MODEL 5100 SERIES

ハイグレードメタルシール　マスフローコントローラ
MODEL 5100
SERIES
MODEL5100シリーズは、半導体プロセスガス制御
に要求される溶接レス構造、メタルシール、精度≦±
1％、応答性≦1秒等の基本性能をクリアし、なおか
つ画期的なコストダウンを実現したマスフローコント
ローラです。
A
電子式流量計
□ 温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精
度、高速応答を実現
□ ソレノイド・ノーマリークローズバルブを採用
□ 溶接レス構造、メタルシール化により低リーク
を低減
□ 面間・ボディ寸法、配線取り合いは他社置き換えに対応し
た構成
■ 寸法図
■ 標準仕様
126
130.5
流量レンジ
（N2 換算　20℃/1ATM）
センサー方式
バルブ方式
制 御 範 囲
応
答
性
精
度
再
現
性
5100
13
MASS　FLOW　CONTROLLER
FLOW
76
動作可能圧力
耐
圧
リークレート
許容周囲温度
許容周囲湿度
16
124
38
■ 注文方法
オプション 省略：オプションなし
オプション名：KP ̶ 内面研摩
（Ra≦0.1）
SU ̶ SUSシール
（COガス対応）
SR ̶ 1SCCM, 5SCCM
LP ̶ 低差圧仕様
継手 1/4VCR相当
MP ̶ 294kPa～784kPa
その他：オプション対応
オプション
量
校正温度
流
1/4VCR
その他
体
5100
流
MODEL
記入例
MODEL
5100
1/4VCR
N２
100SCCM
20℃
動作差圧範囲
KP
※注文・見積り依頼は、
注文方法、記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」
にご記入の上、
ファックスで発注してください。
※弊社標準以外の継手についても対応致します。
（オプション）
接ガス部材質
電 気 接 続
流量設定入力信号
流量出力信号
所 要 電 源
継手（本体口径）
重
量
1SCCM～20SLM
（任意に条件選択）
熱式巻線センサー
比例ソレノイドバルブ
（非通電時　閉）
2～100％
（F.S.）
1sec以内
（within±2%F.S.）
±1%F.S.
（精度保証温度15～35℃）
±0.2%F.S.
F.S.≦5SLM　50～300kPa
F.S.＞5SLM　100～300kPa
オプション：低差圧仕様（LP）を条件に応じて製作可能
300kPa
（G）
以下
980kPa
（G）
1×10−11Pa・㎥/s以下
0～50℃
10～90%RH
（結露なきこと）
ボディSUS316L
ダイヤフラム　SUS316L
バルブシート　PTFE
シール材　SUS316L、
Ni、
Au
オプション：SUSシール（SU）、内面研磨仕様（KP）
Dsub9ピンKFC　Standard　（SEMI　Standard準拠）
0～5VDC（入力インピーダンス1MΩ以上）
0～5VDC
（外部負荷抵抗250kΩ以上）
＋15VDC（±5%）100mA、　−15VDC（±5%）200mA
標準　1/4VCR相当　オプション　1/4SWL
約1000g
注意　流量レンジに伴う仕様（流量範囲・精度・応答性等）は、N2 または Air
換算での仕様となります。また、製作仕様条件は 1 次側 300kPa 以下、
2 次側大気解放で製作しております。なお圧力条件に関しては別途問い
合わせください。
■ 配線取合
Dsub9ピン　KFCstandardピン配列
（P12 図6参照）
031
MODEL5100SERIES
□ ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリューム