クリーン機器総合カタログ

クリーン機器総合カタログ
本
社 ：〒531-0076 大阪市北区大淀中1-5-1
営業問い合わせ ：TEL：06-6451-3389 FAX：06-6451-3369
技術問い合わせ ：TEL：06-6451-3341 FAX：06-6451-3342
http://www.seamec.co.jp/clean
2015.10
はじめに
目次
「最適環境空間の提供」
① ＦＦＵ（Ｐ３～６）
【おススメ商品】
・ＤＣファン使用による高い省エネ効果。
多段速運転フリー電源対応ＦＦＵ・・・・・・Ｐ３
・防爆エリアに設置可能なＦＦＵ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ｐ６
ワ
③
ク
リ
ー
ン
ブ
ー
【おススメ商品】
・移設が容易な簡易的なエアシャワー・・・・・・・・・・・Ｐ８
・花粉や浮遊菌をシャットアウトするエアシャワー・・Ｐ９
【おススメ商品】
・吹出面にパンチングを装備し、均一急流を
供給するクリーンスタンド・・・・・・・・Ｐ２２
・クリーンルーム内で発生した塵埃を速やかに
回収・排気する集塵機・・・・・・・・Ｐ２４
ー
⑤ その他クリーン機器（Ｐ１９～２４）
② エアシャワー（Ｐ７～１０）
②
エ
ア
シ
ャ
当社は1948年創立（1943年創業）以来、電気、計装制御、空調、給排水、衛生設備の設計・
施工を行なう総合エンジニアリング会社として、工場、プラント、公共施設等で数多くの施工
実績を積んできました。
1984年には、大阪府堺市に堺技術研究所を開設し、半導体製造向け超クリーンルーム、食
品、医薬品向けバイオクリーンルーム等の設計・施工を行ないました。この過程で培ったノウ
ハウを生かし、様々なクリーン機器の開発にも取り組んできました。
お客様のご希望する「最適環境空間の提供」を理念に開発したクリーン機器を本カタログで
紹介致します。お客様の生産技術のみならず品質管理のご要望にお答えできると存じます。
①
Ｆ
Ｆ
Ｕ
ス
④ イオナイザー（Ｐ１５～１８）
ー
【おススメ商品】
・超薄型、小型設計によるイオン送風機・・・Ｐ１６
・防爆エリアで使用可能なイオナイザー・・・Ｐ１８
④
イ
オ
ナ
イ
ザ
⑤
そ
の
他
機
器
③ クリーンブース（Ｐ１１～１４）
【おススメ商品】
・組立・分解が容易に出来るクリーンブース・・・・・・・・Ｐ１１
・防爆エリアの設置可能なクリーンブース・・・・・・・Ｐ１４
⑥
環
境
診
断
ツ
⑥ 環境診断ツール（Ｐ２５～２８）
ー
【おススメ商品】
・気流・温度・パーティクルの解析シミュレーション・・・・・・Ｐ２５
１
ル
２
⑦
技
術
資
料
省エネＦＦＵ
省エネＦＦＵ
■ 省エネＦＦＵ（標準タイプ） ■
①
Ｆ
Ｆ
Ｕ
■ 省エネＦＦＵ（ＫＤＣシリーズ） ■
特長・仕様
特長・仕様
製造工程毎に異なる広さの局所的クリーン化に最適
１） DCファン使用による高い省エネ効果
２） 外部接点による多段速運転が可能
３） フリー電源対応 （1Φ100～240Ｖ）
４） ヒューズ、ＳＷ、運転ランプ付き
標準型FFUとして、局所的なクリーン化若しくは生産装
置に直に取り付けクリーン化対策に最適
１） DCファン使用による高い省エネ効果
２） 外部接点による多段速運転が可能
３） フリー電源対応 （1Φ100～240Ｖ）
４） ヒューズ、ＳＷ、運転ランプ付き
UM-915KDC
UM-610KDC
型式
外形寸法（mm)
型式
UM-610KDC
UM-915KDC
寸法／重量（ｋｇ）
610W×610D×152H／10㎏
915W×610D×152H／18㎏
風量
(m3／ｍｉｎ)
消費電力
（Ｗ）
省エネ効率
(w／m3）
騒音
ｄB(A)
風量
（m3／ｍｉｎ）
消費電力
（Ｗ）
省エネ効率
(w／m3）
騒音
ｄB(A)
強
9.3
84
9.03
58
16.4
133
8.10
59
中
8.3
66
7.95
56
14.1
103
7.30
57
項目
3段
弱
7.3
52
7.12
55
11.7
78
6.67
材質
SUS430
SUS430
電源
１Φ100～240V
１Φ100～240V
不織布(FS1705W)
不織布(FS1705W)
0.3μm粒子に対し99.99%以上
0.3μm粒子に対し99.99%以上
プレフィルタ
捕集効率
①
Ｆ
Ｆ
Ｕ
UM-KDCｼﾘｰｽﾞ
UM-250KDC
UM-350KDC
UM-500KDC
UM-1220KDC
250W×250D×122H
350W×350D×122H
500W×500D×152H
1220W×610D×152H
風量
(㎥／min)
最大
1.47
2.87
5.39
19.7
最小
0.69
1.23
3.07
12.5
騒音値
(dB(A))
最大
54
64
51
62
最小
48
53
45
56
プレフィルタ
不織布
メインフィルタ
構成
HEPAフィルタ
本体
55
SUS製
ファン
DC軸流ファン×1
捕集効率
DC軸流ファン×2
0.3μm粒子に対し99.99%以上
1Φ100～240
電源
周波数
50／60Ｈｚ
消費電力
(W)
最大
20
37.5
40
182.5
最小
10
15
20
110
3
5
8
19
UM-500NDC
UM-610NDC
UM-760NDC
UM-1220NDC
500W×500D×155H
610W×610D×155H
760W×610D×155H
1220W×610D×155H
重量（ｋｇ）
■ 省エネＦＦＵ（ＮＤＣシリーズ） ■
図 面
特長・仕様
鋼板仕様で製作したＦＦＵ。局所的クリーン化に最適
１） DCファン使用による省エネ設計
２） 超軽量設計
３） フリー電源対応 （1Φ100～240Ｖ）
４） 風量調節可能
型式
外形寸法（mm)
UM-NDCｼﾘｰｽﾞ
風量
(m3／min)
最大
6.3
9.0
11.3
15.3
最小
4.5
6.3
9.0
12.6
騒音値
(dB(A))
最大
53
57
59
最小
48
48
55
55
48
オプション
プレフィルタ
構成
樹脂成型サランネット
メインフィルタ
HEPAフィルタ
本体
鋼板製焼付塗装
ファン
DC軸流ファン×1
捕集効率
電源
1Φ100～240Vに対応
周波数
①コントロールボックス
（風量調整＋ＯＮ／ＯＦＦ）
②コントロールボックス
（本体装着）
３
③コントロールボックス
（風量調整）
消費電力
(W)
重量（ｋｇ）
DC軸流ファン×2
0.3μm粒子に対し99.99%以上
50／60Ｈｚ
最大
41
60
72
94
最小
20
24
46
55
8.5
10
11
19
４
小型クリーンモジュール／防爆クリーンモジュール
薄型ＦＦＵ／小型多風量ＦＦＵ
■ 薄型ＦＦＵ ■
①
Ｆ
Ｆ
Ｕ
■ 小型クリーンモジュール
特長・仕様
特長・仕様
クリーンブース、クリーンベンチ、クリーン保管庫等の用途に対応
小型のクリーンブース、クリーンベンチ、クリーン保管庫等の用途に対応
１） 簡易なHEPA交換（パッチン錠）
２） 材質は鋼板製・SUS製どちらでも製作可能
３） 垂直・水平設置可能
４） プレフィルタ（不織布）オプション対応
１） 省エネ
２） 軽量薄型
３） 性能アップ
４） コストダウン
UM-610-1AC／3AC
型式
50Hz
外形寸法（mm)
UM-915-1AC／3AC
60Hz
50Hz
610W×610D×199H
50Hz
60Hz
610W×610D×65H
外形寸法（mm）
1220W×610D×50H
1Φ100Vまたは3Φ200V 50／60Hz
風量（m3／min）
10.8
9.4
12.6
12.6
13.1
13.2
電源
3Φ200V
11.9
12.1
13.8
14.1
15.5
15.5
消費電力（W）
1Φ100V
105
125
105
125
105
125
重量（ｋｇ）
3Φ200V
110
135
110
135
110
135
14.8
UM-645K(S)
235W×235D×135H
340W×340D×170H
645W×340D×170H
鋼板製・SUS製
捕集効率
1Φ100V
重量（ｋｇ）
UM-340Ｋ(S)
0.3μm粒子に対し99.97％以上
フィルタ
不織布
電源
UM-235K(S)
材質
915W×610D×65H
プレフィルタ
型式
1220W×610D×184H
0.3μm粒子に対し99.99%以上
ＨＥＰＡフィルタ
消費電力(W)
60Hz
SUS製
捕集効率
風量（㎥／min)
UM-1220T-1AC／3AC
915W×610D×199H
材質
①
Ｆ
Ｆ
Ｕ
17.9
ﾒｲﾝﾌｨﾙﾀ：HEPA
0.6／0.8（50／60Hz)
2.6／3.2（50／60Hz）
4.3／5.3（50／60Hz）
1Φ100V、50／60Hz
15／15
40／40
40／40
3
6
9
20.1
■ 防爆クリーンモジュール ■
特長・仕様
■ 小型多風量ＦＦＵ ■
特長・仕様
１） 防爆エリアに手軽にクリーンブースが設置できます。
２） 生産装置に搭載できます。
３） 材質は鋼板製・SUS製どちらでもお選びできます。
１） お客様の生産装置に直に搭載できる大風量タイプを開発
２） 吹出し風速約１．３ｍ／ｓを確保
３） マノメータを標準装備
型式
型式
UM-4030K
BCM-750N-AB
外形寸法(mm)
750W×750D×770H
材
質
鋼板製・SUS製
風
量（ｍ３／ｍｉｎ）
13／17
外形寸法（mm)
400W×300D×340H
機外静圧
0Pa
材質
鋼板製
捕集効率
0.3μｍ粒子に対し99.97%以上
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97％以上
プレフィルタ
フィレドンフィルタ PS-150
ファン
安全増防爆型シロッコファン(※１）
フィルタ
ﾒｲﾝﾌｨﾙﾀ：HEPA ﾌﾟﾚﾌｨﾙﾀ：不織布
風量（㎥／min)
5.5／7.1（50／60Hz)
消費電力(W)
220／340（定格400W）
電源
1Φ100V 50／60Hz
単体騒音(dB(A))
70dB(A) 吹出し口から1m直下にて(※2)
重量（ｋｇ）
77
消費電力（W)
150／170
吹出口
パンチングメタル Φ3×5P
重量（ｋｇ）
18
５
電
源
3Φ200V 50／60Hz
※1 耐圧防爆仕様も製作できます。
※2 吸音材使用の場合、56/60dB(A)
※3 ユニット内部は防爆フレキ接続済み。
６
標準型エアシャワー／エアシャワー付きパスボックス
スマートエアシャワー
■ 標準型エアシャワー ■
■ スマートエアシャワー ■
特長・仕様
特長・仕様
1100W×1000D×2000H
1200W×1000D×2000H
風量（m3／ｍｉｎ）
7.8 以上
15.6 以上
吹出風速（ｍ／ｓ）
23 以上
23 以上
外形寸法（mm)
ワ
捕集効率
ﾒｲﾝﾌｨﾙﾀ：HEPA ﾌﾟﾚﾌｨﾙﾀ：不織布
LED照明
パンカールーバー
本体：鋼板製
ドア：ｱﾙﾐ框ﾄﾞｱ 前室側／ＣＲ側：手動
窓：透明ｶﾞﾗｽ3t
床：SUS304製
機械式インターロック付
構造
片吹き(AS-8090-S)
吹出口数（個）
8 （Φ30）
16 （Φ30）
ファン台数(台）
1
2
照明灯
運転ランプ
人体センサ
電源スイッチ
プレフィルタ
16W×1灯
操作
ｴｱｼﾞｪｯﾄ切替（自動・手動）ｽｲｯﾁ
照明灯ｽｲｯﾁ ｴｱｼﾞｪｯﾄﾀｲﾏｰ（0～60秒）
電源
3Φ200V 50／60Hz
消費電力（W)
1100W／1600W
220
250
重量（ｋｇ）
転倒防止板
ＳＡＳ－０４
600W／800W
型式
１） クリーンルーム内の清浄度を維持する為に、パスボックス内にエアシャワ－機能を搭載
エアーノズルから吹き出すジェット気流により、物に付着した塵埃や菌を洗浄します。
２） 上面ノズルからエアージェットを噴出し、下面から吸込みます。
３） インターロック付
型式
PB-868-AS
４） 特注品製作対応可能
SAS-04（一列ﾀｲﾌﾟ)
SAS-13（多方向吹きﾀｲﾌﾟ)
500W×200D×1700H
1000W×500D×2100H
ｴｱｼﾞｪｯﾄﾉｽﾞﾙ
樹脂製ﾊﾟﾝｶｰﾉｽﾞﾙ×4個
樹脂製ﾊﾟﾝｶｰﾉｽﾞﾙ×8個
樹脂製ﾊﾟﾝｶｰﾉｽﾞﾙ×13個
風量（㎥／min）
約5
約11
約13
風速（m／s）
約26
約26
約19
捕集効率
0.3μm粒子にて99.97％以上
ﾌｨﾙﾀ
ﾒｲﾝ：HEPA ﾌﾟﾚ：不織布
運転時：最大750
待機時：1
運転時：最大７７５
待機時：１０
60（転倒防止板含む）
96（転倒防止板含む）
風量(m3／min)
3.9
塗装色
鋼板製焼付塗装仕上げ
風速(m／s)
23 以上
電源
1Φ100V（50／60Hz）
消費電力(W)
運転時：最大275
待機時：1
底面：SUS304パンチング板
制御
ｲﾝﾊﾞｰﾀによる制御
窓：透明ガラス
操作ﾊﾟﾈﾙ
運転ｽｲｯﾁ、運転ﾗﾝﾌﾟ
運転
人体ｾﾝｻによる自動運転
プレフィルタ：不織布
メインフィルタ：HEPAフィルタ
材質：鋼板製焼付塗装仕上
吹出口数(個)
4 （Φ30）
電源
3Φ200V 50／60Hz
消費電力(W)
約450／500
安全保護回路
漏電検知、ﾌｧﾝ過負荷保護
重量（ｋｇ）
約200
重量（ｋｇ）
40（転倒防止板含む）
７
SAS-08（二列ﾀｲﾌﾟ）
500W×200D×1500H
1050W×880D×1550H
構造
ＳＡＳ－１３
外形寸法(mm)
寸法
フィルタ
オプション：簡易ブース
ＳＡＳ－０８
ブース内にスマートエアシャワーを
設置して、エアーシャワールーム
としてご使用になれます。
■ エアシャワー付きパスボックス ■
特長・仕様
②
エ
ア
シ
ワ
0.3μm粒子に対し99.99％以上
フィルタ
両吹き(AS-8090-W)
■多方向吹きタイプ
１） 3方向からエアジェットがあたるタイプです。
２） エア吹出し位置を非対面に配置しましたので
均一にエアがあたります。
３） 100Ｖ電源で稼動します。
４） コンパクトで手軽に設置・移動ができます。
５） 簡易ブースと組み合わせて
シャワールームとしてご使用いただけます。
ー
AS-8090-W
ー
型式
■一方向吹きタイプ
１） 組立・設置が簡単に行えます。
２） 100Ｖ電源で稼動します。
３） 風速26ｍ／ｓの強力ジェットエアで
ホコリを吹き飛ばします。
４） コンパクトで手軽に設置・移動ができます。
５） 簡易ブースと組み合わせてシャワールーム
としてご使用いただけます。
ャ
AS-8090-S
ャ
②
エ
ア
シ
１） エアシャワーはクリーンルームの出入口に設置し、作業員の衣服や身体および材料や製品に
付着した塵埃、微粒子をジェットエアにより吹き飛ばし、エアフィルタで除去する装置です。
２） 入室者や製品がエアシャワー内に入室すると、ノズルから風速23ｍ/ｓ以上の清浄空気が
吹き出され、衣服などに付着した塵埃や微粒子を除去します。
３） 吹き出しノズルは片吹き、両吹きを用意しています（特注品製作対応可能）。
８
一様流エアシャワー／シートシャッター式エアシャワー
内圧防爆型エアシャワー／物品用エアシャワー
■ 一様流エアシャワー ■
■ 内圧防爆型エアシャワー ■
特長・仕様
特長・仕様
１） 花粉や浮遊菌をシャットアウト
１） ファン、蛍光灯は安全増防爆構造
２） 制御盤はエアパージ式防爆構造
・制御盤内圧力が200Ｐａ以下で警報
・制御盤内圧力が50Ｐａ以下でトリップ
３） エアシャワー内はＳＵＳ貼りで水洗い可能
４） インターロックはエアシリンダーを使用
・ジェットエアーで人や物に付着した塵埃や菌を除去します。
・気流整流装置で一様流を形成し、浮遊塵埃や浮遊菌を効率よく回収します。
２） 食品／製薬クリーンルームに最適
３） 二酸化塩素ガス（オプション）で除菌
・人や物に付着した菌の除菌を行います。
二酸化塩素ガス供給装置（オプション）
外形寸法(mm)
1300W×1000D×2300H
有効寸法(mm)
800W×1000D×1900H
材質
鋼板製焼付塗装
循環風量(m3／min)
最大11±10%（風速：0.50m／ｓ±10%）
気流整流装置(SUS製)
760W×610D×40H
循環用HEPAフィルタ
0.3μm≦99.99％以上 760W×610D×50t
風量(m3／min)
標準寸法(mm)
風速(m／s)
25以上
吹出口(個)
8 （アルミ製Φ30）
起動方式
近接スイッチ：ON/タイマー：OFF
５） 粉体を取り扱う工場に最適
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97％以上
６） 特注品製作対応可能
フィルタ
メインフィルタ：ＨＥＰＡ プレフィルタ：不織布
構造
材質
鋼板製焼付塗装
床
SUS304 （ヘアライン仕上げ）
ドア
アルミサッシュ
ワ
照明
20W×1灯（安全増防爆型）
操作盤
自動・切・手動切替
照明入・切セレクトスイッチ、差圧計
13.7（風速：23m／s以上） ノズル16個
送風機
シロッコファン0.4kW （安全増防爆型）
エアシャワー用HEPAフィルタ
0.3μm≦99.97％以上 610W×610D×75t×2枚
消費電力(W)
500
床吸込み口
SUSグレーチング+サランネット
電源
3Φ200Ｖ 50／60Hz
壁吸込み口
プレフィルタ：不織布
重量(kg)
約450
照明
16W×1灯
電源
3Φ200V 50／60Hz
消費電力(W)
1600
重量(kg)
320
二酸化塩素発生装置（※1）
エアポンプによる配管供給 （※１ 改造品対応）
エアシャワー入口側
■ 物品用エアシャワー ■
■ シートシャッター式エアシャワー ■
特長・仕様
AS-8090-W-AS
型式
１） エアシャワーとシートシャッターを一体化
２） 引き戸タイプに比べ省スペースとコストダウン
を実現
３） 食品工場・製薬工場等の塵埃除去や防虫
外形寸法(mm)
1500W×1520D×2290H
風量(m3／min)
15.6
吹出風速(m／s)
23 以上
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97％以上
フィルタ
対策に有効
特長・仕様
型式
原材料を工場内に搬入する際、生産現場への
ゴミの持ち込みを防止します。
１） 入口・出口コンベアと連動し、
搬入・エアシャワー・搬出
までを自動化
２） 自動扉を採用
外形寸法(mm)
1720W×1000D×1720H
吹出風速(ｍ／s)
20以上
吹出口数(個)
6
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97％以上
アルミサッシュドア
透明ガラス、両引自動ドア
４） 特注品製作対応可能
照明
なし
プレフィルタ：不織布
材質
鋼板製焼付塗装
メインフィルタ：ＨＥＰＡフィルタ
送風機
1台
本体：鋼板製焼付塗装仕上
４） 挟まれ防止センサ内蔵
高密度シートシャッター
構造
５） 特注品製作対応可能
ドア
前室側：自動
コンベ
ア
クリーンルーム側：自動
９
BAS-0810-W-AD
出入口扉
３） 挟まれ防止センサー内蔵
吹出口(個)
16 （アルミ製Φ30）
ファン数(台)
2
照明
20W×1灯
操作
照明灯SW、エアジェットタイマー（0～60秒）
電源
3Φ200V 50／60Hz
消費電力(W)
約1200／1700
重量(kg)
約380
名称
駆動ローラー付きコンベア
ﾛｰﾗｰ
スチール製（メッキ）
架台
スチール製
電源
3Φ200V 50／60Ｈｚ
配置
1ｍ×3台（前室側、ＰＢ内、ＣＲ側）
3Φ200V 50／60Ｈｚ（シャワー用）
電源
１０
1Φ100V 50／60Ｈｚ（自動扉用）
消費電力(W)
500／650
重量(kg)
約250
②
エ
ア
シ
ー
ー
ワ
AS-0811-S-IB
1500W×1100D×2250H
ャ
ＡＳＬ－８０１０Ｗ
型式
ャ
②
エ
ア
シ
・菌をクリーンルーム内に持ち込みません。
型式
簡易組立式クリーンブース
簡易組立式クリーンブース
■ 簡易組立式クリーンブース ■
特 長
■ 簡易組立式クリーンブース ■
アルミフレーム組立方法
１） 組立・分解が容易で、組立すぐに使用可能
Ｔﾛｯｸ
・2名で約半日で組立てが完了
２） フリー電源対応（1Φ100～240Ｖ）
３） 一人でも簡単にフィルタ交換が出来るガスダンパー方式を搭載
４） クリーンブースを任意のサイズで製作可能
５） クラス1000（ＩＳＯクラス6）及びクラス10000（ＩＳＯクラス7）の清浄度に対応
６） 生産設備のクリーン化や一時的にクリーン空間が必要な場合に最適
７） ご注文後短納期で納品可能
③
ク
リ
２．フレームを差し込み、テーパ
ボルトを締める。
１．Ｔロックを溝に入れる。
③
ク
リ
３．完成
ー
ー
ン
ブ
ン
ブ
ー
ー
各パーツの詳細
ス
ス
ｶﾞｽﾀﾞﾝﾊﾟｰ
「パチッ」と簡単！カーテン固定
●専用のシート抑えによりシンプルで美しい固定
清浄度クラス
外形寸法
(mm)
構造
クラス1000(ISOクラス6)
クラス10000(ISOクラス7)
幅(W)
2000
3000
3000
4000
奥行（D)
2000
3000
3000
4000
高さ(H)
2000
天井部
帯電防止塩ビシート（透明)
側面部
帯電防止塩ビシート（透明)
出入口
帯電防止塩ビシート(カーテン）
FFU
台数（台)
●組立て時の工数削減に重点を置いて開発された構造用アルミフレームシステムです。
●独自のＴロック結合方式を取り、差し込んで締めるだけの簡単結合です。
ガスダンパーを搭載（一人でも簡単にフィルタ交換可能）
UM-915KDC（915w×610D×152H)
1
2
1
2
風量(m3／min)
16.4
32.8
16.4
32.8
換気回数(回／h)
123
109
54
61
消費電力(W)
133
266
133
266
電源
1Φ100～240V
オプション
１１
照明、キャスター等
１２
標準型クリーンブース
高精度温湿調クリーンブース／防爆型クリーンブース
■ 高精度温湿調クリーンブース ■
■ 標準型クリーンブース ■
特長・仕様
特 長
１）
２）
３）
４）
５）
電子機器、精密機械、医薬品等の製造工程及び食品加工場、病院等、塵
埃・細菌・異物混入を嫌う場所に対し、必要な清浄度に応じたクリーンな環
境を提供する装置です。
1) 組立式なので容易にクリーンな空間ができます（特注品製作可能）。
2) アジャスター・キャスターが付いているため、高さ調節や移動が
簡単に行えます。
3) 材質は鋼板製・SUS製以外に、搬入・据付・移動を容易にするため、
アルミ部材での製作も可能です。
※一般空調のない建屋内では、プレハブクリーンルームで対応いたします。
型式
構造
・帯電防止塩ビシート
・帯電防止PETパネル
・アルミサンドイッチパネル
・ＳＵＳ 他
(A)CB-3-
2020
清浄度
3020
4020
2020
清浄度
クラス10000（ISOクラス7)
冷却能力
3.2／3.6kW
加熱能力
1.5／1.7kW
風量
7～10m3／min
加湿能力
5.0kg(純水：電気伝導率1～10μS／cm)
加湿用空気
0.4～0.9MPa 38NL／min
本体重量（ｋｇ）
215
電源・電力
3Φ200V(50／60Hz)、2.2kW
クラス100(ISOクラス5)
2000
3000
2020
クラス1000(ISOクラス6)
4000
2000
3000
奥行（D)
2000
高さ（Ｈ）
2500
天井部
4020
鋼板製クリーンブース：鋼板(SPCC)1.0t
3020
4020
寸法：610×610×150ｔ
4000
2000
3000
4000
アルミ製クリーンブース：帯電防止塩ビシ－ト（透明）
側面部
帯電防止塩ビシ－ト（透明）
出入口
帯電防止塩ビシ－ト（カ－テン）
捕集効率：0.3μm粒子に対し99.97％以上
特長・仕様
クラス10000(ISOクラス7)
１）
２）
３）
４）
防爆エリアに手軽にクリーンブースが設置できます。
可燃ガス・引火性溶液等を扱っている場所に対応
安全増／耐圧防爆仕様に対応
特注品製作対応可能
型式
ＢＣＢ－５－３０３０
標準寸法（ｍｍ）
柱
構
材
3000W×3000D×3300H
アルミ材（鋼板／SUS製も可能）
天井部
鋼板製（SUS製も可能）
側面部
塩ビ製（鋼板／SUS製も可能）
造
UM-915
UM-915
UM-915
UM-915
UM-610
UM-915
UM-610
UM-610
UM-915
出入口
帯電防止塩ビシート（カーテン）
台数（台）
4
6
8
1
2
2
1
1
1
清浄度
クラス100000 (ＩＳＯクラス8)
風量(m3／min)
52
78
104
13
30
26
10
10
13
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97%以上
換気回数（回／h）
312
312
312
78
80
78
60
40
39
風量
13／17m3/min以上
32W×2灯
32W×2灯
32W×2灯
32W×2灯
32W×2灯
32W×2灯
32W×2灯
32W×2灯
32W×2灯
1
2
2
1
2
2
1
2
2
クリーンモジュール
BCM-750N-AB
480/600
760/940
960/1000
180/210
360/408
360/420
180/204
260/284
260/290
電源
3Φ200V 50／60Hz
照明
台数（台）
消費電力(W)
電源
防爆型
クリーンモジュール
防爆型クリーンブース 生産装置対応防爆型クリーンブース
3Φ200V （50/60Hz)
１３
１４
ン
ブ
ス
■ 防爆型クリーンブース ■
(A)CB-4-
3020
冬期：20℃、50%
③
ク
リ
ー
ー
24℃±0.1℃、50%±1%
HEPAフィルタ
(A)CB-2-
FFU
天井部
側面部
吹出口温湿度
精密
温湿
調ユ
ニット
型式－
構造
アルミ製40×40、40×80フレーム他
夏期：28℃、50%
仕様表
幅（W)
柱材
周囲空調雰囲気
ス
アルミ製クリーンブース
2000Ｗ×2000D×2500H
ー
ー
ン
ブ
標準
寸法
(mm)
ACB-4-2010-CHT
標準寸法（ｍｍ）
鋼板製クリーンブース
図 面
③
ク
リ
クリーンブースに高精度な温度・湿度環境を付加
省エネルギー機器を採用
温湿調クリーンルームにも対応可能
短工期での施工が可能
特注品製作対応可能
ＤＣタイプイオナイザー
ＡＣタイプイオナイザー／ＤＣタイプイオン送風機
■ ＤＣタイプイオナイザー ■
■ ＡＣタイプイオナイザー ■
特長・仕様
特長・仕様
１） フレキシブルＡＣ方式でエアパージタイプ
２） ローメンテナンス構造
・放電針ピッチは80mm
・放電針の交換はワンタッチで簡単
・メンテナンス時期を表示でお知らせ
３） 距離に合わせた最適周波数による除電が可能
４） イオンバランスをオートコントロール
５） リモコンで遠隔操作が可能 （リモコンはオプション）
６） バー本体長は370～1410mmまで6種類
７） 1電源で最大7本のバーまで接続可能
１） 電源部と電極部間は低圧配線で安全
２） クリーンベンチやクリーンブース内で発生する
静電気除去に最適
３） 設置環境に合わせてイオン出力方式
（パルスＤＣ・ダブルＤＣ）が選択可能
４） ご使用に応じてイオンバランスを
低電圧にコントロールできるように、
バー1本毎にイオンバランス調整ボリュームが
搭載され最良イオン発生が可能
５） エアシャワー用フィルタ下流側に取り付けてご使用できます。
ｴﾝﾄﾞｷｬｯﾌﾟ
A
44.5
4
28
111
140
154
6
34
17
2-R2.25 10
A
A＋14
10.5
40
44
LED赤
LED緑
放電針、放電針ｶﾞｰﾄﾞ
ﾎﾟﾘｼﾘｺﾝまたはﾀﾝｸﾞｽﾃﾝ
89
-VR
89
A矢視(背面)
176
188
40
44
A-14
158
ー
28
型式
型式
MODEL 453Ｓ 放電バー
フレキシブルAC方式
40Hz、30Hz、20Hz、10Hz、8Hz、5Hz、3Hz、1Hz、0.5Hz、0.3Hz、0.08Ｈｚ
出力電圧
±6.5kV Max
入力電圧
DC24V ±10%リップル（P-P）10%以下
消費電流
500mA Max
電源コネクタ
８pモジュラーコネクタ（本体に2箇所配置）
推奨設置距離
50～2000㎜
気流導入口
Φ6ワンタッチ継手（本体両側に設置、片面キャップ付）
エアー流量
1L／ｍｉｎ 1穴（標準)0.3MPa Max
材質
本体：ABS樹脂 放電針：タングステンまたはポリシリコン
外部出力
アラーム出力、クリーニング出力、電源出力、高圧出力
使用環境
温度：10℃～40℃ 湿度:35%RH～65%RH
重量（ｋｇ）
約0.58
約0.64
約0.8
約0.94
約1.28
約1.5
取付ピッチ
392.5
472.5
632.5
792.5
1192.5
1432.5
バー本体長さ
370
450
610
770
1170
1410
放電電極数
5本
6本
8本
10本
15本
18本
主な機能
・イオンバランスコントロール
・クリーニング表示および信号出力
・アラーム表示および信号出力
出力電圧
4.8kV～7.0kV
出力電圧／出力電流
DC12V 1.2AMAX
バーの長さ
300mm～2500mm MAX 但し2500mmは特注品
出力方式
ダブルDCまたはパルスDC方式
オゾン発生量
0.015ppm以下
パルス幅
0.5秒～3.5秒
１） マイコン制御式オートコントロール
放電針
タングステンまたはポリシリコン
出力端子
モジュラーコネクター 3個
２） 超薄型、小型設計による
出力表示
正出力：赤色LED点灯 負出力：緑色LED点灯
最大 6本 但し、直列配線の場合は5本
バー接続方式
モジュラーコネクターによる接続
1台のコントローラーに
接続できるバーの本数
材質
本体：ABS 放電針ガード：ABS
重量（ｋｇ）
0.64
動作時：10℃～40℃
保存時：0℃～40℃
材質
本体：ABS 取付脚：SPCC（塗装）
使用温度
主な機能
高圧出力方式設定、高圧出力パルス幅調整、LED表示
アラーム表示および信号出力、電源信号出力
クリーニング表示および信号出力
放電針（タングステンまたはポリシリコン）
放電針ガード
消耗品
放電針（タングステンまたはポリシリコン）
使用湿度
１５
・赤外線リモコン
・除電バー電源ON／OFF出力信号
・CE EU「ROHS」対応
■ ＤＣタイプイオン送風機 ■
DC12V 1.3AMAX
付属品
Φ6ワンタッチ継手（本体両側に設置）
MODEL 470Ｒ コントローラー
入力電圧／入力電流
使用温度
MODEL
4100V-156
周波数設定
＋6V～＋12V／0.2AMAX
使用湿度
MODEL
4100V-132
MODEL
4100V-092
放電方式
入力電圧／入力電流
動作時：35％RH～65％RH
保存時：35％RH～85％RH
MODEL
4100V-076
1
10
93
＜A矢視(側面図）＞
MODEL
4100V-060
特長・仕様
型式
省スペース化を実現
３） 狭い場所への設置に適した
コンパクト構造
４） LED表示により自身の動作状態や、
クリーニング時期、アラーム警告を
一目で判断
動作時：10℃～40℃
保存時：0℃～40℃ （氷結、結露なきこと）
５） 放電針清掃ブラシの搭載で、
動作時：35％RH～65％RH
保存時：35％RH～85％RH （結露なきこと）
ローメンテナンス
６） フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し
放電針先端のクリーニングが完了
１６
DC型イオン送風機 MODEL1900
消費電流
0.85A（MAX)（DC24V）
出力電圧
DC±6.5kV
風量
0.89～3.68㎥／min
オゾン量
0.03ppm以下（吹出し口10mmにて測定）
ACアダプタ
入力：1Φ100V-1Φ240V 50／60Hz 1.0A
使用温度
10℃～40℃
使用湿度
35％RH～65％RH
外形寸法
164(W)×60.5（D)×182(H)mm
吹出口寸法
Φ115mm
重量（ｋｇ）
0.75
④
イ
オ
ナ
イ
ザ
ー
④
イ
オ
ナ
イ
ザ
R3
A
+VR
MODEL
4100V-052
型式
特殊防爆イオナイザー
クリーンジェットガン／表面電位測定器
■ クリーンジェットガン ■
■ 特殊防爆イオナイザー ■
特長・仕様
特 長
型式
１） ガラス基板やディスク上に静電気で
付着した塵埃を 0.01μmフィルタで
濾過したイオンジェットにより除去します。
２） スポットから広範囲まで、２種類の
ノズル装備し対応できます。
３） エア消費量は118 L / min MAX
４） 高電圧駆動回路の異常を検知し、
ブザー警報を鳴らし、高圧出力を
自動遮断します。
５） ガンのランプとコントローラのＬＥＤで
高圧電力出力を常時確認できます。
MODEL 307R
入力電圧
1Φ100V-1Φ110V ±10% 50Hz／60Hz
入力電流
0.4A MAX
出力電圧
AC5.3kV
放電針
タングステン
エア導入口
Φ6mm 継手
気体圧力
0.7MPa MAX
流量
10-118ℓ／min(気体圧力0.05-0.7MPa)
使用温度
10℃～40℃
使用湿度
35％RH～65％RH
外形寸法
ガン部：138(W)×28(D)×147(H)
コントローラ：155(W)×205(D)×95(H)
重量
307G(ガン部) ：0.52kg
307RC(コントローラ) ：2.1kg
消耗品
放電針、エアフィルタ、ヒューズ
１）
２）
３）
４）
５）
特殊防爆構造（爆発等級：1、発火度：G4）で、㈳産業安全技術協会(TIIS)の検定品です。
ACタイプでコロナ放電による除電方式ですので、帯電物に触れずに除電出来ます。
除電電極は、容量結合にセラミック誘電体素子を用いた全く新しい電極構造です。
除電電極は、耐薬品性（トルエン等）の材料を使用しています。
高圧電源1台につき、除電電極4本・分岐コネクタ4個まで使用可能です。
また、高圧ケーブルは電極リードケーブル含めて、最大31m以内となります。
６） 高圧電源には、保護回路が内蔵されており、除電電極及び高電圧ラインの異常放電の検知や
出力電圧の異常を検知し、装置を停止すると共にランプ・ブザーによる警報を出します。
■ 表面電位測定器 ■
特長・仕様
１）
２）
３）
４）
５）
仕 様
低電位から高電位までの静電気測定が可能
測定距離を正確に合わせて高精度測定可能
帯電の大きさに合わせ測定レンジの切替が可能
ピークホールドと連続測定の切替が可能
プローブが離れているので手元で数値確認（KSD-2000）
型式
測定範囲
アナログ出力
測定距離
KSD-1000
Highレンジ ±0 .1kV~ ± 50 kV
負荷要領
最大/除電電極長CSR-2600Pを3本、高圧ケーブル長31m
最小/除電電極長CSR-150Pを1本、高圧ケーブル長6.5m
出力短絡電
5.2mA
保護回路
異常放電による警報と出力電圧変動による警報回路
入力電源
1Φ100V(110V・200V・220Vは、ﾀｯﾌﾟ切替)
周波数
60Hz(50Hzは内部で切替)
消費電力
約50VA
使用環境
温度0℃～40℃、湿度35%RH～75%RH
絶縁種類
E種
設置場所
非危険場所設置
型式
Highレンジ 100mm
検出方法
振動型表面電位センサ
自動、超音波自動測定方法
測定モード
連続測定またはピークホールド
データ記憶
最大20点
環境
AC7kV(定格負荷時)
0～±500mV（Hｉｇｈレンジのみ）
±10％以内
高圧電源 MODEL701－CSR
定格出力電圧
装置の接続配置図
KSD-2000
測定確度
測定距離検出
型式
温度 0℃～40℃、湿度 65％RH以下（結露なきこと）
除電電極 CSR
イオン生成方式
交流コロナ放電式
印加電圧
AC7kV
除電電極長
150～2600mm(CSR-150P～CSR-2600P)
上記範囲の50mm単位で製作可能
有効除電電流
0.4μA/cm以上
(設置距離20mm、帯電電位-5kVの場合)
除電電極設置距離
20～100mm(設置距離は上記数値の範囲で、
除電後の電位を測定し決定願います)
使用環境
温度0℃～40℃、湿度35%RH～75%RH
設置場所
危険場所設置
型式
電源
寸法
重量
オプション
単3アルカリ乾電池2本(連続使用10時間以上）
121×70×22mm
約170ｇ（乾電池含む）
本体：121×70×22mm
装置寸法図
約270ｇ（ﾌﾟﾛｰﾌﾞ、乾電池含
KSD-AC1／ACアダプタ（AC100～240V）
KDS-1000
KDS-2000
KSD-REC／アナログ出力ケーブル（L＝1000mm）
１７
１８
分岐コネクタ SD-4
種類
2極・3極・4極
接続方式
メタルコネクタ方式
印加電圧
AC7kV
使用環境
温度0℃～40℃、湿度35%RH～75%RH
設置場所
危険場所設置
④
イ
オ
ナ
イ
ザ
ー
ー
④
イ
オ
ナ
イ
ザ
バッテリー式台車（ブースタイプ）／（循環タイプ）
オイルミスト除去装置
■ オイルミスト除去装置 ■
■ バッテリー式台車（ブースタイプ）
特長・仕様
特長・仕様
１） 切削工場・プラスチック成型工場等で発生したオイルミストは、製品に付着することにより
歩留りを下げ、また、作業環境を悪化させる要因となります。
本装置はそのオイルミストが工場内に拡散される前に除去します。
２） 大空間にミストが拡散する前に除去することがポイントです。
３） オイルミストをミストコレクターで回収し、出口に中性能フィルタ、準ＨＥＰＡフィルタを装備し、
室内に戻します。
４） 一般室の場合は、フィルタチャンバーを外して使用できます。
型式
工場内の離れたクリーンルーム間で、
型式
製品を移動する際に使用する装置です。
１） 清浄度クラス100（ＩＳＯクラス5）を
保持した状態で移動が出来ます。
２） 30分間以上連続運転可能
３） 壁を傷つけないようラバーバンパーを装着
４） FFUは弊社オリジナルＵＭ-610-1ACを使用
CWB-1107-B
外形寸法（ｍｍ）
1140W×680D×1774H
清浄度
クラス100（ISOクラス5）
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97％以上
柱材
SUS製角パイプ50角
材質
SUS304（#200仕上げ）
天井部
SUSプレート 1.0t
側面部
帯電防止塩ビシート 0.3t 周囲4面
構成
OME－10DMH （キャスター可動式）
風 量(m3／ｍｉｎ）
10
クリーンモジュール
UM-610-１AC×１台（消費電力125W）
重 量(kg）
111
風
量
5.0／10.0m3／ｍｉｎ（弱/強切替付き）
標準寸法(mm)
670W×700D×1640H（チャンバー連結式）
電
源
1Φ100Ｖ 50／60Hz
材質
1.2t 鋼板製メラミン焼付塗装
電源
3Φ200V 50／60Hz 0.75kW
ｵｲﾙﾐｽﾄ捕集器
UPS
30分以上無給電で作動
重量（ｋｇ）
150
デミスター：けんどん式
フィルタ
メンテナンス
中性能フィルタ／準HEPAフィルタ
：固定金具による締込み方式
■ バッテリー式台車（循環タイプ） ■
特長・仕様
効 果
⑤
そ
の
他
機
器
型式
バッテリー運転できるクリーン保管庫です。
１）従来は排気していた非水溶性ミスト排気のミストを除去回収
することで空調コストを低減でき省エネルギーに寄与します。
２）装置出口に中性能、準ＨＥＰＡフィルタを装着し、吹出し
清浄度をクラス１万以下としました。
（但し、オイルミスト捕集器出口の清浄度をクラス300万と
します。）
３）中性能、準ＨＥＰＡフィルタのメンテナンスは差圧計で判断
出来ます。
①ｱﾙﾐﾃﾞﾐｽﾀｰ
③中性能ﾌｨﾙﾀ
④準HEPAﾌｨﾙﾀ
１） 清浄度クラス100（ＩＳＯクラス5）を保持した
状態で移動できます。
２） 運転時間30分以上確保するため、バッテリーは
4.8 mg/m3
ﾒｯｼｭﾌｨﾙﾀ
重量法50％
③中性能ﾌｨﾙﾀ
吸着率60％
計数法７0％
④準ＨＥＰＡﾌｨﾙﾀ
吸着率95％
計数法99％
2.4 mg/m3
1.44mg/m3
0.144mg/m3
0.057 mg/m3
0.0028mg/m3
１９
クラス100（ISOクラス5）
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97％以上
吸込Φ150
②ｵｲﾙﾐｽﾄ捕集器
捕捉率90％
900,000個/ｃｆ
清浄度
構造
①ｱﾙﾐﾃﾞﾐｽﾀｰ
重量法40％
3,000,000個/ｃｆ
1000W×700D×1498H
３） バッテリー寿命は2年程度
②ｵｲﾙﾐｽﾄ捕集器
室内粉塵濃度
（紙粉を含む）
外形寸法（ｍｍ）
2ＫＶＡとしました。
オイルミスト除去装置仕様
9,000個/ｃｆ
CWR-1007-B
材質
SUS304製ヘアライン仕上げ
天井部
SUS304製ヘアライン仕上げ
側面部
SUS製304ヘアライン仕上げ
扉
帯電防止塩ビ板 5.0t
風量
8.0m3／min
消費電力
160W（バッテリー運転時125W）
運転時間
満充電時、バッテリー運転約30分可能
UPS：2.0KVA
電源
1Φ100Ｖ 50／60Hz またはバッテリー
UPS
30分以上無給電で作動
重量（ｋｇ）
200
オイルミスト除去装置
２０
⑤
そ
の
他
機
器
ドラフトチャンバー／クリーンドラフト
プッシュ・プルクリーンユニット／吹出・吸込クリーンスタンド
■ プッシュ・プルクリーンユニット ■
特長・仕様
■ ドラフトチャンバー ■
特長・仕様
作業面を広く設計した基本的なタイプです。
１） 本体は鋼板製で耐薬品製焼付塗装を施してあります。
２） 給排水、電気、ガスの一次側との接続は
架台内で行い、保守点検が容易に行えます。
３） 内部に特殊ガス用のニードルバルブ等を取付ける事も可能です。
４） エアカーテン・活性炭フィルター・スクラバーユニット等を
組み合わせる事も可能です。
（ドラフトチャンバーからの排気が有害物質を含む場合は、
環境保全の観点から法や地域の特性によって求められる
基準量以下に低減して排出する必要があります。）
型式
外形寸法（mm)
製品に付着したダストをエアガンで除去する作業において、剥離したダストが、製品に再付着する恐れが
あります。プッシュ・プルクリーンユニットを使用して再付着する前に浮遊ダストを除去します。
１） 従来の垂直気流から、装置による気流への影響を受けない水平気流にしました。
２） 気流はプッシュ・プル方式とし、剥離したダストを速やかに回収します。
３） イオナイザを上流側に設置し、静電気による再付着を防止します。
４） 気流速度は１ｍ／ｓ以上を確保できるように インバータを設けました。
５） ５μｍ以上の粒子を０とするために中性能フィルタで対応しました。
６） 特注品製作対応可能
型式
DF-1200
DF-1500
DF-1800
1200W×750／800D×2300H
1500W×750／800D×2300H
1800W×750／800D×2300H
材質
鋼板製耐薬品製焼付塗装
1040
1340
1640
面速（m／s）
400mm開時
0.5
0.5
0.5
風量（m3／min)
12
16
20
接続口(Φmm）
200
250
250
ダクト径(Φmm）
200
250
250
1
1
2
20W×1灯
30W×1灯
40W×1灯
内部有効開口(mm)
排気
給水（純水）
付属
照明
コンセント
1Φ100V-15A×2個
電源
1Φ100V、50／60Hz
重量（ｋｇ）
300
340
380
■ クリーンドラフト ■
排気装置です。
２） 本体は鋼板製で耐薬品焼付塗装を施してあります。
３） 発生するガスやミストから作業者を守るため、排気用スリットとパンチング板下面からの2系統による
効率的な排気方法を採用しています。
４） 鋼板製以外（SUS製、硬質塩ビ製）の製作も可能です。
外形寸法（mm)
DFC-1300
DFC-1600
DFC-1900
1300W×1000D×2300H
1600W×1000D×23000H
1900W×1000D×2300H
材質
鋼板製耐薬品製焼付塗装
型式
1474
1774
風速(m／s）
0.3
0.3
0.3
風量（m3／min)
14
17
21
面速（m／s）400mm開時
0.5
0.5
0.5
風量（m3／min)
22
27
34
捕集効率
フィルタ
給気
排気
給水（純水）
付属設備
照明
1850W×1100D×2450H
プッシュ・プルエリア(mm)
1200W×1100D×940H（テーブル高さ：ＦＬ＋750Ｈ）
風量(m3／min)
65
風速(m／s)
1.2
照明
20W×1灯
イオナイザ
900Ｌ×2本
清浄度
5μm以上の粒子に対し0個／ｃｆ
メインフィルタ
中性能フィルタ
材質
鋼板製焼付塗装
消費電力(W)
1200
電源
3Φ200Ｖ 50／60Hz
重量(kg)
500
1
1
2
20W×4灯
30W×4灯
40W×4灯
コンセント
1Φ100V-15A×2個
⑤
そ
の
他
機
器
１）吹出面にパンチングを装備し、
均一気流を供給します。
２）厚さ１２０ｍｍの薄型タイプで、
転倒防止と移動を兼ねて
ストッパー付きキャスターを装備
３）強・弱以外に急速モードの３段階の
風速設定ができます。
1174
内部有効開口(mm)
標準寸法(mm)
特長・仕様
１） 半導体産業、化学工業などの精密エッチングや精密化学分析に必要な高清浄度（ＩＳＯクラス5）保持の
型式
様 （60Hz運転時）
■ 吹出・吸込クリーンスタンド ■
特長・仕様
⑤
そ
の
他
機
器
CU-1211-PP 仕
吹出型クリーンスタンド
吸込型クリーンスタンド
吹出型クリーンスタンド：FCSー820
外形寸法（mm)
吸込型クリーンスタンド：SCS-820
820W×120D(300D)×1413H
820W×120D(300D)×1413H
運転モード
弱
強
急速
弱
強
急速
風量（m3／min)
4.6
9.5
13.0
4.1
7.1
9.4
風速（m／s）
0.19
0.39
0.53
0.17
0.29
0.38
0.3μm粒子に対し99.97％以上
0.3μm粒子に対し99.97％以上
ﾒｲﾝﾌｨﾙﾀ：HEPA ﾌﾟﾚﾌｨﾙﾀ：ｻﾗﾝﾈｯﾄ
ﾒｲﾝﾌｨﾙﾀ：HEPA ﾌﾟﾚﾌｨﾙﾀ：ｻﾗﾝﾈｯﾄ
構造
鋼板製焼付塗装
鋼板製焼付塗装
電源
1Φ100V、50／60Hz
1Φ100V、50／60Hz
消費電力（W)
20
50
87
20
48
83
消費電力(W)
550
550
550
騒音（ｄB（A))
44
55
58
47
58
63
重量（ｋｇ）
190
230
270
重量（ｋｇ）
電源
1Φ100Vまたは3Φ200V、50／60Hz（インバータによる風量調整）
２１
40
40
２２
標準型パスボックス／標準型クリーンベンチ
分析型クリーンベンチ／クリーン集塵機
■ 分析型クリーンベンチ ■
■ 標準型パスボックス ■
特長・仕様
特長・仕様
型式
クリーンルーム内への人や物の動きを極力さける
実験台の上に設置し、グローブボックスとして、
ためにクリーンルームの境界に設置し利用する装置
ご使用頂けます。
１） 機械式インターロック方式(標準装備)
１） 粉体が気流で舞い上がらないよう、ＦＦＵ直下に
整流板を設け、気流を均一にしました。
２） ご要望による寸法変更可能
３） オプションとしてエアシャワー付きパスボックス、
循環エア付パスボックスも製作可能
２） 排気ダクトに接続すると、ドラフトチャンバー
４） 特注品製作対応可能
３） 外から作業できるようグローブを取付けました。
機能を持たすことが可能
４） 特注品製作対応可能
外形寸法
型式
Ｗ１
（ｍ
W2
（ｍｍ）
W3
（ｍｍ）
H1
（ｍｍ）
H2
（ｍｍ）
H3
（ｍｍ）
Ｌ
（ｍｍ）
重量
（ｋｇ）
PB-554
500
620
700
500
580
660
400
52
PB-555
500
620
700
500
580
660
500
58
PB-665
600
720
800
600
680
760
500
65
PB-666
600
720
800
600
680
760
600
70
本体：鋼板製焼付塗装
構造
底面：SUS304
窓：透明ガラス
ドアロック
機械式インターロック
備考
壁厚をご指定下さい。
■ 標準型クリーンベンチ ■
特長・仕様
清浄度がクラス100（ＩＳＯクラス5）が
⑤
そ
の
他
機
器
確保できるクリーンベンチです。
型式
１） 前面吹出しにより作業者に対し
水平層流を形成
２） 静電気対策として、帯電防止マット、
リストストラップを標準装備
３） 特注品製作対応可能
ＣＴ－１５０７－Ｈ
外形寸法(mm)
1500W×1100D×2110H
作業面寸法(mm)
1500W×775D
天井部
鋼板製焼付塗装
側面部
帯電防止塩ビプレート（透明）
吹出面
SUS製パンチング
標準寸法(mm)
1200W×750D×1398H
清浄度
クラス100（ISOクラス5）
柱材
SUS製角パイプ50角
材質
SUS304（#200仕上げ）
天井部
SUSプレート 1.0t
側面部
強化ガラス 5.0ｔ
クリーンモジュール
UM-610-1AC×1台（消費電力125W）
風量(m3／min)
5.0／10.0（弱／強切替付き）
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97%以上
整流板
SUS製#200×2枚
グローブ
シリコン手袋150Φ×600Ｌ
電源
1Φ100Ｖ 50／60Hz
重量(kg)
100
■ クリーン集塵機 ■
特長・仕様
オプション
消耗品類
型式
帯電防止ゴムシート貼付（アース処理を行う）
捕集効率
0.3μm粒子に対し99.97％以上
清浄度
クラス100（ISOクラス5）
吹出風速(m／s)
0.5±20％以上
照明
40W×1灯×2台
② 中性能フィルタ
２～１０μｍの粒子を
６５％以上捕集
②
ダクトバンド
③
④
コンセント：アース付き4個口×2セット
コンセント：アース付き2個口×1セット（スポットライト用）
電源
1Φ100Ｖ 50／60Hz
硬質ダクト
２３
④ ＨＥＰＡフィルタ
０．３μｍ以上の粒子を９９％以上捕集
350W×535D×611H
ＳＵＳ製
0.3μm粒子にて99.99％以上
ﾒｲﾝ：HEPA及び中性能 脱臭：活性炭ｼｰﾄ ﾌﾟﾚ：不織布
風量（㎥／min)
※１
ﾀﾞｸﾄ1箇所
3.9
ﾀﾞｸﾄ1箇所
6.5
ﾀﾞｸﾄ2箇所
2.4
ﾀﾞｸﾄ2箇所
4.2
処理風速
（ｍ／ｓ） ※２
ﾀﾞｸﾄ1箇所
14.6
ﾀﾞｸﾄ1箇所
24.2
ﾀﾞｸﾄ2箇所
9.1
ﾀﾞｸﾄ2箇所
16.0
650
ダクト径 ※３
人体用アース
その他
フィルタ
最大静圧（Pa）
③ 活性炭シート
臭い成分を
捕集
CDC－06
350W×435D×414H
捕集効率
①
吸引フード
CDC－03
構造
① プレフィルタ
１０～２０μｍの粒子を
７６％以上捕集
大風量タイプ
ＣＤＣ－０６
小型・軽量タイプ
ＣＤＣ－０３
クリーンルーム内で発生する塵埃を速やかに回収・排気します。
１） 吸引側に、プレ、中性能、活性炭フィルタを
排気側にＨＥＰＡフィルタを装備しました。
２） 吸引空気を室内に戻しますので、室圧の変動はありません。
３） 活性炭シートで臭い成分を捕集
４） キャスター付きで移動が簡単です。
５） オプション対応
・風量調整 ・差圧計 ・各種通信信号 ・２００Ｖ対応
外形寸法（mm)
作業面
CT-1307-V-G
電源 ※４
1000
Φ75
1Φ100V 50／60Hz （ｵﾌﾟｼｮﾝ1Φ200V）
騒音（ｄB（A））
65
68
消費電力（W）
120
340
重量（ｋｇ）
18
36
※１）※２） ダクトΦ７５×２ｍ使用時最大風量（強）での風量及び風速です。
※３）
ダクト口数２箇所はオプションとなります。
※４）
定格電圧２００～２４０Ｖは２００Ｖオプション使用時です。
２４
⑤
そ
の
他
機
器
環境解析サービス
技術提案・診断
■ 技術提案・診断 ■
■ 環境解析サービス ■
■目 的
設計検証・生産ライン検証のために
・お客様の環境診断、環境測定等のご要望にお応えするために技術提案・診断をご提供致します。
・弊社のクリーン化技術をお客様の設備に生かして頂くために様々なご提案を致します。
・技術提案・診断は下記のように無償対応と有償対応があります。
・詳細は弊社営業担当にお問い合わせをお願いします。
●設計値を事前に検討したい。
●新規工場の温度分布は大丈夫だろうか？
●作業空間をクリーン化したいが・・・
■無償項目
●吹出口・排気口・・・この位置でよいものか？
クリーンルームモデル
・クリーン化改善前のお客様工場等環境測定（現状確認）
クリーン化を計画されている工場等において、清浄度、風速風量、室圧、静電気等の環境測定を
行い、環境改善をご提案致します。（※1）
・製品引渡時の性能測定（据付工事を同時期に測定を行なう場合）
クリーンブース、エアシャワー等の納品したクリーン機器の性能測定を行います。
フィルタリークテスト、清浄度、風速、室圧等を測定し、測定報告書を作成します。（※2）
サービス内容
（※1）測定回数は原則1回です。測定項目は提案内容により変わります。
遠距離の場合、交通費は別途頂く場合があります。
（※2）測定項目は性能測定ごとで異なります。
●クリーンルーム及び
局所空間の環境解析
●設計の検証
■有償項目
●既設設備の改善検討
・製品引渡時の性能測定（据付工事と同時期に行なわない場合）
クリーンブース、エアシャワー等のクリーン機器の性能測定を行います。
フィルタリークテスト、清浄度、風速、室圧等を測定し、測定報告書を作成します。（※3）
●省エネの検討
多彩な解析結果の表示
・製品納品後の定期性能測定・不定期性能測定
製品納品後の診断です。フィルタリークテスト、清浄度、風速、室圧等を測定し、
測定報告書を作成します。（※3）
ー
・弊社が納品していないクリーン機器の性能測定
お客様と打ち合わせの上で測定内容を決定します。
フィルタリークテスト、清浄度、風速、室圧、静電気等を測定し、測定報告書を作成致します。（※3）
ル
・お客様装置発塵測定
ロボット、コンベア等の装置から発生する発塵を測定し、測定報告書を作成します。（※3）
気流分布
（ベクトル表示）
温度分布
（コンター表示）
２５
アニメーション
（例パーティクルアニメ）
（※3）測定項目は性能測定ごとで異なります。
２６
⑥
環
境
診
断
ツ
ー
⑥
環
境
診
断
ツ
ル
ダストモニタリングシステム
ダストモニタリングシステム
■ ダストモニタリングシステム ■
特長・仕様
１）1つのボックスに全てのシステムを収納。工場の定期測定、緊急時測定等、あらゆる場面に使用できます。
・クリーンルーム、クリーンブースの立ち上げ時や定期的な確認時にご使用ください。
また、歩留が悪くなった生産ラインのスポット的な測定でも利用できます。
・システムを固定して使えば生産ラインの常時監視としてご使用いただけます。
２）コンパクトなパーティクルセンサで清浄度と温湿度を監視
・0.3µm以上、0.5µm以上、1.0µm以上の3チャンネル／吸引量2.8Ｌ/min以上のパーティクルセンサと
センサメーカーのソフトを利用
３）無線LAN利用で配線不要 センサの設置が簡単
・クリーンルームやクリーンブースの重要ポイントの清浄度確認が容易に行えます。
４）差圧センサ、温湿度センサも常備
・総合的な環境監視が行えます。
FFU
M
M
FFU
無線LANユニット
温度センサ
無線LANユニット
差圧センサ
データ収集パソコン
パーティクルセンサ
（清浄度）
パーティクルセンサ
（清浄度、温湿度）
無線LANユニット
無線LANユニット
温湿度センサ
無線LAN
ｱｸｾｽﾎﾟﾝﾄ
クリーンブース
生産機械
ﾊﾞｯﾃﾘｰ
※電源がなければバッテリーで給電
※有線LANでもシステム構築は可能です。
上記のシステムが１つのボックスに収納できます。
⑥
環
境
診
断
ツ
画面例 ※画面はイメージです
ー
ー
⑥
環
境
診
断
ツ
ル
ル
（収納例：ﾉｰﾄﾊﾟｿｺﾝ、ﾊﾟｰﾃｨｸﾙｾﾝｻ３台、
差圧ｾﾝｻ、温湿度ｾﾝｻ各1台）
【マップウインドウ】
【捧グラフウィンドウ】
２７
２８
技術資料：クリーンルーム方式について
技術資料：清浄度クラス規格について
■ 清浄度クラス規格について ■
■ クリーンルーム方式について ■
清浄度クラスの表記で主に用いられる規格は下記の通りです。
クリーンルーム方式についてまとめてみた。
クリーンルームの使用目的に応じたシステムを構築することが重要です。
１．【Fed.Std.209E（Federal Standard 209E】（米国連邦規格209E)
1ｆｔ3の空気中に存在する粒径0.5μｍ以上の粒子個数濃度をクラス上限値として分類したもの
数式で表すと、
Nｃ：清浄度クラス
D：対象粒径（μｍ）
粒子数/ｆｔ3＝Nc×（0.5/D）2.2
方式
垂直一方向方式
ＦＦＵ方式
クリーントンネル方式
方式図
Fed.Std.209Eによる清浄度クラス分類表（SI単位・米国単位従来系表示）
クラス上限値
クラス
0.2μm
0.1μm
SI単位
英国単位
M1.5
350
9.91
・・・
・・・
1,240
35.0
・・・
・・・
・・・
・・・
12,40
・・・
・・・
35,00
・・・
・・・
M2
M2.5
10
100
M4
M4.5
1,000
M5
M5.5
10,000
M6
M6.5
(個/ft3)
3,500
Ｍ3
M3.5
(個/m3)
100,000
M7
(個/m3)
5μm
(個/ft3)
1
(個/ft3)
0.5μm
(個/m3)
M1
(個/m3)
0.3μm
(個/ft3)
(個/m3)
100
(個/ft3)
・・・
・・・
100
・・・
・・・
・・・
・・・
283
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
1,000
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
2,830
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
10,000
2,470
70.0
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
28,300
6,180
175
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
・・・
17.5
700
特長
クリーンルーム内全域を
最高清浄度に維持する。
作業域清浄度
ＩＣ・ＬＳＩ製造工程に主として
適用される。マスク・ウエハなど、
特に最高清浄度を要するプロセ
スをトンネル内にレイアウトする。
クラス１～４
クラス１～４
クリーントンネル内
クラス１～４
IC工場・半導体工場
IC工場・半導体工場
IC工場・半導体工場
運転費
大
大
中
建設費
大
大
大
クリーンチューブ方式
アイランド方式
一般方式
主な適用場所
方式
２．【JIS B 9920 及び ISO 14644-1】
FFU直下は、最高清浄度
が得られる。
天井内が負圧であり
シールが容易である。
方式図
1ｍ3の空気中に存在する粒径0.1μｍ以上の粒子個数濃度を
10のべき乗で表したときのべき指数として分類した もの
数式で表すと、
粒子数/m3＝10N×(0.1/D)2.08 N：清浄度クラス
JIS B 9920（ISO 14644-1)による清浄度クラス分類表
清浄度ｸﾗｽ
粒径
(μm)
⑦
技
術
資
料
特長
ｸﾗｽ1
ｸﾗｽ2
ｸﾗｽ3
ｸﾗｽ4
ｸﾗｽ5
ｸﾗｽ6
ｸﾗｽ7
ｸﾗｽ8
ｸﾗｽ9
(個/m3)
(個/m3)
(個/m3)
(個/m3)
(個/m3)
(個/m3)
(個/m3)
(個/m3)
(個/m3)
0.1
101
102
103
104
105
106
-
-
-
0.2
2
24
237
2,365
23,651
236,514
-
-
-
0.3
-
10
102
1,018
10,176
101,763
-
-
-
0.5
-
4
35
352
3,517
35,168
351,676
3,516,757
1.0
-
-
8
83
832
8,318
83,176
5.0
-
-
-
-
29
293
2,925
２９
製品が自動製造ラインの中を流 作業工程内一部だけ高清浄度 基本的なクリーン方式で各分野
れる場合に、極小エリア（限定さ を必要とする場合に適用される。で広く採用され、室内で発生する
れた）を最高清浄度に保つ。
一般に非一方向流のクリーン 塵埃を清浄空気で希釈して清浄
ルーム内に併設される。
度を高める方式である。
作業域清浄度
クリーンチューブ内
クラス１～４以下
クリーンブース内
クラス３～６
クラス４～８
35,167,572
主な適用場所
IC工場・半導体工場
製薬工場・無菌室・食品工場
工場全般
831,764
8,317,638
運転費
小
中
小
29,251
292,511
建設費
中
大
小
３０
⑦
技
術
資
料