spec_COMPex Pro_20131204.xlsx

Superior Reliability & Performance
高効率、高出力エキシマレーザ
COMPex Proシリーズ
COMPexPro
仕　様
最大パルスエネルギー　注1)
mJ
最大繰返周波数
Hz
注2)
最大平均出力
Ｗ
波長
(nm)
50
193
100
200
400
248
150
400
700
308
-
250
500
351
-
All
50
102
110
201
200
20
205
300
100
10
50
193
4
12
4
15
248
7
30
7
30
308
-
5
16
4
20
351
-
4
12
3
15
1
%
All
mm
All
14 x 5
24 x 10
mrad
All
2x1
3x1
ns
All
20
25
本体寸法
mm
All
1282 x 375 x 793
1682 x 375 x 793
本体重量
kg
All
270
325
パルス間エネルギー安定性　(1σ)
ビームサイズ(VxH、FWHM)（典型）
ビーム拡がり角(VxH、FWHM)（典型）
パルス幅　(FWHM)（典型）
(LxWxH)
50
ユーティリティ
110
201
205
単相 230V±10%、50/60 Hz, 16A
単相 115V±10%、50/60 Hz, 25A
電源
冷却（水冷）
102
ℓ/分
2~3　（T=15~20℃）
注1) 繰返周波数10 Hzで測定。
注2) 最大繰返周波数値で測定。
*本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。
コヒレント･ジャパン株式会社