推奨機種（ガス供給システム、ガス分配ボックス）

減圧弁・バルブ選定ガイド
推奨機種（ガス供給システム、ガス分配ボックス）
本ガイドは、プロセスガスシステムにおいて、バルブおよび減圧弁を使用するに際して、その選定の目安となります。
選定の前に下記を必ずお読みください。特定機種に関する詳細な情報および仕様に関しましては、カタログのデー
タシートをご参照ください。
選定のご注意
本ガイドに記載の推奨機種全般は、一般的な用途および条件に基づくものです。適切なバルブおよび減圧弁の選定は、シス
テムデザイン、流量持続時間、使用頻度、周囲状況、出口側圧力などのパラメータに大きく影響を受けます。ここに記載す
るもの以外の機種が必要な場合やご不明な点がある場合には、当社にご相談ください。本ガイドに記載する推奨機種に従っ
たとしても、特定用途での特定のパラメータの下では、機器の故障などが起きる場合があるという事をご了承願います。また、
特定用途や、システムデザインのパラメータや条件によっては、流量特性が本ガイドに記載する値よりも高くなったり、低
くなったりする事があります。
■一次側高圧用バルブは、シリンダキャビネットまたは大流
量供給システムにある減圧弁の上流側に取付けられる機器
です。
■ライン用バルブは、シリンダキャビネットまたは大流量供
給システムにある減圧弁の下流側に取付けられる機器です。
また、バルブマニホールドボックス
（VMB）
や装置内部のユ
ースポイント
（POU）
で、一次側高圧用減圧弁の下流側に使
用されます。
■一次側高圧用減圧弁は、シリンダキャビネットまたは大流
量供給システムに使用する機器です。
■ライン用減圧弁は、バルブマニホールドボックス（VMB）や
装置内部のユースポイント（POU）に使用する機器です。推
奨機種は、半導体工場での一般的な使用状況に基づくもの
です。特定箇所での使用状況によっては、異なる機種の選
定が必要なこともあります。
■非液化不活性ガスボンベは、その圧力が1.7MPaに降下し
た時に、新しいボンベに切り替わる事を想定しています。
それゆえ、一次側高圧用減圧弁と一次側高圧用バルブの最
大推奨流量は、これらのガスの入口側圧力が1.7MPaであ
る時の流量を想定しています。
■非液化毒性ガスボンベは、その圧力が1.0MPaに到達した時
に、新しいボンベに切り替わる事を想定しています。それゆ
え、一次側高圧用減圧弁の最大推奨流量は、これらのガス
の入口側圧力が1.0MPaである時の流量を想定しています。
■液化ガスシステムのボンベ圧は、16℃の雰囲気で、蒸気圧
以上に維持されている事を想定しています。また、液体が
完全に気化する前に、ボンベが切り替わる事を想定してい
ます。それゆえ、一次側高圧用減圧弁の最大推奨流量は、
これらのガスに使用する減圧弁の入口側が16℃の蒸気圧に
なっている時の流量を想定しています。
■負圧または非常に低い正圧の圧力調整には、精密な調査が
必要になります。AP1402TAは、負圧から正圧（0.2MPa）
まで調整することが可能です。一方AP1101は、調整圧力
範囲がほぼ大気圧以下（0.07MPa以下）となります。非常
に低い正圧のガスの圧力調整には、AP1101ではなく、
AP1001を選定してください。他の代替機種としては、よ
り高い流量特性を持つAP1402TAを選定する事で、負圧か
ら正圧までの圧力調整が可能です。
■SHPオプションは、SHオプションの代替として、特定の
ユースポイント向けのものです。SHPでは、ポペットとダ
イヤフラムがNi-Cr-Mo合金になっています。一方、SHオ
プションでは、ノズルもNi-Cr-Mo合金になっています。
■供給側減圧弁がqとwの2台推奨している場合は、二段階
減圧が必要であることを意味しています。つまり、qの機
種は一段目の減圧弁、wの機種は二段目の減圧弁として、
2台を直列に接続して使用することを推奨しています。
■バルブの推奨機種は、一般的なボンベ圧と供給ライン圧に
基づくものです。低圧時のバルブの圧力降下が大きくなる
場合には、別のバルブを選定する事が必要になる場合もあ
ります。
■バルブの推奨機種は、プロセスライン遮断用のものです。
パージバルブやベントバルブは、ここでは扱っていません
が、一 般 的 に、AP3000, AP3650, AP3540バ ル ブ が 十
分な流量特性を有しています。なお、この選定ガイドに掲
載する機種は、簡略にするため代表的な型式を表示してい
ます。型式はサイズと定格圧力を特定しています。例えば、
マニュアルバルブでAP3650を表示している場合、同等の
仕様であるAP3600やAP3625も推奨機種となります。
■亜酸化窒素（N2O）を使用する減圧弁や、二酸化炭素（CO2）
を使用する一次側高圧用減圧弁において、ガスを連続的に
流したり、流量が100L /min
（nor）
を超えるような用途には、
ポリイミドシートが推奨されます。
■ガス種によっては、周囲環境の影響や、連続的にガスを流
す用途において、凍結や再液化の可能性があるため、供給
側の加熱が必要となる場合があります。加熱が推奨される
場合は、ガスの性質をご理解の上、適切な加熱手段で使用
してください。通常、ガスは減圧弁の上流側で加熱されま
す。
■ライン圧は、最低0.4MPaか、または一般的なボンベ圧の
いずれか小さい圧力を想定しています。実際のライン圧が
これより高い場合には、このガイドに記載する流量よりも
大きい流量となります。
注意
ここに掲載されている製品は、使用される条件が多様なため、そのシステムへの適合性の決定は、システムの設計者または仕様を決定
する人が、必要に応じて分析やテストを行ってから決定してください。このシステムの所期の性能、安全性の保証は、システムの適合
性を決定した人の責任となります。安全で問題のない動作を確実にするために、適切な取付け、作動およびメンテナンスの実施をお願
いします。
656
推奨機種選定表
選定の前にP.656を必ずお読みください。
推奨機種に表示する型式の見方
バルブ
減圧弁
AP3650
表示例
AP/AZ /AK1200 S VS HF
q
q
AP/AZ1402T S A
w e r
q
wt
q シリーズ
AP/AZ/AK1200の表示は、AP1200, AZ1200, AK1200の3シリーズが推奨機種となります。
バルブは代表的な型式を表示していますが、同じ仕様（使用圧力、Cv値）の型式も推奨されます。
例えばAP3650は、AP3600/3625/3657も推奨機種となります。
w 材質
Sは、ステンレスボディの標準仕様です。
SHは、ステンレスボディで内部部品をNi-Cr-Mo合金仕様にしたもので、S（標準仕様）よりも耐食性が向上します。
減圧弁APシリーズはSHまたはSHP, AZシリーズはSHPが適用されます。
（SHは、ポペットとダイヤフラムとノズルがNi-Cr-Mo合金仕様。SHPは、ポペットとダイヤフラムがNi-Cr-Mo合金仕様）
なお、ステンレスボディの材質はシリーズによって異なります。
¡APシリーズ（AP9000/9100を除く）……SUS316Lダブルメルト
¡AZシリーズとAP9000/91000 ……SUS316L
¡AKシリーズ……SUS316
AP
SL
（対応するシリーズのみ）
e VSは弁シート材質がポリイミドを示します。
AZ
無記号の場合は、標準（PCTFE）となります。
（対応するシリーズのみ）
r オプション仕様を示します。
AK
¡HF ……ハイフロー仕様
¡FC ……流量特性補正仕様
¡HR……入口側高圧対応
BP
（対応するシリーズのみ）
t Aは負圧調整仕様を示します。
用途
プロセスガス
アセチレン注）
（C2H2）
バルブ
減圧弁
ガス供給システム
ガス分配ボックス
ガス供給システム
ガス分配ボックス
（一次側高圧用）
（ライン用）
（一次側高圧用）
（ライン用）
最大流量
最大流量
最大流量
最大流量
推奨機種
推奨機種
推奨機種
推奨機種
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
3
3
AP3000
AP3540
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1000S
230
25
50
6
AP3650
AP3650
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1000S HF
75
50
AP3002
AP4540
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1400TS
280
45
75
AP3650
AP4650
AP/AZ/AK1200S
400
185
空気
225
550
475
250
アンモニア
（NH3）
450
1000
200
アルゴン
（Ar）
詳しい仕様は、カタログの製品仕様をご確認ください。
350
1000
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3100
AP3130
AP3125
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3113
AP3125
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
90
160
890
100
225
1000
80
150
800
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3800
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
95
30
100
200
800
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S HR
30
50
150
400
600
5
50
75
400
600
1100
10
100
300
1500
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
AP/AZ1200S
AP/AZ1200S HF
AP9100S
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP1900S HF
AP/AZ/AK1200S HR
5
30
60
125
250
500
1000
10
25
50
100
200
400
1000
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
AP/AZ1200S HF
AZ1300S
AP/AZ1200S FC
AP9100S
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
注）一次側高圧用減圧弁の出口側圧力は最大0.1MPa
※ の機種は、所定流量を達成するためには、加熱が必要になります。
657
推奨機種選定表
選定の前にP.656を必ずお読みください。
用途
プロセスガス
アルシン
（AsH3）
アルシン混合ガス
（窒素バランス）
三塩化ホウ素
（BCl3）
三塩化ホウ素混合ガス
（窒素バランス）
三フッ化ホウ素
（BF3）
バルブ
ガス供給システム
ガス分配ボックス
（一次側高圧用）
（ライン用）
最大流量
最大流量
推奨機種
推奨機種
（L/min（nor））
（L/min（nor））
140
240
185
225
20
185
225
115
145
115
エンリッチボロン
（別名：三フッ化ホウ素（11））
（11BF3）
145
ブタジエン
（C4H6）
n-ブタン
（C4H10）
1-ブテン
（C4H8）
60
60
35
65
500
二酸化炭素
（CO2）
一酸化炭素
（CO）
フッ化カルボニル
（COF2）
700
2500
185
225
115
200
75
塩素
（Cl2）
150
300
三フッ化塩素
（ClF3）
ジボラン混合ガス
（窒素バランス）
ジクロロシラン
（SiH2Cl2）
20
185
225
20
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP4540
AP4625
AP4540
AP4625
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3113
AP3125
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3625
AP3625
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3113
AP3125
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP4540
AP4650
55
95
90
160
15
90
160
60
100
60
100
60
60
30
60
75
140
750
90
160
60
100
50
100
400
15
90
160
20
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4625
AP4540
AP4625
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3625
AP4540
AP4625
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
※　の機種は、所定流量を達成するためには、加熱が必要になります。
※推奨機種に示す型式の見方につきましては、P.657をご参照ください。
658
減圧弁
ガス供給システム
（一次側高圧用）
ガス分配ボックス
（ライン用）
最大流量
（L/min（nor））
5
40
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
最大流量
（L/min（nor））
5
20
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
15
50
150
AP/AZ1500S
AP1900S
AP/AZ1400TS
15
50
150
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
6
AP/AZ1402TSA
15
60
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
0.4
6
15
30
60
AP/AZ1101SH
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
5
25
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
5
10
25
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
5
25
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
5
10
25
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
3
40
3
40
3
50
AP/AZ1500S
AP/AZ1400T
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400T
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
3
5
3
5
3
5
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
8
20
40
100
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
推奨機種
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S VS
q AP/AZ/AK1225S VS
500
w AP/AZ/AK1200S VS HF
q AP9030S VS
1000
w AP9100S VS
3
75
150
160
推奨機種
5
15
50
AP/AZ1500S
AP1900S
AP/AZ1400TS
325
800
5
15
50
5
25
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
3
10
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
3
50
75
200
AP/AZ1500SH
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200SH
AP/AZ1200SH HF
5
15
30
75
250
0.5
6
10
20
AP/AZ1000SH
AP/AZ1000SH HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200SH
AP/AZ1200SH HF
AZ1300S
AP/AZ1200SH FC
AP/AZ1101S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
1
7
AP1001S
AP/AZ1402TSA
125
6
AP/AZ1402TSA
5
225
AP1700S
AP2700S
7
AP/AZ1402TSA
型式の前にq、
wを表示しているものは、
二段階減圧が必要であることを意味します。
qは一段目の減圧弁、wは二段目の減圧弁として2台直列に接続して使用することを
推奨します。
推奨機種選定表
選定の前にP.656を必ずお読みください。
バルブ
用途
プロセスガス
ジエチルテルル
2）
（Te（C2H5）
フッ化ビニリデン
（C2H2F2）
ジメチルシラン
（C2SiH8）
ジシラン
（Si2H6）
エチレン
（C2H4）
140
200
14
150
14
380
485
フッ素（F2）
10
フッ素混合ガス
（10％, 3.4MPa）
（窒素バランス）
185
ゲルマン
（GeH4）
ゲルマン混合ガス
（窒素バランス）
ハロカーボン12
（CCl2F2）
ハロカーボン12B2
（CBr2F2）
三フッ化塩化メタン
（CClF3）
三フッ化臭化メタン
（CBrF3）
225
10
18
185
225
55
15
140
170
110
190
10
四フッ化メタン
（CF4）
減圧弁
ガス供給システム
ガス分配ボックス
ガス供給システム
（一次側高圧用）
（ライン用）
（一次側高圧用）
最大流量
最大流量
最大流量
推奨機種
推奨機種
推奨機種
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
3
AP3000
AP3540
AP/AZ1500S
35
70
5
AP3650
AP3650
AP1900S
25
AP3002
AP4540
AP/AZ1400TS
85
60
200
600
AP3650
AP3000
AP3625
AP3625
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3200
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
55
100
7
75
7
90
160
10
90
160
4
7
90
160
40
15
40
70
35
65
50
100
500
AP4650
AP3540
AP3625
AP4540
AP4625
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3200
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
3
50
75
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
3
50
75
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
1
7
3
50
75
AP/AZ1000S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
ガス分配ボックス
（ライン用）
最大流量
（L/min（nor））
3
5
25
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
3
6
50
75
3
50
75
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ1000S
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
1
7
3
5
50
75
AP/AZ1000S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
該当機種はありません。
該当機種はありません。
トリフルオロメタン
（CHF3）
ジフルオロメタン
（CH2F2）
25
115
140
140
175
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
15
145
250
55
AP/AZ1500SH
AP/AZ1400TS
5
10
25
AP/AZ1000SH
AP/AZ1000SH HF
AP/AZ1400TS
SL
1
7
AP/AZ1000S
AP/AZ1402TSA
1
7
AP/AZ1000S
AP/AZ1402TSA
AK
10
20
50
AP/AZ1500S
AP1900S
AP/AZ1400TS
10
20
50
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
3
50
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
3
5
50
0.5
5
3
5
50
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ1101S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
100
AZ
BP
5
AP/AZ1400TSA
3
50
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
3
50
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
3
5
50
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
10
40
80
500
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP1900S HF
AP/AZ/AK1200S HR
5
15
30
60
5
10
20
50
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ1101S
AP1001S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
3
6
50
75
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
100
AP4540
AP4650
5
AP/AZ1402TSA
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
10
50
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
3
50
75
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
※　の機種は、所定流量を達成するためには、加熱が必要になります。
※推奨機種に示す型式の見方につきましては、P.657をご参照ください。
AP
5
25
250
500
ハロカーボン21
（CHCl2F）
推奨機種
0.5
型式の前にq、
wを表示しているものは、
二段階減圧が必要であることを意味します。
qは一段目の減圧弁、wは二段目の減圧弁として2台直列に接続して使用することを
推奨します。
659
推奨機種選定表
選定の前にP.656を必ずお読みください。
用途
プロセスガス
ハロカーボン114
（C2Cl2F4）
ハロカーボン115
（C2ClF5）
ハロカーボン116
（C2F6）
ペンタフルオロエタン
（C2HF5）
ハロカーボン134A
（C2H2F4）
バルブ
減圧弁
ガス供給システム
ガス分配ボックス
ガス供給システム
ガス分配ボックス
（一次側高圧用）
（ライン用）
（一次側高圧用）
（ライン用）
最大流量
最大流量
最大流量
最大流量
推奨機種
推奨機種
推奨機種
推奨機種
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
7
0.5
AP4540
AP4540
AP/AZ/AK1402TSA
AP/AZ/AK1101S
30
25
1
AP4650
AP4650
AP/AZ/AK1000S
7
AP/AZ/AK1402TSA
3
3
AP4540
AP4540
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1000S
40
60
50
5
AP4650
AP4650
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1000S HF
75
50
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1400TS
75
AP/AZ/AK1200S
3
3
AP3000
AP3540
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1000S
60
40
50
10
AP3650
AP3650
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1000S HF
75
25
AP3002
AP4540
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1400TS
100
80
125
50
AP3650
AP4650
AP/AZ/AK1200S HF
AP/AZ/AK1200S
275
AP3113
AP3125
180
AP4540
AP4650
55
350
ハロカーボンR218
（C3F8）
パーフルオロシクロブタン
（C4F8）
35
60
25
750
ヘリウム
（He）
ヘキサフルオロプロパン
（C3H2F6）
ヘキサフルオロプロピレン
（C3F6）
1000
2500
20
60
800
水素
（H2）
臭化水素
（HBr）
1600
3000
155
190
350
塩化水素
（HCl）
500
2000
AP4540
AP4650
AP3100
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
AP4540
AP4625
AP4540
AP4625
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3113
AP3125
400
AP3700
AP3800
70
AP4540
AP4650
3
25
75
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP4540
AP4650
AP3800
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
3
50
75
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
3
50
75
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
6
AP/AZ/AK1402TSA
125
500
625
2000
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP1900S HF
AP/AZ/AK1200S HR
3
5
50
75
1
6
65
125
275
625
6
AP/AZ/AK1402TSA
1200
2500
6
3
50
75
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
125
500
625
900
1200
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP1900S HF
AP2700S
AP/AZ/AK1200S HR
40
230
20
40
20
250
450
2500
15
40
300
600
3000
55
95
75
150
850
AP4540
AP4625
AP4540
AP4625
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
※　の機種は、所定流量を達成するためには、加熱が必要になります。
※推奨機種に示す型式の見方につきましては、P.657をご参照ください。
660
90
175
450
3
5
25
75
3
5
50
75
900
1
30
50
AP/AZ1500SH
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200SH
2
90
150
AP/AZ1500SH
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200SH
q AP1225SH
w AP1210SH HF
q AP9030S
w AP9110S
600
2000
3
5
50
75
65
125
275
625
900
1200
3000
1
2
30
50
8
20
40
85
160
300
800
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1101S
AP/AZ/AK1402TSA
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ/AK1402TSA
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ1000SH
AP/AZ1000SH HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200SH
AP/AZ1000SH
AP/AZ1000SH HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200SH
AP/AZ1200SH HF
AZ1300S
AP/AZ1200SH FC
AP9100S
型式の前にq、
wを表示しているものは、
二段階減圧が必要であることを意味します。
qは一段目の減圧弁、wは二段目の減圧弁として2台直列に接続して使用することを
推奨します。
推奨機種選定表
選定の前にP.656を必ずお読みください。
用途
プロセスガス
塩化水素混合ガス
（窒素バランス）
フッ化水素
（HF）
セレン化水素
（H2Se）
セレン化水素混合ガス
（窒素バランス）
硫化水素
（H2S）
クリプトン
（Kr）
メタン
（CH4）
メタノール
（CH3OH）
臭化メチル
（CH3Br）
塩化メチル
（CH3Cl）
メチルシラン
（CH3SiH3）
フルオロメタン
（CH3F）
ネオン
（Ne）
バルブ
ガス供給システム
ガス分配ボックス
ガス供給システム
（一次側高圧用）
（ライン用）
（一次側高圧用）
最大流量
最大流量
最大流量
推奨機種
推奨機種
推奨機種
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
10
AP3000
AP3540
AP/AZ1500SH
105
210
20
AP3650
AP3650
AP1900SH
40
AP3002
AP4540
AP/AZ1400TS
265
190
20
125
215
185
225
210
260
105
130
245
295
40
70
25
60
200
350
400
490
215
260
250
窒素
（N2）
400
1000
75
三フッ化窒素
（NF3）
100
350
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4625
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
20
55
95
90
160
80
140
50
90
120
210
25
40
15
45
70
120
120
200
110
190
100
200
1000
60
110
500
AP4650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4625
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
※　の機種は、所定流量を達成するためには、加熱が必要になります。
※推奨機種に示す型式の見方につきましては、P.657をご参照ください。
減圧弁
ガス分配ボックス
（ライン用）
最大流量
（L/min（nor））
10
20
40
AP/AZ1000SH
AP/AZ1000SH HF
AP/AZ1400TS
推奨機種
5
AP/AZ1402TSA
5
AP/AZ1402TSA
5
40
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
5
20
40
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
10
20
50
AP/AZ1500S
AP1900S
AP/AZ1400TS
10
20
50
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
5
40
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
5
10
40
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
20
60
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
20
30
60
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
SL
10
20
40
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP/AZ/AK1400TS
10
20
40
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AK
3
50
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
3
5
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
5
AP/AZ1402TSA
5
AP/AZ1402TSA
1
10
3
50
75
AP/AZ1000S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
10
AP/AZ1402TSA
5
50
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
3
5
50
75
5
10
50
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
20
40
300
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP/AZ/AK1200S HF
20
40
100
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
50
200
250
350
1000
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP1900S HF
AP2700
AP/AZ/AK1200S HR
25
50
150
250
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
AP/AZ1200 S HF
AZ1300S
AP/AZ1200S FC
AP9100S
5
60
150
400
1000
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
AP/AZ1400TS
AP2700S
AP/AZ1200S HR
q AP9030
w AP9110
300
400
1000
6
15
30
75
125
250
600
型式の前にq、
wを表示しているものは、
二段階減圧が必要であることを意味します。
qは一段目の減圧弁、wは二段目の減圧弁として2台直列に接続して使用することを
推奨します。
661
AP
AZ
BP
推奨機種選定表
選定の前にP.656を必ずお読みください。
用途
プロセスガス
一酸化窒素
（NO）
バルブ
ガス供給システム
ガス分配ボックス
ガス供給システム
（一次側高圧用）
（ライン用）
（一次側高圧用）
最大流量
最大流量
最大流量
推奨機種
推奨機種
推奨機種
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
3
AP3000
AP3540
AP/AZ1500S
310
75
50
AP3650
AP3650
AP/AZ1400TS
75
AP3002
AP4540
AP/AZ1200S
380
125
300
亜酸化窒素
（N2O）
500
1500
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3113
AP3125
70
140
750
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
5
AP/AZ1500S VS
AP/AZ1400TS VS
AP/AZ1200S VS
AP/AZ1200S VS HF
q AP/AZ1225S VS
w AP/AZ1200S VS HF
q AP9030S VS
w AP9100S VS
AP/AZ1402TSA
10
80
150
1000
AP/AZ/AK1500S
AP1900S
AP1900S HF
AP/AZ/AK1200S HR
3
60
100
150
500
1000
オクタフルオロシクロペンテン
（C5F8）
15
250
酸素
（O2）
ヘキサフルオロ1, 3ブタジエン
（C4F6）
ホスフィン
（PH3）
ホスフィン混合ガス
（窒素バランス）
400
25
320
390
185
225
19
41
プロパン
（C3H8）
プロピレン
（C3H6）
65
115
185
320
150
モノシラン
（SiH4）
シラン混合ガス
（窒素バランス）
四塩化ケイ素
（SiCl4）
四フッ化ケイ素
（SiF4）
15
75
150
1000
15
五フッ化リン
（PF5）
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
250
600
185
225
10
95
115
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
AP3540
AP3650
AP4450
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP3130
AP3125
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
25
80
145
90
160
5
9
52
42
75
75
125
75
150
750
90
160
10
45
80
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
※　の機種は、所定流量を達成するためには、加熱が必要になります。
※推奨機種に示す型式の見方につきましては、P.657をご参照ください。
662
減圧弁
ガス分配ボックス
（ライン用）
最大流量
（L/min（nor））
3
6
50
75
8
20
35
85
160
320
800
0.3
5
10
25
50
120
200
推奨機種
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
AP/AZ1000S VS
AP/AZ1000S VS HF
AP/AZ1400TS VS
AP/AZ1200S VS
AP/AZ1200S VS HF
AZ1300S
AP/AZ1200S VS FC
AP9100S VS
AP/AZ1101S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ1101S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
5
AP/AZ1402TSA
5
40
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
400
1000
0.5
5
5
10
10
20
AP/AZ1500S
AP1900S
10
20
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
10
20
AP/AZ1500S
AP1900S
10
20
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
3
50
75
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
3
5
50
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
3
50
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
3
5
50
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
5
40
50
60
100
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
AP2700S
AP/AZ1200S
AP/AZ1200S HF
q AP/AZ1225S
w AP/AZ1200S HF
10
25
50
120
400
1000
10
20
40
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1200S
AP/AZ1200S HF
AZ1300S
AP/AZ1200S FC
AP9100S
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
0.5
5
10
20
40
AP/AZ1101S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
500
10
20
40
AP/AZ1500S
AP1900S
AP/AZ1400TS
5
AP/AZ1402TSA
10
40
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
200
型式の前にq、
wを表示しているものは、
二段階減圧が必要であることを意味します。
qは一段目の減圧弁、wは二段目の減圧弁として2台直列に接続して使用することを
推奨します。
推奨機種選定表
選定の前にP.656を必ずお読みください。
バルブ
ガス供給システム
ガス分配ボックス
ガス供給システム
（一次側高圧用）
（ライン用）
（一次側高圧用）
最大流量
最大流量
最大流量
推奨機種
推奨機種
推奨機種
プロセスガス
（L/min（nor））
（L/min（nor））
（L/min（nor））
1
AP4540
AP4540
AP/AZ1000S
二酸化硫黄
30
80
（亜硫酸ガス）
（SO2）
6
AP4650
AP4650
AP/AZ1402TSA
用途
125
六フッ化硫黄
（SF6）
200
500
四フッ化硫黄
（SF4）
トリクロロシラン
（SiHCl3）
トリメチルシラン
3SiH）
（（CH3）
六フッ化タングステン
（WF6）
キセノン
（Xe）
200
35
30
10
85
100
AP3000
AP3650
AP3000
AP3650
AP3113
AP3125
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3000
AP3650
AP3002
AP3650
35
75
400
80
30
25
10
40
70
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
AP3700
AP3800
3
40
60
150
500
AP4540
AP4650
3
15
AP/AZ1500S
AP/AZ1400TS
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP4540
AP4650
AP3540
AP3650
AP4540
AP4650
10
AP/AZ1402TSA
7
AP/AZ1402TSA
5
AP/AZ1402TSA
5
25
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
※　の機種は、所定流量を達成するためには、加熱が必要になります。
※推奨機種に示す型式の見方につきましては、P.657をご参照ください。
減圧弁
AP/AZ/AK1500S
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AP9100S
ガス分配ボックス
（ライン用）
最大流量
（L/min（nor））
6
5
12
25
60
90
180
400
3
5
15
0.5
10
0.5
7
0.3
5
5
10
25
推奨機種
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
AP/AZ/AK1200S
AP/AZ/AK1200S HF
AZ/AK1300S
AP/AZ/AK1200S FC
AP9100S
AP/AZ1000S
AP/AZ1000S HF
AP/AZ1400TS
AP/AZ1101S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1101S
AP/AZ1402TSA
AP/AZ1101SH
AP/AZ1402TSA
AP/AZ/AK1000S
AP/AZ/AK1000S HF
AP/AZ/AK1400TS
型式の前にq、
wを表示しているものは、
二段階減圧が必要であることを意味します。
qは一段目の減圧弁、wは二段目の減圧弁として2台直列に接続して使用することを
推奨します。
663
AP
SL
AZ
AK
BP