反射率測定装置 - OptoSigma Global Top

A p p l i c a t i o n
S y s t e m s
反射率測定装置
干渉計
アプリケーション
システム
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
SGRM-200
微小領域、局率面の分光反射率測定を実現します。
局率を持ったレンズや機能性シートなどの極薄試料も裏面反射光の影響を受けずに高速、高精度な分光反射率測定が
可能です。
光学素子
ホルダー
光源
ベース
手動ステージ
アクチュエータ
自動ステージ
索引
バイオフォトニクス
検査/観察系
測定
光通信系
レーザ加工
◦特殊ハーフミラーにより試料からの反射光を効率良く分光器に取り
込み、低反射試料でも短時間測定が可能となりました。
◦特殊ハーフミラーで裏面からの反射を阻止していますので、
試料裏面
の処理無しで正確な測定が可能です。
◦512素子のリニアPDA、
16bit A/Dコンバータ内蔵、
USB2.0インター
フェイスで高速演算。
◦ファイバからスリッ
トへの集光系とアライメント機構により光量の利用率
を最大限に高めており、
スピーディで再現性の高い測定ができます。
◦試料面の微小領域
（φ50μm）
を測定するため、
レンズ曲面及びコー
ティングむらも測定可能です。
◦Excel形式でのデータ保存が可能です。
◦同一画面上に複数の測定結果の表示
（重ね書き）
が可能ですので、
測定結果の比較が容易です。
仕様
品番
4,500,000
測定波長
360〜800nm
試料側N.A
試料の測定範囲
試料の曲率半径
測定再現性
表示分解能
測定時間
外径寸法
（本体）
使用温度範囲
使用湿度
納期の目安
反射率グラフイメージ
B026
SGRM-200
価格
〔￥〕
0.13
（10×対物レンズ使用時）
約φ50μm
（10×対物レンズ使用時）
－2R〜−∞、
＋2R〜∞
±0.1％ （360〜450nm）
±0.01％（450〜750nm）
±0.1％ （750〜800nm）
1nm
数秒
（サンプリング時間による）
（W）
230×
（H）
530×
（D）
460mm
18〜28℃
60％以下
（結露なきこと）
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550
OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834
KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
カタログ
コード
W2019
干渉計
対物レンズ
1.25倍対物レンズ
PLAPON1.25×
標準白色板
10倍対物レンズ
UPLFLN10×
波長校正板
アプリケーション
システム
光学素子
20倍対物レンズ
UPLFLN20×
ホルダー
光源
WS-3
※色の測定時の基準
測定範囲：φ400μm
測定範囲：φ50μm
薄板：0.4mm
測定範囲：φ25μm
薄板：0.3mm
V-30
※キャリブレーションデータ付
分光器
ベース
手動ステージ
①標準仕様　：波長360 ～ 800nm
200万画素 USBカメラ
②赤外仕様　：波長370 ～ 960nm
③近紫外仕様：波長330 ～ 800nm
アクチュエータ
自動ステージ
（参考）
検査用自動XYステージ
SKDCE-3
索引
B022
バイオフォトニクス
W.D.=10mm
スーパーCマウント
ズームアダプター
検査/観察系
サンプルの厚み t≦20mm
測定
NY-CZ
（×0.35〜×0.7）
保守部品
ハロゲンランプ（10個パック）
SGRM-200-64607(OSRM)
￥45,000
低反射率リファレンス板
SGRM-G03-09001A
OFB-25C05
（裏面砂掛け）
光通信系
レーザ加工
コントローラ
高反射率リファレンス板
TFAN-25C05-1-Rdata
（規格品の測定データ付）
※330～1100nm、入射角5°
、
1nm刻み電子データ付
2軸ステージコントローラ
SHOT-302GS
Ⅰ095
反射率計測ソフトウエア
◦薄型ターゲットの高精度測定
（ソフト＋ハード）
◦測定データの重ね書き
（MAX64回）
◦自動ステージとの連動機能標準組込
◦カメラ連動ソフト組込
◦エクセルシートへのデータ落とし込み機能
◦合否判定機能組込
（波長1nm毎に判定基準設定可能）
◦膜厚測定機能追加
2軸ステージコントローラ
GSC-02 ＋
ジョイスティックターミナル
SJT-02
Ⅰ092、
Ⅰ097
B027