Si チップ3点曲げ専用システム

TH35-0121
オートグラフカスタム製品情報
No.17
Si チップ3点曲げ専用システム
ウエハの向き、位置、厚さを
試験片ごとに登録できます。
Siチップの登録を行う
機能があります。
半導体関連の製品は、需要の増加とともに、製造工程の効率化と品質の向上がますます重要になっています。製
造工程でチップを効率良く作成できるよう、1枚のシリコンウエハのサイズは大きくなっています。そして、大きな
サイズでカットされた1つ1つのチップが均一の品質を保てるよう、シリコンウエハを小さく切り分け、シリコンチッ
プの3点曲げ試験が行われています。この試験は一般に試験数が多いため、データを効率良く管理できるよう、本
システムは専用のソフトウェアによって、試験片の向き、位置、厚さを簡単に登録しながら試験が行えるようになっ
ています。また、試験方法はSEMI G86-0303で規定されており、当社ではこれに準拠した専用の3点曲げ治具
をご用意しています。
特 長
1. Si チップの3点曲げ試験と球抗折試験ができます。
2. 全て、Siチップ専用のソフトウェア画面です。
3. 試験毎にウエハの向き、位置、厚さを簡単に登録できます。
4. 試験終了毎にSi片の割れ具合を入力できます。
5.
品質管理から研究開発まで対応します
シリコンチップの3点曲げ試験方法 SEMI G86-0303
試験力測定精度
指示値の±1%以内
試験速度
5mm/min
以下ポンチ・支点の寸法
R0.3mm±0.02mm
支点間距離(L)
試験片厚さ(h)が0.1mm以上の時 2mm≦L かつ L≦20h
試験片厚さ(h)が0.1mm未満の時 L≦2mm かつ L≦50h
右はシリコンチップ3点曲げ治具の写真です。
下部支点間距離はスケールを見ながらマイクロメータヘッドを回転させて調整し
ます（下部支点間距離が固定タイプもあります）。手前の樹脂カバー（開いていると
ころ）は、シリコンチップが破壊した際の飛散防止を行うものです。
シリコンチップ3点曲げ治具
○条件
□
Siチップ寸法： 3.4mm × t50μm
試 験 速 度：0.2mm/min
支 点 間 距 離：1.5mm
○結果
曲げ破壊応力：1023.5MPa（平均値）
＜Siチップ3点曲げの試験結果＞
オプション品
本システムは球抗折試験にも対応しています。球抗折試験治具については、別途弊社までお問い合わせください。
※外観および仕様は改良のため，予告なく変更することがありますのでご了承ください。
分析計測事業部 604-8511 京都市中京区西ノ京桑原町1
東 京 支 社 101-8448 東 京 都 千 代 田 区 神 田 錦 町 1 丁 目 3
(03) 3219- (官公庁担当) 5631・(大学担当) 5616・(会社担当) 5735
関 西 支 社 530-0012 大阪市北区芝田1丁目1-4 阪急ターミナルビル14階
(06) 6373-(官公庁・大学担当) 6541・(会社担当) 6661
札 幌 支 店 060-0005 札幌市中央区北五条西6丁目2-2 札幌センタービル8階 (011) 205-5500
東 北 支 店 980-0021 仙台市青葉区中央2丁目10-30 仙台明芳ビル3階 (022) 221-6231
つくば支店 305-0031 つ く ば 市 吾 妻 3 丁 目 17 - 1
(029) 851-(官公庁・大学担当) 8511・(会社担当) 8515
北関東支店 330-0843 さいたま市大宮区吉敷町1丁目41 明治安田生命大宮吉敷町ビル8階
(048) 646-(官公庁・大学担当) 0095・(会社担当) 0082
横 浜 支 店 220-0004 横浜市西区北幸2丁目8-29 東武横浜第3ビル7階
(045) 312- (官公庁担当) 4421・(会社担当) 311-4106
静 岡 支 店 422-8062 静岡市駿河区稲川2丁目1-1 伊伝静岡駅南ビル2階 (054) 285-0124
名古屋支店 450-0001 名古屋市中村区那古野1丁目47-1 名古屋国際センタービル19階
(052) 565-(官公庁・大学担当) 7521・(会社担当) 7531
京 都 支 店 604-8511 京 都 市 中 京 区 西 ノ 京 桑 原 町 1
(075) 811-(官公庁・大学担当) 8191・(会社担当) 8198
神 戸 支 店 650-0034 神 戸 市 中 央 区 京 町 7 0
松 岡 ビ ル 8 階 (078) 331-9665
岡山営業所 700-0826 岡山市磨屋町3-10 住友生命岡山ニューシティビル6階 (086) 221-2511
四 国 支 店 760-0017 高松市番町1丁目6番1号 住友生命高松ビル9階 (087) 823-6623
広 島 支 店 730-0036 広島市中区袋町4-25 明治安田生命広島ビル15階 (082) 248-4312
九 州 支 店 812-0039 福 岡 市 博 多 区 冷 泉 町 4 - 2 0 島 津 博 多 ビ ル 4 階
(092) 283-(官公庁・大学担当) 3332・(会社担当) 3336
カスタマーサポートセンター（応用技術部）
京 都 604-8511 京 都 市 中 京 区 西 ノ 京 桑 原 町 1 (075) 823-1153
東京ハイテクプラザ 101-8448 東 京 都 千 代 田 区 神 田 錦 町 1 丁 目 3 (03) 3219-5857
http://www.shimadzu.co.jp/test/
4197-04506-20ATD