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実用 精密位置決め技術事典 - 産業技術サービスセンター
実用 精密位置決め技術事典 半導体関連装置，工作機械，計測関連機器などの各分野における目覚しい技術の 進展により，位置決め技術を取り巻く技術環境は大きく変化しており，また情報通 信関連や映像分野の機器を中心に新しい機器も出現している。 本書は，構造（弾性変形，熱変形など） ，アクチュエータ，センサと計測システム， 案内要素，制御法などの項目を挙げ，基本となる知識および位置決め技術との関連 について分かり易く記述した。また，第２編の実用事例では，半導体関連装置，工 作機械，センサ，計測システムなど，位置決め技術がきわめて重要な役割を果たし ている代表的な装置やシステムを選んで記述した。 さらに，現在大学や研究所において実施されている位置決め技術関連の先端的な 研究を記載した。 〔編集委員会〕 監 修 社団法人 精密工学会 超精密位置決め専門委員会 編集委員長 吉 本 成 香 東京理科大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士 編 集 幹 事 佐 藤 海 二 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 メカノマイクロ工学専攻 准教授 博士（工学） 編 集 委 員 茨 木 創 一 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 （50音順） 准教授 Ph.D 大 岩 孝 彰 静岡大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士 大 橋 康 二 ケーエスエス （株） 高 偉 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 教授 工学博士 白 石 昌 武 茨城大学 大学理事，副学長 工学博士 深 田 茂 生 信州大学 工学部 機械システム工学科 教授 工学博士 古 谷 克 司 豊田工業大学 先端工学基礎学科 教授 博士（工学） 牧野内 進 （株） ニコン 新事業開発本部 編 集 実用 精密位置決め技術事典 編集委員会 発 行 株式会社 産業技術サービスセンター 第１編 位置決め技術の基礎 第１章 総 論 2．応答からみた振動特性 3．リニアモータ 第１節 精密・超精密位置決め技術まで 3．誤差と振動特性（機械の許容振動） ・応用分野と特徴 4．振動制御技術 ・精密位置決め 1．精密と超精密 2．位置決めの基礎 5．精密機器の設置環境 4．多自由度アクチュエータ 3．位置決めの形態 4．誤差と分解能 第５節 界面特性とトライボロジー ・特 徴 ・開発状況 第２節 精密・超精密位置決め技術の現状 1．精密位置決めにおけるトライボロジー ・球面モータ型レーザ追尾距離計測装置 1．超精密・高速達成の秘訣 2．トライボロジーの基礎 5． ボイスコイルモータ(磁気ディスク装置) 1.1 ステッパのXYステージ 3． 精密位置決めのためのトライボロジー技術 ・磁気ディスク装置の構造 1.2 ピコメートル位置決め具体例 第３章 精密位置決めシステムの構成要素技術 ・VCM（ボイスコイルモータ） 1.3 ボールねじVSリニアモータ 第１節 基本構造体 ・HDDのアクチュエータの研究動向 1.4 インテリジェント制御法による長精 1．構造体と材料 第２節 固体アクチュエータ 1.1 鋳物構造体 1.2 溶接構造体 1．圧電アクチュエータ 第３節 超精密位置決めが可能になった理由 1.3 セラミックス 1.4 グラナイト ・形状と基本特性 ・特 徴 1 高精度・高分解能を得る方法 2．防振支持要素 ・技術動向・モデル化・設計上の留意点 1.1 粗微動による方法 3．締結技術 2．超音波モータ 1.2 変位センサの分解能と精度向上 第２節 案内要素 ・原理と物理 ・具 体 例 1.3 コントローラの性能向上 1．転がり案内 2．すべり案内 3．磁歪アクチュエータ 第４節 期待される次世代技術と問題点 3．静圧案内 4．磁気浮上案内 ・Ｆe-Ｇa合金の材料特性と精密加工 1．文献調査から見た動向 5．弾性変形案内 ・マイクロ磁歪振動子 2．アンケート調査から見た動向 第３節 動力伝達機構 ・位置決めデバイス 第２章 基幹性能を支配する現象と要因 1．送りねじ 第３節 流体アクチュエータ 第１節 形と運動の精度の定義と支配要因 ・ボールねじ・ローラねじ・すべりねじ 1．油圧アクチュエータ 1．置決め機構の拘束と自由度 ・静圧ねじ ・油圧の特徴・サーボ弁とサーボポンプ 2．形と偏差 2．摩擦駆動機構 ・関連事項 ・力の制御 3．運動における誤差成分 ・キャプスタン摩擦駆動機構・ツイスト 2．空気圧アクチュエータ の道のりと位置決めの基礎 密位置決 4．位置決め機構の構成原理と精度上の特質 ローラ摩擦駆動 ・動 向 ・基本特性 5．位置決め制御の力学と位置決め誤差 3．カップリング要素 ・空気圧シリンダ 6．位置決め精度の実際 ・カップリングの分類・心ずれの種類 ・回転形アクチュエータ 7．位置決め制度の支配要因 ・ねじり剛性・回転伝達誤差・軸反力 ・弾性変形アクチュエータ 第２節 弾性変形 ・補正式カップリング伝達特性 ・ソフトアクチュエータ 1．弾性体を支配する方程式 ・くさび式摩擦継手 ・空気圧ゴム人工筋 2．境界条件 4．減速器装置 3．機能性流体 3．Ａiryの応力関数 ・各種減速機装置 ・機能性流体の概要 4．仮想仕事の原理 ・減速機の性能評価指標 ・ERFを応用したマイクロアクチュエータ 5．形状創成理論に基づく解析の基礎 第４章 アクチュエータ ・MRFを応用したマイクロアクチュエータ 6．弾性変形を考慮した解析手順 第１節 電磁アクチュエータ ・ECFを応用したマイクロアクチュエータ 7．位置決め誤差による工作機械設計指針 1．ACサーボモータ 第４節 静電マイクロアクチュエータ ・種類と特徴・ダイレクトドライブモー 1．種々の静電マイクロアクチュエータ の導出 第３節 熱 変 形 タの種類と特徴 2．インチワーム静電アクチュエータ 1．工作機械の熱変形挙動 ・ACサーボモータの動作原理 2．熱変形機構と熱変形対策の基本 ・ACサーボモータ選定のポイント 3．熱変形解析と精度補償技術 2．ステッピングモータ ・スクラッチ駆動静電アクチュエータ 4．工作機械主軸系の冷却法と熱変形対策 ・ステッピングモータの特徴・構造 ・インパクト駆動アクチュエータ 5．工作機械送り系の熱変形挙動と対策 ・オープンループで動作できる理由 3． 対向探針のギャップ間隔のナノ位置決め 第４節 振動特性 ・ステップ角を決める要素 第５節 高分子アクチュエータ 1．機械系の振動特性 ・位置決め精度向上策 1．高分子アクチュエータの概要 ・微小駆動部とインチワーク静電アク チュエータ 2．EAPアクチュエータの各論 2．撮像素子 4．パワーアンプ ・イオン性高分子−金属複合体 ・CCD型イメージセンサ 第４節 古典制御によるアプローチ ・導電性高分子・イオンゲル ・CMOS型イメージセンサ 1．サーボモータによる位置決め系 ・誘電性エラストマー・液晶エラストマー ・CCD型とCMOS型センサの違い 2．補償の要素と開ループ系による設計 第５章 センサと計測システム ・出力方式 3 マイナーループを使った実際設計 第１節 変位センサ 3．画像処理による位置決め ・電流ループの設計 ・速度ループの設計 1．レーザ干渉測長機 ・多値画像からの対象検出 ・位置ループの設計 ・光波干渉測長法・干渉測長における課題 ・値画像からの対象検出 4．特性改善のための工夫 ・超精密測長技術 ・サブピクセル位置推定 第５節 現代制御によるアプローチ 2．リニアエンコーダ 第５節 計測評価システム 1．制御の基本的考え方 ・モアレ型エンコーダ・その他エンコーダ 1．形状測定機 ・応答に関して ・安定性に関して ・エンコーダの改良例 ・計状測定 ・３次元測定機 2．減殺制御理による設計 3．多自由度サーフェスエンコーダ ・幾何形状の測定および真円度測定機 ・設計の考え方 ・内部モデル原理 ・XY２自由度位置検出原理 ・粗さ測定機 ・状態方程式による位置決め系の定式化 4．原子グリッドエンコーダ 2．干 渉 計 ・定常偏差補償器 ・位置決め系の制御性 ・２グラファイト結晶格子とSTMを用 ・干渉計測とニュートリング 第６節 代表的なロバスト制御法 ・光源・光学系 ・干渉縞の記録 1．スライディングモード制御 ・実験装置と実験結果 いた原子グリッドエンコーダの原理 ・代表的な干渉計 ・縞走査技術 ・スライディングモード制御の考え方 5．静電容量型変位センサ 3．レーザ顕微鏡 ・精密位置決め機構への適用 ・基本特性 ・基本原理 ・レーザ走査顕微鏡 ・位置決め特性 ・センシング技術 ・測定精度 ・共焦点得レーザ走査光学顕微鏡による 2．繰返し制御とオートチューニング ・測定対象・測定表面上の膜圧の影響 三次元分解能 ・光子励起蛍光顕微鏡 ・繰返し制御 ・オートチューニング ・測定面分解度 4．走査プローブ顕微鏡（SPM） 3．モデルベースの制御系設計 第２節 角度センサ ・レーザ干渉計搭載型 ・制御対象モデル 1．ロータリエンコーダ ・リニアエンコーダ搭載型 ・モデルベースの制御系設計 ・ロータリエンコーダの構成 ・グリッドエンコーダ搭載型 第７節 外乱にロバストなオブザーバに ・インクリメンタル型とアブソリュート型 ・側壁測定用プローブと測定モード ・回転軸の連結 ・精 度 第６章 位置決めの制御法と制御装置 ・複数検出部を用いた偏心誤差の低減 第１節 位置決めシステムのダイナミクス ・校 正 ・トレーサビリティ体系 1．位置決めシステムの代表的な構成とそ 2．オートコリメータ の基本特性 よる制御法 1．位 置 制 御 系 に お け るPI制 御 と 状 態 フィードバック 2．外乱にロバストなオブザーバ 3．PI制御系への外乱にロバストなオブ ・基本原理 ・特 徴 2．精密機構のモデリング ・実際のオートコリメータ 3．マイクロダイナミクス 第８節 位置決めにおける非干渉制御法 ・特徴的オートコリメータ 4．工作機械の代表的な運動誤差要因 1．非干渉制御 第３節 速度，加速度センサ ・運動方向反転時の摩擦特性／速度と加 2．具体的設計法 1．レーザドップラ振動計 速度 ・象限突起の発生メカニズム ザーバの適用 3．極の設定 ・動作原理 ・特 徴 ・向芯化速度と象限突起高さとの関係 4．具 体 例 ・レーザドップラ振動計を使った計測 ・象限突起の発生に影響をおよぼす因子 ・フリンジカウント変位計ユニットを 第２節 位置決めシステムに求められる 第７章 シミュレーションを用いた 設計技術と性能評価技術 使った動弁系計測 性能と評価指標 第１節 工作機械のシミュレーションと 設計技術 2．加速度ピックアップ 1．評価指標とシステム特性 ・静加速度と動加速度（振動） ・評価指標の基本 ・汎用的な評価指標 ・緒 論 ・設計工程 ・サイズモ系 ・MEMS技術で構成し ・位置決めシステムの評価指標 ・有限要素法によるシミュレーション 2．制御性能とコントローラ構造 ・熱 解 析 ・MEMS加速度センサの構造例 た加速度センサの特性例 3．制御性能と制御方法 第２節 工作機械の精度評価技術 第４節 ビジョンセンサ 第３節 位置決め制御の動向 1．工作機械の運動精度評価法 1．光 学 系 1．半導体露光装置の動作の変化 ・マシニングセンタの検査規格 ・カメラレンズ ・被写界深度 2．ハードディスクの構造の変化 ・ボールバーを用いた円運動精度試験 ・テレセントリック光学系 ・照 明 3． 位置決め制御系と防振系，機台系との連成 ・交差格子スケールを用いた平面内の運 第３節 ３次元測定機の設計技術と精度 動精度試験 ・個々の機種に対応した精度検査規格 第４節 サーボモータと駆動制御系のシ 評価技術 ミュレーション ・マシニングセンタ以外の検査規格 1．３次元座標測定機の設計技術 1．ACサーボモータとDCサーボモータ 2．３軸加工機の空間精度の評価技術 ・CMMの概要と構成技術 2．ACサーボモータの回転子構造／制御 ・空間精度の評価 ・設計課題と設計技術の概要 3．モータ駆動制御のシミュレーション ・２次元平面上での運動誤差の測定 ・CMMのモデル・制御構造と設計指針 ・制御演算部のモデル 3．多軸加工機の精度評価技術 ・設 計 例 ・ＰＷＭインバータのモデル ・軸構成 ・精度評価規格 2．座標測定機の評価技術と校正 ・ＡＣサーボモータのモデル ・幾何偏差の同定方法 ・測定機の不確かさ要因・価技術 4．電磁界解析との連成 ・直進軸と旋回軸の同期運動精度 ・校正手法 ・ＣＭＭの遠隔校正法 5．熱解析との連成果 第２編 位置決め技術の適用事例 〔１〕半導体関連装置 ・発展の経過 ・適用製品 1．電子ビーム露光装置 5．超精密加工機と加工事例 ・大型機の高精度位置決め ・背 景 ・位置決め精度への要請 ・Ultra NANO 100の基本仕様 ・大型ジグボーラーの例 ・用いられる位置決め技術 ・機械系・制御系の技術要素 ・位置決め精度の誤差要因 ・評 価 ・加工動作 ・加 工 例 2．電 子 ビ ー ム 露 光 装 置 の 歴 史 とXYス 6．超精密送り位置決め装置と自由曲面加 テージ 工機 度位置決め加工の実例 ・横形マシニングセンタの高精度位置決め 〔３〕センサと計測評価システム 1．レーザ干渉計 ・レーザ測長の特長・測長原理概要 ・電子ビーム露光技術の歴史 ・装置の特性 ・装置の概要 ・誤差要因 ・最近の測長ニーズ ・XYステージ設計上の諸条件 ・適用事例 ・超精密加工の周辺技術 ・ソリューション 3．半導体露光装置 7．パラレルメカニズム工作機械 2．レーザファイバエンコーダ ・ナノ制御設計での注意点 ・加工分野のニーズ・機械の構造と特徴 ・レーザ干渉技術の利点・問題点の解消 ・ナノ精度の達成 ・キャリブレーション （校正） ・RLEの基本原理 4．液晶関連製造装置 ・基本性能の加工評価 ・加工事例 ・RLEレーザエンコーダのシステム ・精密位置決め装置の用途と駆動方式 8．複合加工機 3．リニアエンコーダ ・大型ステージの構成と性能 ・複合加工機の構造上の問題点 ・インクリメンタルエンコーダ 5．半導体ウエハ用チャック ・DBB法による精度調整と精度低下の ・アブソリュートエンコーダ 原因診断 ・複合加工機の構造改善 4．クロスグリッドエンコーダ ・種類と歴史・チャックへの要求条件 ・リングシール型ピンチャック ・静圧シール型真空ピンチャック 6．EUVリソグラフィとマスク技術 ・EUV露光装置 ・EUVマスク ・複合加工機Ｂの姿勢変化およびDBB 測定結果と考察 9．５軸マシニングセンタ（DDモータ回 転軸） ・KGM 181/182 ・その他のクロスグリッドエンコーダ 5．ロータリエンコーダ ・機能安全適応事例 ・重ね合せ精度・固有の問題・補正方法 ・DDモータ ・安全な位置計測システムの基本原理 7．ナノインプリント ・５軸マシニングセンタの仕様と設計 ・実際のシステム ・熱ナノインプリント・UV−NIL ・ダイレクト・ドライブモータの設計 ・２つの位置情報と付加情報の必要性 ・５軸マシニングセンタへの組み込み ・制御装置での留意点 10．加速性能と加工面品位の向上を実現 ・シリアルインタフェースの利便性 〔２〕工作機械関連機器 1．高精密加工機の運動精度評価 ・適用範囲・構成 ・性能評価 する重心駆動理論 6．静電容量型変位センサ 2．門型構造の超精密加工機 ・重心駆動の開発の背景と原理 ・運動転写機能の向上への技術的対応 ・重心駆動の利点 ・重心駆動の採用例 ・超精密化への開発コンセプト 11．熱変位補正適用のマシニングセンタ ・ハードディスクの測定事例 ・超精密加工機 ・加工サンプル ・実用化を考慮した熱変位推定予測 ・AFMでの適用事例 ・加工環境 ・熱変位補償システム ・適用結果 ・エンジンのオイルパンの熱膨張測定 3．超精密自由曲面加工機 12．完全非接触コンセプトのマシニング ・自動車のシャフトとスピンドルのイン ・概要・超精密加工機の位置決め技術 センタ ・１ch仕様での適用事例 ・センサ２∼ 多chでの適用事例 ・厚さ測定事例 プロセス測定事例 ・応用事例： ・超精密加工結果 ・構造面の特徴 ・加工事例 7．光ファイバー型変位センサ 4．超精密加工機と構成する要素技術 13．位置決め方式の変遷と大型機の高精 ・光ファイバー変位センサの原理 ・感度と分解能 ・光 源 ・光ピンセットとは ・光 学 系 ・光ファイバーバンドル ・ナノ計測手法 ・様々な照明方法 ・主要なアプリケーション ・トラップ力の評価 ・実際のデータ ・Nano-motion Actuatorの動作量の改善 8．加速度ピックアップ 4．マイクロファクトリ ・NMA-ｋ501の位置決め精度と安定度 ・加速度ピックアップの種類と特長 ・マイクロステージとマイクロ旋盤 4．制振技術の適用例 ・圧電式加速度ピックアップ ・マイクロファクトリの開発例 ・機械的方法 ・能動的方法 ・サーボ式加速度検出器 5．光ディスク製造 5．カップリング要素 ・ひずみゲージ式加速度検出器 ・ナノメートル位置決めシステム ・カップリングの役割， 構造と種類 ・静電容量式加速度検出器 ・位置計測系 ・運用方法とピッチむら ・振動原因 ・振動防止策 9．形状測定機 ・ナノスケールコントローラ 6．弾性変形を応用した一体型の変位拡 ・従来型測定機器の課題 6．ハードディスク ・最新の微細形状測定システムと技術 ・ヘッドによる位置信号検出 ・変位の拡大・縮小機構の原理 10．超高精度３次元測定機 ・アクチュエータ制御 ・変位拡大機構付きの位置決め用多ス ・超高精度３次元測定機―UA３P ・位置決め精度向上 ・UA３Pの独自開発技術 ・外乱抑制フィードフォワード制御 ・縮小機構付き多次元ステージの例 11．オートフォーカス法による３次元形 7．情報機器関連記録装置 7．圧電アクチュエータを使った超精密位 状／粗さ測定機 ・MOドライブ ・高速・高精度位置決め用Nano-motion Actuatorの開発 大・縮小機構 テージ 置決め事例 ・センサの原理および装置構成 ・一体型／分離型光ピックアップ ・システムの概要・高分解能化対応 ・装置の特長と測定能力 ・精／粗アクチュエータによる２段サーボ ・精密位置決めシステムの評価例 ・測定精度の検証と校正 ・１段サーボ 8．マイクロ部品のセルフアライメント ・外乱対策 ・測定事例 8．水平多間接ロボット ・メカトロニクスシステムの問題点とマイ 12．干 渉 計 ・SCRAロボットのキネマティクス ・位相シフト干渉計の基本原理 ・幾何学的誤差による精度 ・セルフアライメントの基本的考え方 ・複数干渉縞分離のためのフーリエ変換 ・キャリブレーション ・利用される吸引力の種類と例 ・リンク間の動力学的干渉 ・液体の表面張力を利用したマイクロ部 位相シフト干渉計 クロ部品組み立てに特化した解決方法 ・非球面測定の走査型フィゾー干渉計 ・非干渉化制御 ・走査型白色干渉計 9．産業用ロボット（2） ・高機能化セルフアライメント 13．レーザ顕微鏡 ・精密位置決めの課題 ・制御技術 9．リニアモータ一体型エアスライド装置 ・走査型共焦点レーザ顕微鏡とは ・軌跡精度 ・絶対位置決め精度 ・高信頼性測定のための要点 10．リニアモータを採用した高精度・高 ・走査機構とサンプリング 速短軸ロボット 品のセルフアライメント による精密位置決め ・開発のコンセプト ・空気浮上／磁気吸引複合型エアスライ 14．走査型プローブ顕微鏡SPM ・直動型単軸ロボットの動向 ・SPMにおける位置決め技術 ・構 造 ・特 徴 ・エアスライドテーブルの構成 ・SPMに微細加工への応用 ・アプリケーションの例 ・装置の特性 15．原子間力顕微鏡ＡＦＭ 11．防振装置 10．進行波型圧電ポンプ ・SPMとクローズドループスキャナ ・パッシブ除振装置・アクティブ除振装置 ・駆動原理・装置概要・流動実験 ・ナノリソグラフィ 12．燃料噴射バルブ 11．圧電式ジャークセンサ ・ナノマニピュレーション ・ピエゾインジェクタの構造と作動原理 ・測定原理 ・実験装置概要 ・インジェクタ内角構成要素の機能・構造 ・評価実験の結果 ・ソレノイドインジェクタとの性能比較 12．静圧ウオームラック送り機構 〔４〕最近の精密機器・情報機器関連装置 1．マイクロマシン／MEMS ・マイクロアクチュエータ 〔５〕大学・研究機関における研究 ドの原理 ・原 理 ・構 造 ・特 長 ・位置決めへの応用 1．圧電アクチュエータの変位制御法 13．ナノポジショナーの開発 2．バイオ操作（静 電） ・誘導電荷検出による変位制御 ・従来装置の問題点 ・装置の構成 ・誘電泳動によるバイオ操作 ・電流パルスによる駆動 ・微動機構の動作特性 ・性能評価結果 ・レビテーション 2．アザラシ型位置決め機構 14．SIDMアクチュエータを使った位置 ・レーザマニピュレーション ・移動原理・構 造・移動特性 ・その他の交流電界の電気力学的効果 3．高密度磁気記録再生評価装置に用いる 3．バイオ操作（2） （レーザなどによる光ピ ンセット） 高速・高精度アクチュエータ ・高密度磁気記録における精密位置決め 決めステージ ・SIDMアクチュエータの原理 ・精密ステージとコントローラの構成 ・位置決め・位置決め精度・応用例 【執筆者一覧】（50音順） 明田川正人 長岡技術科学大学 工学部 機械系 准教授 博士（工学） 足立 幸志 東北大学 大学院工学研究科 機械システムデザイン工学専攻 准教授 博士（工学） 小久保 尚 横浜国立大学 大学院工学研究院 小西 聡 立命館大学 理工学部 マイク 小森 研治 アジレント・テクノロジー㈱ メジャメント営業部 フィー 酒井 隆行 ㈱酒井製作所 取締役副社長 新井 泰彦 関西大学 システム理工学部 機械工学科 教授 工学博士 坂本 正文 日本電産サーボ㈱ 技術開発 荒井 義和 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 助教 博士（工学） 佐々木 健 ㈱交洋製作所 計測機器部 有賀 敬治 ㈱フェローテック 取締役 工学博士 佐藤 敦 キヤノンマーケティングジャパン 飯田 克彦 ㈱ナノコントロール 代表取締役 佐藤 海二 東京工業大学 大学院総合理 飯田 勝也 ＴＨＫ㈱ 技術本部 技術開発統括部 技術開発一部 部長 教授 博士（工学） 石島 秋彦 東北大学 多元物質科学研究所 教授 博士（工学） 佐藤 清志 レニショー㈱ キャリブレー 伊藤 彰啓 日本電産サンキョー㈱ 伊那事業所 開発２部 課長 工学博士 佐藤 光一 アジレント・テクノロジー㈱ 伊藤 和徳 ヤマハ発動機㈱ ＩＭカンパニー ロボットビジネス部 ロボット営業 グループ 主管 稲田 豊 太平洋セメント㈱ ＣＥカンパニー 研究開発部 エレセラチーム 井上 裕一 東北大学 多元物質科学研究所 助教 博士（理学） ス営業統括部 ナノ・ポジショニング営業部 アプリケ 佐藤 隆太 （前）東京農工大学大学院 助 所） 博士（工学） 井原 之敏 大阪工業大学 工学部 機械工学科 准教授 博士（工学） 篠原 慎二 TOTO㈱ セラミック事業部 茨木 創一 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 准教授 Ph.D. 渋川 哲郎 ㈱ジェイテクト 顧問 岩田 太 静岡大学 工学部 機械工学科 准教授 工学博士 嶋本 篤 ㈱ナノテックス 代表取締役 岩附 信行 東京工業大学 大学院理工学研究科 機械物理工学専攻 教授 工学博士 清水 伸二 上智大学 理工学部 機能創 上野 敏幸 東京大学 工学系研究科 精密機械工学専攻 研究員 博士（工学） 下田 博一 明治大学 理工学部 機械工 宇根 篤暢 防衛大学校 システム工学群 機械工学科 教授 工学博士 下村 栄司 三井精機工業㈱ 営業統括部 江澤 寛 オリンパスイメージング㈱ デバイス開発部 白石 昌武 茨城大学 大学理事，副学長 大岩 孝彰 静岡大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士 進士 忠彦 東京工業大学 精密工学研究所 大澤 尊光 （独）産業技術総合研究所 計測標準研究部門 長さ計測科 幾何標準研 鈴木 啓介 ㈱デンソー ディーゼル噴射 究室 主任研究員 博士（工学） 大下 功 安田工業㈱ 技術部 機械設計１課 主任 大塚 二郎 静岡理工科大学 理工学部 機械工学科 教授 工学博士 岡崎 祐一 （独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファク トリ研究グループ グループ長 博士（工学） 鈴木 紀和 （前）日本エー・ディー・イー㈱ テンコール㈱） 鈴木 隆之 （独）産業技術総合研究所 先 研究グループ グループ長 千田 治光 オークマ㈱ 研究開発部 要 岡部 憲嗣 ㈱ミツトヨ 川崎研究開発センタ 商品開発部 次長 曽和 義幸 オックスフォード大学 研究 恩田 一 静岡理工科大学 理工学部 電気電子工学科 教授 博士（工学） 高増 潔 東京大学 大学院工学系研究 鏡 慎吾 東北大学 大学院情報科学研究科 システム情報科学専攻 准教授 博士（工学） 竹下 虎男 ハイデンハイン㈱ セールスプ 樫原 圭蔵 ㈱森精機製作所 制御ハード開発部 ゼネラルマネージャー 田中 克敏 東芝機械㈱ 精密機器事業部 川田 善正 静岡大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士 田中 伸明 日本精工㈱ メカトロ技術開 北村 圭史 ㈱関ヶ原製作所 精密機器カンパニー マーケティンググループ 主任 田中 裕人 （独）科学技術振興機構 さき 久須美雅昭 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ㈱ 計測機器事業部 マグ 谷口 淳 東京理科大学 基礎工学部 ネスケール商品部 統括部長 久保田哲也 川崎重工業㈱ 技術開発本部 システム技術開発センター メカトロ開 発部 課長 黒澤 実 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物理情報システム専攻 准教 授 工学博士 小泉 孝一 ㈱ナガセインテグレックス 技術顧問 工学博士 津田 展宏 東海大学 工学部 精密工学 富田千登美 ファイブラボ㈱ システム部 冨田 良幸 住友重機械工業㈱ メカトロニ 友原 健治 ㈱安川電機 技術開発本部 中川 昌夫 オークマ㈱ 技術本部 中川 （機械部門） 高 偉 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 教授 工学博士 中川 泰俊 日本電子㈱ 執行役員 半導 幸田 盛堂 大阪機工㈱ 代表取締役常務執行役員 管理本部長兼技術担当 学術博士 中島 明生 ＮＴＮ㈱ 精機商品事業部 小金沢新治 富士通㈱ ストレージプロダクト事業本部 先行技術開発部 プロジェ 長野 鉄明 三菱電機㈱ 名古屋製作所 クト課長 博士（工学） マネージャー 院 機能の創生部門 特別研究教員 博士（工学） 中村 裕司 ㈱安川電機 技術開発本部 開発研究所 つくば研究所 部長 博士（工学） クロ機械システム工学科 教授 博士（工学） 中元 一雄 ㈱ソディック ナノリューションカンパニー カンパニー長 ㈱ ライフサイエンス・化学分析本部 ナノ 則次 俊郎 岡山大学 大学院自然科学研究科 産業創成工学専攻 教授 工学博士 ールドコンサルタント 羽賀 博 サムタク㈱ 技術部 マネージャー 長 羽根 一博 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 教授 工学博士 発本部 技術顧問 工学博士 羽山 定治 羽山技術士事務所 所長 技術士（機械部門） 博士（工学） 課長 廣島 真 ㈱ＴＡＩＹＯ ＮＰ事業部 Ｃユニット部 部長 ン㈱ 計測機器営業本部 ZYGO営業部 課長 理工学研究科 メカノマイクロ工学専攻 准 ーショングループ 部長代理 ㈱ 電子計測本部 ソリューション・ビジネ 深田 茂生 信州大学 工学部 機械システム工学科 教授 工学博士 福岡 創 東北大学 多元物質科学研究所 助教 博士（理学） 藤嶋 誠 ㈱森精機製作所 常務取締役 工学博士 藤田 博之 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター 教授 工学博士 二見 茂 ㈱システムの機能研究所 代表取締役 （前・㈱安川電機） 工学博士 ケーション・エンジニア 古川 裕彦 ㈱小野測器 営業本部 企画販促グループ リーダー 助教 （現・三菱電機㈱ 先端技術総合研究 古田 淳 ㈱ナノコントロール 開発部 部長 部 セラミック技術部 技術主査 古谷 克司 豊田工業大学 工学部 先端工学基礎学科 教授 博士（工学） 辺見 信彦 信州大学 工学部 機械システム工学科 准教授 博士（工学） 星 靖洋 ㈱小野測器 営業本部 営業企画ブロック 第１企画グループ 役社長 博士（工学） 前中 一介 兵庫県立大学 大学院工学研究科 電気系工学専攻 教授 工学博士 創造理工学科 教授 工学博士 真崎 和生 ㈱ニコン 精機カンパニー 開発本部 次世代プロジェクト室 工学科 教授 工学博士 益田 正 静岡理工科大学 理工学部 機械工学科 教授 工学博士 部 営業企画室 主査 松本 弘一 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 特任教授 工学博士 長 工学博士 三浦 勝弘 三鷹光器㈱ 第一製造部 部長 所 精機デバイス部門 准教授 博士（工学） 射技術２部 第４技術室 ㈱ 計測システム部 （現・ケーエルエー・ 先進製造プロセス研究部門 機能・構造診断 三島 望 （独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 エコ設計生産 研究グループ グループ長 博士（工学） 水野 勉 信州大学 工学部 電気電子工学科 准教授 工学博士 三隅伊知子 （独）産業技術総合研究所 計測標準研究部門 長さ計測科 幾何標準研 究室 研究員 博士（工学） 工学博士 水本 洋 鳥取大学 大学院工学研究科 情報エレクトロニクス専攻 教授 工学博士 要素開発課 課長 博士（工学） 村井 史朗 コマツＮＴＣ㈱ 理事 カスタマーズセンター長 究員 博士（理学） 村木 俊之 ヤマザキマザック㈱ 技術生産本部 新技術開発部第３グループ グ 究科 精密機械工学専攻 教授 工学博士 プロモーション部 技術顧問 博士（工学） ループリーダ 博士（工学） 森 英季 秋田県産業技術総合研究センター 高度技術研究所 上席研究員 博士（工学） 部 技術顧問 博士（工学） 森口 一豊 ㈱森精機製作所 主軸・ボールねじユニット部 ゼネラルマネージャー 開発センター 先端技術研究所 森山 茂夫 ものつくり大学 製造技能工芸学科 教授 工学博士 きがけ 研究員 博士（理学） 安田 正志 特許機器㈱ 専務取締役 技術開発本部長 博士（工学） 電子応用工学科 講師 博士（工学） 矢野 智昭 （独）産業技術総合研究所 知能システム研究部門 主任研究員 学科 教授 工学博士 薮谷 誠 ㈱不二越 機械製造所 技術二部 部長 部 代表取締役 山極 高 ㈱ミツトヨ つくば研究所 主席研究員 博士（工学） ニクス事業部 技術部 部長 博士（工学） 開発研究所 メカトロ技術開発グループ 川研究室 主管技師 工学博士 技術士 山本 一 ㈱ニコン 精機カンパニー 開発本部 第２開発部 横田 眞一 東京工業大学 精密工学研究所 教授 工学博士 吉住 恵一 パナソニック㈱ 高度生産システム開発カンパニー 技監 吉田 和弘 東京工業大学 精密工学研究所 准教授 工学博士 導体機器事業部 半導体機器本部 吉村 靖夫 東京工業高等専門学校 名誉教授 （社）日本時計学会 常任理事 工学博士 プロダクトエンジニアリング部 涌井 伸二 東京農工大学 大学院共生科学技術研究院 先端電気電子部門 教授 工学博士 開発部 電子技術制御グループ グループ 鷲津 正夫 東京大学 大学院工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻 教授 工学博士 渡部 秀夫 オリンパス㈱ 技術開発センター石川 MIS開発１部開発４Ｇ チームリーダー 精密・超精密位置決めを より高精度に、より高速に、より低価格に ■半導体装置関連 ■工作機械関連 ■計測機器関連 ■情報通信・映像関連機器、■構造（弾性変形、熱変形） ■アクチュエータ ■センサと計測システム■動力伝達機構 ■制御方法・制御装置 ■設計技術と性能評価技術 ■大学、企業、研究機関における先端研究事例の紹介 ●現場を熟知した120名の専門家が1,500点に及ぶ図・表・写真を駆使して解説した。 Ｂ５判 754頁 上製本 金額￥39,800円 ＋1,990円（消費税） 【申込方法】 ＊下記申込書を直接ＦＡＸもしくはe-mailにてお願いします。 ＊お支払いは図書が到着後，同封の請求書によりお願いします。 【送 付 先】 ㈱産業技術サービスセンター 販売部 110-0005 東京都台東区上野 5−6−11 電話 03−3833−3855 FAX ０３−３８３６−９１１９ e-mail：[email protected] 平成 年 月 日 『 実用 精密位置決め技術事典 』申込書 冊 ￥ 円 住 所 〒 会社名 所 属 氏 名 電 話 定価 41,790円（税込）