ タ イム と、 回 指 の転 流 余 裕 時 間 Zcとの 関 係 に おけ る定 常 安 定 動 作 域 を、無 次 元 化パ ラ メー タ( 〟 ,入 )平 面 に 図式 化 した 。 ( 3)( 2)の結 果 に基 づ き、定 常 安 定 動 作 域 に お け る( 〟 ,入 )の 値 よ り、 Zcさ らに は実 用 周 波 数 限界 J が求 め られ る よ うに な り、強 力 担 音 波 高 周 波 電 源 と して 。m .x の 回 路 設 計 に お け る指針 を示 した。 基本 形 インバ ー タで は 、一 般 に、 サ イ リス タが トリガ きれ る時 点 に お いて 、 サ イ リス タ電 流 の 初 期 値 が存 在 す るため に 、理 論 値 と して の d i/d tは無 限大 と な る。従 って 、大 電 力 駆 動 の場 合 は 、 d i/d t軽 減 用 の ア ノ- ドリア ク トル の 接続 が必 要 とな る。 ア ノー ドリア ク トル が 接 続 され ると、転 流 時 に ス イ ッチ ン グ 素 子 間 の転 流 重 複 現 象 が存 在 す る よ うにな り、 そ の 朋 間 Zuの大 小 が 、定 常 諸 特 性 に大 き く影 響 す る よ うに な る。 従 って 、次 に 、 d i/d tの軽 減 お よび 周 波 数 限 界の 向 上 を 目的 と して 、 サ イ リス タに直列 に ア ノー ドリア ク トル を接 続 した逆 祥 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 イン バ - 夕を考 え、 そ の定 常 諸 特 性 の 解 析 を通 して 、次 の よ うな成 果 が得 られ た。 (4) 転 流 重複 現 象 を厳 密 に解 析 す る手 法 を開 発 し、 そ の 解 析 手 法 に よ り、 Zuの 大 小 に影 響 す る要 因 と して の リア ク トル 比 々1(Ll/L) , リア ク トル の電 磁 結 合度 kさ らに は無 次 元 化 パ ラ メー タ山 ,人 の 諸 特 性 に対 す る影 響 を明 らか に した。 = そ の結 果 、 々1を大 き くと る と Zuが増 加 し、 そ れ に伴 い Zcも増 え、 々1 1に お いて最 大 とな り、 d i/d tは最 小 とな る こ とが 明 らか とな った。 そ の 反 面 、 Zu の増加 は 、人 ・出力 電 力 の 減 少 並 び に サ イ リス タ電 圧 の 最 大 値 tTThmaxの 上 昇 を 伴 う こ とを定 量 的 に示 した。 97 (5) (4)の結 果 か ら、強 力 超音 波 発 振 機 の 回拍 設 計 に お い て 、 との 関連 に お T 。tI いて f om.xに余 裕 が あ る場 合 は 、 々1= 0 . 1近 辺 で 、 また、 担音 波 振 動子 系共 振 周 波 数 t.お よび そ の変 動 幅 か ら fo m.xを大 き く設 定 した い場 合 は、 々l= l近 辺 で 設 計 す べ き点 を提案 した。 ( 6) kに関 して は 、0くk く1の あ る値 で Zuお よび Zcが最大 とな るこ とを明 らか にす る と と も に 、諸 特 性 へ の影 響 を定 量 的 に検 討 した。 そ の結 果 、改 良形 イ ンバ ー タの kの 設 計 に お いて は 、従 来 形 イ ンバ ー タ とは 異 な り、Zu,Zcともに 大 き く、 d i/d tが最 小 とな る k= 0で設 計 す べ き点 を指 摘 した。 (7) 従 来 形 インバ ー タ との 特 性 比 較 よ り、改 良形 インバ ー タの 方 が、強 力 超音 波 振 動 子 系 の よ うな Q の 高 い負 荷 に対 して も、広 い負 荷 変 動 域 に お いて 、 LTThm. ,LTbm-xお よび d i/d tな どの特 性 に お い て変 動 幅 が小 さ く安 定 で あ るこ と x を立 証 した。 (8) 改 良形 インバ ー タ実 際騒 動 領 域 に お け る無 次 元 化山 ,入 平面 に おいて 、 々1 = Oと 々 1= 1に お け る Zc 分 布 を明 らか に す る こ とに よ り、強 力 超音 波 発 振 機 の 回拍 富 貴計 に お け る指 針 を与 え た。 強 力 超 音 波 発 振 機 の 安 定 動 作 とい う枚 点 か らは 、起 動 か ら定 常 状 態 に至 る過 渡 状 態 お よび 負 荷 急 変 時 に お け る過 渡 特 性 の 把 帽 が重 要 とな る。従 って 、次 に、従 来 形 インバ ー タ と改 良 形 インバ ー タの 過 渡 特性 の 比較 さ らに改 良形 インバ ー タの 過 渡 一定 常 特 性 比 較 を理 論 お よび 実 験 の両 面 よ り定 量 的 に解 析 した結 果 、次 の よ うな結 論 が得 られ た。 (9) 強 力 超 音 波 振 動 子 系 の 共 振 周 波 数 と 、 1との 関連 に おけ る f om▲xに関 し T 。- て は、 起 動 第 1サ イクル 目の Zc を考 慮 すべ きで あ る。 (1 0) 強 力 超 音 波 振動 子 系 特 有 の 共 振 点 近 傍 に お け る負荷 イ ン ピー ダ ン スの急 変 お よび 負 荷 短 絡 に対 して も、 改 良 形 イ ンバ ー タは従 来 形 インバ ー タ よ り LTThmax , i ,Th机.xお よび d i/d tな どの繰 り返 しピー ク値 の過 渡 特 性 に お いて安 定 であ る。 (ll) 起 動 時 の安 定 動 作 上 重 要 な 、 、無 次 元 化 LThmiX, L TTht Aixお よび d i/d tに関 して ( 〟 ,入 )平 面 上 に、過 渡 値 と定 常 値 の 分 布 を比較 して示 した。 その 結 果 、人 の 大 きい領 域 は 、過 渡値 と定 常 値 の差 は小 きいが 、人 が 0.2よ り小 さ い領 域 で は そ の差 が大 き く、 回 路実 設 計 に お いて は十 分 考 膿 す る必 要 が あ る。 (1 2) 強 力 娼 音 波 発 振 機 の f omAxの 枚 点 に お いて は 、特 に問題 とな る 、 の 関 連 に お け る Zcに 関 して 、 無 次 元 化 tと T 。f ( J 1,人 )平 面 上 に過 渡 値 お よび定 常 値 に よ る転 流 安 定 動 作域 を明 らか にす の 分 布 を比 較 して 図示 した。 そ の結 果 、Zc る と と も に、実 験 結 果 よ りそ の 諸 特 性 を裏 付 け た。 高周 波 インバ ー タの 大 電 力 応 用 に お いて は、 ス イ ッチ ング 素子 の電 力 定格 の み 98 な らす 、 d i/d t, d v/d t,特 に T。 日 との 関連 に お け る f o mu が 問題 とな る。電 圧 形 お よび 電 流 形 インバ ー タの 両 方 とも に広 く活 用 され て い るが 、そ れぞ れ一 長 一 短 が あ る。2石 形 高 周 波 インバ ー タの 場 合 、実 用 f om… は約 40K H zと な る。強 力 超 音 波 振 動 子 系 の よ うな 回 路 の 尖 鋭 度 の 高 い負 荷 の 場 合 は 、振 動 子 系 の共 振 周 波 数 と インバ ー タ f omAxとの 関 係 に お いて 余 裕 度 の大 きな 固 持 方 式 が 望 ま しい。 この械 点 か ら、 時 分 割 方 式 高 周波 インバ ー タは 、 動 作 周 波 数 を大 き くと れ 、 同 時 に大 電 力化 に も適 して い るが 、 ス イ ッチ ング 素 子 数 の 増 加 に伴 い 、 回 路 が 複 雑 に な り、 信頼 性 も低 下 す る。従 って 、 次 に 、 固 持 構 成 の簡 単 な 2石 形 サ イ I J z出 力 周 波 数 を可 能 に した 2倍 周 波 イ ン リス タ インバ ー タで あ りな が ら 、 8 0K バ ー タと しての 逆 畔 通 サ イ リス タ方 式 新 形 インバ ー タを開 発 した。 そ の 過 渡 ・定 常 特 性 解析 を通 して 、電 圧 形 イ ンバ ー タと電 流 形 インバ ー タの 折 中 形 と して の利 点 を明 らか に す る こ とに よ り、 次 の よ うな 結 論 が得 られ た。 (1 3) 出 力 変 成器 を中 点 タ ップ構 成 とす る こ とに よ り、 出 力 周波 数 f o が、ゲ ー の 2倍 とな り、 2石 形 高 周 波 インバ ー タの実 用 周 波 数 限 界 を ト トリガ 周 波 数 ft 一挙 に 80K H 2まで 向上 で きた。 (1 4) リア ク トル 比 々d (Ld/L ) を 50- 100に選 定 す れば 、電 流 形 イ ンバ ー タに比 べ て は るか に小 さ い数 mHの 人 力 直 流 ] )ア ク トル Ldで 、 直 流 人 力 電 流 の リプ ル 率 お よび d i/d tを電 圧 形 インバ ー タよ りも は るか に小 さ く抑 制 で き るこ とを立 証 し、小 型軽 量 化 を実 現 した。 (1 5) 人 ・出 7] 電 力 に関 して は 、 々 dの 増 加 に従 い 、 ほ ぼ 直線 的 に増 加 す るが 、 の値 が 50以 上 に な る と、 ほぼ 飽 和 す る こ とが 明 らか とな った。 また 、Zcに 々 d の 増 減 が大 きいが 、 関 して は 、 々 dの 比較 的 小 さい領 域 で も 々 dの 大 小 に よ る Zc 々 d が 50以上 の範 囲 で は 、Zcも はば 一 定 とな る こ とが判 明 した。従 って 、 ( 1 4) の結 果 も踏 まえて 、新 形 インバ ー タの 々 d は 、50- 100が最 適 と言 え る。 (1 6) キ ャパ シ タン ス比 p (C/Cl) の 選 定 は 、定 常 諸 特 性 に大 き く影 響 す るが 、 組 合 的 に その影 響 を考 蔵 す る と、人 ・出 力 電 力 が 比 較 的 大 き く、 サ イ リス タの 動 naXお よび d i/d tが小 さ く、 しか も Zc の 大 き い 0. 3≦ 作責 務 に お いて LrThT p ≦0.7の 範 囲 が適 して い る。 (1 7) 無 次 元 化 パ ラ メー タ 数 特 性 を検 討 した結 果 、 人 ( 〟 ,入 )の 選定 に お いて は 、 負 荷 諸 特 性 お よび 周 波 ・出 力 電 力 が大 きい別 に d v/d tお よび LTThm.xな ど が大 き くリプ ル 率 の 小 さ い の サ イ リス タ動 作 責 務 が 比 較 的 緩 や か で 、 しか も Zc 0.1≦入 ≦0.3,0.3≦ 山 ≦0.8の 範 囲 が適 当で あ る。 (1 8) 起 動 か ら定 常 状 態 に至 る過 渡 特 性 解 析 よ り、過 渡 状 態 に お け る Zc の跳躍 現象 が 明 らか とな った。 これ は 、 サ イ リス タとダ イオ ー ドの 重流 転 流 モ ー ドが存 在 す るか否 か の 臨界 条 件 に お いて 発 生 す る こ とを示 した。 この 跳 躍 現 象 を発 生 す 99 る臨 界 集 件 は 、定 常 状 態 に お け る 々 d , pお よび ( 〟 ,入 ) の組 み 合 わ せ に よ る 限 られ た領 域 に お いて も発 生 す るが 、 この よ うな 領 域 で の 回 路 設計 は避 け るべ き で あ る。 従 来 の 強 力 超 音 波 応 用 に お け る共 振 周 波 数 帯 は 、 15- 5 0KH2付 近 で あ った が 、 最 近 は微 細 加 工物 の 洗 浄 用 と して 、 数 百 KHz帯 の 周 波 数 利 用 も検 討 され て い る。 また 、 高周 波 誘 導 加 熱 や レー ザ ー な どの 高周 波 電 源 と して 、 高 周 波 インバ ー タの 動 作 周 波 数 は 、 近 年 益 々高周 波 化 の 傾 向 に あ る 。ASCRや GATTな どの 高速 サ イ mixは 、 2石 形 新 形 イ リス タを用 い た高 周 波 インバ - タの 場 合 、 T。 1パこよ る fo ンバ ー タに お い て は 、 8 0KHz程 度 で あ る。従 って 、 10 0KHz以 上 の 高周 波 応 用 に対 して は 、 自 己消 弧 形 デ バ イ スの 適 用 が不 可 欠 とな る。 10 0KHzか ら lM H 2の大 電 力 高周 波 電 源 と して は 、SI Tや MOSFETを用 いた種 々の 回 指 方 式 が 報 告 さ れ て い るが 、 高 出 力 化 の観 点 か らは 、MOSFETの数 倍 の素 子 容 量 を有 す SI T高周 波 インバ ー タが注 目 さ れ て い る。 この よ うな 技 術 的背 景 の も T方 式 新 形 高 周 波 インバ ー タを開 発 した。 とに 、 次 に 、 出 力 周 波 数 4 0 0KH2の SI その 過 渡 ・定 常 特 性 解 析 を通 して 、 次 の よ うな結 論 が得 られ た。 (1 9)SI T同 時 逆 バ イア ス期 間 Z d お よび 同 時 順 バ イア ス期 間 Z 々と して のパ ル ス Z響 を 幅 を考 慮 した過 渡 ・定 常 特 性 解 析 よ り、 Z d,Z 々変 化 に よ る出 力電 力 の宕 定 量 的 に 明 らか に した。 (20) (1 9)の 結 果 よ り、 Z 々制 御 に よ るパ ル ス幅 制 御 の効 果 は 、SI Tに逆 並列 にダ イオ ー ドが 接 続 さ れ る場 合 、SI Tがゲ ー ト トリガ され る以 前 に逆 並列 ダ イオー ド が等 通 す る よ うな 回 路 パ ラ メー タに お いて は 、 ダ イオ ー ドの 串 通 が始 ま る時点 か Tのゲ ー ト トリガ まで の 期 間 Zt ) 1よ りも大 き い Z 々に お いて有 効 で あ る。 ら 、SJ Zd制 御 の場 合 、 Z=0か らダ イオ ー ド電 流 が ゼ ロ ク ロ スす る まで の 期 間 Zt ) 2よ りも Zdが大 きい場 合 の み 有 効 とな る。 (21) 出 力 電 力 の 周 波 数 特 性 に お いて 、 直 流 リア ク トル 比 々d (Ld/L)が数 十 な T方 式 新 形 インバ ー タ と 、 々 d ≧ 10 0 0 の SI T方 式 い し数 百 の 折 中 形 と して の SI 電 流 形 インバ ー タを比 べ る と 、 々d≧30に お いて は 、 々 dの 大 小 は出 力 電 力 に ほ とん ど影 響 しな い。 (22) 過 渡 特 性 に お いて 、 々 d が数 十 の 折 中 形 の場 合 、SI T方 式 電 圧 形 インバ ー タ Tお よび ダ イオ ー ド電 流 の 最 大 値 に関 して 、 起 動 数 サ イクル 後 に定 と同 様 に 、SI 常 値 よ りも大 きい過 渡 値 の 発 生 が確 認 され た。従 って 、素 子 の 最 大 定 格 を決 め る 回 路 設 計 に お いて は 、 過 渡 値 の 検 討 を要 す 。 SI T新 形 インバ ー タの 超 音 波 応 用 に お け る出 力 容 量 に関 して は、強 力 担 音 波 振 動 1 2で数 百 W 程度 で 子 の 材 質 、 形 状 に よ る制 約 上 、現 状 に お いて はせ い ぜい数 百 K1 あ る。 しか し、 担 音 波 応 用 に 限 定 せ ず 、 高 周 波 誘 導 加 熱 にお け る数 k U,1HHzの 10 0 応 用 も、 今後SI T新 形 インバ 」 タの 特 質 を活 か す応 用 と して検 討 した い。 最後 に 、 これ まで に述 べ た逆 群 通 パ ワーデ バ イ ス方 式 高周 波 イ ンバ ー タの 中 か ら、逆 群 通 サ イ リス タ方 式 改 良形 インバ ー タを と りあげ 、強 力 超 音 波 発 振 横 へ の 具 体 的応 用 と して 、強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ 酌掘 源 の 回 拍 実 設 計 を検 討 し、 次 の 成 果 が得 られ た。 (23) 電 気 端 入 力 負 荷特 性 と して 、強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ に お け る液 深 、 ク リ ア ラ ン ス お よび 粘 度 変 化 時 の 負 荷 ア ドミタン スの 挙 動 を分 析 す る と と もに 、実 験 結 果 よ り、そ れぞ れ の 共振 特 性 を明 らか に した。 また 、超 音 波 振 動 子 系 に お け る 等 価 回 指 定 数 に基 づ くl 司指 設 計 の 考 え方 を提 案 した。 (24) 強 力 娼 音波 発 振 機 と して の 改 良形 イ ンバ ー タの 過 渡 ・定 常 特 性 解 析 結 果 に 基 づ き、定 格 出 力 に 関 して は定 常 諸 特 性 値 を、安 定 動 作 の 枕 点 か らは過 渡 特 性 値 を設計 値 と して採 用 す る と とも に 、実 負 荷 を考 癒 した体 系 的 な強 力 超 音 波 発 振 横 の 回 路実 設 計 法 を提 案 した。 (25) (24)で 明 らか に した固 相 実 設 計 法 に基 づ き、強 力 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ シ ス テ ム を試 作 し、燃 料 改質 シ ステ ム を騒 動 して そ の 効 果 を分 析 した結 果 、強 力 招 音 波 の効 果 を確 認 す る と と もに 、 シ ステ ム 設計 の有 効 性 を立 証 した。 近 年 、強 力 超 音 波 応 用 は、 乳 化 分 散 、洗 浄 、溶 接 、加 工 、 さ らに は集 塵 な ど、 その 用途 は益 々拡 が る傾 向 に あ る。 中 で も、乳 化分 散 作 用 を利 用 す る超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ は 、舶 用 デ ィーゼ ル 発電 機 に お け るエ マ ル ジ ョン燃 料 生 成 に よ る水 混 入 分 重油 の 節 約 、燃 焼 効 率 の 向上 さ らに は低 NOx燃 焼 を実 現 した り、低 質 重 油 に 含 まれ る ス ラ ッジ成 分 を粉 砕 して改 質 す る装 置 と して脚 光 を浴 び て い る。 今 後 、 陸上 火 力 発 電 ボ イラへ の 適 用 に よ る低 公 害 化 さ らに は舶 用 デ ィー ゼ ル エ ンジ ンへ の適 用 に よ る省 エ ネル ギ効 果 な どが期 待 され 、 そ の 強 力超 音 波 発 振 機 と して の 本 研 究 成 果 の意 義 は有 用 と考 え る。 逆 鮮 通 パ ワーデ バ イス方 式 高 周 波 インバ ー タは 、強 力 超 音 波 の 高 周 波 電 源 と し ての み . な らす 、 高周 波 誘 導 加 熱 の分 野 に お い て も注 目 され て い る。従 来 、 高周 波 インバ ー タは、 高周 波 誘 導 加 熱 の 分 野 で先 行 して発 展 して き た。 そ の 動 作 周 波 数 は 、数 KH2か ら数 十 川 Zが多 いが 、最 近 は数 百 KH2、 数 KUの 出 力 も検 甜 され て い る 。 その場 合 , SI T新 形 インバ ー タをユ ニ ッ トイ ンバ ー タ と して 、出力 側 で 何 台 か 直 列 接続 し、 ユ ニ ッ トインバ ー タ間 の ゲ ー ト位 相 角 を制 御 す る群 間 位相 差 制 御 方 式 の適 用 に よ る高 出 力 化 も期 待 で き る。 高周 波 インバ ー タの発展 は 、 高周 波 化 の歴 史 で も あ り、今 後 、 益 々高周 波 化 お よび 高出 力 化 が促 進 きれ る と考 え られ るが 、負 荷 に応 じた最 適 なパ ワ ーデ バ イス お よび 回搾 方 式 の検 討 な ど、 パ ワー エ レク トロニ ク ス技 術 の よ り一 層 の 進 展 が望 まれ る。 10 I 参 考 : 文 :献 (1) 実 舌 ・菊 地 ・能 本 :超 音 波 技 術 便 覧 , E l刊 工 業 新 聞社 (昭 4 3) (2) 石 渡 ・谷 沢 ・谷 村 :超 音 波 固持 , 日刊 工 業 新 聞 社 (昭46) An dr e wS h o h:t n d u st ri alA p pl i c ati on so fUJ t r a s o un d,l E E E. Tr a m s. V ol.S U - 2 2 ,N o.2 ,p.6 0 (19 7 5) ( 4) R. T h o m p s o n: A nA u di oFr e q u e n c yHi ghP o w erG e n er at orE mpl o yi n g SHi c o nC o n t r ol l e dR e cti fi er s:Th el E EP a p er,N o.3,889, p.249 (1962) (5) R . Th o mp s on: Hi g h F r e q u e n c ySHi c onC o n t r ol l e dR e cti fi erSi n u s oi d al l n v er t er:l E EPr o c e e di n g s,〉 ot .110, N o.4 ,p.647, (I963) (6) S . N. Ok ek e: A p pl i c ati o no fT h yri st orl n v er t er si ni n d L J Cti o n o u er,p.217 (1978) H e ati n ga n dM e) ti n g:El e ct r oni c s&P (7) M . 氏. R o d a, G. N. R e v a n k ar:V ol t a g eF e dHi g hF r e q u e n c yl n v er t erWi t ha P ar al l eIC o mp en s at e dL o a d:Tr am s. t n t. J. El e ct r o ni c s,V oI . 43, N o.5,p. 481, (1977) (8) M . 氏. R o d a, G. ∼. R e v a n k ar:AV ol t a g eF e dHi gh F r e q u en c yl n v er t erwi t ha S eri e sP ar aHelC o mp e n s at . e dL o a d:Tr am s. t n t. J. El e ct r o ni c s, V ot . 44,No.1,p.85 (1978) (9) N . M ap h a m:A nS CRl n v er t erl J i t hG o o dR e 名 Ur ati o na n dSi n eW a v eO Ut p L J t :l E E E. Tr a m s. V ot.IGA - 3,p.176, (1967) (1 0) G . N. R e v a n k ar, D. S. K ar an d e' .V ol t a g eF e dI J i g hF r e q u e n c yB ri d g e l n v er t erCi r c ui t:l E E E. Tr a m s. V ol .IECI-21,No. 4,p.228 (1974) (ll) S . A. R o s e n b er g, S. B. D e t J a n:A n al y si sT e c h ni q u ef oraCl a m p e dl n v er t er f orl n d u cti o nH e ati n g: ばE E.PESC76 R eco∫d,p.73 (I976) (1 2) 丸 橋 ,中 岡 ,宇 野 : r 逆導 通 サ イ リス タに よ る電 圧 駆 動 形 インバ ー タの離 散 使 時 間 系 モデ ル につ いて 」 , 自動 制 御 連 合 講 演 , p.301 (昭 50) (13) 丸 橋 ,中 岡 ,宇 野 ,ベ トソ ン : r 逆導 通 サ イ リス タに よ る電 圧 駆動 形 式 の (3) 直列 共 振 形 インバ ー タの 定 態 安 定 動 作 域 につ いて 」∴ 電 気 関 係学 会 関西支 那 連 大 , G 62 (昭 50) (14) 中 岡 ,武 者 ,丸 橋 : r 誘 斗 加 熱 用 電 流 形 高周波 ブ リ、 ソジ インバ ー タの O1 .98-B,N o.11, 転 流 余 裕 時 間一 定 制御 系 」 ,電 気 学 会 論 文 誌 ,V p.942 (昭 53) 102 N. M, Vi et s o n, M. N a k a o ' k a, T. M ar u h a s hi・ .C o m m ut ati o nSt abHyt ya n d E f f e ct so fS eri e sC o t d P en S ati n gC ap a ci t o ri nt h eC ur r e n t F e dB ri d g e Hi g h F r e q u e n c yl n v er t er:I E E E. Tr a m s. V Ol .IEC I-25,No.2 (1978) ( 1 6 ) N. M. Vi et s o n, M. N a k a o k a, T. M ar u h a s hi:ASi n gl eCi r c ui to fS eri e s I n v er t erU si n gaB ri d g eo fR e v er s eC o n d u cti n gTh yri st or s:l E E E. Tr a n s, V Ol .I氏C 1- 24,No.1 (1977) (1 5) (1 7) 相 中 ,中 岡 ,丸 橋 : 「超 音 波 ホ モジ ナ イザ励 振 源 回 持 」 ,舶 用機 関 学 会 秋 季 学術 講演 ,I10,p.101 (昭 52) (1 8) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 : r 動 力 用 超 音波 振 動 子 系 励 振 用 逆 串 通 サ イ リス タ方 式 高周波 インバ ー タ」 ,電 気 学 会 電 子 装 置 ・制 御 変 換 装 置 合 同 研 究会 賃 料 , (1 9) EDD-78-71・PCC-78-17 (昭53) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 : r 逆 蒔 通 サ イ リス タ方 式 コ ンデ ンサ分 割 形 高周 波 イ ン )」 ,電 気 学 会 全 国 大会 ,648,p.786 (昭53) バ ー タ (Ⅰ (20) 畑 中 : r 動 力用 強 力超 音 波 励 振源 回 路 - サ分割 形 高 周 波 インバ の定 常 特 性 解 析 - 逆等通 サ イ t Jス タ方 式 コ ンデ ン 」 .海技 大 学 校研 究 報告 , V Ol.2 1 (昭 53) (21 ) 畑 中 ,中 岡 ,丸橋 : r 逆 導 通 サ イ リス タ方 式 コ ンデ ンサ分 割 形 高周 波 イン バ ー タ (Ⅱ)」 ,電 気 学 会 関西 支 那 連 大 ,GlIl く昭 53) (22) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 : 「動 力用 超 音 波 ホ モ ジ ナ イザ 励 振 源 回 路 」 ,舶 用 機 関 Ot .13,No.7,p.60 (昭 53) 学 会 誌 ,V (23) 畑中 ,中 岡 ,丸橋 : 「逆 導 通 サ イ リス タ方 式 コ ンデ ンサ分 別 形 高周 波 イン バ ー タ (Ⅳ ) 」 ,電 気 学 会全 国大 会 ,424,p. 509 (昭 54) ( 2 4 ) 畑 中 ,中 岡 ,丸橋 : r 動 力用 超 音 波 電 源 用 逆 g F通 サ イ リス タ方 式 直列 共 振 形 インバ ー タとその 定 常特 性 解 析 」 ,電 気 学 会 論 文 誌 ,V Ol.99- B , No.4,p.221 (昭54) (25) 畑 中 : r 動 力 用強 力 超 音 波 励 振 源 固 持 - 逆 蒔 通 サ イ リス タ方式 コ ンデ ン サ分 割 形 高周 波 インバ ー タの 転 流 重 複 期 間 の影 響 」 ,海 技 大 学 校 研究 報 告 _ V Ol .22 (昭 54) (26) 畑 中 ,中岡 ,丸 橋 :r 動 力 用 超 音 波 ホ モジ ナ イザ 励振 源 の 近 似 解析 と設 計 」,舶 用 機 関学 会 春 季 学術 講 演 ,106,p. 49 (昭 54) ( 2 7) 畑 中 ,中 岡 ,丸橋 : r 逆串通サ イt )ス タ方 式 高周 波 インバ ー タの 定 常 特 性 解析 - 転 流 重複 期 間 の影 響 - 」 ,電 気 学 会 制 御 変 換 装 置研 究 会 資 料 , PCC-79-13, (昭 54) 103 (28) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 : 「逆 ¥ 通 サ イ リス タ方 式 コ ンデ ンサ分 割 形 高周 波 イン バ ー タの 転 涜 重 複 期 間 の 影 響 」 ,電 気学 会 論 文 誌 ,VOl .9 9- B ,N o. 5, p.34 3 (昭 54) (29) 中 岡 ,丸 橋 ,畑 中 : r 転 流 余 裕 時 間 / 角 一 定 制 御 装 置 を含 む電 圧 形 高周波 インバ ー タ系 の 記 述 関 数 解 析 」 ,電 気 学 会 論 文 誌 ,VOl.99- B ,N o. 6 , p.6 3 (昭 5 4) (30) 畑 中 .中 岡 ,丸 橋 ,西 村 : 「動 力 用 超 音 波 励 振 源 に つ いて - 回路 - 最 適励振 源 」 ,舶 用 機 関 学 会 秋 季 学 術 講 演 , 2 0 3, p.2 7 (昭 54) (31) Y. Hat anaka, M. Nakaoka, T. Mar uhashi, M. Ni shi t Mr a:Overl appi ng Commut ati onMode Anal ysi s of a Hi gh-Frequency l nvert er:Tr ams.I nt . J. El ectr oni cs,VOl.4 9 ,N o.3 , p.2 17 (19 8 0) (32) S. A. Rosenber g: A Cl amped l nverterfor l nducti on Heati ng: Ph. D. Thsi s Departmentof Eectri calEngi neeri n芸 , Uni ver si t y ofTr ont, CANADA (19 7 4) (33) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 ,西 村 : r 動 力 用 は 音 波 電 源 用逆 準 通 サ イ リス タ方 式 高 周 波 イ ンバ ー タの 過 渡 解 析 」 ,電 気 学 会 制 ' m 変 換 装 置 研 究 会 資 料 ,PCC - 7 9 - 4 3 (昭 5 4) (34) 畑 中 ,西 村 ,中 岡 ,丸橋 : r サ イ リス タに よ る動 力 用 旭音 波 を利 用 したホ H.15, モ ジ ナ イザ 励 振 源 の 近 似 解 析 と設 計 」 ,舶 用 機 関学 会 誌 ,V〔 N o.1, p.3 4 (昭 5 5) (35)Y. Hatanaka, M. Nakaoka, T. Mar uhashi, M. Ni shi mur a:Hi gh-l nt ensi ty ULtr asoni c PowerSuppl y by Thyri st or s: Revi el JOfMari ne Techni cal Coll ege,N o.2 3 (19 8 0) (36) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 ,西 村 : 「燃 料 改 質 を 目的 とす る動 力 用 超 音 波 励 振 源 一 一最 適 励 振 源 方 式 の検 討 - 」 ,舶 用 機 関学 会 誌 ,VOl.15 ,N o.4 , p.3 2 6 (昭 5 5) (37) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 ,西 村 : 「燃 料 改 質 用 超 音 波 励 振 源 の安 定 動 作 につ いて (過 渡 諸特 性 ) 」 ,舶 用 機 関学 会 春 季学 術 講 演 , 2 0 2, p.3 3 (昭 55) (38) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 ,西 村 : r 燃 料 改 質 用 超 音 波 励 振 源 の安 定 動 作 」 ,舶 用 機 関学 会 誌 ,VOl.15 ,N o.12 (昭 5 5) (39) Y. l l atanaka, M. Nakaoka, T. Mar uhashi, M. Ni shi mur a: I l i gh-Fr equency l nverterby Rever seConducti ng Thyri stor s fort T I ghPoI J er Ul tr asoni c Generator:l eeThi r dl nternati onaTTel ecommuni cati ons Ener8y Confer ence Recor d, (19 8 1) 10 4 (4 0) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 ,西 村 : r 逆 串 通 サ イ リス タ方 式 高 周 波 イ ンバ ー タの 過 渡 諸 特 性 と動 力 用 超 音 波 励 振 源 の 設 計 」 ,電 気 学 会 論 文 誌 ,VOl.10 1- B,4 9 (昭 56) (41) Y. Hat anaka, M. Nakaoka. T. Mar uhashi, M. Ni shi mur a: Hi gh-Fr equency l nvert erUsi ngASCR:l NTELEC 8lCongr ess Pr oceedi ngs, L 0N D 0N , 120 (19 8 1) く42) 中 岡 ,村 上 ,西 村 , 「時 分 剤 形 高 周 波 イ ンバ ー タ回 指 と特 性 解 析 」 , 電 気 学 会 論 文 誌 ,VOl.94 - B, N o.3 , p.I 1 (昭 4 9) r 電 流 制 御 形 時 分 割 高 岡 波 イ ンバ ー タの 準 安 定 動 作 パ ラ メ ー タ領 域 に つ い て 」 ,電 気 学 会 論 文 誌 ,VOl.lo o- B, N o.2 , (43) 中 岡 ,丸 橋 ,西 村 , p .124 (昭 5 5) (44) M. Nakaoka, T. Mar uhashi, Y. Hatanaka, M. Ni shi mur a: LatestTi meShari ng Hi 8h-Fr equen cy nvert erUsi ng Rever seConducti ngThyri st or s for l nducti on-Heatj ng Pot J erSuppli es andThei rNew Syst emContr ol Techni ques:l AS I nt ernati onalAnnualMeeti ng,St ati c PoI J er Convert erCommi tt ee, (198 0) (45) Y. Hat anaka: Cent erTapped Hi ghFr equency I nvert erUsi ngASCR: JNTELEC83Congr ess Pr oceedi ngs, T0K Y 0, 2 2 6 (19 8 3) (46) 渡 辺 , 「高 周 波 イ ンバ ー タ」 ,電 気 学 会 誌 ,VOl.9 8 ,4 0 8 (昭 53) (47) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 : 「中 点 タ ップ 形 高 周 波 イ ンバ ー タの 過 渡 ・定 常 特 性 解 析 」 ,電 気 学 会 論 文 誌 ,VOl.105- B ,N o.12 , p.100 1 (昭 60) 金 属 棒 解 用 SI T高 周 波 イ ンバ ー タの 開 発 」 ,電 気 学 (48) 荻 原 ,木 村 ,出 崎 , r 会 半 導 体 電 力 変 換 装 置 研 究 会 資 料 , SP C- 8 3- 2 5 (昭 58) (49) 沢 栄 ,赤 木 ,難 波 江 , 「 SI Tを 用 い た電 流 形 高 周 波 講 等 加 熱 装 置 」 ,電 気 学 会 半 媒 体 電 力 変 換 装 置 研 究 会 資 料 , SP C- 85- 5 7 (昭 60) (50) 金 ,中 岡 ,丸 橋 , r静 電 誘 串 形 トラ ン ジ ス タを用 い た誘 # 加 熱 用 高 周 波 イ ンバ ー タ とそ の 特 性 に つ い て 」 ,電 気 学 会 半 導 体 電 力 変 換 装 置 研 究 会 資 料 SP C- 86- 14 (昭 6 1) 中 点 タ ップ 形 S IT高 周 波 イ ンバ ー タの 特 性 」 , (51) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 : r 昭 6 1 電 気 学 会 全 大 ,N o.5 19 (昭 6 1) (52) 朝 枝 ,義 ,桑 原 , r誘 ¥ 加 熱 ・レー ザ ー 電 源 シ ステ ム 用 の 高周 波 イ ンバ ー タ技 術 」 , 昭 60電 気 ・情 報 関 連 学 会 連 大 , 6- 6, 1-13 7 (昭 6 0) T高 岡 波 イ ンバ ー タ とそ の 過 渡 ・定 常 (53) 畑 中 ,中 岡 ,丸 橋 : 「2倍 周 波 形 SI 特 性 解 析 」 ,電 気 学 会 論 文 誌 ,VOl.1 10-D , N o.3 (昭 62) 10 5 研 究 業 糸完 1. 学術論文 (1 ) 畑中 ,中岡,丸橋 動力用超音波電源用逆鞘通サイリスタ方式直列共振形インバータとその定常特性解析 電気学会論文誌 ,Vot. 998,N o. 4,P. 2 21( 昭544) く 2) 畑中 ,中岡,丸橋 ,西村 サイリスタによる動力用超音波を利用 したホモジナイザ励振源の近似解析 と設計 5,日 0. 1,P. 34 ( 昭551 ) 日本舶用機関学会誌 ,Vol.1 ( 3) 畑中 ,中岡,丸橋 ,西村 燃料改質を目的 とする動力用超音波励振源 ,一 叢適励振源方式の検討 一 1 5,日 0. 4,P. 3 24 ( 昭554) 日本舶用機関学会誌 ,Vo1. ( 4) Y. H at an ak a,M. N ak a ok a,T. M ar uh ashi , M. Ni shi mur a Overl ap pi n gCom mut ati onMod eAn al y si sofaHi ghFr eq uen cy l n ver t er l nt er n ati on alJ o ur n alofEl e ctr oni cs,Vol. 4 9,N o. 3,P. 21 7(1 98 0) ( 5) 畑中 ,中岡,丸橋 ,西村 燃料改質用は音波励振源の安定動作、一 過渡諸特性の解析 一 日本船用機関学会誌 ,Vol . 1 5,H o. 1 2,P. 91 5( 昭55-1 2) ( 6) 畑中 ,中岡,丸橋 ,西村 燃料改質用娼音波軌振源の負荷特性 日本舶用機関学会誌 ,Vol. 1 6,N o. 6,P. 4 8 0( 昭566) ( 7) 畑中,中岡,丸橋 ,西村 逆串通サ イリスタ方式高周波 インバータの過渡諸特性と動力用超音波励振源の設計 ot B,N o. 8,P. 4 83( 昭568) 電気学会論文誌 ,Vol.l ( 8) 畑中,中岡,丸橋 中点 タップ形高周波インバータの過渡・ 定常特性解析 電気学会論文誌 ,Vol . 1 058 ,N o. 1 2,P. 1 001( 昭60-1 2) ( 9) 畑中,中岡,丸橋 2倍周波形 S IT高周波 インバータとその過渡 ・定常特性解析 電気学会論文誌 ,Vol . 1 07D, N o. 3, 掲載予定 ( 昭623) 106 2. 電気学会研究開発 ノー ト (1 ) 畑中.中岡,丸橋 動力用超音波振動子系の入力負荷特性 ol . 9 8臥 N o. 3,P. 31 1( 昭5 33) 電気学会論文誌 ,V ( 2) 畑中,中岡,丸橋 動力用超音波ホモジナ イザの入力負荷特性 ol . 9 88,N o. 7,P. 6 5 0(昭5 37) 電気学会論文誌 ,V ( 3) 畑中,中岡,丸橋 逆鞘通サイリスタ方式コンデンサ分別形高周波インバータの転流重複期間の影響 電気学会論文誌 ,V o1 . 9 98,N o. 5,P. 3 4 3( 昭5 45 ) ( 4) 中岡.丸橋,畑中 転流余裕時間/角一定制御装置を含む電圧形高周波 インバータ系の記述関数解析 電気学会論文誌 、V ol . 9 91 臥 N o. 6.P. 41 1(昭5 46) ( 5) 柵中 逆尊通サイリスタ方式中点タップ形高周波 インバータ 電気学会論文誌 ,V ot . 1 0 3B.N o. 7,P. 5 0 5( 昭5 87) 3. 研究報告官論文 (1 ) 畑中,中岡,丸橋 群間位相差制御方式直列形インバータ 海技大学校研究報告 ,V ol . 2 0.P. 4 9( 昭5 23 ) ( 2) 畑中 動力用強力超音波剛掘源回拍 一 逆群通サイリスタ方式コンデンサ分割形高岡波 インバータの特性解析 - 海技大学校研究報告 ,〉 ot . 21,P. 1 9( 昭5 33) ( 3) 畑中 動力用強力超音波励振源回和 一 逆叫通サイリスタ方式コンデンサ分割形高周波インバータの転流重複期間の影響 海技大学校研究報告 ,V o1 . 2 2,P. 2 7(昭5 43) ( 4) Y. [ l at an ak a,M. N ak a ok a.T. M ar uh a shi ,M, Nj shi m ur a Hi gh-I nt en si t yUl t r a s o ni cP o w erS up p一 yb yTh yri st or s R e vi e uo ft h eM ari n eT e ch ni c alC oHe 名 e,V ol . 2 3(1 9 8 0) 107 一 ( 5) 畑中 動力用強7] 超音波励振源回路 - Ldインプッ ト形逆主 暮通サ イリスタ方式高周波 インバー タ ー 海技大学校研究報告 ,Vol . 26,P. 39 ( 昭581 3) 4. ほ術賃料 (1 ) 畑中 ,大西 超音波ホモジナ イザによる乳化燃料油の生成 と特性 日本船用機関学会誌 ,〉ol. 1 8,日0. 4,P. 352 ( 昭584) ( 2) 畑中 燃料油処理用ハ イバワ超音波励振源の一方式について 日本舶用機関学会誌 ,Vot. 20,No. 5,ド. 323 ( 昭6 05) 5. 学術講演 5. 1 国際会議での口頭発表論文 uhashi,Y. Hat anak a,M. Hi shi mur a (1 )M.Nakaoka,T.Mar Lat estTi meSh ari n gHi 8hFr equen cy I nvert erUsi ngR ever seCon ducti n gTh yri st or s f or L n ducti on‖ eati ngP owerSuppli esan dTh ei rN ewSyst emConL r oITechni ques Pr oceedi ngSOf l EEE-I AS t nt. Conf,N o. 80,CH1 5750,Sept emb er, 1 980( Ci n ci nn ati , USA) Nak aoka,T. Mar uh asi,M. Nj shi mL J r a く2) Y. Hat an ak a,M. Hi ghFr equen cy l nvert erb yR ever seCon ducti n gTh yri st or sf orHi ghP owerUl tr soni c Gen er at or 1 981(L on don, U. K. ) l EEE, Thi r dl nt. Tel ecommuni cati on sEn er gyCon f. Re cor d,May, (3) Y. Hat anaka Cent erTapp edHi ghFr equen cy l n vert erUsi ngASCR I EEE, Fi ft ht nt.Tel ecommuni cati onEn er gyConf. Recor d,Oct. 1 983( Tok yo, J ap an) 108 5. 2 シンポジウム.研究会での口頭発表論文 (1 ) 畑中 ,中岡 ,丸橋 動力用招音波振動子系励振用逆鞘通サイリスタ方式高周波 インバー タ 電気学会電子装置 , 制御変換装置合同研究会資料 , P C C・ 7 81 7, (昭5 39) ( 2) 畑中 ,中岡,丸橋 逆導通サイリスタ方式高周波 インバー タの定常特性解析 電気学会制御変換装置 , パワーエ レク トロニクス研究会合同研究会資料 P C C7 91 3(昭5 42 ) ( 3) 畑中,中岡 ,丸橋 ,西村 動力用超音波電源用逆導通サイリスタ方式高周波 インバータの過渡解析 電気学会制御変換装置研究会資料 ,P C C1 7 94 3( 昭5 41 1 1 ) ( 4) 中岡 ,丸橋 ,畑中 大電力用強力超音波発生用静止電力変換装置の現状 と問題点 電気学会全国大会シンポジウム ,S 86, ( 昭5 64 ) 5. 3 学会での一般講演発表論文 (1 ) 柵中 ,近藤 ,中岡 ,丸橋 逆導通方式 コンデンサ分割形高周波 インバー タ(I) 電気学会全国大会 .6 7 7,P . 8 5 0(昭5 2) ( 2) 畑中 ,中岡 ,丸橋 担音波ホモジナイザ励振源回路 日本舶用機関学会秋季学術講演 ,1 1 0,ド. 1 01( 昭5 2) ( 3) 畑中,中岡,丸橋 逆導通サ イリスタ方式コンデ ンサ分別形高周波 インバー タ(Ⅲ) 電気学会全国大会 ,6 4 8,P. 7 8 6(昭5 3 ) ( 4) 畑中 ,中岡 ,丸橋 逆串通サイリスタ方式 コンデ ンサ分割形高周波 インバー タ(孤) 電気関係学会関西支那連合大会 ,Gl l l( 昭5 3 ) ( 5) 畑中 ,中岡,丸橋 動力用超音波ホモジナ イザ励振源の近似解析 と設計 0 6,P. 4 9く昭5 4 ) 日本舶用機関学会春季学術講演 ,1 109 ( 6) 畑中,中岡,丸橋 逆専通サイリスタ方式コンデンサ分別形高周波インバータ( Ⅳ) 電気学会全国大会 ,4 24、P. 5 09 ( 昭5 4) ( 7) 畑中,中岡,丸橋,西村 動力用超音波励振源について 一最適励振源回路 - 03,P. 2 7 (昭54) 日本舶用機関学会秋季学術講演 ,2 ( 8) 畑中,中岡,丸橋,西村 逆蒔通サイリスタ方式コンデンサ分割形高周波インバータ(Ⅵ) 電気学会全国大会 ,4 62,P, 5 43( 昭55) ( 9) 畑中,中岡,丸橋,西村 燃料改質用娼音波励振源の安定動作について 02,P. 33(昭55) 日本船用機関学会春季学術講演 ,2 ( 1 0 ) 畑中,中岡,丸橋 ,西村 燃料改質用超音波励振源の負荷特性 06,ド. 67 (昭5 5) 日本船用機関学会秋季学術講演 ,2 (ll ) 畑中,中岡,丸橋,西村 逆#通サイリスタ方式コンデンサ分割形高周波 インバータ( Ⅶ) 電気学会全国大会 ,4 9 3,P. 58 6( 昭5 6) ( 1 2 ) 畑中,大西 趨音波ホモジナ イザによる乳化燃料油の生成 と特性について 06,P. 75(昭5 7) 日本舶用税関学会秋季学術講清 ,2 (1 3) 畑中 ハイバワ超音波励振源の一方式について 0 9,ド. 9 3( 昭5 9) 日本舶用機関学会秋季学術講演 ,2 ( 1 4 ) 畑中 AS CR 方式中点タップ形高周波インバータのスナバの影響 電気関係学会関西支那連合大会 ,G 32 9,Gl1 5(昭59) (】 5) 畑中,中岡,丸橋 中点 タップ形 SIT高周波インバータの特性 電気学会全国大会 ,51 9,P. 602( 昭61 ) (1 6) 畑中,中岡,丸橋 2倍周波形 SIT高周波インバータの特性 電気関係学会関西支部連合大会 ,G 324, Glll( 昭61 ) 110 E Eij Ef: 本 論 文 を ま とめ るに 際 して 、 長 年 の 間 、御 魚 心 な 御 指 導 お よび 御 鞭 た つ を 暢 っ た 、神 戸 大 学 工 学 部 電 気 工 学 科 丸橋 徹 教 授 、並 び に 中 岡 睦 放 助 教 授 に厚 く御 礼 を 申 し上 げ ます 。 ま た 、種 々の 御 検 討 を戴 い た 神 戸 大 学 工 学 部 電 気 工 学 科 井 健 次 敦 授 、 並 び に神 戸 大 学 工 学 部 計 測 工 学 科 荒 北 村 新 三 教 授 に深 く感 謝 致 し ま す 。 さ らに 、種 々御 討 論 戴 い た神 戸 大 学 工 学 詐 電 気 工 学 科 、 各 救 授 の 方 々に敬 意 を表 します 。 ま た 、本 研 究 を遂 行 す るに あ た り暖 か い励 ま しの御 青 葉 お よび 御 助 言 を裁 い た 大 阪大 学 西 村 正 大 邸 名 誉 教 授 お よび 神 戸 商 船 大 学 機 関学 科 に東 京 商 船 大 学 棟 閲科 武 田幸 男 教 授 並 び 手 塚 俊 一 教 授 に深 甚 な る謝 意 を表 し ます . さ らに、 本 研 究 の 実 際両 に お け る応 用 に関 して 、種 々御 討 論 裁 い た 、 担 音 波 工 業株式会 社 渡 辺 哲 哉 社 長 、 石 渡 昭 一 常 務 お よび 谷 沢 公 彦 部 長 並 び に社 鼻 の 方 々 に感 謝 致 します 。 この 研 究 は 、著 者 の 属 す る海 技 大 学 校 関 係 各 位 の 御 理 解 、御 支 持 の 燭 物 で あ り 論 文 作 成 に あ た り、 御 支 援 戴 い た 片 上 圭 四 郎 校 長 、 中 村 峻 機 関科長 、近 藤 和 隆 教 授 お よび 大 西 正 幸 助 教 授 に心 か らの 感 謝 の 意 を表 します 。 な お 、本 研 究 の 一 郎 は 、 兵 庫 県 科 学 技 術 振 興 財 団 の 御 助 成 の 下 に行 わ れ た もの で あ る こ と を付 記 し、 こ こ に感 謝 致 し ます 。 111