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レーザー干渉計の基礎知識
レーザー干渉計の原理と光学素子測定への対応
干渉計とは？
Ｇ１０２
干渉縞の読み方
Ｇ１０２Ｓ
Ｆ６０１(平面測定)
代表的な干渉計
Ｆ６０１(球面測定)
干渉縞の数値解析
Ｆ６０１ＦＣ
光学素子測定の応用
Ｆ６０１ＦＣ｢
まとめ
Ｆ６０１ＨＯＥ
ＦＩ２５１Ｎ/ＦＩ２５１ＬＮ
代表的な干渉計
Ｖ１０
干渉計には様々な種類のものがあり，用途に応じて使い分けられているが，ここでは形状測定用の代表
Ｒ１０/ＩＲ１０
的な干渉計ついて簡単に説明する。
ＤＷ１０
Ｆ３０１ＦＣ（平面システム）
Ｆ３０１ＦＣ（球面システム） フィゾー干渉計 マイケルソン干渉計 斜入射干渉計
マイケルソン干渉計
マイケルソン干渉計の構成を図７に示す。
光源から出た光はコリメーターレンズにより平行光となり，ハーフミラーにより２つの光路に分割（振
Ａ１
幅分割）される。２つに分かれた光束はそれぞれミラー１，ミラー２で反射し，元の光路を逆戻りして
Windows2000対応の高機能機
ハーフミラーにより重ね合わせられ，TVカメラにより干渉縞画像が捉えられる。一方のミラー（ミラー
１）を高精度に研磨された平面（参照面）とし，他方（ミラー２）を被検面とすれば，被検面の形状を
測定することができる。
フィゾー干渉計では参照面からの反射光と被検面からの反射光には，波長に比べて大きな光路差があ
り，可干渉性の良い光源，すなわちレーザー光を使用することが必須であった。
回折格子露光装置
しかし，マイケルソン干渉計の場合には２つの光路長を波長オーダーで一致させることができるので，
必ずしもレーザー光を使用する必要はなく，白色光や低コヒーレンス光を光源として用いることができ
る。但し，白色光や低コヒーレンス光を用いる場合には，２つの光路長をきちんと一致させる必要があ
ＦＳ-０５
り，ハーフミラーの厚み分の光路長を補正するための補正板を反射光路中に挿入する必要がある。ま
ファイバーコネクタ端面検査装
た，ミラー１の位置に対して，ミラー２の位置を，光路長が!ｍオーダーで一致するように調整する必
置
要があり，干渉計の調整は非常に難しくなる。逆に，干渉縞が観察できるミラー２の位置は非常に狭い
範囲に限定されるため，透明な平行平面ガラス等，フィゾー干渉計ではノイズが重畳してしまう被検体
ＦＭ１４１０
でも，表面形状を正確に測定することができる利点がある。
フリンジスキャンモアレ装置
図７ マイケルソン干渉計の構成
・ レーザー干渉計案内
・ レーザー干渉計仕様一覧
・ レーザー干渉計の基礎知識
・ レーザー干渉計の使い方
（FUJINON TVにリンクして
います）
・ レーザー干渉計の操作方法
・ 納入事例
お問い合わせ先
Windows(R) は米国Microsoft社の
米国及びその他の国における登録商
標です。
写真７に低コヒーレンス光源を使用したマイケルソン干渉計の例（フジノンF701S）を示す。
測定口径は70mmであり，ガラスディスクや水晶板等の表面形状を裏面ノイズの影響を受けずに測定で
きる。
写真７ マイケルソン干渉計
（フジノンF701S）
図８に薄板ガラスを通常のフィゾー干渉計で測定した場合と，F701Sで測定した場合の比較を示す。
図８ 光源による干渉縞の違い
フィゾー干渉計では参照面とサンプル表面，参照面とサンプル裏面，サンプル表面と裏面，の３つの干
渉縞が重なって見えるが，F701Sでは表面の干渉縞のみが観察できる。
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