制御 流量センサFUS20 FUS20 FUS20 B1 N F 4 1 B N 005 V

流量センサ FUS20
消費流量、イオナイザなどの流量管理や小型ワークの吸着確認に最適
121
注文形式(例)
FUS20
①
N V
②
③
F 005
④
⑤
4 1 B N
⑥
⑦
⑧
①．
流量センサ
⑨. ニードル弁付
無記入：ニードル弁無し
N：ニードル弁一体型
⑨
⑧. ブラケット
無記入：ブラケット無し
B：ブラケット付
P：パネル取付けオプション付
制御
⑦. ケーブル
無記入：ケーブル無し
1：1m
3：3m
⑥. 適用チューブサイズ
4：ø4mm
6：ø6mm
8：ø8mm
10：ø10mm
※流量範囲と適用チューブサイズの組合せは、下表をご覧ください。
※流量範囲と適用チューブサイズの組合せは、
右表をご覧ください。
④. 流れ方向
F：片方向
R
（※）：双方向
⑤．
流量範囲記号
⑤. 流量範囲（フルスケール流量） 表 . 流量範囲と適用チューブサイズ
005：0.5ℓ/min
⑥. 適用チューブサイズ記号
010：1ℓ/min
4
6
8
10
020：2ℓ/min
005
●
●
050：5ℓ/min
010
●
●
100：10ℓ/min
020
●
●
200：20ℓ/min
050
●
●
50ℓ/min
500：
100
●
●
101：100ℓ/min
201：200ℓ/min
200
●
●
500
101
201
●
※ニードル弁無しタイプのみ選択可能です。
③. アナログ出力形式
V：電圧出力（1Vー5V）
A：電流出力（4mAー20mA）
②. 出力タイプ
N：スイッチ出力NPN2点、アナログ1点出力
P：スイッチ出力PNP2点、アナログ1点出力
オプション品注文形式(例)
FUS20
①
B1
②
①．
流量センサ
②. オプション
B1：ブラケット
P：パネル取付けキット
PN：パネル取付けキット（ニードル一体型用）
C51：5芯ケーブル1m
C53：5芯ケーブル3m
本製品の詳細について
本製品に最適なチューブのご案内
本ページ掲載商品の個別注意事項、
掲載製品の共通注意事項、安全上の
ご注意につきましては、弊社のホー
ムページにて必ずご確認ください。
ポリウレタンチューブ ・ ・ ・ ・
ソフトポリウレタンチューブ ・ ・
空気専用ポリウレタンチューブ ・
ナイロンチューブ ・ ・ ・ ・ ・ ・
真空用チューブ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・
・
・
・
・
・
P.412
P.413
P.414
P.417
P.416
●
●
●
●
●
流量センサ FUS20
122
特　長
ニードル弁一体型。
流量調整可能なニードル弁がセンサと一体になっており、
配管の手間がかかりません。また、省スペース設置が可能。
パネルマウント可能。
パネルマウント用ブラケットもラインナップ。センサ本体、
およびニードル弁一体型もパネルマウント可能。
パネル開口部1つで密着取付けができるため、複数台使用時の工数削減、省スペース化が図れます。
密着
可能
付け
取
ツイン表示／２色表示機能で操作性を向上。
メイン画面とサブ画面を設けることで、操作性を向上。更に、
２色表示で異常が一目で判ります。
■ツイン表示
■2色表示
流量単位
サブ画面（流れ方向等）
メイン画面（瞬時流量表示）
グリーン／レッド切替可能
高精度：±3％F.S.以下。
正確な流量計測が可能。
高速応答：50msec以下。
シリコーンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献。
双方向での流体計測が可能。
双方向タイプは、流れ方向を任意に設定し計測することができます。配管取付の自由度がアップするとともに、逆流検知用としても使用できます。
順方向
双方向
逆方向
自由な取付け姿勢。
上下左右どの方向にも取付けることができます。
直管部不要。
新提案の整流機構により、上流側・下流側ともに直管部が不要。
エルボ取付けO.K
>>>http://www.pisco.co.jp/
123
仕　様
項目
流量表示(*1)(*2)
フルスケール流量
500mℓ/min
1ℓ/min
2ℓ/min
5ℓ/min
10ℓ/min
20ℓ/min
50ℓ/min
100ℓ/min
200ℓ/min
ø4mmワンタッチ
ø6mmワンタッチ
ø8mmワンタッチ
ø10mmワンタッチ
N　(*9)
表示の種類
表示範囲
F
R
積算機能(*3)
使用条件
精度
応答時間
出力
電源電圧(*6)
消費電流
リード線
保有機能
取付け
保護構造
保護回路
EMC指令
005
●
010
●
020
050
●
●
100
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
4桁＋4桁　2色LCD
0~500
mℓ/min
0~1000
mℓ/min
0~2.00
ℓ/min
0~5.00
ℓ/min
●
●
200
0~10.00
ℓ/min
●
●
0~20.0
ℓ/min
500
●
●
●
101
●
201
●
●
●
●
●
●
●
●
0~50.0
ℓ/min
0~100.0
ℓ/min
0~200
ℓ/min
-500~500 -1000~1000 -2.00~2.00 -5.00~5.00 -10.00~10.00 -20.0~20.0 -50.0~50.0 -100.0~100.0 -200~200
ℓ/min
ℓ/min
ℓ/min
ℓ/min
ℓ/min
ℓ/min
ℓ/min
mℓ/min mℓ/min
1mℓ/min
0.01ℓ/min
0.1ℓ/min
1ℓ/min
表示分解能
9999999ℓ
9999999mℓ
99999.99ℓ
999999.9ℓ
表示範囲
1mℓ
0.01ℓ
0.1ℓ
1ℓ
表示分解能
5mℓ
10mℓ
0.02ℓ
0.05ℓ
0.1ℓ
0.2ℓ
0.5ℓ
1ℓ
2ℓ
積算パルス出力レート
「等級1.1.1 ~ 5.6.2」準拠）、圧縮空気（JIS B 8392：
「等級1.1.1 ~ 1.6.2」準拠）、窒素ガス
適用流体
(*4) 清浄空気（JIS B 8392：
0.7MPa
最高使用圧力
-0.09MPa
最低使用圧力
1MPa
保証耐圧力
0 ~ 50ºC、90%RH以下
使用周囲温度・湿度
0 ~ 50ºC（結露なきこと）
使用流体温度
3 ~ 100%F.S.
精度保証範囲
±3%F.S.以下（2次側大気開放、25ºC）
直線性（表示・アナログ出力）
±5%F.S.以下（-0.09 ~ 0.7MPa、ただし2次側大気開放基準）
圧力特性
±0.2%F.S.／ºC以下（15 ~ 35ºC、ただし25ºC基準）
温度特性
±1%F.S.以下
再現性（くり返し精度）
50ms以下
(*5)
N
出力2点（NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）
スイッチ出力
P
出力2点（PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）
1 ~ 5V電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）
V
アナログ出力
4 ~ 20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス0 ~ 300Ω）
A
DC12 ~ 24V（10.8 ~ 26.4V）
V
DC24V（21.6 ~ 26.4V）
A
50mA以下
(*7)
ø3.7　AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径ø1.0
流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力　他
取付方向
縦・横自在
導入直管部
不要
IEC規格 IP40
(*8)
電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
適合品
*1. 20°C　1気圧（101kPa）での体積流量に換算
*2. 流量表示は約±1％F.S.未満において切り捨て（強制ゼロ）をしております。
*3. 積算流量は計算（参考）値です。電源を切るとリセットされます。
*4. 圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1:2003　等級1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本
製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ（濾過度：5μm）、エアドライヤ（最低圧力露点10°C以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m³）を取り付け
てご使用ください。
＜推奨回路＞
空気圧源
フィルタ
オイルミストフィルタ
＜推奨機器＞
エアフィルタ
オイルミストフィルタ
エアドライヤ
レギュレータ
流量センサ
また、圧縮空気以外をご使用の場合は、塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつ圧縮空気と同様にダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。
*5. 応答時間は、設定にて50ms以下～約1.5sまで7段階の設定ができます。
*6. 電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
*7. DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
*8. 本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
*9. 漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。
制御
005
010
020
050
流量レンジ(*1) 100
200
500
101
201
4
6
接続口径
8
10
ニードル弁一体型
流量センサ FUS20
124
構造図
■ニードル弁無し
■ニードル弁一体型
②
①
③
⑭
①
②
③
④
⑤
④
⑬
⑤
⑫
⑥
⑨
⑥
⑪
⑩
⑨
⑧ ⑦
⑬ ⑫
部品名
液晶カバー
液晶
スイッチ
基板スペーサ
モジュール押え
カートリッジ継手
センサガスケット
樹脂ボディ
センサチップ
整流板
ポートフィルタ
センサ基板
電子基板
ケース
No,
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
⑪
⑫
⑬
⑭
⑦
材　質
アクリル樹脂
－
EPDM
PC
PA
－
FKM
PA
半導体チップ
ステンレス
ステンレス
アルミナ
－
ABS
No,
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
⑪
⑫
⑬
部品名
ツマミ
ロックナット
ニードルガイド
ニードル
固定ピン
Oリング
カートリッジ継手
継手固定ピン
ニードル弁ボディ
ポートフィルタ
オリフィス
継手固定ピン
Oリング
⑪
⑩ ⑧
材　質
PBT
黄銅、ニッケルメッキ
黄銅、ニッケルメッキ
黄銅、ニッケルメッキ（*2）
ステンレス
FKM
－
ステンレス
PA
ステンレス
黄銅、ニッケルメッキ（*3）
ステンレス
FKM
（フッ素樹脂コーティング）
*1. センサ部の主要部品についてはニードル弁無しの構造図を参照してください。
*2. FUS20…005/010/020については、ステンレスとなります。
*3. FUS20…005/010/020については、PTFEとなります。
品−H
形　状
基本形式
価格
FUS20-23-4-678
(¥)
ニードル弁無し　片方向 FUS20-23-F005-678
FUS20
øD
形　状
基本形式
価格
FUS20-23-4-678
(¥)
FUS20-23-F010-678
50,000
50,000
FUS20-23-F100-678
50,000
FUS20-23-F200-678
FUS20
価格
FUS20-23-4-678N
(¥)
52,900 ニードル弁一体型
FUS20-23-F005-678N
57,000
FUS20-23-R010-678
52,900
øD FUS20-23-R020-678
FUS20-23-R050-678
52,900
50,000 ニードル弁無し　双方向 FUS20-23-R005-678
øD FUS20-23-F020-678
FUS20-23-F050-678
基本形式
形　状
FUS20
FUS20-23-F010-678N
57,000
57,000
52,900
øD FUS20-23-F020-678N
FUS20-23-F050-678N
FUS20-23-R100-678
52,900
FUS20-23-F100-678N
55,830
50,000
FUS20-23-R200-678
52,900
FUS20-23-F200-678N
55,830
FUS20-23-F500-678
50,000
FUS20-23-R500-678
52,900
FUS20-23-F500-678N
55,830
FUS20-23-F101-678
54,800
FUS20-23-R101-678
57,400
FUS20-23-F101-678N
60,630
FUS20-23-F201-678
59,200
FUS20-23-R201-678
62,100
FUS20-23-F201-678N
65,030
50,000
øD
øD
55,830
オプション品
形　状
コネクタケーブル
FUS20-C5□
形　状
ブラケット
FUS20-B1
注文形式
価格
(¥)
形　状
注文形式
FUS20-C51
2,360 パネル取付けキット FUS20-P
FUS20-C53
3,880
注文形式
FUS20-B1
FUS20-P
価格
(¥)
形　状
注文形式
2,930 パネル取付けキット（ニードル弁一体型用） FUS20-PN
FUS20-PN
価格
(¥)
2,930
価格
(¥)
660
本ページ掲載商品の注意事項
*1. 基本形式内の 2 には、出力タイプを 3 には、アナログ出力形式を 6 には、適用チューブサイズを 7 には、ケーブルを 8 には、ブラケットをそれぞれP.121の注文形式（例）より選定し
てご記入ください。
*2. 上記流量センサ本体の価格には、オプション品（コネクタケーブル、パネル取付けキット、ブラケット）の価格が含まれておりません。オプション品を含んでのご注文の場合は、流量セ
ンサ本体の価格に付加するオプションの価格を加算してください。
本ページ掲載商品の荷姿(出荷単位)
1個／1袋