このμPhase® smartgageは、小型光学部品の生産管理やモニ タリング

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このμPhase® smartgageは、小型光学部品の生産管理やモニ
タリングにおいて、理想的な計測ソリューションとなります。
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携帯電話やデジタルカメラレンズは共通の例になります。
この検査器は、球面と平面の表面ゆがみをデジタル的に解析し、
合格/不合格を一秒以内に判定します。
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最先端技術を駆使し、スタンドアロンタイプの検査器として、生産
現場での高品質管理を実現します。
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非球面部品に関しても計測できる場合がございますので、
お問い
合わせ下さい。
測定項目
球面反射波面測定
機械的インターフェース
FISBA標準マウント
平面反射波面測定
測定（操作）位置
テーブルユニット上面
相対曲率半径測定（オプション）
試料ホルダーの移動範囲
Zステージ移動範囲＝80mm
測定波長
635nm
Xステージ移動範囲＝2mm
出射ビーム直径
φ25.4mm
Yステージ移動範囲＝2mm
解析を含む測定時間
≦1秒
傾斜テーブル：傾斜範囲＝1°
出射光量
<1mW（手動調整可能）
外形（W×D×H）
220×275×205mm
重量
約4.5kg
PV、RMS、ISO互換
ベーシック
スタンダード
アドバンスト
＋
＋
＋
合格/不合格表示
−
＋
＋
画像処理画面
2D
2D
1D、2D
相対ROC測定
−
−
＋
測定データ保存
−
＋
＋
測定データプロトコルの生成
−
−
＋
ユーザ定義テンプレートの使用可否
−
−
＋
USBインタフェース
＋
＋
＋
バージョンアップ、更新
＋
＋
＋
PV繰返し精度(1)
λ/100（λ@635nm）
RMS繰返し精度(2)
λ/500（λ@635nm）
測定精度(3)
λ/10（λ@635nm）
形式
レーザダイオード
クラス分け
クラス2
波長
635nm
開口部での出射パワー
1mW以下
材料
µLens SF 1" f/1.0
18.8/17.8
f/#=1.0
NA = 0.5
α = 60°
全研磨面、
ガラス、
セラミック、
プラスチック、結晶
µLens SF 1" f/2.0
19.4/37.8
f/#=2.0
NA = 0.25
α = 29°
加工プロセス
研磨面、
プラスチック型加工、超精密機械加工
試料外径 φ1∼25.4mm
※上記は球面の場合、平面の計測はφ5∼25.4mm
試料反射率
1∼100％
コート面/非コート面とも可
総合性能
使用されるキャリブレーションマスターによる
sample diameter (mm)
形状
max. convex radius of sample (mm)
説 明
Dpmax
：試料最大径
Rpmax
：試料最大曲率半径
Rp
: 試料曲率半径
α
: μレンズSF球面対物レンズの開口角度
: DP/RPの推奨使用範囲
: DP/RPの可能使用範囲
電力消費
AC入力：90∼264VAC/47∼63Hz
DC出力：12VDC/15W
温度
18∼30℃動作温度
10∼35℃保存温度
湿度
80%以下、動作、保存環境における
相対湿度（結露なきこと）
安全性適合
CE適合
規 格：EN60825-1:2001
(1) PV-繰返し精度は、同じ型を100回連続測定した結果であり、
かつ96%以上の開口部を測定した値です。
(2) RMS繰返し精度は同じ型を100回連続測定した結果であり、
かつ96%以上の開口部を測定した値です。
スペックは各統計の2σを表しています。
(3) 測定精度は、規格化された干渉計のキャリブレーションに用いられるキャリブレーションマスターの表面精度と同じです。
※ 精度測定は、防振台上で行われています。
レーザー：クラス2
規 格：IEC60825-1
■東京本社
〒130-0021 東京都墨田区緑1-19-9
TEL. 03-5638-6551（代） FAX. 03-5638-6550 [email protected]
■大阪支店
〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島4-9-28
TEL. 06-6307-4835（代） FAX. 06-6307-4834 [email protected]
■九州営業所 〒812-0014 福岡県福岡市博多区比恵町3-17
TEL. 092-481-4300（代） FAX. 092-481-4310 [email protected]
FISBA-J0809