CP-SS-1797

No. CP-SS-1797
気体用マスフローメータ
CMSシリーズ
水素・ヘリウムガス対応モデル
2
28
気体用マスフローメータCMSは，検出部に弊社独自開発の超微
小熱式流速センサである「μF（マイクロフロー）センサ」を
使用した，質量流量センサです。
マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速セ
ンサと高度な流路設計技術の融合により，従来にない高精度，
広い計測範囲を低価格で実現しました。
また，使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量セ
ンサです。
特 長
アナログ出力は0∼5V／1∼5V／4∼20mAいずれかを本体
キー操作で切り替えできます。
○ 瞬時流量表示，積算・逆積算表示機能，イベント出力機能，
積算パルス出力，積算リセット入力機能，出力スケーリング
機能，ガス種類切替機能，ガス種類設定機能などを標準装
備。幅広いアプリケーションに対応します。
シリコンマイクロマシニング技術，薄膜成形技術を駆使した
「μF（マイクロフロー）センサ」を使用。
1辺わずか1.7mm，厚み0.5mmの高感度・高速応答の熱式流
速センサです。
○ 質量流量計なので，温度・圧力の影響を受けません。
○ ±5％RDの高精度，高分解能を実現しました。
○
○
仕 様
項
対
流
応
ガ
量
目
ス
レ
種
ン
内 容
CMS0010
CMS0050
CMS0200
CMS0500
CMS1000
CMS2000
類 水素，ヘリウム ただし、腐食成分（塩素，硫黄，酸など）を含まない乾燥気体であること。
また，ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること
ジ
注 1)
0 ∼ 10L/min
(standard)
0 ∼ 50
L/min(standard)
0 ∼ 200
L/min(standard)
0 ∼ 500
L/min(standard)
0 ∼ 1000
L/min(standard)
0 ∼ 2000
L/min(standard)
standard とは，20℃・101.325kPa（1 気圧）の体積流量に換算した値です。
各ガス種毎の
水 素
最大計測流量
2 0 ℃ , 101.325kPa
換 算 注 2 ） ヘ リ ウ ム
10 L/min
50 L/min
200 L/min
500 L/min
1000 L/min
2000 L/min
10 L/min
50 L/min
200 L/min
500 L/min
1000 L/min
2000 L/min
5 ≦ x ＜ 100L/min
± 1%FS ± 1digit
100 ≦ x ≦ 500L/min
± 5%RD ± 1digit
10 ≦ x ＜ 200L/min
± 1%FS ± 1digit
200 ≦ x ≦ 1000L/min
± 5%RD ± 1digit
20 ≦ x ＜ 400L/min
± 1%FS ± 1digit
400 ≦ x ≦ 2000L/min
± 5%RD ± 1digit
計
測
精
度 0.1 ≦ x ＜ 2L/min
± 1%FS ± 1digit
23℃、101.325kPa にて
2 ≦ x ≦ 10L/min
（x は計測流量） ± 5%RD ± 1digit
再
現
温
圧力
特性
0.5 ≦ x ＜ 10L/min
± 1%FS ± 1digit
10 ≦ x ≦ 50L/min
± 5%RD ± 1digit
2 ≦ x ＜ 40L/min
± 1%FS ± 1digit
40 ≦ x ≦ 200L/min
± 5%RD ± 1digit
性 ± 0.5％FS 以内
度
特
使用圧力
0 ∼ 1.0
MPa
使用圧力
(負圧)
− 0.07 ∼ 0
MPa
性 流量レンジの 0 ∼ 75% ± 0.10%FS/℃ ± 1digit 以下
流量レンジの 75 ∼ 100% ± 0.15%FS/℃ ± 1digit 以下
流量レンジ
0 ∼ 50%
± 0.3%FS/0.1MPa
± 1digit 以下
± 0.1%FS / 0.1MPa
± 1digit 以下
流量レンジ
50 ∼ 100％
± 3%RD ± 1digit 以下 ± 0.1%RD/0.1MPa
± 1digit 以下
± 0.5%RD/0.1MPa
± 1digit 以下
± 0.3%RD/0.1MPa
± 1digit 以下
± 0.5%RD/0.1MPa
± 1digit 以下
流量レンジ
0 ∼ 50%
± 0.5%FS/0.01MPa
± 1digit 以下
± 0.2%FS/0.01MPa
± 1digit 以下
± 0.5%FS/0.01MPa
± 1digit 以下
± 0.2%FS/0.01MPa
± 1digit 以下
± 0.5%FS/0.01MPa
± 1digit 以下
流量レンジ
50 ∼ 100％
± 1%RD/0.01MPa
± 1digit 以下
± 0.5%RD/0.01MPa ± 1%RD/0.01MPa
± 1digit 以下
± 1digit 以下
± 0.5%RD/0.01MPa
± 1digit 以下
± 1%RD/0.01MPa
± 1digit 以下
使
用
温
度
範
囲 − 10 ∼＋ 60℃
保
存
温
度
範
囲 − 20 ∼＋ 70℃
使
用
湿
度
範
囲 10 ∼ 90％RH（ただし，結露なきこと）
使
用
圧
力
範
囲 − 0.07 ∼ 1.0MPa 未満
耐
圧 1.5MPa
接 続 口 径 ， 接 続 規 格 9/16-18 UNF，Rc 1/4、 1/4 Swagelok、1/4VCR
形番により選択可能
接
ケ
取
ガ
ス
ー
り
部
ス
付
材
材
け
姿
3/4-16 UNF ，Rc 1/2，1/2 Swagelok， 3/8VCR 相当品
形番により選択可能
質 SUS316，フッ素ゴム（バイトン O リング）
質 ポリカーボネイト
勢 水平取り付け（ただし本体上面が下向きにならないこと），流れ方向 左→右，垂直配管の場合、流量ゼロ時にドリフトする
場合があります。詳しくは当社までお問い合わせください。
1
項
外
部
定
電
リ
消
電
電
圧
費
CMS0010
CMS0050
CMS0200
CMS0500
CMS1000
CMS2000
ク ヘリウムリークレート 1 × 10 − 6 Pa・m3/s 以下
ー
格
源
内 容
目
圧 DC 12 ∼ 24V
範
電
囲 DC 11.4 ∼ 25.2V
流 100mA 以下
サ ン プ リ ン グ 周 期 100ms ± 10ms
表示部
流
量
表
示 7 セグメント LED4 桁 / 瞬時流量・積算流量の切り替え表示
瞬時
最小表示値
0.01L/min
0.1L/min
1L/min
1L/min
1L/min
5L/min
流量
表示分解能
0.01L/min
0.1L/min
1L/min
1L/min
1L/min
5L/min
積算
表 示 単 位
流量
表 示 範 囲 0 ∼ 99999999
データ記憶
1L
10L
10 分毎にメモリに書き込み（積算値は本体キー、または外部接点入力によりリセット可能）
状 態 表 示 瞬時流量表示 LED/ 積算流量表示 LED/ イベント表示 LED
出力信号 （瞬時流量 出力） DC 0 ∼ 5V ／ 1 ∼ 5V ／ 4 ∼ 20mA 出力 本体キー操作にて変更可能
許容負荷抵抗 電圧出力：250k Ω以上 電流出力：300 Ω以下
0 ∼ 20, 0 ∼ 50, 0 ∼
出 力 ス ケ ー リ ン グ 機 能 0 ∼ 1, 0 ∼ 2.5, 0 ∼ 5, 0 ∼ 10, 0 ∼ 20, 0 ∼
0 ∼ 10L/min から
30, 0 ∼ 50L/min から 100, 0 ∼ 200L/min
選択もしくは
選択もしくは
から選択もしくは
（10 ∼ 250％FS, 1％ （10 ∼ 250％FS, 1％ （10 ∼ 250％FS, 1％
単位）変更可能
単位）変更可能
単位）変更可能
出荷時設定：
出荷時設定：
出荷時設定：
0 ∼ 10L/min
0 ∼ 50L/min
0 ∼ 200L/min
イ ベ ン ト
点 数 2点
出 力
出 力 定 格 オープンコレクタ（最大定格 DC30V，50mA）
イ ベ ン ト
イベント番号
機 能 内 容 EV1 (イベント1)
機 能
設定範囲
瞬時流量上限
最大流量レンジ
瞬時流量下限
に対応
瞬時流量カウントアップ
逆積算流量カウントダウン
0 ∼ 100, 0 ∼ 200, 0 ∼
300, 0 ∼ 500L/min
から選択もしくは
（10 ∼ 250％FS, 1％
単位）変更可能
出荷時設定：
0 ∼ 500L/min
0 ∼ 100, 0 ∼ 250, 0 ∼
500, 0 ∼ 1000L/min
から選択もしくは
（10 ∼ 250％FS, 1％
単位）変更可能
出荷時設定：
0 ∼ 1000L/min
オンディレイ
0∼60s可変
0 ∼ 200, 0 ∼ 500,
0 ∼ 1000, 0 ∼ 2000
L/min から選択もしくは
（10 ∼ 250％FS, 1％
単位）変更可能
出荷時設定：
0 ∼ 2000L/min
イベント待機
−
起動時に流量が下限値を上回るまでイベント動作を
○
停止する機能
0∼99999999
流量データシリアル出力
−
−
−
エラー出力
EV2 (イベント2)
瞬時流量上限
最大流量レンジ
瞬時流量下限
に対応
瞬時流量カウントアップ
逆積算流量カウントダウン
0∼60s可変
0∼99999999
−
○
−
−
積算パルス出力：
パルス幅 100ms±10％
パルスウエイト CMS0010/0050：1，10，100L/パルス (キー操作で変更可能)
CMS0200/0500/1000/2000：10, 100, 1000L/パルス (キー操作にて変更可能)
瞬時流量上限 / 下限，積算カウントアップ，逆積算カウントダウン，積算パルス出力（イベント 2 のみ），流量データシリアル
出力（イベント 1 のみ），エラー出力（イベント 1 のみ）より選択可能
外部接点入力
点 数 1 点（積算カウントリセット専用入力）
入 力 仕 様 相手側回路形式：無電圧接点、またはオープンコレクタ
接点オフ時端子電圧：4.5V ± 1V
接点オン時端子電流：約 0.5mA（接点に流れる電流）
許容オン接点抵抗：250 Ω
許容オフ接点抵抗：100k Ω以上
許容オン残留電圧：0.8V 以下（相手側オープンコレクタ時）
許容オフ漏れ電流：50 μ A 以下（相手側オープンコレクタ時）
シ リ ア ル デ ー タ 出 力 オープンコレクタ（最大定格 DC30V，50mA）
通
（
信
オ
プ
能 RS-485 インタフェース 3 線式
機
シ
ョ
ン
） 最大配線距離 300m，通信速度 9600/4800/2400bps 積算・瞬時流量読み出しや本器の設定が可能
ガ ス 種 切 り 替 え 機 能 水素，ヘリウム 本体キー操作により変更可能
ガ ス 種 類 設 定 機 能 ガス種類補正係数 0.10 ∼ 8.00 の範囲で本体キー操作により設定可能
電
気
接
続 専用コネクタ付きハーネス（別売部品），適合コネクタ：ヒロセ電機（株）製 DF-11-10DS-2C
適
合
規
格 CE マーキング適合製品 EN61326:1997 A1：1998 A2：2001
質
量
約 800g
約 1400g
注 1） 水素、ヘリウムで使用した場合の流量レンジです。
また、スケーリング変更機能を装備していますので、本体キーによりアナログ出力スケーリングの変更も可能です。
注 2） これ以外のガス種についても、ガス種補正係数機能により対応できるものがございます。詳細は当社までお問い合わせください。
2
約 2000g
CMS構造図
直 管 部
異径配管(AとBの口径が異なる)の場合には直管部が必要です。
上流側拡大
絞り
下流側縮小
5D
CMS
A
流体入口
3D
異径ソケットなど
5D
下流側拡大
5D
スペーサ
A
B
上流側縮小
整流用金網
CMS
B
3D
CMS
CMS
B
A
B
異径ソケットなど
3D
CMS
CMS
B
A
A
異径ソケットなど
5D
B
A
Dは接続口径を示します。
CMS0200/0500:12mm
CMS9500/0002/0005/0020/0050:6mm
同一径配管(AとBの口径が同一)の場合には直管部が不要です。
上流側エルボ
下流側エルボ
A
A
CMS
CMS
B
B
上流側ボール弁など
(流れを乱さないバルブ)
CMS
A
B
下流側ボール弁など
(流れを乱さないバルブ)
CMS
B
A
取扱い上の注意
バタフライ弁など流れを乱す構造のバルブの場合，バルブ
とCMSの間に5Dの直管部を設けてください。
3
2
28
3D
CMS
A
「マイクロフローセンサ」
A
B
異径ソケットなど
流体出口
CMS
B
機能設定一覧（MODEキーを押す）
モード
01
02
03
04
05
06
07
08
09
10
機能
キーロック
計測モード
イベント 1
イベント 2
オンディレイ EV1
オンディレイ EV2
イベント待機
ガス種類
MS0010
CMS0050
CMS0200
00: キーロックなし
00: キーロックなし
00: キーロックなし
01: キーロックあり
01: キーロックあり
01: キーロックあり
00: 瞬時流量のみ
00: 瞬時流量のみ
00: 瞬時流量のみ
01: 瞬時流量 / 積算流量
01: 瞬時流量 / 積算流量
01: 瞬時流量 / 積算流量
02: 瞬時流量 / 逆積算流量
02: 瞬時流量 / 逆積算流量
02: 瞬時流量 / 逆積算流量
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
05: 流量データシリアル出力
05: 流量データシリアル出力
05: 流量データシリアル出力
06: エラー出力
06: エラー出力
06: エラー出力
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
05: 積算パルス出力 1L/ パルス
05: 積算パルス出力 1L/ パルス
05: 積算パルス出力 10L/ パルス
06: 積算パルス出力 10L/ パルス
06: 積算パルス出力 10L/ パルス
06: 積算パルス出力 100L/ パルス
07: 積算パルス出力 100L/ パルス
07: 積算パルス出力 100L/ パルス
07: 積算パルス出力 1000L/ パルス
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 使用する
01: 使用する
01: 使用する
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 使用する
01: 使用する
01: 使用する
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 使用する
01: 使用する
01: 使用する
08: ガス種補正係数ユーザ設定
08: ガス種補正係数ユーザ設定
08: ガス種補正係数ユーザ設定
09: 水素
09: 水素
09: 水素
10: ヘリウム
10: ヘリウム
10: ヘリウム
アナログ出力
00: 0 ∼ 10L/min(standard)
00: 0 ∼ 50L/min(standard)
00: 0 ∼ 200L/min(standard)
スケーリング
01: 0 ∼ 50L/min(standard)
01: 0 ∼ 30L/min(standard)
01: 0 ∼ 100L/min(standard)
02: 0 ∼ 2.5L/min(standard)
02: 0 ∼ 20L/min(standard)
02: 0 ∼ 50L/min(standard)
03: 0 ∼ 1L/min(standard)
03: 0 ∼ 10L/min(standard)
03: 0 ∼ 20L/min(standard)
04: 任意スケーリング
04: 任意スケーリング
04: 任意スケーリング
00: 0-5V
00: 0-5V
00: 0-5V
01: 1-5V
01: 1-5V
01: 1-5V
02: 4-20mA
アナログ出力切替
出荷設定
00
01
00
00
00
00
00
09
00
00
02: 4-20mA
02: 4-20mA
11
基準温度
0 ∼ 35℃
0 ∼ 35℃
0 ∼ 35℃
20
12
ローフローカット
00: ローフローカットなし
00: ローフローカットなし
00: ローフローカットなし
01
設定
01: 最小表示未満
01: 最小表示未満
01: 最小表示未満
02: 1％FS
02: 1％FS
02: 1％FS
30
31
32
通信アドレス設定
伝送速度選択
通信条件選択
03: 2.5％FS
03: 2.5％FS
03: 2.5％FS
04: 5％FS
04: 5％FS
04: 5％FS
00:通信機能なし
00:通信機能なし
00:通信機能なし
01 ∼ 99 通信アドレス
01 ∼ 99 通信アドレス
01 ∼ 99 通信アドレス
00: 9600bps
00: 9600bps
00: 9600bps
01: 4800bps
01: 4800bps
01: 4800bps
02: 2400bps
02: 2400bps
02: 2400bps
00: 偶数パリティ
00: 偶数パリティ
00: 偶数パリティ
00: パリティなし
00: パリティなし
00: パリティなし
00
00
00
モード30∼32はRS-485通信機能付きのみ表示されます。本設定は設定内容により設定可能項目や設定範囲が変わることがあります。
詳しくは取扱説明書CP-UM-5207をご覧ください。
4
モード
01
02
03
04
05
06
07
08
09
10
機能
キーロック
計測モード
イベント１
イベント２
オンディレイ EV1
オンディレイ EV2
イベント待機
ガス種類
CMS0500
CMS1000
CMS2000
00: キーロックなし
00: キーロックなし
00: キーロックなし
01: キーロックあり
01: キーロックあり
01: キーロックあり
00: 瞬時流量のみ
00: 瞬時流量のみ
00: 瞬時流量のみ
01: 瞬時流量 / 積算流量
01: 瞬時流量 / 積算流量
01: 瞬時流量 / 積算流量
02: 瞬時流量 / 逆積算流量
02: 瞬時流量 / 逆積算流量
02: 瞬時流量 / 逆積算流量
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
05: 流量データシリアル出力
05: 流量データシリアル出力
05: 流量データシリアル出力
06: エラー出力
06: エラー出力
06: エラー出力
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
01: 瞬時流量上限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
02: 瞬時流量下限
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
03: 積算流量 カウントアップ
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
04: 積算流量 カウントダウン
05: 積算パルス出力 10L/ パルス
05: 積算パルス出力 10L/ パルス
05: 積算パルス出力 10L/ パルス
06: 積算パルス出力 100L/ パルス
06: 積算パルス出力 100L/ パルス
06: 積算パルス出力 100L/ パルス
07: 積算パルス出力 1000L/ パルス
07: 積算パルス出力 1000L/ パルス
07: 積算パルス出力 1000L/ パルス
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 使用する
01: 使用する
01: 使用する
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 使用する
01: 使用する
01: 使用する
00: 使用しない
00: 使用しない
00: 使用しない
01: 使用する
01: 使用する
01: 使用する
08: ガス種補正係数ユーザ設定
08: ガス種補正係数ユーザ設定
08: ガス種補正係数ユーザ設定
09: 水素
09: 水素
09: 水素
10: ヘリウム
10: ヘリウム
10: ヘリウム
アナログ出力
00: 0 ∼ 500L/min(standard)
00: 0 ∼ 1000L/min(standard)
00: 0 ∼ 2000L/min(standard)
スケーリング
01: 0 ∼ 300L/min(standard)
01: 0 ∼ 500L/min(standard)
01: 0 ∼ 1000L/min(standard)
02: 0 ∼ 200L/min(standard)
02: 0 ∼ 250L/min(standard)
02: 0 ∼ 500L/min(standard)
03: 0 ∼ 100L/min(standard)
03: 0 ∼ 100L/min(standard)
03: 0 ∼ 200L/min(standard)
04: 任意スケーリング
04: 任意スケーリング
04: 任意スケーリング
00: 0-5V
00: 0-5V
00: 0-5V
01: 1-5V
01: 1-5V
01: 1-5V
02: 4-20mA
アナログ出力切替
出荷設定
00
01
00
2
28
00
00
00
00
09
00
00
02: 4-20mA
02: 4-20mA
11
基準温度
0 ∼ 35℃
0 ∼ 35℃
0 ∼ 35℃
20
12
ローフローカット
00: ローフローカットなし
00: ローフローカットなし
00: ローフローカットなし
01
設定
01: 最小表示未満
01: 最小表示未満
01: 最小表示未満
02: 1％FS
02: 1％FS
02: 1％FS
30
31
32
通信アドレス設定
伝送速度選択
通信条件選択
03: 2.5％FS
03: 2.5％FS
03: 2.5％FS
04: 5％FS
04: 5％FS
04: 5％FS
00:通信機能なし
00:通信機能なし
00: 通信機能なし
01 ∼ 99 通信アドレス
01 ∼ 99 通信アドレス
01 ∼ 99 通信アドレス
00: 9600bps
00: 9600bps
00: 9600bps
01: 4800bps
01: 4800bps
01: 4800bps
02: 2400bps
02: 2400bps
02: 2400bps
00: 偶数パリティ
00: 偶数パリティ
00: 偶数パリティ
00: パリティなし
00: パリティなし
00: パリティなし
00
00
00
モード30∼32はRS-485通信機能付きのみ表示されます。本設定は設定内容により設定可能項目や設定範囲が変わることがあります。
詳しくは取扱説明書CP-UM-5207をご覧ください。
5
パラメータ一覧（ENT＋▼キーを同時に3秒押す）
パラメータ
P-01
項 目
CMS0010 CMS0050 CMS0200 CMS0500 CMS1000 CMS2000
イベント 1（瞬時流量の場合）
0
イベント 1（積算流量の場合）00000000
0
0
0
0
0
00000000
00000000
00000000
00000000
00000000
0
0
0
0
0
00000000
00000000
00000000
00000000
00000000
単 位
L/min(standard)
00000000 ∼ 99999999 単位は各機種の積算
流量表示単位となります。
P-02
イベント 2（瞬時流量の場合）
0
イベント 2（積算流量の場合）00000000
0 ∼流量レンジまで
00000000 ∼ 99999999 単位は各機種の積算
流量表示単位となります。
P-03
イベント 1 ヒステリシス
50
0.50
0.50
5.0
5.0
50
L/min(standard)
P-04
イベント 2 ヒステリシス
50
0.50
0.50
5.0
5.0
50
L/min(standard)
P-05
イベント 1 オンディレイ
0
0
0
0
0
0
秒
P-06
イベント 2 オンディレイ
0
0
0
0
0
0
秒
P-07
逆積算初期値
00000000
00000000
00000000
00000000
00000000
00000000
00000000 ∼ 99999999 単位は各機種の積算
流量表示単位となります。
P-08
ガス種補正係数
1.00
1.00
1.00
1.00
1.00
1.00
無単位
P-09
アナログ出力
100
100
100
100
100
100
10 ∼ 250％
任意スケーリング
本設定は機能設定により設定可能項目や設定範囲が変わることがあります。
詳しくは取扱説明書CP-UM-5207をご覧下さい。
形番構成
I
II
III
IV
V
VI
VII
VIII
IX
X
XI
XII
I
II
III
IV
V
VI
VII
VIII
IX
X
XI
XII
基本形番
流量レンジ
機種
材質
接続
ガス種
出力
付加 1
付加 2
付加 3
付加 4
付番
CMS
（例）
：CMS0010BTTH200100
内 容
気体用マスフローメータ
0010
流量レンジ 0 ∼ 10L/min(standard) ＊ 1
0050
流量レンジ 0 ∼ 50L/min(standard) ＊ 1
0200
流量レンジ 0 ∼ 200L/min(standard) ＊ 1
0500
流量レンジ 0 ∼ 500L/min(standard) ＊ 1
1000
流量レンジ 0 ∼ 1000L/min(standard) ＊ 1
2000
流量レンジ 0 ∼ 2000L/min(standard) ＊ 1
B
表示付き，流れ方向 左→右
T
SUS316
Ｕ
UNF 接続
T
Rc 継ぎ手接続 CMS0500/1000/2000：Rc 1/2
CMS0010/0050/0200：RC1/4
Ｓ
Swl 接続
CMS0500/1000/2000：1/2 Swagelok
CMS0010/0050/0200：1/4Swagelok
Ｖ
VCR 接続
CMS0500/1000/2000：3/8VCR
CMS0010/0050/0200：1/4VCR
Ｈ
CMS0500/1000/2000：3/4-16UNF
CMS0010/0050/0200：9/16-18UNF
水素，ヘリウム ＊ 2
2
出力：4-20mA/0 ∼ 5V/1-5VDC
0
付加機能無し
1
RS-485 通信付き
0
付加機能無し
1
＊1
standard とは、20℃，101.325kPa に換算した流量を表します。
＊2
工場出荷時には水素に設定されています。ヘリウムにて使用する場合には、ガス
種類機能でヘリウムに設定してください。
最大計測流量は水素・ヘリウム共に同一です。
接ガス部に禁油処理
0
付加機能無し
Ｄ
検査成績書付き
Ｙ
トレーサビリティ証明書付き
0
製品バージョン
● 別売部品
品 名
専用コネクタ付きハーネス
（通信なし用。CMS1 台につき 1 本必要です。）
専用コネクタ付きハーネス
形 番
81446594-005
内 容
通信なし用ハーネス 2m- 端末処理なし
81446594-006
通信なし用ハーネス 5m- 端末処理なし
81446594-007
通信付き用ハーネス 2m-M3.5Y 端子
（RS-485 通信付用＊。CMS1 台につき 1 本必要です。）81446594-008
通信付き用ハーネス 5m-M3.5Y 端子
AC アダプタ接続ハーネス
81446594-030
AC アダプタとの接続用
AC アダプタ
81446957-001
AC アダプタ接続ハーネスが必要です
取付金具
81446628-001
CMS0010/0050/0200 用
81446721-001
CMS0500/1000 用
81446856-001
CMS2000 用
81446834-001
1/4 Rc 継ぎ手，2 個入り
（必要時にご用命ください。） 保守用継ぎ手
（SUS316 モデルのみ，継ぎ手が傷んだ場合の交換
用です）
81446834-002
1/2 Rc 継ぎ手，2 個入り
81446833-001
1/4 Swagelok 継ぎ手，2 個入り
81446833-002
1/2 Swagelok 継ぎ手，2 個入り
81446895-001
1/4 VCR 継ぎ手，2 個入り
81446895-002
3/8 VCR 継ぎ手，2 個入り
＊ 本ハーネスは通信なし形番にもご利用いただくことが可能です。
6
● コネクタ信号表
ピン番号
信号名
内 容
備 考
1
OUT ＋
瞬時流量出力＋
2
OUT −
瞬時流量出力−
3
V＋
電源＋(DC12 ∼ 24V)
4
GND
電源 GND
5
DA
6
DB
7
DIN
積算カウントリセット入力
8
EV2
イベント 2 出力 / 積算パルス出力
9
EV1
イベント 1 出力 / シリアルデータ出力
10
COM
イベント出力コモン
RS-485 通信接続用
通信機能オプション付きモデルを使用するときだけ接続してください
2
28
● 接続例
1
OUT＋ 茶
2
OUT− 赤
3
V＋ 橙
EV2積算パルス出力結線例
瞬時流量出力
0∼5V
①無電圧入力タイプの場合
8
EV2
入力
カウンタ
DC12∼24V
4
GND 黄
5
DA 桃
6
DB 青
10
EVCOM
0V
②電圧入力タイプの場合
RS-485通信
外部に設置
7
DIN 緑
8
EV2 灰
9
EV1 白
DC電源
(DC30V以下)
プルアップ抵抗
SG
8
EV2
入力
カウンタ
負荷 (DC30V, 50mA以下)
10
EVCOM
0V
DC30V
以下
負荷 (DC30V, 50mA以下)
10 COM 黒
CMS内部回路
外部結線例
イベント出力の定格はDC30V、50mAです
● シリアルデータ出力を使用する場合
・接続例
＋5V
＋5V
9
10
10kΩ
10kΩ
EV1
232Cドライブ
RXD
GND
EV COM
RTS
CMS
CTS
インタフェース
・通信プロトコル
コンピュータ
RS-232Cポート
・通信仕様
表示している瞬時流量データ、積算流量データをアスキー
項 目
内 容
コードにて送信します。
通信方式
RC-232C 準拠 調歩同期式
瞬時、積算の順で送信し、瞬時流量データの前には "F"、積
伝送速度
9600bps
算流量データの前には "T"を送信します。
キャラクタ長
8 ビット
例：瞬時流量10.0L/min(standard)、積算流量100Lの場合
ストップビット
2 ビット
パリティ
なし
データ送信周期
100 ± 10ms
" Ｆ０１０ . ０Ｔ０００００１００. " ＣＲ ＬＦ
100L
0Dh 0Ah
積算流量
10.0 L/min(standard)
瞬時流量
7
外形寸法図
● CMS0010/0050/0200
（単位：mm）
Massflow CMS
瞬時
EV1
積算
EV2
L/min.
×10L
MODE
ENT
水素 禁油品
17
32
(48.7)
69.1
DISP
18.5
9/16-18UNF接続タイプ（標準）
15.7
37
15.7
91
2-9/16-18UNF
HEX21
本体固定ねじ
2-M4, ねじ深さ5
2-Rc1/4継手
7.5
23.5
(138)
Rc1/4 接続タイプ（オプション）
HEX9/16
21.5
(25.7)
(25.7)
(142.4)
1/4Swagelok 接続タイプ（オプション）
(23.9)
(23.9)
(138.8)
2-1/4Swagelok
<Swagelok社製 SS-400-1-6STSC11>
適用パイプ： 外径 1/4
材質 SUS316
2-1/4VCR継手
<Swagelok社製 SS-4-VCR-1-000325SC11>
材質 SUS316
1/4VCR 接続タイプ（オプション）
8
48±0.3
15±0.3
23.5
● CMS0500/1000
（単位：mm）
Massflow CMS
瞬時
EV1
積算
EV2
DISP
L/min.
×10L
MODE
ENT
2
82.1
水素 禁油品
23.2
45
(62)
28
3/4-16UNF接続タイプ（標準）
50
18.7
18.7
98.6
2-3/4-16UNF
25
2-Rc1/2継手
25
(148.6)
Rc1/2 接続タイプ（オプション）
48±0.3
HEX7/8
25.3
(30.7)
(30.7)
(160)
2-1/2Swagelok
<Swagelok社製 SS-810-1-8STSC11>
適用パイプ： 外径 1/2
材質 SUS316
1/2Swagelok 接続タイプ（オプション）
(31.5)
(31.5)
(161.6)
2-3/8-VCR継手
<Swagelok社製 SS-8-VCR-1-8STSC11または相当品>
材質 SUS316
3/8VCR 接続タイプ（オプション）
9
27±0.3
13.5
HEX26
4-M4, ねじ深さ6
本体固定ねじ
● CMS2000
（単位：mm）
Massflow CMS
L/min
EV1
×10L
EV2
DISP
MODE
ENT
29.5
59
(62)
96.1
60
Yamatake Corporation
MADE IN JAPAN
3/4-16UNF接続タイプ(標準)
16.4
16.4
98.6
2-3/4-16UNF
4-M5, ねじ深さ8
Yamatake Corporation
15
MADE IN JAPAN
2-Rc1/2継手
(25)
(25)
30±0.3
HEX 26
本体固定ねじ
(148.6)
Rc1/2接続タイプ
80±0.3
HEX7/8
9.3
Yamatake Corporation
MADE IN JAPAN
(30.7)
(30.7)
2-1/2Swagelok社製継手
SS-810-1-8STSC11
適用パイプ：外径 1/2
材質 SUS316
(160)
1/2Swagelok接続タイプ
Yamatake Corporation
MADE IN JAPAN
(31.5)
(31.5)
(161.6)
2-3/8-VCR Swagelok社製継手
SS-8-VCR-1-8STSC11 または相当品
材質 SUS316
3/8VCR接続タイプ
● 専用コネクタハーネス（接続ケーブル）
・RS-485通信なし用
81446594-005（ハーネス長さ2m，8芯）
81446594-006（ハーネス長さ5m，8芯）
2000（2mの場合）
5000（5mの場合）
50+10
0
・RS-485通信付き用
（通信なし形番でもご利用可能）
81446594−007（ハーネス長さ2m，10芯，M3.5Y型端子）
81446594−008（ハーネス長さ5m，10芯，M3.5Y型端子）
2000（2mの場合）
5000（5mの場合）
50±10
マークチューブ
10±3
10±3
100±10
5+3
-2
5+3
-2
（No.1ピン側）
10
● ACアダプタ接続ハーネス
81446594-030
（単位：mm）
200 +20
0
50 ±10
20 ±5
20 ±5
50 ±10
5 +3
-2
5 +3
-2
2
ACアダプタ接続口
28
● ACアダプタ
81446957-001
Yamatake-Corporation
50
81446957-001
ACアダプタ接続
ハーネスへ
1800
26.5
64
● 取付金具
・81446628-001（CMS0010/0050/0200専用）
68
48
・81446721-001（CMS0500/1000専用）
6.5
A
A（2 : 1）4箇所
18
樹脂モデル用取付穴
6
R
12.5
SUSモデル用取付穴
4.
5穴
(
5.5
27
63
(R
)
12.5
R
)
5.5
75
50
10
15
(58)
48
3.2
4.5
4.5
4−
2−
φ
58
75
15
5穴
4.
6
φ
4−
・81446856-001（CMS2000専用）
6.5
22.5
15
6
A
A（2 : 1）4箇所
(R
)
6.5
30
57
87
75
5.5
80
4-
R2
92
4-
φ
5.
5穴
6
11
48
78
90
R2
ま
た
は
C2
圧力損失
● CMS0010の場合
● CMS0050の場合
90.0
160.0
80.0
140.0
70.0
120.0
100.0
0.5kPa
100kPa
300kPa
500kPa
700kPa
50.0
40.0
圧損 [Pa]
圧損 [Pa]
60.0
30.0
0.5kPa
100kPa
300kPa
500kPa
700kPa
80.0
60.0
40.0
20.0
20.0
10.0
0.0
0.0
0
2
4
6
流量 [L/min]
8
10
12
0
● CMS0200の場合
20
30
流量 [L/min]
40
50
60
● CMS0500の場合
1400.0
700.0
1200.0
600.0
1000.0
500.0
800.0
0.5kPa
100kPa
300kPa
500kPa
700kPa
600.0
圧損 [Pa]
圧損 [Pa]
10
400.0
0.5kPa
100kPa
300kPa
500kPa
700kPa
300.0
400.0
200.0
200.0
100.0
0.0
0.0
0
50
100
150
流量 [L/min]
200
0
250
● CMS1000の場合
100
200
300
流量 [L/min]
400
500
600
● CMS2000の場合
6000.0
2500.0
5000.0
2000.0
0.5kPa
100kPa
300kPa
500kPa
700kPa
1000.0
圧損 [Pa]
圧損 [Pa]
4000.0
1500.0
0.5kPa
100kPa
300kPa
500kPa
700kPa
3000.0
2000.0
500.0
1000.0
0.0
0.0
0
100
400
600
流量 [L/min]
800
1000
1200
0
12
500
1000
1500
流量 [L/min]
2000
2500
お客様仕様確認シート：CMS
ガス種
流量範囲
最大
常用
最小
L/min （normal）
１次圧力
最大
常用
最小
kPa （gauge）
２次圧力
最大
常用
最小
kPa （gauge）
流体 / 周囲 温度範囲
最大
常用
最小
℃
配管接続（SUS303 仕様） □ Rc 接続のみ
配管接続（SUS316 仕様） □ Rc 接続
□ swl 接続
接ガス部禁油処理
□要
検査成績書
□ 検査成績書
流れ方向
□ 左→右
インターロック等の設置
□要
□ VCR 接続
□ 不要
□ トレーサビリティ証明書 □ 不要
□ 右→左（特殊品対応可能）
□ 不要
要の場合 □ お客様準備 □ 山武準備
例：フィルタ詰まり確認用差圧検出、ガス圧スイッチ
流量計設置状況
入口配管サイズ
出口配管サイズ
フィルタ＊
CMS
お客様接続器具名称
お客様接続器具名称
フィルタ＋流量計の許容圧力損失
kPa (gauge)
＊ フィルタが必要な場合は、当社スペックシート CP-SS-1824 から選定ください。
13
2
28
平成13（2001）年 1 月 初版発行
平成22（2010）年 8 月 改訂 8 版
14
※「μFTM（マイクロフローTM）」は，株式会社山武の商標です。
※「マイクロフローセンサ」は，株式会社山武の商標です。