高コントラスト高感度感光技術 - 新エネルギー・産業技術総合開発機構

・評価方法の開発／・開発支援ツール（TEG)
・評価方法の開発／・開発支援ツール（
TEG)の開発
の開発／
／
・次世代半導体用の信頼性ある部材提案とその実用化研究（住友ベークライト株式会社）
NEDOプロジェクトの技術成果
プロジェクト終了後の実用化状況
半導体ウェハーバッファー
コート用樹脂
[スミレジンエクセル
®CRC-8000]
（写真）住友ベークライト
ポーラスMSQ 系
Low-k 材料の条件比較
積層構造試料における
密着性測定
平坦性の測定方法
・半導体材料評価基盤として、65ｎｍ、300ｍｍの
最先端のプロセス技術で構築できた。
・材料業界としては世界的に見て最高水準にある。
材料業界としては世界的に見て最高水準にある
・1997年に世界で初めてポジ型感光性ポリイミドの量産をスタート
・製品名：スミレジンエクセルCRC-8000シリーズ
・製品名：スミレジンエクセルCRC
8000シリ ズ
・開発した技術名：高コントラスト・高感度感光技術
・上市時期：2008年
・製品のアピールポイント：
1. 高解像度
2 環境安全性
2.
3. トータルコストの大幅な削減
4. モールド材や基板との高密着性
5. 優れたフィルム特性 などの優れた各種の特性を発
揮する理想的なポジ型感光性半導体コーティング材
・プロジェクト名
次世代半導体ナノ材料高度評価プロジェクト
・プロジェクト担当部
ナノテクノロジー・材料技術開発部
・実施期間：2003年～2005年
・プロジェクト概要
プロジ クト概要
半導体材料開発に貢献する材料評価基盤を構築し、一体的に評価可能な
支援ツール（統合部材開発支援ツール）を開発。材料メーカによる半導体材
料開発効率の抜本的向上（開発期間半減）を図る。
「第25回研究評価委員会 資料8 別紙 平成21年度追跡調査・評価の実施状況」より抜粋（P.35）
将来期待される
経済的・社会的効果
経済的
社会的効果
・我が国の強みである材料
分野において、物質の機
能・特性を充分に活かしつ
つ、ユーザへの迅速なソリ
ューション提案（部品化、製
品化）を可能となる
・新市場及び新たな雇用を
創出する高付加価値材料
産業（材料・部材産業）を構
産業（材料
部材産業）を構
築
・わが国半導体関連産業全体
の研究開発効率の向上、ひい
ては国際競争力強化に寄与
・半導体チップを物理的・化学
的に表面保護する材料がウェ
ハーコート樹脂であり、その保
護材料によって、解像度や製
造コストが左右されるため、半
導体産業の競争力を左右する
ことになる重要な技術
・実用化に際してNEDOプロジェクトが役立った点
顧客へサンプルを出す前に事前にデバイスメ カ
顧客へサンプルを出す前に事前にデバイスメーカー
と同じ設備で質の高い評価が可能となり、研究開発
の促進が可能となった。
・NEDOプロジェクトによる追加的な効果
製品の性能・品質がかなり向上した
製品の性能
品質がかなり向上した。
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