ISO - NMIJ

２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
日本真空工業会と
真空の規格について
圧力真空クラブ
2012年7月6日
日本真空工業会 規格標準委員会 芦田
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格標準委員会
活動内容
真空に関する工業規格の提案、審議への参加、普
及促進、及び真空標準の普及
１．ISO規格審議に参加、年1回総会に委員派遣
２．JIS規格の草案作成と提案、
JIS原案作成委員会にメンバーが参加
３．真空計のＪＣＳＳの立上げと普及の推進
４．規格標準報告会の開催
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格標準委員会
『規格標準小委員会』
真空関連規格の整備を担当し、工業会としての立場で日本真空
協会と合同で、 ISO、JIS等の規格について検討提案から実現ま
での活動を行っています。
年５、６回程度の会合
『圧力標準小委員会』
計量法に則り、JCSS制度における登録事業者を早期に擁立する
ことと、真空標準の普及とを目的とし、『規格標準合同検討委員
会』の圧力標準WGとしてその活動を行っています。
年５回程度の会合
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格標準委員会
真空標準と真空関連規格における日本真空協会（ＶＳＪ）との合同検討体制
日本真空工業会
規格標準委員会
・規格標準小委員会
・圧力標準小委員会
圧力標準
ＷＧ
JISC/ISO
日本真空協会
規格・標準部会
規格標準合同検討委員会
（企画・運営）
容積移送式
真空ポンプWG
真空ポンプWG
真空フランジ
WG
四極子形質量
分析計WG
分析計WG
・ISO国内審議委員会
・JIS審議委員会
・JIS原案作成委員会
ターボ分子ポンプ
WG
規格標準委員会は日本真空協会の規格・標準部会と合同で活動しています
・規格標準小委員会は真空関連規格の整備を担当しています
・圧力標準小委員会は圧力標準ＷＧとして真空計のＪＣＳＳの立上げと普及を推進しています
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格標準合同検討委員会の活動
・各ワーキンググループ（WG)の活動を通じて、真空関連のISO規格の提案、審議を行
なっています。（主として、電子メール審議）
• 容積移送式真空ポンプWG
容積移送式真空ポンプの性能測定方法の規格案
ISO/DIS 21360-2のとりまとめを
容積移送式真空ポンプの性能測定方法
行なった。ルーツポンプの性能測定方法について意見をまとめ、ISOで議論した。
ルーツポンプの性能測定方法
• 真空フランジWG
ベーカブルフランジの技術仕様 ISO/TS 3669-2と、クイックカップリングの規格
ISO 2861-1の改定提案に対応して、発足。 意見をまとめ、ISOに見解を送った。
• 四極子形質量分析計WG
14291に対して、日本
四極子形質量分析計の定義と仕様に関する規格案ISO/WD
の定義と仕様
側の意見を取りまとめ、ISOに提案した。
• ターボ分子ポンプWG
ターボ分子ポンプの動翼破損時の急停止トルクの測定方法をISOに提案し、2010
年1月にISO 27892 Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -Measurement of rapid shutdown torqueとして発行された。
5
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格標準報告会
・ISO規格、JIS規格の審議状況、動向の報告、または、真空計及
び真空標準の普及のため、年１回、報告会を開催し、広く一般に
公開しています。
規格標準報告会
「真空と漏れに関する最新情報」
今年は今年発行の真空ポンプの性能測定方法に関するISO規格、JIS原案作
成の状況を解説いたします。加えて、真空と関係の深い漏れ試験の資格認証
の情報と、定量漏れ試験の基準として用いられているヘリウム標準リークの最
新情報についても報告いたします。
日時：2012年10月18日（木） 14:30 ～ 16:30
会場：東京国際展示場 東ホール 展示会場内 プレゼンテーションコーナー
主催：日本真空協会 規格・標準部会， 日本真空工業会 規格標準委員会
参加費：無料
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格標準委員会
規格標準委員会 委員派遣会員企業
（株）アルバック
大亜真空（株）
（株）大阪真空機器製作所
東京電子（株）
（株）岡野製作所
（株）フジ・テクノロジー
キヤノンアネルバ（株）
若井田理学（株）
芝浦エレテック（株）
（株）島津製作所
1０社
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
JIS 規格と ISO 規格との関係
( ISO規格は、なぜ重要か？）
国家規格のJIS規格はISO規格との整合が強く要求される。
ISO規格に不整合な国家規格は非関税障壁になる。
（GATT Standard Cord)
対応するISO規格がある場合、 ISO規格に不整合な国家規格は作れない。
（対応ISO規格が無い場合、原則的にはどのような国家規格でも作れる。）
ISO規格が後に出来ても、既存の国家規格は改正（整合化）が要求される。
ということは、
日本の実情に合ったISO規格が出来るとメリットは大きいが、逆の場合は不利益
をこうむる可能性が高い。
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格に対する活動方針
ISO規格の制定活動に注力し、
出来たISO規格に整合するJIS規格を制定・普及する。
日本に有利なISO規格を、積極的に提案・制定する。
少なくとも、日本に不利なISO規格、及び、他国の国家規格が出来ないように、
ISO規格を提案・制定する。
外国提案であっても、ISO規格の制定過程で意見を出す。
（投票、会議など）
意見が出しやすいように、ISO活動に積極的に参加する。
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２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
真空関係のISO規格とJIS規格
ISO規格：
20件
JIS規格：
18件
JVIS(日本真空協会）規格：
6件
新しいJIS規格は、ISO規格を参照して作成
既存JIS規格は、 ISO規格が後にできても、ISO規格へ極力整合
10
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
原案作成の真空JIS規格 : 18 件
JIS B2290:1998 真空装置用フランジ
JIS B2293:1993 真空配管継手の取付け寸法
JIS B8316-1:1999 容積移送式真空ポンプ―性能試験方法―第１部：体積流量（排気速度）の測
定
JIS B8316-2:1999 容積移送式真空ポンプ―性能試験方法―第２部：到達圧力の測定
JIS B8317-1:1999 蒸気噴射真空ポンプ―性能試験方法―第１部：体積流量（排気速度）の測定
JIS B8317-2:1999 蒸気噴射真空ポンプ―性能試験方法―第２部：臨界背圧の測定
JIS B8328:2009 真空技術－ターボ分子ポンプの性能試験方法
JIS B8365:1988 真空装置用クランプ形継手の形状及び寸法
JIS Z8126-1:1999 真空技術－用語－第１部：一般用語
JIS Z8126-2:1999 真空技術－用語－第２部：真空ポンプ及び関連用語
JIS Z8126-3:1999 真空技術－用語－第３部：真空計及び関連用語
JIS Z8207:1999 真空装置用図記号
JIS Z8750:2009 真空計校正方法
JIS Z8751:1994 液柱差を使う真空計による真空度測定方法
JIS Z8752:1989 熱陰極及び冷陰極電離真空計による圧力測定方法
JIS Z8753:1989 熱伝導真空計による圧力測定方法
JIS Z8754:1999 真空技術－質量分析計形リークディテクター校正方法（非破壊検査協会へ）
TS Z 0029：2011 真空技術－真空計－真空計の校正値の不確かさ評価
11
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
日本真空協会規格JVIS : 6件
JVIS
JVIS
JVIS
JVIS
JVIS
JVIS
12
001:1981
002:1978
003:1982
004:1991
005:1991
006:1996
副標準電離真空計管球（JIS Z8750の改正により廃止予定）
真空装置用クランプ継手形状寸法(JIS B8365の制定により廃止)
真空装置用ベーカブルフランジの形状・寸法（廃止予定）
真空装置用フランジの形状及び寸法(JIS B2290の改正により廃止)
タ−ボ分子ポンプの性能試験方法（JIS B8328の制定により廃止）
真空配管継手の形状及び寸法(JIS B2293の制定により廃止)
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
JISとISOとの対比 （1/5）
JISはISOに極力整合させてきた
ISO
13
JIS (+ JVIS)
整合性
ISO 16071:1993
Positive-displacement vacuum pumps -Measurement of performance characteristics
-- Part 1: Measurement of volume rate of
flow (pumping speed)
JIS
B83161:1999
容積移送式真空ポンプ―性
能試験方法―第１部：体積流
量（排気速度）の測定
○
ISO 1607-2:
1989
Positive-displacement vacuum pumps -Measurement of performance characteristics
-- Part 2: Measurement of ultimate pressure
JIS
B8316-2:
1999
容積移送式真空ポンプ―性
能試験方法―第２部：到達圧
力の測定
○
ISO 1608-1:
1993
Vapour vacuum pumps -- Measurement of
performance characteristics -- Part 1:
Measurement of volume rate of flow
(pumping speed)
JIS
B8317-1:
1999
蒸気噴射真空ポンプ―性能
試験方法―第１部：体積流量
（排気速度）の測定
○
ISO 1608-2:
1989
Vapour vacuum pumps -- Measurement of
performance characteristics -- Part 2:
Measurement of critical backing pressure
JIS
B8317-2:
1999
蒸気噴射真空ポンプ―性能
試験方法―第２部：臨界背圧
の測定
○
ISO 5302:
2003
Vacuum technology -- Turbomolecular
pumps -- Measurement of performance
characteristics
JIS
B8328:
2009
真空技術－ターボ分子ポンプ
の性能試験方法
△
ISO 21360:
2007
Vacuum technology -- Standard methods
for measuring vacuum-pump performance -General description
（真空ポンプの標準的性能試
験法）
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
JISとISOとの対比 （2/5）
ISO
14
JIS (+ JVIS)
整合性
（ターボ分子ポンプの瞬停止
時のトルク測定の方法）
ISO
27892:2010
Vacuum technology -- Turbomolecular
pumps -- Measurement of rapid shutdown
torque
ISO 35291:1981
Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 1:
General terms
JIS
Z8126-1:
1999
真空技術－用語－第１部：一
般用語
△
ISO 35292:1981
Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 2:
Vacuum pumps and related terms (改正作
業中）
JIS
Z8126-2:
1999
真空技術－用語－第２部：真
空ポンプ及び関連用語
△
ISO 35293:1981
Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 3:
Vacuum gauges (改正作業中）
JIS
Z8126-3:
1999
真空技術－用語－第３部：真
空計及び関連用語
△
ISO
1609:1986
Vacuum technology -- Flange dimensions
JIS
B2290:
1998
真空装置用フランジ
（旧JISをISO 1609に整合化）
○
ISO 2861-1:
1974
Vacuum technology -- Quick-release
couplings -- Dimensions -- Part 1: Clamped
type（改正作業中）
JIS
B8365:1
988
真空装置用クランプ形継手の
形状及び寸法
○
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
JISとISOとの対比 （3/5）
ISO
15
JIS (+ JVIS)
整合性
ISO 3669:
1986
Vacuum technology -- Bakable flanges –
Dimensions
（定期確認中：廃止を提案）
(真空装置用ベーカブルフラン
ジの形状・寸法）
ISO/TS
3669-2:
2007
Vacuum technology -- Bakable flanges -Part 2: Dimensions of knife-edge flanges
（米国から改正提案あり）
JVIS
003:1982
真空装置用ベーカブルフラン
ジの形状・寸法（廃止予定）
△
ISO 9803-1:
2007
Vacuum technology -- Mounting
dimensions of pipeline fittings -- Part 1:
Non knife-edge flange type
JIS
B2293:
1993
真空配管継手の取付け寸法
○
ISO 9803-2:
2007
Vacuum technology -- Mounting
dimensions of pipeline fittings -- Part 2:
Knife-edge flange type
（ナイフエッジフランジ継手の
取付け寸法）
ISO 21358:
2007
Vacuum technology -- Right-angle valve -Dimensions and interfaces for pneumatic
actuator
（L形バルブの取付け寸法）
ISO 27895:
2009
Vacuum technology -- Valves -- Leak test
(真空バルブのリークテスト
法）
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
JISとISOとの対比 （4/5）
ISO
16
JIS (+ JVIS)
整合性
ISO/TS
3567:
2005
Vacuum gauges -- Calibration by direct
comparison with a reference gauge （ISO化
作業中）
JIS
Z8750:
2009
真空計校正方法
○
ISO/TS
27893:
2009
Vacuum technology -- Vacuum gauges -Evaluation of the uncertainties of results of
calibrations by direct comparison with a
reference gauge （ISO化作業中）
TS Z
0029：
2011
真空技術－真空計－真空計
の校正値の不確かさ評価
○
ISO 27894:
2009
Vacuum technology -- Vacuum gauges -Specifications for hot cathode ionization
gauges
(熱陰極電離真空計の仕様）
JIS
Z8751:
1994
液柱差を使う真空計による真
空度測定方法
JIS
Z8752:
1989
熱陰極及び冷陰極電離真空
計による圧力測定方法
JIS
Z8753:
1989
熱伝導真空計による圧力測
定方法
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
JISとISOとの対比 （5/5)
ISO
17
JIS (+ JVIS)
整合性
ISO
3530:1979
Vacuum technology - Mass-spectrometertype leak-detector calibration
(TC135 に移管）
JIS
Z8754:
1999
真空技術－質量分析計形
リークディテクター校正方法
（非破壊検査協会に移管）
○
ISO 3753
Vacuum technology – Graphical symbols
(ISO 14617 制定により廃止）
JIS
Z8207:
1999
真空装置用図記号
－
ISO 14617
Graphical symbols for diagrams
（TC10にて制定）
JIS
Z8207:
1999
真空装置用図記号
×
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
国際標準化と国家標準化の枠組み
国際標準化機関
ISO：国際標準化機構、IEC：国際電気標準会議
登録 :１ヵ国１機関
経済産業省
基準認証ユニット
日本工業標準調査会
（JISC）
発行
JIS
TR
TS
日本規格協会
産業技術総合研究所
製品評価技術基盤機構
JIS原案作成団体
（約600）
ISO/IEC国内審議団体
（約300）
ほぼ一致
18
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
規格標準合同検討委員会のJIS規
格とISO規格に対する活動体制
日本真空工業会
規格標準委員会
・規格標準小委員会
・圧力標準小委員会
圧力標準
ＷＧ
JISC/ISO
規格標準合同検討委員会
（企画・運営）
真空ポンプ
WG
真空フランジ
WG
四極子質量
分析計WG
分析計WG
日本真空学会
規格・標準委員会
・ISO国内審議委員会
・JIS原案作成委員会
ターボ分子ポンプ
WG
真空標準と真空関連規格における日本真空工業会と日本真空協会との合同検討体制
19
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
JIS規格
の開発
調査研究
業界など
原案作成委託
業界自主作成
（１～2年）
主務大臣
JIS原案
付議
専門委員会
日本工業
標準調査会
(JISC)
部会
（～１年）
答申
制定/官報公示
20
主務大臣
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISOの体制
総会(GA)
管理部門
理事会(Council)
中央事務局(CS)
適合性評価委員会(CASCO)
発展途上国対策委員会(DEVCO)
消費者政策委員会(COPOLCO)
技術管理評議会(TMB)
ISO情報ネットワーク(ISONET)
標準物質委員会(REMCO)
IEC
専門委員会(TC)
真空技術
ISO/TC112
分科委員会(SC)
作業グループ(WG)
アド・ホックグループ
21
編集委員会(EC)
合同専門委員会(JTC)
分科委員会(SC)
作業グループ(WG)
編集委員会(EC)
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO/TC112 真空技術専門委員会(1/2)
設立：1964年
幹事国:
幹事:
委員長:
ドイツ（DIN）
Mr.J.Eisenreich
Dr.F.Justen
P メンバー: 11ヶ国
中国（SAC）、フランス（AFNOR）、イタリア（UNI）、日本（JISC）、
韓国（KATS）、ロシア（GOST-R）、スペイン（AENOR）、スイス（SNV）、
米国（ANSI）、英国（BSI）
O メンバー: 17ヶ国
オーストリア（ASI）、バルバドス（BNSI)、チリ（INN)、キューバ（NC）、
チェコ（UNMZ）、ギリシャ（ELOT）、ハンガリー（MSZT）、インド（BIS）、
イラン（ISIRI）、オランダ（NEN）、ポーランド（PKN）、ローマニア（ASRO）、
セルビア（ISS）、スロバキア（SUTN）、タイ（TISI）、チュニジア（INNORPI）、
トルコ （TSE）
22
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO/TC112 真空技術専門委員会(2/2)
リエゾン(ISOの他の技術委員会): 3
ISO/TC5 (Ferrous metal pipes and metallic fittings)
TC131/SC2 (Pumps, motors and integral transmissions)
TC135 (Non-destructive testing)
リエゾン(国際組織)： 4
CERN、EC、IUVSTA、PNEUROP
ISO規格の総発行数: 20
開発中のISO規格(＋新規プロジェクト)の数: 4
付属の委員会
WG1 真空ポンプ (コンビ－ナ:英国)
WG2 真空計 (コンビ－ナ:ドイツ)
WG3 真空部品 (コンビ－ナ:日本)
23
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO規格開発の流れ
00:予備段階(PWI)
目標期日
TS/PAS/TRの発行
登録
(投票が重要）
10:提案段階(NP)
P メンバー(３ヶ月投票)
20:作成段階(WD)
投票Pメンバーの単純過半数、5カ国以上のエキスパート指名
エキスパート
PAS/TR
12ヶ月
30:委員会段階(CD)
P、O メンバー
投票Pメンバーの1/2
TS
投票の規定なし、WGの合意
24ヶ月
40:照会段階(DIS)
コンセンサス、または、投票Pメンバーの2/3以上の賛成
全メンバー(５ヶ月投票)
投票Pメンバーの2/3
33ヶ月
50:承認段階(FDIS)
投票Pメンバーの2/3以上の賛成＋反対（全投票数の1/4以下）
全メンバー(２ヶ月投票)
36ヶ月
60:発行段階(IS)
90:見直し段階
95:廃止段階
24
改正
確認
投票Pメンバーの2/3以上の賛成＋反対（全投票数の1/4以下）
５年毎
P メンバー(３ヶ月投票)
TCが確認、修正・改正、廃止の提案を決定
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
会議参加の実績
開催
1991/4
開催場所
モスクワ
幹事国
ソ連
1994/10 デンバー
25
参加国
ソ連,米国,ドイツ,日本,中国, CERN
米国,ドイツ ほか
1996/3
フランクフルト
米国
米国,ドイツ,英国,フランス,日本,IUVSTA,ISO事務局
199710
サン・ノゼ
米国
米国,ドイツ,英国,フランス,日本,韓国,IUVSTA
1998/9
チェスター
米国
米国, ドイツ,英国,イタリア,日本,韓国,IUVSTA
1999/9
ソウル
米国
延期
2003/9
フランクフルト
ドイツ
ドイツ,イタリア,スイス,日本,韓国,IUVSTA,ISO事務局
2004/6
ベニス
ドイツ
ドイツ,英国,イタリア,スイス,日本,韓国,
IUVSTA,Pneurop
2005/12 ソウル
ドイツ
ドイツ,日本,韓国,スイス,英国,中国,タイ,米国
2007/7
サンフランシスコ
ドイツ
ドイツ,日本,韓国,スイス,英国,中国,米国
2008/9
東京
ドイツ
ドイツ,日本,韓国,スイス,英国,中国,米国
2009/10 杭州
ドイツ
ドイツ,日本,韓国,スイス,英国,中国,米国
2010/10 フランクフルト
ドイツ
ドイツ,日本,韓国,スイス,英国,中国,米国
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO/TC112 フランクフルト総会（2010.10.26)
26
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO規格 (開発中、発行済み、現状、将来計画）
発行済みの規格：
20 件
発行済みISO規格は定期的確認作業（SR)が行われる。
廃止済みの規格：
12 件
ISO規格が改正されると、旧版は廃止となる。
新規開発中の規格：
1件
改正中の規格：
1件
発行済みISO規格でも、改正が随時行われている
27
新規制定、改正、廃止を検討中の規格：
5件
将来の規格化を考えている規格（長期計画）：
5件
ISOに対応するJISの原案を作成中：
1件
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO規格 (開発中、発行済み、現状、将来計画） (1/5)
ISO
28
表題
杭州総会
2009/9/22
Status
2010/10/21
フランクフル
ト総会
2010/10/26
2012/6現在
備考
担当WG
JIS
1607-1:
1993
Positive-displacement vacuum pumps Measurement of performance characteristics Part 1: Measurement of volume rate of flow
(pumping speed)
発行済み
1993
-
-
-
WG1
JIS B83161: 1999
1607-2:
1989
Positive-displacement vacuum pumps Measurement of performance characteristics Part 2: Measurement of ultimate pressure
発行済み
1989
-
-
-
WG1
JIS B83162: 1999
21360-2
Vacuum technology - Standard methods for
measuring vacuum-pump performance - Part 2:
Positive displacement vacuum pumps
FDIS化投票
中
コメント付承
認
発行予定：1
年延期
2012/1/8
2012年4月
に発行
WG1
1608-1:
1993
Vapour vacuum pumps - Measurement of
performance characteristics - Part 1:
Measurement of volume rate of flow (pumping
speed)
発行済み
1993
-
-
-
WG1
JIS B83171: 1999
1608-2:
1989
Vapour vacuum pumps - Measurement of
performance characteristics - Part 2:
Measurement of critical backing pressure
発行済み
1989
SR 2010
確認予定
SR 2010
確認
-
-
WG1
JIS B83172: 1999
1609:
1986
Vacuum technology - Flange dimensions
発行済み
1986
SR 2009
確認済み
-
-
-
WG3
JIS B2290:
1998
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO規格 (開発中、発行済み、現状、将来計画） (2/5)
ISO
29
表題
杭州総会
2009/9/22
Status
2010/10/21
フランクフル
ト総会
2010/10/26
2012/6現在
備考
担当WG
JIS/JVIS
改正提案
(NW50追加)
改正投票
未承認
（Expert不
足）
新プロジェ
クト承認
DIS作成中
WG3
JIS
B8365:1988
2861-1:
1974
Vacuum technology - Quick-release couplings
- Dimensions - Part 1: Clamped type
2861-2:
1980
Vacuum technology - Quick release couplings Dimensions - Part 2: Screwed type
発行済み
1980
廃止予定
廃止済み
-
-
WG3
3529-1:
1981
Vacuum technology - Vocabulary - Part 1:
General terms
発行済み
1981
改正予定
（Pt 2, 3改
正後）
-
-
-
TC112
JIS Z81261: 1999
3529-2:
1981
Vacuum technology - Vocabulary - Part 2:
Vacuum pumps and related terms
発行済み
1981
改正予定
改正投票
未承認
（Expert不
足）
新プロジェ
クト承認
CD/DIS
作成中？
WG1
JIS Z81262: 1999
3529-3:
1981
Vacuum technology - Vocabulary - Part 3:
Vacuum gauges
発行済み
1981
改正予定
改正投票
未承認
（Expert不
足）
新プロジェ
クト承認
CD/DIS
作成中？
WG2
JIS Z81263: 1999
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO規格 (開発中、発行済み、現状、将来計画） (3/5)
ISO
30
表題
杭州総会
2009/9/22
Status
2010/10/21
フランクフル
ト総会
2010/10/26
2012/6現在
備考
担当WG
JIS/JVIS
ISO化提案
新プロジェ
クト承認
2011年12
月に発行
WG2
JIS Z8750:
2009
SR 2011中
廃止希望回
答
WG3
JVIS 003:
1982
TS 3567:
2005
Vacuum gauges - Calibration by direct
comparison with a reference gauge
発行済み
2005
3669:198
6
Vacuum technology - Bakeable flanges Dimensions
発行済み
1986
-
-
TS 36692:
2007
Vacuum technology – Bakeable flanges - Part
2: Dimensions of knife-edge flanges
発行済み
改正提案
(米国）
改正投票
未承認
SR 2010中
(- 2010/12)
SR 2010中
5302:
2003
Vacuum technology - Turbomolecular pumps Measurement of performance characteristics
発行済み
2003
-
-
-
WG1
JIS B8328:
2009
9803-1:
2007
Vacuum technology - Mounting dimensions of
pipeline fittings - Part 1: Non knife-edge flange
type
発行済み
2007
SR 2010
確認予定
SR 2010
確認済み
-
-
WG3
JIS B2293:
1993
9803-2:
2007
Vacuum technology - Mounting dimensions of
pipeline fittings - Part 2: Knife-edge flange type
発行済み
2007
SR 2010
確認予定
SR 2010
確認済み
-
-
WG3
WG3
JVIS 003:
1982
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO規格 (開発中、発行済み、現状、将来計画） (4/5)
ISO
31
表題
杭州総会
2009/9/22
Status
2010/10/21
フランクフル
ト総会
2010/10/26
2011/5現在
備考
担当WG
JIS/JVIS
21358:
2007
Vacuum technology - Right-angle valve Dimensions and interfaces for pneumatic
actuator
発行済み
2007
SR 2010
確認予定
SR 2010
確認済み
-
-
WG3
21360:
2007
Vacuum technology - Standard methods for
measuring vacuum-pump performance General description
発行済み
2007
SR 2010
確認予定
SR 2010
確認済み
-
番号変更
21360-1
として2012
年4月に発
行
WG1
27892
Vacuum technology - Turbomolecular pumps Measurement of rapid shutdown torque
ISO化投票
発行
2010
-
-
WG1
TS
27893:
2009
Vacuum technology - Vacuum gauges Evaluation of the uncertainties of results of
calibrations by direct comparison with a
reference gauge
発行
2009
ISO化提案
新プロジェク
ト承認
2011年8月
に発行
WG2
TS Z 0029：
2011
27894
Vacuum technology - Vacuum gauges Specifications for hot-cathode ionisation
gauges
ISO化投票
中
発行
2009
-
JIS化準備
中
WG2
27895
Vacuum technology - Test procedure for
valves
ISO化投票
中
発行
2009
-
-
WG3
21360-3
Vacuum technology - Standard methods for
measuring vacuum-pump performance – Part:3
Roots vacuum pumps
提案(中国）
NP投票中
不承認
(投票結果）
再提案待ち
-
WG1
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
ISO規格 (開発中、発行済み、現状、将来計画） (5/5)
ISO
表題
杭州総会
2009/9/22
Status
2010/10/21
フランクフル
ト総会
2010/10/26
2012/6現在
備考
担当WG
JIS/JVIS
14291
Vacuum Technology - Vacuum Gauges Definitions and specifications for quadrupole mass
spectrometers"
提案(韓国）
NP投票
新プロジェクト
承認
CD案作成
CD登録
DIS投票
コメント付承
認
WG2
提案(日本）
新プロジェ
クト予定
WD作成中
作成後
NWIP投票
WG2
将来計画
32
TS
Capacitance Diaphragm gauges:
specifications (Part 1),
measurement uncertainties and calibration (Part 2)
中期計画
TS
Spinning rotor gauges:
specifications (Part 1),
measurement uncertainties and calibration (Part 2)
長期計画
-
-
-
WG2
TS
Thermal conductivity gauges:
specifications (Part 1),
measurement uncertainties and calibration (Part 2)
長期計画
-
-
-
WG2
TS
Crossed field ionization gauges:
specifications Part 1),
measurement uncertainties and calibration (Part 2)
長期計画
-
-
-
WG2
TS
Ionization gauges with emissive cathodes:
measurement uncertainties and calibration (Part 2
of 27894)
長期計画
-
-
-
WG2
TS
Combined vacuum gauges: specifications (Part 1),
measurement uncertainties and calibration (Part 2)
長期計画
-
-
-
WG2
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
広い圧力範囲を計測する際の問題点
•
複数種類の真空計を併用
（例）
•
•
•
•
•
1 － 10－３ Pa
10－３ － 超高真空
隔膜真空計
スピニングロータゲージ
B-Aゲージ
隔膜真空計とスピニングロータゲージの表示値が一致しない
•
それぞれ固有の誤差を含んでいる。
•
校正した時の温度が異なる
スピニングロータゲージとB-Aゲージの表示値が一致しない。
•
35
1000 － １ Pa
精度の高い真空計を基準にして、他の真空計の表示値を補正し
て、圧力として良いか？
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
超高真空を測定する際の真空計への要望
•
圧力範囲 10－６ から 10－８ Paについ
て
ターボ分子ポンプの圧力測定の経験から
•
熱陰極電離真空計を用いるが、圧力が下
がっていく過程では、メーカ、型式によっ
て異なる値を示すことがある。
•
•
36
経験的に圧力表示値が早く下がる真空
計を使いたがる。
発熱が大きい真空ゲージの場合、ゲージ
の周囲の温度が上昇し、放出ガス量が増
大し、結果的に高い圧力を表示する。
•
真空計を校正した時の取り付け方向と
同じ方向に取り付けるべきか？
•
真空ポンプの性能が一見、悪く見える。
２ ０ １ ２
JAPAN VACUUM INDUSTRY ASSOCIATION
おわりに
＊国家規格（JIS規格）はISO規格との整合が強く要求されます。
＊日本の実情に合ったISO規格が出来るとメリットは大きいが、逆の場合は
不利益をこうむる。
＊規格標準合同委員会は、ISO活動への参加を積極的に進めています。
お願い！
＊積極的な新規格テーマの提案
よいテーマ：標準化研究(開発）の補助金を受けいれられる。
＊開発(投票）中の規格に対する意見の発信！
37