超精密研削加工(直角ブロック・鏡面研削)

CS（Creation for Smile) 情報カタログ
番号：20100131－8
Creation for Smile
～最先端のプレス加工で多くの笑顔が溢れるもの創り～
超精密研削加工
（直角ブロック・鏡面研削）
図１
精密研削加工品として製作した立方体（100Ｘ100Ｘ100）（図1）。
図からは分かりづらいが、ただの立方体ではなく50mmブロック８個を組み合わせ
た仕様となっている。鏡面研削にて目標値とする直角度1.0μm以下、平面度1μm
以下に対して直角度1.２μｍ（未達）、平面度0.8μｍ（達成）を実現した。
超
※平面研削盤は長島精工製超精密成形平面研削盤NP63 0-F ならびに
ナガセインテグレックス製精密平面研削盤S GE- 5 15 EZ
を使用した。
図2 測定方法
図3 測定結果
測
Ｅ
最
図
定器としては図2に示す高精度測定器ミツトヨ製Ｌ
ＧＥＸを使用。
大許容指示誤差
0.35+Ｌ/1000μｍである。
2に示すのは実際の測定の様子を示す。
鏡
が
う
う
い
面
悪
と
課
で
研
い
す
題
両
削
と
る
が
方
の問題点と
いう傾向が
とどちらか
あった。し
を極める研
しては面粗度
見られる。ど
を犠牲にしな
かし今回はど
削加工として
は良いが、平
ちらかを良く
ければいけな
ちらも犠牲に
取り組んだ。
面度
しよ
いと
しな
＜
上
調
を
解決策＞
記課題を解決するために、機械に適合する砥石、研削液、研削条件を再度
整した。面粗度向上のため鏡面研削砥石を数枚トライし、目標数値の達成
目指した。
＜
目
え
ま
の
今後の課題＞
標値1.0μｍ以下に対して直角度は1.2μmと未達である結果。測定誤差も考
られるが、1μm以下を目指していきたい。
た、研削だけで100時間かかっている実情があるため、短時間で高精度のも
づくりができるよう更なる改善が必要。