新製品紹介

日立評論
〉OL.74
No.12い992-12)905
大形サンプルでも低加速電圧時の
高分解能観察が可能な走査電子 微鏡
鶉
[:エコ享
300〔m
ご>詣芸蒜･W
ト･･--･･→
卓卓㌢
晰
300nm
トーーー･･+
走査電子顕微鏡｢S-4500形+(左)と｢S-4500形+による分解能写真(右上)｡右下は従来のアウト
レンズタイプによる分解能写真(いずれも加速電圧IkV,磁気テープ上の金蒸着粒子)｡
アウトレンズタイプ※1)の走査電子顕微鏡｢S-4500
(4)電子銃は,全世界に2,000台以上の高い納入実績を
形+を発売しました｡インレンズタイプ削)に匹敵する
誇る高輝度冷陰極電界放出形(コールドFE)です｡メン
ほどの低加速分解能を備えており,最大6インチの大
テナンスや維持管理費の負担を軽減できます｡
形サンプルに対応するものとしては,世界で初めて5
2.主な仕様
nm(1nm=1007J分の1mm)の低加速分解能保証(加
｢S-4500形+の主な仕様を表】に示します｡
速電圧1kV)を可能としました｡微細領域の加⊥･評
(U立製作所計測器事業部)
価に大きな前進をもたらすものとして注目されていま
す｡
l.主な特長
※1)アウトレンズタイプ:対物レンズの外にサンプルを吊〈タイプ｡
※2)インレンズタイプニ対物レンズの中にサンプルを置くタイプ｡
表l
主な仕様
｢Sr4500形+の主な特長は,次のとおりです｡
項
(1)電子光学技術とコンピュータシミュレーション技
低
加
術を駆使して,極磁形状の最適化を図った新設計のハ
高 加
イパーレンズを採用L,インレンズタイプに咋敵する
低加速電圧時の高分解能観察を実現しました｡また,
解 能
速
解
分
子
倍
加
格段に向上しました(当社従来比)｡
試
デ
速電圧
料
ィ
仕
速 分
電
低加速電1一亡時だけでなく,高加速電圧観察時の像質も
(2)試料のアウトレンズ化により,最大6インチ径の
目
換
プ
ス
レ
i.5nm保証(加速電圧30kV)
毒充
冷陰極電界放出形電子銃
率
20倍-500.000倍
宝
イ
表 示 速 度
画像
50mm(タイプり,150mm(タイプⅡ)
12インチCRTX2台(カラーモニタは
テレビスキャン静止画像表示
(全走査速度,全走査モード)
大形サンプルの観察をきわめてスピーディーに行うこ
とができます｡
0.5kV∼30kV(100V/ステップ)
オプションl台を置き換え)
大形サンプルの観察も可能になりました｡しかもこれ
らの試料は,試料交換室を通して出し入れできるので,
5.Onm保証(加速電圧=くV)
能
睾巨囲
交
様
l′OZ4画素×し024画素(高精細メモリ)
画
像
メ
モ
リ
×2面
512画素×512画素×l面
(3)ディスプレイは,【_￣寸立製作所独自の｢明るい部屋
(テレビスキャン像表示用)
対応形+です｡しかも高精細メモリ,リカーシブフィ
タイプⅠ43′000′000円
ルタ,スキャンコンバージョンなどの多彩な機能を搭
載しており,動的状態の観察･分析に対応できます｡
本体標準価格(税別)
タイプⅡ
49′500′000円
(タイプⅡは平成5年2月から出荷予定)
63
906
日立評論
VOL.74
No.12(】992-12)
世界最高の 細度を実現した
5形TFTカラー液晶モニタ
匂
○
■
●
■
■
●
○
こ;
晦勤
事
ヂ
/
高精細カラー液晶モニタ``cM-L500”
(5)充電式ニッカド電池,またはDC12V電源を背面に
ドット密度約34.5万ドット(当社従来比約3倍)と世
界最高の精細度を実現した5形TFT(Thin
Film
取り付けられます(オプション)｡また,電池使用の場
Transistor:薄膜トランジスタ)カラー液晶モニタ
合は,電源ランプの点滅で電池切れを警告表示します｡
"cM-L500”を平成5年1月から発売します｡同形の
(6)日本,アメリカなどのテレビ信号方式である
CRT(陰極線管)モニタに比べ,容量で÷,質量で‡と NTSC方式のほか,ヨーロッパなどで使われている
軽量コンパクトであり,消費電力も‡と少なく,野外PAL方式も再生可能で,PAL方式映像モニタとしても
取材や海外取材が多い放送局,映像プロダクション業
活用できます｡
界の可搬形モニタ,あるいは工業用･検査用モニタと
2.主な仕様
して幅広く利用できます｡
``cM-L500”の主な仕様を表lに示します｡
(日立製作所AV機器事業部)
l.主な特長
``cM-L500''の主な特長は,次のとおりです｡
(1)この機に採用している5形TFTカラー液晶パネ
ルは,日立製作所が独自に開発した高精細液晶パネル
主な仕様
表l
で,構720ドット×縦479ドット=総ドット344,880と,
項
仕
目
様
このクラス最大の画素数を備えています｡
(2)1画素ごとにTFT素子を組み込んだ｢アクティブ
表
方
示
式
表示サイズ(横×縦)
マトリックス方式+で,CRT方式をしのぐ高所質を実
現しています｡また,高性能のくし形フィルタを採用
画
解
数(横×縦)
像
102mmX77mm
720ドット×479ドット(総ドット344′88D)
度
水平350TV本以上,垂直350TV本以上
し,水平,垂直ともに350TV本以上の解像度を確保し
映
像
入
力
NTSC/PALl.0V｡▼｡
ました｡
音
声
出
力
0.8W
源
DC】2V電源または充電式ニッカド電池
力
約10W
(3)地磁気の影響をまったく受けないので,野外や電
電
消
界･磁界の強い所で使っても色純度劣化のない美しい
64
素
TFTアクティブマトリクス液晶表示
費
電
外形寸法
190mmX80mmX140mm
映像を再現します｡
(幅×奥行き×高さ)
(4)軽量コンパクトで,移動性,ポータブル性に優れ
質
ています｡
本体標準価格(税別)
量
l.4kg
250′000円
日立評論
VOL.74
907
No.12(柑92-12)
低価格のカラーラップトップモデルと
RISCチップ採用の高性能サーバモデル
ミラ屠
ヰbも+
//
ノ`/
+l■
クリエイティブステーション"3050LC”
｢クリエイティブステーション3050シリーズ+に,高
2.主な仕様
精細TFTカラー液晶パネルを採用したUNIX削)カラ
``3050LC”,"3050/RESV''の主な仕様を表1に示します｡
(日立製作所
ーラップトップモデル"3050LC”2機種とPA-
コンピュータ事業本部)
RISC汰2)プロセッサ採用のサーバモデル"3050/RESV”
1機種が加わりました｡日立製作所のトータルシステ
ムコンセプト"FOREFRONT''に沿ったもので,豊富
※1)UNIXオペレーティングシステムは,UNIX
System
Labora-
tories,Inc.が開発し,ライセンスしています｡
※2)PA-RISCは.米国ヒューレットパッカード社の商標です｡
なアプリケーションソフトウェアの利用により,高度
なクライアントサーバシステムを実現することができ
ます｡
表l主な仕様
t.主な特長
仕
"3050LC”,``3050/RESV''の主な特長は次のとおりで
項
目
305()LC
す｡
モデルl
(1)"3050LC”は,(a)小形･省スペース(使用時の設置
面積はデスクトップモデルの約50%),(b)使いやすい
キーボード分離方式,(c)1,120ドット×780ドットの高
制
御
メモリ容量
能マイクロプロセッサ"MC68040(33/25MHz)”(27/
内蔵ハード
標
準
16Mバイト
最
大
80Mバイト
ネ
20MIPS
Z7MIPS
カラーTFT形液晶
表示
色
4′096色中256色
標
準
しては最も安い190万円です｡
l/0 拡 張
128Mバイト
2.4Gバイト
7.4Gバイト
7.7Gバイト
lスロット
ット
10.8Gバイト
8スロット
7′870′000円
(2)``3050/RESV”は,PA-RISCプロセッサ(66MHz)
Z′200′000円
(メモリ32M
(メモリ16M
(メモリ柑M
バイト,内蔵デ
バイト,キーポ
バイト,キーボ
イスク】.2Gバ
-ド.マウスを
-ド,マウスを
イト,デイスプレ
含む｡)
含む｡)
イターミナルを
l′900′000円
の採用で76MIPSの高性能を実現しました｡また,ミラ
ルとしての信頼性を高めています｡
32Mノーイト
550Mバイト
大
最大ハードディスク容量
ーディスクおよびバーチャルアレーディスク機能の搭
載,無停電電源装置への対応などを行い,サーバモデ
76MIPS
l.2Gバイト
ZOOMノ(イト
す｡しかも本体価格は,カラーラップトップモデルと
ロ
(66MHz)
し120ドント×780ドソト
ル
ディスク容量 最
ス
68040(33MHz)
能
パ
ディスプレイ
3050/RES､･
PA-RISC
性
解像度
20MIPSの処理性能を実現)などの特長を備えていま
モテリレ2
プロセッサ 68040(25MHz)
部
精細TFTカラー液晶ディスプレイ(表示色は4,096色
中256色を同時表示),(d)CPUは,モトローラ社の高性
様
標
準
価
格(税別)
含む｡)
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日立評論
VOL.74
No.ほ(1992-1Z)
世界で初めての0.5ドmプロセス
Bi-CMOSゲートアレー
0.5ドmプロセスBトCMOSゲートアレー｢HG22Sシリーズ+
CMOSゲートアレ一に比べ約3∼5倍の超高速性を
システム差異化のキーデバイスとして,ゲートアレ
実現しています｡
ーの需要は着実に増加しています｡こうした市場ニー
ズにこたえて,世界最高速0.1ns/ゲート,世界最大規
(2)世界最大規模25￣万ゲートを実現しました｡
模25万ゲートを実現したフリーチャネル形劉B卜
(3)ECL/TTLインタフェースを同一チップ内に混在
CMOSゲートアレー｢HG22Sシリーズ+を製品化しま
￣吋能,高速RAM搭載可能,自動診断機能などの機能も
観済済馴川和弼はい
した｡実効ゲート長0.5I⊥m,3層メタル配線技術によ
備えています｡
るもので,0.5l⊥mプロセスのBi-CMOSゲートアレー
2.主な仕様
｢HG22Sシリーズ+の主な仕様を表1にホします｡
としては1世界で初めての製品です｡
長閑弊削仙熱闘翳調光州抄和や繁獅劉機構機鮨卵鵜励打餞獅璃心MJ絹絹瑠uは柑如消領域
(日立製作所半導体設計開発センタ)
1.主な特長
｢HG22Sシリーズ+の主な王障長は次のとおりです｡
(1)世界最高速(CMOS無負荷時)0.1ns/ゲートを実
現しました｡また内部ゲート部の遅延時間は,システ
※)フリーチャネル形:従来の固定チャネルのように素子･領域と配
ム性能の決め手となる重負荷時(フアンアウト=20)に
線館主域を分けるのではなく,チップ全面に素子を敷き詰める方式
でも,B卜CMOSゲートで0.31nsと,同一加工レベルの
です｡
表l主な仕様
bV員
搭
入
入
紗偶廃位済胴矧川
ゲ
載
ト
ー
力
出
力
出
ベ
レ
動
消
レベル
作
SO26
SO38
SO58
SO79
S125
S250
13′395
26,062
38.152
57′538
79′388
125′123
Z50′750
208
260
320
83.000円
開発中
開発中
【00
】28
波
柑8
0.lns(無負荷),0.25ns(標準負荷)
0.】5ns(無負荷),0.2ns(標準負荷)
300MHz
数
24マイクロW,ゲート･MHz
力
電
】58
ECL/TTLまたは疑似ECL/TTL選択可
ル
Bj-CMOS
周
費
数
数
SO13
CMOS
内部ゲート遅延
時間
様
仕
目
項
自動診断内蔵
■川叫
特
殊
出力電流:12mA,24mA,48mA
能
機
ECLバッファ:差動入出九
開府開M詞仙洞渦矧州はゾ掬巡
66
PGA-229
5′000個ロット価格(税別)
PGA-401
OFP-136
4′400円
カットオフドライバー,ロースキュウクロックドライバー
230′000円