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ECR イオン源からの イオンビーム引き出し効率の評価

ECRスパッタによる高品質 誘電体薄膜の低温形成

ECR成膜装置 [PDFファイル／287KB]

28 GHz 超伝導ECR イオン源の開発 p.183

ZnO導電性透明薄膜のECRスパッタによる作製技術の開発（PDF：815KB）

NIKALET ECR RCC

｢サニー 重留店｣

イオンシャワー装置 - 熊本県産業技術センター

平成 27 年度 エネルギー需給緩和型インフラ・システム

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