トレック・ジャパン株式会社 - 日本電子部品信頼性センター

保証及びアフターサービスについて
●保証期間
弊社では全製品について納入後1ヶ年間の性能を保証いた
します。この期間に起きた故障は無償にて保守サービスいた
します。
保証期間内であっても天災及び操作上のミス等弊社の責に
帰せられない理由による損傷、故障等については無償の保守
サービスはいたしかねますので予めご了承下さい。
●校正業務
弊社社内校正基準にて、静電気対策用測定器、表面電位計
等の校正を有償にて承っております。価格につきましては弊
社営業技術部までお問合わせ下さい。
レンタルについて
弊社では、さまざまなお客様のニーズにお答えするべく、
トレック社製品のレンタル業務を行っております。
詳しくは弊社営業技術部までお問合わせ下さいますようお
願い申し上げます。
弊社製品の再輸出について
本品は米国政府より最終仕向地が日本であるとして輸出許
可されるものです。日本より他国に転売／再輸出する場合、
仕向け国又は仕向けユーザーによっては、日本政府の輸出承
認が必要となりますのでご了承下さい。
価格及び仕様の変更について
価格及び仕様は予告無しに変更することが有りますのでご
注文の際には必ずご確認下さい。
特別注文品及びOEM製品のご依頼について
弊社ではお客様の多種多様なご仕様にお答えする為に標準
品の仕様の変更及び新規商品の開発をお受けしております。
詳しくは弊社営業技術部までご連絡下さいますようお願い
申し上げます。
デモ機のご依頼について
弊社ではトレック製品をユーザーの皆様に実地に試用して
いただき、性能をよりよくご理解いただくために見本機を多
種 えております。ご希望の方は弊社営業技術部までご連絡
下さいますようお願い申し上げます。
弊社製品は高電圧を発生します。操作に入る前に取扱説明書と注意事項をよく読んで下さい。
装置を操作するときは十分注意して下さい。
ISO 9001:2008
〒153-0042 東京都目黒区青葉台4-7-7 青葉台ヒルズ10F
Tel. 03-3460-9800(代) Fax. 03-3460-9801
URL http://www.trekj.com E-mail sales＠trekj.com
EC.BK.0713
ESD
Electrostatic Discharge
Measuring Instruments Catalog
静電気対策用測定器カタログ
Model 520-1, Model 876
ESD Measuring Instruments Index
A.C.フィードバック表面電位計
A.C.フィードバック表面電位計
表面電位モニター（D.C.フィードバック方式）
表面電位モニター（A.C.フィードバック方式）
Model 520-1, Model 876 ......... p.1
Model 523-1, Model 884 ......... p.1
Model 541A-1
...........................................
p.2
Model 542A-1 ........................................... p.2
アプリケーションソフトウェア
Model 541A, 542A ............................ p.3
ハンドヘルド接触型表面電位計
Model 821HH
ハンドヘルドフィールドメーター
チャージドプレートモニター
Model 511
新製品 ............................
新製品 .......................................
p.3
p.4
Model 156A.................................................. p.4
チャージドプレートモニター
Model 158A
ハンドヘルドチャージドプレートモニター
Model 159HH ........................................... p.6
デスクトップ型イオナイザー
Model 930 ..................................................... p.7
ノズル型イオナイザー
高感度型ESDイベントディテクター
表面抵抗／体積抵抗計
リストストラップ・フットウエアチェッカー
新製品 .................................
p.5
Model 950 ..................................................... p.8
Model 901HS
新製品 .......................... p.10
Model 152-1 .............................................. p.11
Model 920..................................................... p.11
表面電位計 測定距離と測定面積
.................................................................... p.12
DCフィードバック表面電位計の測定原理
...................................... p.13
ACフィードバック表面電位計の測定原理
...................................... p.13
注意：全てのTrek製品は非防爆仕様です。
A.C.フィードバック表面電位計
■特 長
▶距離依存が少ない。
▶非接触による電圧測定が可能です。
▶バッテリー内蔵の為、測定場所を選びません。
▶低価格。
▶Model 876は、プローブと本体がケーブルで接続されている為、測
定器本体が近接できない場所にプローブ部だけを近づけて測定する
ことができます。
▶イオナイザー使用環境下でも影響は殆どありません。
■用 途
LCDの帯電測定、半導体デバイスの帯電測定、IC生産工程での静電気
の監視、MRヘッドの帯電測定、シリコンウエハーの表面電位測定、各
Model 520-1
Model 876
種フィルム・ペーパーの表面電位測定、各種材料試験、一般的な静電
気測定。
■仕 様
測定範囲 ........................................................................................ 0∼±2kV
測定表示 .................................................................................. 0∼±1,999V
電圧分解能 .................................................................................................1V
測定距離 ........................................................................ 5∼25mmの範囲内
精度 ..............................................................................................±5%[F.S.]
応答速度 ............................................................................................. 400ms
使用環境条件 ................. 温度：15∼35℃ 湿度：∼85%RH結露なきこと
定格 ....................................................................9Vアルカリバッテリー1個
寸法 ..............5.9cmW×3.1cmH×14.6cmL（ケーブルセンサー部除く）
質量 ........................................................................................................ 185g
Model 520-CP（別売）
Model 520-2［アナログ出力機能付き］
出力信号 ......................................................................... 測定電圧の1/1000
出力用端子 ......................................................................... 1.3mmジャック
（CEマーク対応）、非防爆仕様
Model 523-1, Model 884
A.C.フィードバック表面電位計
■特 長
▶距離依存が少ない。
▶非接触による電圧測定が可能です。
▶バッテリー内蔵の為、測定場所を選びません。
▶低価格。
▶Model 884は、プローブと本体がケーブルで接続されている為、測
定器本体が近接できない場所にプローブ部だけを近づけて測定する
ことができます。
▶イオナイザー使用環境下でも影響は殆どありません。
■用 途
LCDの帯電測定、半導体デバイスの帯電測定、IC生産工程での静電気
Model 523-1
の監視、シリコンウエハーの表面電位測定、各種フィルム・ペーパー
の表面電位測定、各種材料試験、一般的な静電気測定。
■仕 様
測定範囲 ...................................................................................... 0∼±20kV
測定表示 ................................................................................ 0∼±19.99kV
電圧分解能 .............................................................................................. 10V
測定距離 ...................................................................... 30∼60mmの範囲内
精度 ..............................................................................................±5%[F.S.]
応答速度 ............................................................................................. 400ms
使用環境条件 ................. 温度：15∼35℃ 湿度：∼85%RH結露なきこと
定格 ....................................................................9Vアルカリバッテリー1個
Model 884
寸法 ..............5.9cmW×3.1cmH×14.6cmL（ケーブルセンサー部除く）
質量 ........................................................................................................ 200g
（CEマーク対応）、非防爆仕様
1
Model 541A-1
USB対応
表面電位モニター（D.C.フィードバック方式）
■特 長
Model 541A, 542A
アプリケーションソフトウェア
■ 画面の説明
①電圧表示（V）.................................................... 現在の電圧測定値を表示
②＋側スレッシュホールド（V）..................................... 警報レベルを設定
▶アナログ、RS232C出力、USB出力、警報出力機能、ピークホール
ド機能を搭載しております。
1
③−側スレッシュホールド（V）............................. 警報レベルを設定表示
④＋ピーク値（V）............................................. ＋側の最大測定電圧を表示
▶距離依存が少なく、微小面積の測定が可能です。
▶センサー部はサイドビュー、エンドビューの2種類あります。
⑤−ピーク値（V）............................................. −側の最大測定電圧を表示
⑥メニュー画面................................................ 測定環境の設定画面を表示
▶イオナイザー使用環境下でも影響は殆どありません。
▶真空対策プローブ。
⑦セーブデータ........................................................................測定値を保存
⑧リセット ................................................................... ピーク値をリセット
■用 途
⑨終了スイッチ............................................................ ソフトウェアの終了
⑩測定値表示時間長 ......測定値表示時間の長さを決定（ストレージ時間）
半導体デバイスの帯電測定、IC検査工程での帯電測定、半導体生産工
程での静電気監視、また各種製造ライン上での静電気監視に最適。
■仕 様
4
3
2
4
5
10
6
8
7
測定範囲 .................................... 0∼±1kV（Model 541A-2：0∼±100V）
モニター出力 ............... 電圧出力0∼±10V（1/100）、電流出力4∼20mA
測定距離 ....................................................................... 2.5±1mmの範囲内
精度 ...................................................................................... ±1%[F.S.]以下
5
9
※測定プローブはご注文時にご指定下さい。
（真空対策プローブもあります）
応答速度 ........................................ 50ms（1kVステップ入力時10∼90%）
使用環境条件 ............... 温度：15∼35℃ 湿度：5∼85%RH結露なきこと
定格 .................................. 15V DC、又は100V AC（専用アダプター使用）
寸法 ......................................................... 14.7cmW×9.7cmH×20.4cmD
Model 541A、542AではRS232シリアル及びUSBポートを標準で搭
載し、Trek社ホームページから、このアプリケーションソフトをダウ
ン ロ ー ド す る こ と で、 お 手 持 ち の ウ ィ ン ド ウ ズ パ ソ コ ンとModel
541A、542Aシリーズを接続することができます。このソフトを使用
することで、画面上から閾値の設定や、データのセーブ等の操作が可
能になります。
画面にあるような静電気の瞬時的な動きをグラフィカルに確認するこ
とができ、またこのデータをパソコンに取り込むこともできます。閾
値の設定やアラームのON、OFF、取り込むデータの長さ設定など、
パソコン側の設定画面で調整が可能です。
質量 ........................................................................................................ 770g
対応プローブ ............................. Model 541PR-S（サイドビュータイプ）
Model 541PR-E（エンドビュータイプ）
オプション ................................................ウォーキングテストアダプター
ウォーキングテストアダプター
（CEマーク対応）、非防爆仕様
Model 542A-1
USB対応
表面電位モニター（A.C.フィードバック方式）
■特 長
ハンドヘルド接触型表面電位計
■特 長
▶小型、バッテリー駆動により、測定場所を選びません。
▶アナログ、RS232C、USB出力、リレー接点出力、ピークホールド
▶プローブの入力インピーダンスが非常に高く、静電気を直接触って
機能を搭載しております。
測ることができます。
▶距離の依存が少なく、ドリフトのない安定した測定が可能です。
▶センサー部はサイドビュー、角度45度の2種類あります。
▶帯電した部分に直接触れることで、静電気をピンポイントで測定で
▶イオナイザー使用環境下でも影響は殆どありません。
▶温湿度計内蔵により測定値に合わせ測定環境を記録できます。
▶真空対策プローブ。
▶USB出力でPCと接続し、データのグラフ化も可能。
きます。
▶LED及び音響アラーム。
■用 途
▶500Hz
（1000V P-P −3dB）の高速応答。
気監視、また各種製造ライン上での静電気監視に最適。
入力インピーダンス .............................................. 1014Ω以上、
10 F以下
測定範囲 ................................................................................... 0∼±2000V
■仕 様
プラスチック、高分子のフィルムの帯電測定、液晶など製造時の静電
■仕 様
測定範囲 .................................. 0∼±10kV（Model 542A-2：0∼±20kV）
モニター出力 ............. 電圧出力0∼±10V（1/1000）、電流出力4∼20mA
（Model 542A-2（1/2000））
測定距離 ... 15∼30mmの範囲内（Model 542A-2：30∼60mmの範囲内）
精度 ................................................................ ±5%[読み値] ±0.2%[F.S.]
応答速度 ........................................ 50ms（1kVステップ入力時10∼90%）
使用環境条件 ............... 温度：15∼35℃ 湿度：5∼85%RH結露なきこと
定格 .................................. 15V DC、又は100V AC（専用アダプター使用）
寸法 ......................................................... 14.7cmW×9.7cmH×20.4cmD
質量 ........................................................................................................ 770g
2
Model 821HH
新製品
※測定プローブはご注文時にご指定下さい。
（真空対策プローブもあります）
−14
精度 .............................................................................................. ±1%[F.S.]
応答速度 ....................................... 500μs
（1kVステップ入力時10∼90%）
使用環境条件 ............... 温度：15∼35℃ 湿度：5∼85%RH結露なきこと
定格 .......NiMHバッテリー内蔵（約8時間連続稼働）又は15V 1A DC入力
対応プローブ ................................ Model 542P-S（サイドビュータイプ）
寸法 ...................................................... 14.0cmW×24.0cmH×5.25cmD
質量 ...................................................................... 1.13kg（バッテリー含む）
オプション ................................................ウォーキングテストアダプター
非防爆仕様
Model 542P-45D（角度45度タイプ）
（CEマーク対応）、非防爆仕様
3
Model 511
Model 158A
新製品
ハンドヘルドフィールドメーター
■特 長
Model 158Aチャージドプレートモニターはイオナイザーの能力を評
価する装置です。Model 158Aは本体に、操作性の良い7インチタッチ
▶±2kVもしくは±20kVの計測レンジが選択可能。
パネル式カラー液晶画面を持ち、イオナイザー等の動作状況をグラフ
▶モニター出力付
（アナログ電圧出力）
で確認しながら測定することができます。この測定結果は本体内のメ
▶データホールド機能付き。
モリーに保存することができ、保存したデータをUSBポートを介し
▶衝撃に強いセンサー。
Model 511-CH（別売）
▶オート0V調整。
▶イオナイザーの簡易減衰測定やバランスの評価が可能。
※別売の評価キット内容：チャージプレート帯電用電源Model 511-
■仕 様
測定精度 ..............................電圧モニター出力：±5%[F.S.]
電圧ディスプレイ：±5%[F.S.]、±2カウント
使用環境条件 ........... 温度：10∼30℃
湿度：∼80%RH以下結露なきこと 高度：∼2000m
Model 156A
在するイオナイザーを長時間バッテリー駆動の小型筺体、データスト
管理を簡便化することが可能です。
Model 511-CP（別売）
測定レンジ .................... ローレンジ：0∼±2kV、ハイレンジ：0∼±20kV
測定距離 ........................................................................ 約25mm（1インチ）
USBメモリーやコンピュータに転送することも可能です。工場内に点
レージで効率的に測定管理することができ、手間のかかるイオナイザー
Model 511
CH、チャージプレートModel 511-CP。
電源スイッチ ....................................... 作動時は距離確認用赤LEDが点灯
電源仕様 ......9Vアルカリ電池1本（※必ずアルカリ電池をご使用下さい）
作動時間 ........................................... 約50時間（新品アルカリ電池使用時）
寸法 .......................................................... 6.99cmW×2.39cmH×12.55D
質量 ......................................................................... 140g（バッテリー含む）
■特 長
▶タッチパネル式カラー液晶画面によるグラフ表示。
▶タッチパネルもしくは操作ボタンどちらでも操作が可能。
▶USBインターフェースによりUSBメモリーやPCとの接続が可能。
▶優れた安定性と精度。
※測定プレートはご注文時にご指定下さい。
▶小型筺体、
長時間バッテリー駆動。
▶多彩なイオンコレクタープレートが利用可能
（別注オプション）。
▶カラーディスプレィによるグラフ表示。
（CEマーク対応）
▶オフセット電圧、
減衰時間測定それぞれ測定条件の設定が可能。
■仕 様
チャージドプレートモニター
●基本仕様
■特 長
測定レンジ ................................................. 0∼±1100V DC or ピークAC
周波数帯域 .................................................................................. DC∼80Hz
▶IEC61340 5-1準拠。
RCJS準拠。
●0V安定性
▶一つの切換えスイッチにて簡単にモードの選択が可能。
▶アナログ出力付。
測定範囲 .......................................................0∼±1100V DC or peak AC
モニター出力 ................................................................... 測定電圧の1/200
出力ノイズ ...................................................................................10mV rms
使用環境条件 ....................温度：5∼35℃ 湿度：∼80%RH結露なきこと
電源 ............................... 充電式バッテリー内蔵（約8時間連続使用可能）
又は充電用ACアダプターにより、
AC電源（100VAC±10%、50/60Hz）の使用可能
※測定プレートはご注文時にご指定下さい。
寸法 ......................................................... 31.8cmW×8.3cmH×28.0cmD
質量 ....................................................................................................... 2.0kg
（CEマーク対応）、非防爆仕様
イオンコレクティングプレート（Model 156A、157との接続可能）
①標 準 型…Model 156AP-C150×150-R3M＊
④小型耐熱型…Model 156P-HT-25×25-S3M
③標準耐熱型…Model 156P-HT-150×150-R3M＊
⑥DIプローブ…Model PM08035B
②小 型…Model 156P-C25×25-S3M
▶常用標準器に従った校正が可能。
DCオフセット ......................................................................... ±10mV以下
出力ノイズ ............................................................................ 10mVrms以下
出力インピーダンス ..................................................................... 0.1Ω以下
電圧モニター出力...............................................................BNCコネクター
プレートケーブル長さ ............................................................................ 3ｍ
使用環境条件 ................ 温度：5∼35℃ 湿度：80%RH以下結露なきこと
スタート精度 ...................................... 設定値から±1V以内での測定開始
ストップ電圧 .......................................... 0∼±999Vで1V毎の設定が可能
●機能
ストップ精度 ....................設定された停止電圧から±1V以内
精度 ......................................................................................... ±0.1% [F.S.]
オフセット電圧........................................................................ ±10mV以下
▶0.1Vからの測定解像度。
時間ドリフト（無イオン状態）..................................................... 6V/分以下
温度ドリフト ...................................................... 10mV以下/℃ 積算なし
●Decayモード閾値
スタート電圧 ................................. 1Vから±1000Vで1V毎の設定が可能
■仕 様
オプション
新製品
チャージドプレートモニター
（カラー液晶付データ記録端末）
もしくは90V以下の設定値に対し±0.2V以内
Decay時間表示解像度........................................................................ 0.1秒
電圧モニター出力..................... BNCコネクタによる1/200アナログ出力
DC精度............................................................................... 0.1%以下
［F.S.］
オプション
寸法 ......................................................... 5.3cmH×22.6cmW×18.7cmD
質量 ....................................................................................................... 2.2kg
タッチパネル式7インチカラー液晶ディスプレイ..............
グラフ表示、数値表示、情報の表示、
設定パラメータ及び繰返しデータ
バーコードセンサー（別注オプション）................................
イオナイザーの製造番号等を158Aに直接読み込むことが可能
（CEマーク対応）、非防爆仕様
イオンコレクティングプレート（Model 156A、
157、
158Aとの接続可能）
①標 準 型…Model 156AP-C150×150-R3M＊
③標準耐熱型…Model 156P-HT-150×150-R3M＊
②小 型…Model 156P-C25×25-S3M
④小型耐熱型…Model 156P-HT-25×25-S3M
※任意サイズ・形状のプレート製作が可能。 ＊印のプレートはすべてIEC61340規格に対応しています。
⑤DIプローブ…Model PM08035A
※任意サイズ・形状のプレート製作が可能。
（薄型は除く） ＊印のプレートはすべてIEC61340規格に対応しています。
水帯電測定用プローブ
⑤
⑤PM08035A
①標準型プレート
①標準型プレート
③標準耐熱型プレート
②小型プレート
4
④小型耐熱型プレート
②小型プレート
③標準耐熱型プレート
④小型耐熱型プレート
PM08035B
⑥PM08035B
5
Model 159HH
ハンドヘルドチャージドプレートモニター
Model 930
デスクトップ型イオナイザー
Model 159HHハンドヘルドチャージドプレートモニターは、小型で精
Model 930デスクトップ型イオナイザーは、 小 型 の イ オ ナ イ ザ ー で、
静電気除去能力の測定を正確に測定できますので、イオナイザーの選
ます。高性能の除電用電極、特殊高圧電源を内蔵していることで、よ
定や評価など重要なデータ収集に有効であり、また操作方法は簡便で
り早く、静電気帯電を除去します。また、より完全に静電気帯電を除
すので作業現場での定期点検等にも最適です。操作にはマニュアル及
去するための＋−イオンを等量に生成するオートイオンバランス回路
びオート2つのモードがあり測定環境に合わせて選択いただくことでス
ムーズに測定が進みます。マニュアルモードはプラス減衰、マイナス
が構成されています。
減衰、イオンバランス測定を個々に測定でき、またこの測定条件を基
ますが、標準装備された電極クリーニングブラシのつまみを週に一回
にオートモードではこれら3つの測定を自動で行います。測定の結果は
まわすだけで簡単に清掃ができ、イオン化効率の良い、イオンバラン
業を省き、測定作業後にコンピュータにUSB端子を介し、CSVデータ
として記録が可能です。
ンジケータにより、ブロワーの正常な動作を簡単に確認することがで
度の高い測定器です。イオナイザーの減衰特性やイオンバランスなど、
ファンを内蔵しており、風量は広範囲のレベルに調節することができ
電極が汚れたり、パーティクルが堆積すると除電効果が著しく低下し
スのとれた最高の状態で常にご使用頂けます。前面パネルの多彩なイ
内蔵の1000件まで記録できるメモリー機能により、煩雑な書きとめ作
きます。
■特 長
■特 長
▶高速除電
（IEC61340 センター30cm位置で1秒以下）。
▶IEC61340 5-1準拠。
RCJS準拠。
▶異常検出
（LED表示及び接点出力）
▶ACタイプによりイオンバランスの分布が均一。
▶チタン電極、クリーニングブラシ及びステンレス筐体。
（50/60Hz 100-240V共用）。
▶測定データを本体内に記録可能。
▶オートモードで ± 減衰時間、イオンバランスを自動計測可能。
※測定プレートはご注文時にご指定下さい。
▶測定データのサンプリングタイムおよび開始終了計測時間の設定が
可能。
▶オプションの小型プレートで狭い場所への対応も可能。
1000V以上 ±1.00kV∼±1.50kV
減衰時間 ......................................................................... 0.0∼99.9sec
100∼300sec
：オートモード（±dE、
IonBalance）
：マニュアルモード（±dE、IonBalanceを選択）
：イオンバランス（±Peak hold）
測定終了 .................................... End（オートモードの測定終了表示）
時間オーバー..................................................................................... out
測定モード.........
（減衰時間測定の測定時間内に終了、電圧以下に低下しない場合に表示）
エラー表示...................................................................................... 0∼1
高電圧異常 ファン停止 イオンバランス異常 電源投入。
▶ACタイプでありながら供給電力を選ばない
入力電圧 .................... 24V DC±10%、
1.0A以下、ロック式コネクター付
除電性能 ..................................................... 1000V-100V減衰時間1秒以下
▶小型 軽量で作業現場での測定に最適。
デジタル表示 ........................................................... 数値または文字を表示
プレート電圧............................... 1000V未満 0∼±999V
▶塵埃が筐体内に滞留しないダクト機構。
■仕 様
▶バッテリー駆動、USB端子にて充電。
■仕 様
▶自己補正により精密な自動イオンバランス機構 ±5V以内。
最大供給電圧 ..................................................................................±1200V
精度 ....................................................................... ±10%±1 digit（指示値）
使用環境条件 .................................温度：10℃∼40℃ 湿度：60%RH以下
インターフェース.................................................................USB2.0に準拠
アナログ出力 ............................................. 電圧出力（付加抵抗20kΩ以上）
プレート電圧 ................................................ 1V/出力電圧1mV（0.0001V）
電源 .......................................................
充電式内蔵バッテリーまたはUSB（Mini-B）端子にパソコンまたは専
質量 ............................................................................ 約1.9kg（スタンド含）
（設置距離300mm、風量最大時）
IEC61340 5-1イオナイザー試験方法による
オゾン発生量 ..........................................................................0.02ppm以下
風量 ........................................... 最大4.4m3/min.
（フィルターなしの場合）
エミッタークリーナー .............................手動式ナイロンブラシ標準装備
主要部材質 ........... 放電針：チタン、ケーシングおよびスタンド：SUS304
専用AC/DCアダプター（標準付属品）
入力 .... AC100∼240V、47∼63Hz、840mA max., IEC 320 C6 INLET
寸法 ......................約4.4cmW×2.8cmH×9.6cmL（プラグ、
コード除く）
質量 ............................. アダプター本体：約150g、
AC入力コード：約160g
（CEマーク対応）、非防爆仕様
寸法 ......................................................... 15.0cmW×23.6cmH×9.4cmD
イオンバランス・除電性能
用AC/DCアダプターを接続。（内蔵バッテリーの充電にも使用）
＋：0.9
－：1.0
B ：＋2.0～－2.1
最大使用時間 ............................... 約30時間（イオンバランス連続測定時）
寸法 ......................................................... 11.7cmW×4.7cmH×22.8cmD
＋：1.9
－：2.3
B ：＋0～－2.3
＋：3.1
－：3.9
B ：＋0.4～－1.1
＋：5.3
－：6.4
B ：＋0.6～－0.9
質量 .................................................................................................... 約410g
300mm
（CEマーク対応）、非防爆仕様
300mm
300mm
チャージドプレート位置
（イオナイザー中心位置）
オプション
標準型…Model 159P-150×150-1.5M（IEC61340規格に対応しています。）
＋：＋減衰時間
（sec）
－：－減衰時間
（sec）
B：イオンバランスの幅
（V）
300mm
＊ファンフィルターなし
＊風速最大
＊数値は実測代表値で保証値ではありません
149.6mm
小 型…Model 159P-25×25-1.5M
139.6mm
94.1mm
6
小型プレート
94.1mm
146.6mm
80.8mm
238.8mm
標準型プレート
216.4mm
151.6mm
13mm
3-φ7mm
50mm
130mm
スタンド底面取付穴位置
151.6mm
7
Model 950
ノズル型イオナイザー
■仕 様
Model 950は高圧エアーブローにより除塵、除電が可能なノズル型イ
オナイザーです。非常に小型な筺体に高圧電源、異常検出及び出力回
イオン発生方法................................................................ 高周波コロナ方式
入力電圧 ...............................................................................24V DC±10%
路を内蔵しており、エアーと24Vの接続だけで動作します。高周波コ
ロナ放電により、多彩なオプションノズルに交換することで、幅広の
電力容量 ............................................................................................... 2.4VA
印加気体圧力 ....................................................................... 0.05∼0.6MPa
吹き出しや、チューブによるイオン化エアーの搬送など作業環境に合
わせた効果的な静電気除去が可能です。Model 950には本体異常時の
寸法 ........................................ 8.65cmD×1.8cmW×5.0cmH（本体のみ）
質量 ....................................................................................約80g（本体のみ）
LED表示と接点出力がありますので装置や生産ラインに取り付けられ
たイオナイザーに異常が発生した時には、いち早く対応が可能です。
オゾン発生量 .................................... 0.05ppm以下
（噴出口より300mm）
イオンバランス............................................ ±15Ｖ以内（0.05∼0.5MPa）
主要部材質 .......... 本体：ABS、カバー：ステンレス、
放電針：タングステン
ワンタッチ継手配管径 ...............................................................外形φ6mm
（CEマーク対応）、非防爆仕様
使用環境条件 ............... 温度：0∼40℃ 湿度：15∼65%RH結露なきこと
Model 950は高圧電源部と放電電極を本体後部から簡単に交換するこ
とができますので、装置や生産ラインに取り付けられているイオナイ
Model 950オプション品
ザーの手間の掛かる日常管理や電極交換等も非常に簡単に済ますこと
ができます。
※出力信号、24V電源接続用ケーブル
（1本）
付属
■特 長
▶超小型筺体。
▶高圧電源、電極ユニット一体化により、クリーニング、ユニット交
換が非常に簡便。
▶高電圧、電極汚れ等の異常表示機能。
▶各種異常時無電圧信号を出力。
▶優れたイオンバランス。
▶高周波イオン生成によりチューブによる イオン搬送が可能
▶種類の豊富なノズル、チューブ交換オプション。
シームレスパイプノズル
ストレートバーノズル
写真は950-C200
写真は950-200B
100mm用 950-C100
100mm用 950-100B
300mm用 950-C300
300mm用 950-300B
200mm用 950-C200
チューブノズル
写真は950-TT
テフロンチューブ 950-TT
200mm用 950-200B
400mm用 950-C400
シリコンチューブ 950-ST
500mm用 950-C500
放電針ユニットの交換と清掃
シャワーノズル
フラットノズル
ACアダプター
950-60S
950-F
写真は950-24VA
950-24VA 信号線有
950-24V 信号線無
Model 950その他のオプション品
L型バーノズル
パイプノズル
N2対応ノズル
取付金具
950-100BL
950-200BL
950-120PSP
950-N-S
950-FM
※詳細はお問い合わせください。
LED表示
本体寸法図
取付金具寸法
正常時
○
○
高電圧異常時
○
クリーニング・チェック時
○
放電停止入力
○
電源OFF
C.C
【黄LED】
ALARM
ALARM-NC ALARM-NO
【赤LED】
【黄線】
【白線】
C.C-NO
【緑線】
放電針
ON
OFF
OFF
ON
OFF
ON
OFF
OFF
ON
OFF
ON
ON
ON
OFF
OFF
OFF
OFF
OFF
OFF
OFF
○
○
○
18.0mm
7.5mm
24.7mm
86.5mm
24.7mm
71.5mm
10.5mm
H.V
【緑LED】
高電圧出力
15mm
80.5mm
111.2mm
7mm
POWER
【緑LED】
出力回路
50.0mm
本体の表示
14.5mm
出力信号と動作
50.0mm
22.5mm
電源入力及び異常出力端子
注1：ALARM（赤色LED）は一旦点灯すると保持されたままです。電源をOFFにして解除してください。
8
9
Model 901HS
Model 152-1
新製品
高感度型ESDイベントディテクター
■特 長
表面抵抗／体積抵抗計
■特 長
▶IEC61340 5-1準拠。
RCJS準拠。
▶静電気放電の発生を5段階のLEDとアラームで知らせます。
▶検出時は本体よりオープンコレクタ信号が外部出力可能です。
▶ESD Association standardsに順応した表面抵抗及び体積抵抗測定
▶この放電箇所からの距離を基に放電の大きさを特定する事ができま
が可能です。
（STM2.1、4.1、7.1、9.1、11.11、11.12、12.1、11.13、
す。
97.1適合）
▶広範囲測定103∼1013Ω。
▶駆動は単三乾電池（アルカリ4本）
又はACアダプターの2電源方式。
▶用途に合わせたプローブ
▶高感度型。
▶本体とアンテナ部がケーブルで接続されている為、本体が近接でき
ない場所にアンテナ部だけを近づけて放電を検出する事ができます。
高感度アンテナ使用時
▶金属間放電に特化した受信特性。
Model 152P-CR-1 ............ 表面抵抗／体積抵抗測定用（写真中央上）
Model 152P-2P ..................... 短距離間表面抵抗測定用（写真中央下）
Model 152BP-5P ..............................二点間表面抵抗測定用（写真右）
ウォーキングテストアダプター ............................. システム抵抗測定用
▶バッテリー内蔵により持運びが容易です。
■仕 様
▶CR-1に付属する電極を使用することにより体積抵抗の測定が可能。
低感度アンテナ使用時
表示 ........................................................................ レベル表示用5段階LED
アラーム ................................ オートリセット機能付き放電検知アラーム
アンテナ ................................................ 低感度アンテナ、高感度アンテナ、
■仕 様
寸法 ........................................................... 8.0cmW×11.0cmH×4.5cmD
質量 ..................................................................................... 500g（電池含む）
測定範囲 .................................................................................... 103∼1013Ω
（152BP-5P、152P-2P又は、
152P-CR-1プローブ使用時）
テスト電圧 ...................................................... 10V又は、
100V[±2%]選択
非防爆仕様
定格 ........ 電池：9Vアルカリバッテリー2個(約6時間連続使用可能)又は、
：100V AC、
ACアダプター（オプション）
50/60Hz
Model 901HS 放電源電圧対検出距離 LED5段階表示マトリックス（値は実測値で保証値ではありません） ※高感度アンテナ使用時
使用環境条件 ............... 温度：15∼35℃ 湿度：5∼80%RH結露なきこと
寸法 ......................................................... 10.0cmW×18.0cmH×4.4cmD
質量 ..................................................................................... 500g（電池含む）
（CEマーク対応）、非防爆仕様
放 電 電 圧
距離
（mm）
10V
20V
30V
40V
50V
60V
80V
100V
150V
200V
50
1
1
2
2
4
5
5
5
5
5
60
─
1
1
2
3
4
5
5
5
5
70
─
1
1
1
2
3
4
5
5
5
80
─
1
1
1
2
2
3
4
5
5
90
─
1
1
1
1
2
2
3
5
5
100
─
─
1
1
1
1
2
2
5
5
120
─
─
─
1
1
1
2
2
3
4
140
─
─
─
1
1
1
1
1
2
3
160
─
─
─
─
1
1
1
1
2
2
180
─
─
─
─
─
1
1
1
2
2
200
─
─
─
─
─
1
1
1
1
2
250
─
─
─
─
─
─
1
1
1
2
300
─
─
─
─
─
─
1
1
1
1
350
─
─
─
─
─
─
─
1
1
1
400
─
─
─
─
─
─
─
1
1
1
450
─
─
─
─
─
─
─
─
─
1
500
─
─
─
─
─
─
─
─
─
─
Model 920
リストストラップ・フットウエアチェッカー
■特 長
▶IEC61340 5-1準拠。
RCJS準拠。
▶リストストラップ、フットウエアを同時にチェック。
▶左右の靴抵抗を個別にチェック。
▶シングル、ダブル両タイプのリストストラップのチェックが可能。
▶判定出力機能（接点出力NC. NO）
。
▶DipスイッチによりIEC61340 5-1、JIS、ANSI規格の指定値に設定
可能。
▶高速判定…測定開始から判定までの時間が短かく作業がスムーズ。
■仕 様
上下限値設定
靴抵抗上限値........................................................ 10、
35、100、1000MΩ
靴抵抗下限値......................................................................... 100、750kΩ
リストストラップ上限値 ........................................................ 10、
35MΩ
リストストラップ下限値 .................................................. 750kΩに固定
測定電圧 .................................................................................................. 30V
精度 ..................................................................................................... ±10%
使用環境条件 ... 標高：2000ｍ以下、温度：5∼40℃ 湿度：31℃80%以下
（1GΩ測定時は50%RH以下）
電源 ................ ユニバーサルACDCアダプター100-240V 50/60Hz兼用
寸法 ............................ ボード：30.7cmW×0.6cmD×25.6cmH
本体：14.0cmW×3.0cmD×8.7cmH
フットプレート：41.0cmW×1.2cmD×36.0cmH
質量 ........................................ Model 920本体：700g（表示プレート含む）
10
非防爆仕様
オプション
Model 920-1
Model 920 判定値検査ボックス
フットプレート部：約3.4kg
11
表面電位計 測定距離と測定面積
Model 520, 876プローブ
DCフィードバック表面電位計の測定原理
DCフィードバック表面電位計の動作原理図を図5に示しま
ピーダンス整合回路で出力インピーダンスを0.01Ω以下とし
て出力する為、プローブ - 被測定面間の距離によって測定値に
す。プローブ内にはセンサ電極Seがあり、これを被測定面に
大きな誤差が生じることはありません。
接近させるとセンサ電極Seと被測定面間に静電容量Cが生じ
ます。この静電容量Cはプローブ内の音
図5 DCフィードバック表面電位計の動作原理図
によって変化させられ、これによりセンサ
Model 523, 884プローブ
70
25
60
20
測定距離
測定距離
50
15
10
(mm)
(mm)
5
30
20
10
0
50
100
150
200
測定スポットサイズ(mmφ)
0
250
150
200
250
300
測定スポットサイズ(mmφ)
5%エラー
10%エラー
Model 541プローブ
350
400
10%エラー
Model 542P-45Dプローブ
7
50
6
40
測定距離
測定距離
5
30
4
3
(mm)
(mm)
電極Seには表面電位を交流変調した信号
が誘起されます。この交流信号をプローブ
内プリアンプ、及び表面電位計ユニット内
増幅器にて増幅し、この増幅された信号を
同期検波することにより、出力信号を得る
ことができます。
従来一般の表面電位計は、この信号を出
力していましたが、この出力信号は上記の
静電容量Cに依存します。静電容量Cはプ
ローブ - 被測定面間距離dの逆数に比例し
ますので、C∝l/d、出力電圧もプローブ 被測定面間距離に依存し、電子写真用感光
ドラム等の表面電位のダイナミック計測に
は大きな誤差を及ぼします。
トレック社表面電位計は、上記の同期検
波出力信号を積分型高圧発生器に入力し高
電位を発生させ、プローブにフィードバッ
クします。これによってプローブボディの
電位は上昇し、やがて被測定面と同電位に
なります。プローブボディの電位が被測定
面と同電位になると、静電容量Cは打ち消
されます。トレック社表面電位計は、この
時の内部で発生した電圧を分圧し、イン
40
2
20
10
1
0
10
14
18
22
測定スポットサイズ(mmφ)
26
0
5%エラー
1%エラー
80
100 120 140 160
測定スポットサイズ(mmφ)
5%エラー
180
200
10%エラー
発振器
センサー電極Se
同期検波器
プローブユニット
増幅器
プリアンプ
積分器
高圧発生器
フィードバックループ
CAL
C d
V
表面電位ユニット
インピー
ダンス
整合
図2 表面電位計の測定距離と測定面積
図1 ハンディー型表面電位計の測定距離と測定面積
ACフィードバック表面電位計の測定原理
φ25mm
d:5mm
φ50mm
φ3mm
d:1mm
d:10mm
φ80mm
d:15mm
φ120mm
φ25mm
d:5mm
d:20mm
φ170mm
d:25mm
図3 測定精度対測定距離グラフ
φ70mm
d:10mm
ACフィードバック表面電位計の動作原理図を図6 に示しま
す。プローブ内電極を振動させ、試料表面電位の大きさに応
じた変位電流をプローブ内の電極に誘起させます。この変位
電流を増幅することにより試料表面の電位情報を含んだ交流
図6 ACフィードバック表面電位計の動作原理図
図4 測定スポットイメージ図
＋100
3800S-2：1mm／φ5mm
測定精度
541PR-S：2mm／φ10mm
（測定距離／測定スポット径）
センサー電極
測定表面
R
C
A1
0
Ｖ1
%( )
A2
Ｖ2
A.C.フィードバック
VM
－100
0.0
10.0
20.0
30.0
測 定 距 離 (mm)
Model 520
12
A.C. VFB
アンプ
一般電界計
40.0
発振器
520, 876：5mm／φ25mm
523, 884：30mm／φ150mm
VS
信号が得られます。ここまでは従来の表面電位計、静電電界
計と全く同じです。ACアンプ回路によって変位電流の振幅、
及び位相の情報を得、ACアンプは検出された変位電流信号と
異なる交流信号を発生させプロー
同一の振幅を持ち、位相180゜
ブの電極にフィードバックします。もしこの機器内部で発生
異
した交流信号が変位電流と同一で、且つ位相が正しく180゜
なった信号であればプローブ内電極に誘起される信号はゼロ
となり、内部で発生した交流信号は、位相差が既知の変位電
流と考えられ、この信号は測定面の表面電位の大きさ、極性
等の情報を含んでおります。即ち内部で発生した交流信号を
位相検波することにより測定面の表面電位の情報を得ること
ができます。変位電流の大きさはプローブ内部の電極に誘起
される電荷の密度に比例するので、プローブが置かれた点の
電位の大きさとプローブの電極の大きさに比例します。ここ
で、電極の大きさは一定でありますので変位電流の大きさは
プローブの置かれた点の電位の大きさのみに依存し、等電位
面の傾きが緩やかであればプローブと測定面間の距離が変
わっても誘起される変位電流の大きさに大きな変化は無く、
従って距離依存性の無い表面電位測定が可能となります。
13