簡易検査用センサシリーズ

簡易検査用センサシリーズ
接触式変位センサ／傾斜センサ／振動センサ
接触式変位センサ
傾斜センサ
振動センサ
接触式で変位を測定
角度を検出
2タイプ5種類のセンサで
幅広い測定環境に対応
傾斜角度をリニア出力
傾斜センサ（リニア出力タイプ）
D5R
接触式変位センサ（高精度タイプ）
形
D5SN
形
● ±60°の広い測定角度
●リニアリティ1％の高精度を実現。
● IP67の高い防水防塵性。
●ローコストで省スペース
● 分解能0.1μm、直線性0.3％F.S.以下（形D5SN-S01）の
高精度です。
● 堅牢なつくりは、横荷重5Nに耐え取り扱いも安心。高い
耐久性が求められる厳しい測定環境にも対応します
（形D5SN-M）
。
商品をもっと知りたい→P.8
悪環境下でもインライン測定可能な
接触式リニアセンサ
商品をもっと知りたい→P.24
傾斜が所定角度に達すると
スイッチング出力
接触式変位センサ（堅牢タイプ）
D5M
形
傾斜センサ（ON/OFFタイプ）
● IP67（IEC規格）の保護構造を実現（センサ部）
● 4∼20mAの電流リニア出力が可能
● アンプ部でオフセット調整が容易にできます。
D5R
形
商品をもっと知りたい→P.15
● 防水性・耐久性にすぐれたシール構造（IP67）
。
● 2Aの大容量までの開閉が可能。
● 使いやすく場所をとらないコンパクトタイプ。
低作動力で様々な測定物を
インライン計測が可能
商品をもっと知りたい→P.26
接触式変位センサ（一体型タイプ）
D5V
形
APPLICATION
● 低動作力でガラス、プラスチック、ゴムなどの測定物
に対応
● ストローク0∼5mmに対し4∼20mAのリニア出力とデ
ジタル出力の2種類の品揃え
アプリケーション
商品をもっと知りたい→P.18
様々なアプリケーションで
活躍します。
APPLICATION
アプリケーション
特殊車輛の張出の水平出し
ダンプカーの角度検知
電動ベッド
高所作業車などの張出しの水平制御
ダンプの荷台の傾斜角度による高さ
位置決め
良く使う角度の記憶、呼び出し
様々なアプリケーションで
活躍します。
精密機械の組み立てライン
業務民生機械の組み立て調整
電子部品寸法測定
Buu
板圧測定
22
平面測定
2枚差し検出
パワーショベル
ゴルフカート
運搬車の荷台水平制御
セキュリティ
パワーショベルのアームポジション
検出
転倒の危険を警報出力
坂道でも荷台を水平にして、積荷の
荷崩れ防止
傾きによる盗難防止
33
振動の変化を判定する
D7F
振動センサ 形
設備、機械の振動をリニア出力
5つの波形処理モードで
確度の高い異状判定が可能
リニア出力タイプ
マニュアル設定タイプ
DCリニア出力
振動（加速度、速度）の大きさに応じた電
いままでの振動センサは、外乱の影響によ
流出力をします。デジタルパネルメータな
り誤判定を起こすことがありました。形
どに接続し、数値表示や傾向監視が可能で
D7Fは、5つの処理モードにより。連続振
す。振動は加速度または速度の切り替えが
動検出と単発振動検出に分けて処理するこ
可能です。
とで、誤判定を少なくし、確度の高い異状
波形
判定を実現しました。
実効値
数値に変換
形D7F-C01
形D7F-C03
デジタル表示
形D7F-S01-05
商品をもっと知りたい→P.28
形D7F-S03-05
商品をもっと知りたい→P.31
■共通特長
ON/OFF出力
10段階のレベルメータ
ACモニタ出力
センサの保護
センサの異常検出
設定しきい値より大きい振動になると、出
設定しきい値より大きい振動になると、出
モニタ出力端子にオシロスコープを接続
ハウジングとGNDラインを絶縁処理した
センサ未接続、センサ誤配線、センサケー
力がONします。コントローラ単体で制御
力がONします。コントローラ単体で制御
し、簡易的に生波形の観察や確認ができ
構造のため、まわり込み電流でセンサが破
ブルの断線時に、アラーム表示します。
も可能です。
も可能です。
ます。
壊されることがありません。
また、水滴のかかる所でも使用できます。
（形D7F-C03の場合）
APPLICATION
アプリケーション
様々なアプリケーションで
活躍します。
4
排気ファンの保全
循環ポンプの保全
ウエハの洗浄/乾燥工程での異状検知
走行ロボットの状態監視
混合機における混練物の性状確認
遠心分離器の振れまわり検出
走行ロボットの状態監視
塗料付着などで排気ファンのバラン
スが崩れ、異状振動が発生。ファン
機能が低下する前にメンテナンスの
準備が可能です。
異物混入などによる循環ポンプの異
状が発生。ポンプが破損し液漏れす
る前にポンプの停止、メンテナンス
が可能です。
シリコンウエハの洗浄/乾燥工程でス
ピンドライヤなどの回転アンバラン
スをチェックします。ワレが生じる
前に回転異状を検知します。
振動値をモニタし、走行ロボットの
がたつきを常時監視。がたつきの幅
が増大することによる作業の位置ズ
レを防止します。
混合機の胴体・鋼板の振動変化を検
出して、練りが完了したか確認しま
す。
遠心分離器の振動を連続的にモニタ
し、異常な振れまわりを検知します。
振動値をモニタし、走行ロボットの
がたつきを常時監視。がたつきの幅
が増大することによる作業の位置ズ
レを防止します。
5
接触式変位センサ一覧
小型・軽量・高精度タイプ
センサ／アンプの互換性
特長
形D5SN-S01
センサ
形D5SN-S04
堅牢・高精度タイプ
センサ／アンプの互換性
形D5SN-S04-Ｌ 形D5SN-M05
形式
形D5SN-M10
セット形式
形D5M-5□
形D5SN-A01
アンプ
φ6mm
センサ外径
アンプセンサ一体型タイプ
低動作力
判定機能、通信機能付き(D5VM)
堅牢タイプ
セット形式
形D5M-10□
形D5VA
形D5VM
―
φ18mm
φ18mm
測定範囲
1mm
4mm
5mm
10mm
5mm
10mm
5mm
可動範囲
約1.5mm
約5mm
約6mm
約12mm
約6mm
約12mm
約5.7mm
0.5μm
1μm
2.5μm
5μm
分解能
0.1μm
0.4μm
直線性
0.3%F.S.以下
0.5%F.S.以下
0.5μm以下
1.6μm以下
繰り返し性
約0.7N
測定力
10μm以下
約0.25Ｎ
10μm以下
20μm以下
機械的寿命
IP67
保護構造
IP54
標準価格
（￥）
センサ 98,000 + アンプ 46,000
最大0.3Ｎ
1,000万回以上
IP67
IP40
DC24V(21.6∼26.4Ｖ)
DC12∼24V
（10.8∼26.4V）
電圧(-5∼+5V)、
電流(4∼20mA)
出力形態
電流(4∼20mA)
電流(4∼20mA)
80,000∼89,000
センサ 72,000 + アンプ 46,000
P8
掲載ページ
10μm以下
20μm以下
1,000万回以上
IP67
DC12∼24V
（10.8∼26.4V）
電源電圧
0.5%F.S.以下
最大5.88Ｎ
最大5N
1,000万回以上
1μm
10μm
0.5%F.S.以下
0.5%F.S.以下
形B7Aｼﾘｱﾙ通信
43,500 ∼49,000
P15
P18
傾斜センサ一覧
ON/OFFタイプ
リニア出力タイプ
形式
検出角度範囲
形D5R-L02-60
形D5R-L02-15
±60°
（検出幅120°
）
±15°
（検出幅30°
）
電源電圧範囲
出力範囲
1∼4V
出力
水平電圧
2.5V±0.05V
感度
出力方式
NPNオープンコレクタ方式 開閉容量 2A
出力形態
連続出力
消費電流
8,900
30mA出力
応答時間
P24
1.2s以下
標準価格
（￥）
5,200 5,500 掲載ページ
設備・機械の振動状態をリニア出力
P26
マニュアル設定タイプ
設備・機械などの異状を振動で検出
センサ
コントローラ
センサ
D7F-S03-05
D7F-C03
D7F-S01-05／D7F-S01-10
D7F-C01
使用温度範囲
‐25∼＋70℃
−10∼＋55℃
‐25∼＋70℃
−20∼＋60℃
使用周囲湿度
25∼95％RH
25∼85％RH
25∼95％RH
25∼95％RH
IP67
−
IP67
−
10∼2，
000Hz
−
20∼2，
000Hz
−
98m／S2
− 784ｍ／S2
出力
−
DCアナログ
トランジスタ
ACモニタ
−
モニタ
消費電流
−
100mA以下
−
200mA以下
47,500
28,500∼32,000
コントローラ
形式
保護構造
周波数範囲
使用最大加速度
標準価格
（￥）
掲載ページ
6
31,500
P28
1段目：断続出力 1Hz
2段目：連続出力
振動センサ一覧
特長
1段目：±15°
+1.5°
2段目：
（一段目：+2°
）
±1°
2.5s以下
1s以下
→0°
ステップ移動）
（+60°
→0°
ステップ移動） （+15°
掲載ページ
±1.5°
出力偏差
1%F.S.以下
標準価格
（￥）
1段目：±15°
2段目：±17°
25mV/°
±3% 100mV/°
±3%
直線性
応答時間
（90％到達時間）
±13°
動作角度
20mA以下
形D5R-1517
DC12V
（DC8∼16V）
電源電圧
DC5V±0.5V
消費電流
形D5R-13
形式
−
リレ−
44,500
P31
CONTENTS
目次
接触式変位センサ
高精度タイプ
形D5SN
堅牢タイプ
形D5M
15
アンプ一体型タイプ
形D5V
18
変位センサ用語集
8
22
傾斜センサ
リニア出力タイプ
形D5R
24
ON/OFFタイプ
形D5R
26
振動センサ
リニア出力タイプ
形D7F
28
マニュアル設定タイプ
形D7F
31
関連商品
関連商品
34
7
接触式変位センサ
D5SN
形
5種類のセンサで、
幅広い測定環境に対応
●小型で軽量、φ6mmの超小径センサ
（形D5SN-S01/-S04/-S04-L）。
●0.1μmの高分解能
（形D5SN-S01）。
●耐横荷重5Nの堅牢センサ（形D5SN-M05/-M10）。
●IP67の保護構造（形D5SN-S01/-S04/-M05/-M10）。
●絶縁型センサ。
認定海外規格
認定機関
TÜV プロダクトサービス
適用規格No.
EN61010-1 ファイルNo.
認定機関
UL Z1030339656046 適用規格No.
UL50 種類／標準価格
ファイルNo.
E104818 （納期についてはお問い合わせください。
）
センサ
アンプ
測定範囲
1mm 分解能
0.1μm
4mm 0.4μm
5mm 10mm 0.5μm
1μm
測定力
形式
形D5SN-S01
約0.7N
形D5SN-S04
約0.25N 形D5SN-S04-L
形D5SN-M05
最大5N
形D5SN-M10
標準価格
（￥）
98,000 形式
形D5SN-A01
標準価格（￥）
46,000 注. アンプはすべてのセンサに共通です。
●測定環境に応じて選べる5センサ対応型
72,000 仕様
センサ
項目
形式
測定範囲
可動範囲
分解能 ＊1
直線性 ＊2
繰り返し性
応答時間
（ただし、衝突時のバウンス
時間を除く）
測定力 ＊3
保護構造（コネクタ部を除く）
機械的寿命
本体取りつけ部の絶縁/非絶縁
使用周囲温度
使用周囲湿度
温度特性 ＊4
質量
接続ケーブル長
形D5SN-S01
1mm 約1.5mm
0.1μm
0.3％F.S.以下
0.5μm以下
形D5SN-S04
4mm 約5mm
0.4μm
0.5％F.S.以下
1.6μm以下
100ms以下
200ms以下
約0.7N
IP67 1,000万回以上
絶縁タイプ
−10∼＋60℃（ただし、氷結・結露なきこと）
（ただし、結露なきこと）
25∼95％RH
0.025％F.S./℃
0.010％F.S./℃
約70g
（ケーブル・コネクタを含む）
3線シールドケーブル 2m
形D5SN-S04-L
形D5SN-M05
5mm 約6mm
0.5μm
0.5％F.S.以下
10μm以下
形D5SN-M10
10mm 約12mm
1μm
20μm以下
300ms以下
約0.25N
IP54 最大5N
IP67 0.03％F.S.以下
約230g
約300g
注. この仕様値は標準測定子を使用した場合の値です。
＊1. 当社デジタルパネルメータ形K3NXシリーズをご使用の場合の読取り可能最小値です。
＊2. F.S.はそれぞれの測定範囲を示します。
＊3. 標準添付の測定子をつけ、測定子を下向き方向になるように固定した場合の、測定中心位置での代表値です。水平方向または上向き方向に固定した場合は、そ
れぞれ測定力が減少します。また、標準以外の測定子を取りつけて使用される場合は、測定子の自重により測定力が変りますので、ご注意ください。
＊4. 測定範囲の中心位置での代表値です。
8
接触式変位センサ
D5SN
アンプ
項目
電源電圧
（許容範囲）＊1
消費電流
形式
電圧
電流
出力形態
開閉出力電流
ON時出力残留電圧
OFF時コレクタ耐圧
OFF時漏洩電流
アナログ出力 ＊2
イネーブル出力
形D5SN-A01
DC12∼24V（10.8∼26.4V）
80mA以下
−5∼＋5V（負荷インピーダンス10kΩ以上）
4∼20mA（負荷インピーダンス300Ω以下）
NPNオープンコレクタ
100mA以下
1.5V以下
DC26.4V 0.1mA以下
IP30 −10∼＋55℃（ただし、氷結・結露なきこと）
（ただし、結露なきこと）
25∼85％RH
0.010％F.S./℃
約200g
（ケーブルを含む）
5線シールドケーブル 2m
保護構造
使用周囲温度
使用周囲湿度
温度特性 ＊3
質量
接続ケーブル長
＊1. UL1310に従うクラス2電源ユニットまたはUL1585に従うクラス2トランスを電源とする最大電圧30Vrms
（42.4Vピーク）
以下の回路
（クラス2回路）
に接続してご使
用ください。
＊2. オフセット調整およびスパン調整により、測定範囲内であってもアナログ出力が仕様範囲
（−5∼＋5Vまたは4∼20mA）
から外れる場合があります。
＊3. 測定範囲の中心位置での代表値です。
出力特性
電圧／電流出力
形D5SN-S01/-S04/-S04-L
形D5SN-M05/-M10
測定範囲（F.S.）
測定範囲（F.S.）
20mA
5V
0V
12mA
変位の方向
−
変位の方向
＋
（開放側）（押し込み側）
−5V
−
4mA
＋
（開放側）（押し込み側）
−5V
中心
−0.5mm
（−2mm）
電流出力
電圧出力
12mA
アナログ出力︵電流︶
電圧
電流出力
アナログ出力︵電流︶
電圧
電圧出力
0V
20mA
5V
4mA
中心
＋0.5mm 変位
（＋2mm）
0mm
−2.5mm
（−5mm）
イネーブル出力
0mm
＋2.5mm 変位
（＋5mm）
イネーブル出力
ON
ON
OFF
OFF
＊（ ）の数値は、形D5SN-S04/-S04-Lの値になります。
＊（ ）の数値は、形D5SN-M10の値になります。
LED表示とENABLE出力
押し込み位置
LED表示
ALARM / ENABLE
FAR NEAR
全域（異常時）
測定範囲外
測定範囲内
測定範囲外
赤
開放側
緑
開放側
緑
中央付近
緑
備考
ENABLE出力
OFF
コネクタ接続不良、センサケーブル断線
などの異常時を示します。
OFF
緑
ON
緑
緑
ON
押し込み側
緑
緑
ON
押し込み側
緑
赤
OFF
測定範囲の中心付近を示します。
（調整の原点付近となります。）
プランジャが破壊する恐れがあります。
接触式変位センサ
D5SN
9
接続
入出力回路図
デジタルパネルメータ（形K3GN）との接続例
アンプ
（形D5SN-A01）
形K3GN
茶
7
DC12∼24V
8
9
COM
1 2 3
青
10 11 12
4
COM
5 6
【形D5SN-A01】
黒
内部回路
アナログ出力
シールド
アナログGND
橙
イネーブル出力
負荷
イネーブル
出力部
桃
注1 . イネーブル出力
（橙、桃）
をご使用されない場合は、
他の線と接触しないよう絶縁テープなどで絶縁処理をしてください。
2 . デジタルパネルメータは、直流電圧入力タイプまたは
直流電流入力タイプをご使用ください。
イネーブルGND
接続図
デジタルパネルメータ（形K3NX）
との接続例
橙
NC
桃
NC
黒 シールド
形D5SN-A01
形D5SN-S01
黒（電流）
シールド
黒（電圧）
注. 形K3GNに電源
（DC24V）
出力はありません。
10Ω
3.3Ω
電源
DC24V
アナログ
出力部
イネーブル
出力部
青
茶
安定した出力確保のための注意事項
・AD ボードなどにアンプを複数台接続する場合には、差
形K3NX
10 11 12 13 14 15 16 17
1
±5V
2
3
4
5
6
7
シールド線
8
9
DC12∼24V 電源
動入力タイプのADボード、または各アンプごとに絶縁
された電源をご使用ください。
・当社デジタルパネルメータ以外の機器と接続する場合
は、電源GNDとアナログGNDをコモン接続しないでく
ださい。
各部の名称
アンプ
形D5SN-A01
センサ
形D5SN-S01
プランジャ
コネクタ
（センサ接続用）
センサコネクタ
オフセットボリウム
調整範囲：約±0.5V
または
約±0.8mA
測定子 ゴムブーツ
ポジション表示灯（緑）
アラーム（赤）/イネ−ブル表示灯（緑）
スパンボリウム
調整範囲：約10％
形D5SN-M05
アナログ出力
選択スイッチ
プランジャ
センサコネクタ
測定子 ゴムブーツ
※スパンは出荷時に理想特性の約±1％に調整されています。
10
接触式変位センサ
D5SN
外形寸法
（単位：mm）
センサ（プランジャ開放位置の寸法を示します。）
形D5SN-S01
SR3
0
φ6
−0.1
＊
φ3.7
φ4.5
（φ16.7）
6.5
6
41.6
44.6
57.1±1
（34）
2,000＋150
−50
＊ゴムブーツ材質：フッ素ゴム
形D5SN-S04
形D5SN-S04-L
SR3
0
φ6
−0.1
＊
φ3.7
φ4.5
（φ16.7）
6.5
63.4
66.4
86±1.5
13.1
（34）
2,000＋150
−50
＊ゴムブーツ材質
形D5SN-S04：フッ素ゴム
形D5SN-S04-L：シリコンゴム
形D5SN-M05
φ20 φ18
＊
φ6
φ16.7
M18六角ナット
歯付座金
3.8
（61）
パネル加工寸法
2,000
59±1.2
＋0.1
φ18
0
＊ゴムブーツ材質：NBR
形D5SN-M10
φ20 φ18
＊
φ6
板厚：t＝5∼12mm
φ16.7
M18六角ナット
歯付座金
3.8
（67）
2,000
83±1.2
＊ゴムブーツ材質：NBR
アンプ
形D5SN-A01
25
30
0.7
2-取りつけ穴
55
コネクタ
接続部
6
取りつけ穴加工寸法
2-M4または
φ4.3
98
89
80
21
89±0.2
35.2
ビニル絶縁丸形シールドコード
φ5、5芯
（導体断面積：0.2㎜2、
絶縁体径：φ1.0㎜） 標準2m
21±0.2
締めつけトルク
（M4ねじ）
0.6∼1.0N･m
25
接触式変位センサ
D5SN
11
オプション（測定子）
形式
種類（材質）
ねじ部
形状
対象センサ ＊
用途
形D5SN-S□
形D5SN-M□
〇
×
一般的な平面の測定
（形D5SN-Sシリーズ標準添付の測
定子）
TB1
ボールタイプ
（鋼）
めねじ
Ｍ2.5×0.45
TB2
ボールタイプ
（超硬）
めねじ
Ｍ2.5×0.45
耐磨耗性が求められる測定
被測定物：超硬（HR90）以下
〇
×
TB3
ボールタイプ
（ルビー）
めねじ
Ｍ2.5×0.45
耐磨耗性が求められる測定
被測定物：超硬（HR90）以上
〇
×
TN1
ニードル
（超硬）
おねじ
Ｍ2.5×0.45
溝、孔の底面測定
△
×
TF1
フラット
（超硬）
おねじ
Ｍ2.5×0.45
球面状のものを測定
△
〇
TR1
ローラタイプ
（焼入れ鋼）
おねじ
Ｍ2.5×0.45
移動しながらの測定や横から滑
らせての測定。ただしローラー
の振れは10μｍ以下になります。
×
〇
TA
変換アダプタ
（ステンレス）
貫通 めねじ
Ｍ2.5×0.45
形D5SN-Sシリーズのセンサに形
D5SN-TN1/-TF1を取りつけるこ
とや、市販の測定子を取りつけ
ることができます。
〇
×
形D5SN-
＊測定子オプションの組み合わせについて
○印：交換可能です。 △印：変換アダプタが必要になります。 ×印：交換できません。
外形寸法
形D5SN-TB1/TB2/TB3
形D5SN-TN1
形D5SN-TF1
（10）
（15）
5
10
3.5
3
アヤ目 m0.2
SR1.5
7
5
3.3
5
M2.5
φ5
φ1
φ5.2 φ4.3
φ3.5
超硬
C0.3
5.5
6.5 ±0.2
M2.5×0.45
φ4.5
形D5SN-TR1
形D5SN-TA
M2.5×0.45
2-C0.2
1.6
平目 m0.2
φ5
23
3
15
13
R5
C2
7
φ10
12
接触式変位センサ
3
9
D5SN
12
M2.5
（貫通）
超硬
M2.5×0.45
取りつけ治具
形D5SN-Sシリーズ専用
推奨取りつけ治具
φ8スタンド用取りつけ治具
10
1.5
φ6H7
A
＋0.01
φ6
0
1
3.5
φ6.5 φ3.5
0
φ8
−0.03
M3
1 φ12
8
5
32
4
15
20
2-φ3.5
A
26
8
18
A-A
締めつけトルク：0.6∼0.8N・m
（M3ねじ）
材質：黄銅
3点支持での取りつけ
締付治具
60°
3点で
支持
取りつけ幅
8mm以上
材質：アルミ
〈ご参考〉
この製品を取りつけ可能なシャフトホルダが（株）
ミスミより販売されていま
す。 型式：SHSTA6
センサ断面
受け治具
締付力
：100N以下
測定子の交換手順
1. 標準測定子の取りはずし
・プランジャの D カット部をラジオペンチなどで固定して
測定子を取りはずしてください。
・やむを得ず、センサ本体をもって交換される場合は、
幅1mm
0.15N･m以上のトルクが加わらないようにしてください。
規定外のトルクを加えると、プランジャの動作に支障を
生じる場合がありますのでご注意ください。
2. 変換アダプタに市販測定子を取りつける
・ねじ部の緩みがないよう、しっかりと締めつけてください。
・必要により、ねじロック剤を塗布してください。
（推奨：スリーボンド1401B）
Ｄカット部
ラジオペンチなど
市販測定子
(先端フラットタイプなど)
変換アダプタ
（形D5SN-TA）
必要により、ねじロック剤
3. 変換アダプタをプランジャに取りつける
・プランジャの D カット部をラジオペンチなどで固定して
変換アダプタを取りつけてください。
・やむを得ず、センサ本体をもって交換される場合は、
0.15N･m以上のトルクが加わらないようにしてください。
規定外のトルクを加えると、プランジャの動作に支障を
生じる場合がありますのでご注意ください。
接触式変位センサ
D5SN
13
正しくお使いください
お願い
以下に示す項目は安全を確保する上で必要なことですので
必ず守ってください。
・この製品を引火性、爆発性ガスの環境では使用しないでく
ださい。
・この製品を分解したり、修理・改造しないでください。
特に、センサのケーブルの切断・延長はしないでください。
正しい使い方
・この製品は精密機器ですので、落下させるなどの衝撃を加
えないでください。
・この製品のプランジャには、図に記載した以上の力を加え
ないでください。破損する恐れがあります。
形D5SN-Sシリーズ
30N
30N
1N
0.15N・m
・静電気や過大なノイズを受ける場所
・強磁性体への取りつけや、モータなどの強磁界が発生する
機器の近く
（2）センサの保護構造IP67は、水密性
（完全防水）
とは異なり
ます。常時水没しての使用はしないでください。
形D5SN-Mシリーズ
100N
100N
5N
0.3N・m
・測定子を押し込みすぎますとセンサが破壊します。
測定は押し込み警告灯が点灯しない範囲で行ってください。
・防塵ゴムブーツは取りはずさないでください。
異物が侵入し、センサ故障の原因になります。
・センサ及びアンプの取りつけは、指定の場所・荷重でお願
いします。
過大な力で取りつけると破損する恐れがあります。
14
使用環境について
（1）下記の設置場所では使用しないでください。機器の破
損・故障の原因になります。
・直射日光があたる場所
・湿度が高く結露する恐れがある場所
・腐食性ガスのある場所
・塵埃の多い場所
・水、油、薬品などの飛沫がある場所
・本体に直接、振動や衝撃が伝わる場所
接触式変位センサ
D5SN
配線について
・電源を入れた状態での配線や、コネクタの着脱をしないでく
ださい。故障・誤動作の原因となります。
・配線は高圧、強電流線との近接を避けてください。
・電源電圧は定格内でご使用ください。
・規定の負荷でご使用ください。
・端子の極性を確認し、誤配線のないようご注意ください。
接触式変位センサ
形
D5M
悪環境下でもインライン計
測可能なIP67適合の接触式
リニアセンサ
●IP67（IEC規格）の保護構造を実現（センサ部）。
●4∼20mAの電流リニア出力が可能。
●アンプ部でオフセット調整が容易に行えます。
（TÜV認定）
●EMC指令に適合
CEマークを表示。
種類／標準価格
（納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。
）
測定範囲
測定子
ボールタイプ
5mm
ローラタイプ
ボールタイプ
10mm
ローラタイプ
アクセサリ
─
固定ブロック付
─
固定ブロック付
─
固定ブロック付
─
固定ブロック付
形式
形D5M-5B
形D5M-5BB
形D5M-5R
形D5M-5RB
形D5M-10B
形D5M-10BB
形D5M-10R
形D5M-10RB
標準価格
（￥）
80,000
82,000
87,000
89,000
80,000
82,000
87,000
89,000
注. センサ部とアンプ部はセットで調整されていますので必ずセットでご使用願います。
接続図
構造
測定子
アンプユニットとセンサ部との接続
固定ブロック
ゴムキャップ
青
黒
シールド
茶
⑦ ⑧ ⑨
ゴムブーツ
ケース
ケーブル
⑩ ⑪ ⑫
形D5Mアンプ部
④ ⑤ ⑥
4∼20mA
① ② ③
GND
端子配置
No.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
接続端子
GND 24V DC NC
GND
＋
出力
4∼20mA
NC
茶
青
黒
NC
NC
センサヘッド
シールド
DC 24V
注. ③⑥⑩⑪はあき端子です。
①④⑫はアンプ内蔵で接続されています。
接触式変位センサ
D5M
15
定格／性能
項目
セット形式
保護構造
（センサ部）
機械的寿命
電源電圧
（使用電圧範囲）
消費電流
測定範囲
機械的可動範囲
分解能
繰り返し精度
出力特性
直線性
出力
操作力
表示灯
絶縁抵抗
耐電圧
定格絶縁電圧（Ui ）
汚染度（使用環境）
感電保護クラス
PTI（トラッキング特性）
スイッチカテゴリ
センサ部
振動（耐久）
アンプ部
センサ部
衝撃（耐久）
アンプ部
センサ部
周囲温度
アンプ部
センサ部
周囲湿度
アンプ部
センサ部
温度の影響
アンプ部
接続コード長（センサ部）
センサ部
質量
アンプ部
センサ部
材質
アンプ部
形D5M-5□
IP67 ＊1
1,000万回以上
DC 24V±10％
80mA以下
5mm 10mm 約6mm
約12mm
2.5μm
5μm
10μm以下
20μm以下
0.5％F.S.以下＊2
4∼20mA
（許容負荷抵抗：0∼300Ω）
最大5.88N
電源表示
（POWER）
、押し込み警告（OVER）
100MΩ以上
（DC 100Vメガにて）
充電部一括とアース間
AC 1000V 50/60Hz 1分 充電部一括とアース間
1,000VAC 3
（IEC947-5-1）
Class II
175
3
（IEC335）
10∼55Hz 複振幅 2mm X、Y、Z各方向 2h
10∼55Hz 複振幅 0.75mm X、Y、Z各方向 2h
500m/s2 X、Y、Z各方向3回
200m/s2 X、Y、Z各方向3回
−20∼＋60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
−10∼＋55℃（ただし、氷結・結露しないこと）
95％RH以下
（ただし、氷結・結露しないこと）
85％RH以下
（ただし、氷結・結露しないこと）
±0.03％FS/℃ ＊2
±0.03％FS/℃ ＊2
3芯シールドコード2m
約200g
約300g
約100g
ステンレス鋼
ABS樹脂
形D5M-10□
＊1. 保護構造はIP67ですが、水中、油中では使用できません。また、アンプ部は粉塵、水の浸入に対する保護構造はありません。
＊2. FSは測定範囲のことを示します。（例：形D5M-5□□では、5mmを示します。）
認定海外規格
認定機関
TÜV
プロダクトサービス
規格
EN61010-1
EN55011
（EMI）
EN50082-1
（EMS）
ファイルNo.
950522868003
XA951122868008
安全規格認定定格
TÜV
（EN55011、EN50082-1）
0.1A
24V DC
定格電流
定格電圧
外形寸法
（単位：mm）
センサ部
＊出荷時は、基準位置から、出力が4mA、20mAまでの長さを、それぞれL1
（測定開始位置）、L2
（測定終了位置）のように設定しております。
ボールプランジャタイプ
形D5M-5B
取りつけ穴加工寸法
φ18＋0.1
−0
（6）
5
φ5
φ2.4
鋼球
16
六角ナット
（対辺距離24、厚さ4）
可動範囲
17
測定範囲
M18×1
9
（55）
L2
55.5
L1
60.5
（61）
接触式変位センサ
D5M
ボールプランジャタイプ
六角ナット
形D5M-10B
（対辺距離24、厚さ4）
歯付座金
2.5
φ20 φ18
取りつけ穴加工寸法
φ18＋0.1
−0
（12） 可動範囲
10 測定範囲
M18×1
φ5
φ2.4
鋼球
3.8
43
59
9
（55）
L2
56
L1
66
（67）
17
歯付座金
2.5
φ20 φ18
3.8
67
83
ボールプランジャタイプ
形D5M-5BB
ボールプランジャタイプ
形D5M-10BB
23
17
11.5
23
（6）
5
可動範囲
測定範囲
2-φ10.2深さ6
φ18
23
17
2-φ10.2深さ6
φ18
11.5
23
（12）
10
可動範囲
測定範囲
φ5
48
48
φ2.4
鋼球
φ2.4
鋼球
M18×1
（55）
取りつけ穴加工寸法
43
55.5（L2）
2-M5
9
M18×1
30
取りつけ穴加工寸法
59
60.5（L1）
（61）
30
（55）
67
56（L2）
2-M5
2-φ5.2（取りつけ穴）
83
66（L1）
（67）
30±0.1
2-φ5.2（取りつけ穴）
30±0.1
ローラプランジャタイプ
形D5M-5R
取りつけ穴加工寸法
六角ナット
（対辺距離24、厚さ4）
可動範囲
（6）
φ18＋0.1
−0
17
測定範囲
M18×1
5
歯付座金
（60.5）
L2
61
3.8
φ18＋0.1
−0
ローラプランジャタイプ
形D5M-10RB
23
11.5
可動範囲
測定範囲
2-φ10.2深さ6
φ18
M18×1
（60.5）
取りつけ穴加工寸法
66（L1）
（66.5）
2-φ10.2深さ6
φ18
M18×1
30
（60.5）
67
61.5（L2）
2-M5
2-φ5.2（取りつけ穴）
83
71.5（L1）
（72.5）
4
30±0.1
83
可動範囲
測定範囲
取りつけ穴加工寸法
59
67
23
2.5
43
3.8
φ9
30
61.5（L2）
2-M5
2.5
φ20 φ18
11.5
（12）
10
48
2.5
歯付座金
17
23
φ9
48
17
（60.5）
L2
61.5
L1
71.5
（72.5）
43
17
23
（12） 可動範囲
10 測定範囲
M18×1
59
66
（66.5）
（6）
5
取りつけ穴加工寸法
2.5
φ20 φ18
L1
ローラプランジャタイプ
形D5M-5RB
ローラプランジャタイプ
六角ナット
形D5M-10R
（対辺距離24、厚さ4）
2-φ5.2（取りつけ穴）
4
30±0.1
φ9
φ9
注. 上記、各機種の外形寸法図中、指定のない部分の寸法公差は±0.4mmです。
アンプ部
形D5M-5□
形D5M-10□
電源表示灯
カバーなし
取りつけ穴加工寸法
押し込み
警告灯
75（カバーなし）
72±0.3
2-M4（またはφ4.3）
35.3
オフセットボリウム
調整範囲
±5％FS （
）
80
注. 左記、各機種の外形寸法図中、指定のない
部分の寸法公差は±0.4 mmです。
30
3
23.5
51.5
78
接触式変位センサ
D5M
17
接触式変位センサ
形
D5V
低動作力でさまざまな測定物を
インライン計測可能な
アンプ一体型接触式変位センサ
●低動作力
（0.29N）
でガラス、プラスチック、ゴムな
どさまざまな測定物を計測。
●測定範囲0∼5mmに対し4∼20mAのリニア出力とデ
の2種類を品揃え。
ジタル出力
（形B7A通信対応）
●測定子にはボール、ピン、フラットの3種類があり、
測定物に合わせて選べます。
●センサ本体との接続はセンサI/Oコネクタ（形XS3）
の採用により簡単に配線が可能。
種類／標準価格
測定範囲
（納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。
）
出力仕様
測定子
分解能
ボールタイプ
4∼20mA
ピンタイプ
10μm
形式
標準価格
（￥）
形D5VA-3B1
43,500
形D5VA-3P1
44,000
フラットタイプ
＊1
形D5VA-3F1
ボールタイプ
形D5VM-3B1
5mm
形B7Aシリアル
通信出力 ＊2
ピンタイプ
1μm
48,500
形D5VM-3P1
49,000
フラットタイプ
＊1
形D5VM-3F1
＊1. フラットタイプは、測定子を外付けできるよう、M2.5 深さ5mmのねじ加工を先端に施しています。
＊2. 形D5VM-3□1は形B7Aリンクターミナル出力ユニットまたは、形CJ1、形C200H、形CQM1の形B7Aインターフェース
ユニットと組合せて使用します。
ユニットは伝送遅延時間標準タイプ（19.2ms）の16点、32点タイプを使用願います（高速タイプは使用できません）。
安全規格認定定格
EN50081-1、prEN50082-2適合
定格電流
定格電圧
18
100mA
24V DC
接触式変位センサ
D5V
定格／性能
項目
電源電圧
消費電流
測定範囲
可動範囲
オフセット調整範囲
分解能
リニアリティ
繰り返し精度
応答速度
動作力
形式
出力
取付方法
表示
機械的寿命
温度特性
使用温度
保存温度
湿度範囲
絶縁抵抗
耐電圧
耐ノイズ性
耐振動
耐衝撃
接続コード
質量
材料
形D5VA-3□1
DC12∼24V±10％ ＊1
80mA以下
5mm 約5.7mm
±0.25mm
10μm
0.5％FS以下
10μm以下
6ms以下
最大0.3N
リニア電流出力4∼20mA
（許容負荷抵抗：0∼300Ω）
M4ねじ2本
電源/押し込み警告
1,000万回以上
±0.04％FS/℃以下
−10∼＋55℃（ただし、氷結、結露しないこと）
−25∼＋65℃（ただし、氷結、結露しないこと）
35∼85％RH
（ただし、氷結、結露しないこと）
100MΩ以上（DC100Vメガにて）
AC1,000V 50/60Hz 1min ノイズレベル1.5kV、パルス幅100ns、1μs
10∼55Hz 複振幅0.75mm
196m/s2 2m（形XS3F-M421-402-Rが付属）
約80g（コードを除く）
ABS/PC（ポリマーアロイ）
形D5VM-3□1
1μm
37ms以下
（伝送遅延時間を含む）
形B7Aシリアル通信出力 ＊2
（BCDモード、多点ON/OFF出力モード ＊3）
電源/押し込み警告、設定状態、出力状態
＊1. 形D5VM-3□1と形B7Aの出力ユニットを片側電源で使用する場合はDC24V±10％でお使いください。
＊2. 適合接続形式
適合接続形式
形B7A-R6□□1、形B7AS-R6B□1
形B7A-R□A□3-□
形C200H-B7A21、形C200H-B7A22
形C200H-B7A11、形C200H-B7A12
形CQM1-B7A21、形CQM1-B7A12
形CQM1-B7A13
形CJ1W-B7A22、形CJ1W-B7A14
形CJ1W-B7A04
タイプ
ねじ端子タイプ
PCコネクタタイプ
C200H
B7Aインターフェースユニット
CQM1
B7Aインターフェースユニット
CJW1
B7Aインターフェースユニット
（標準モードでご使用の場合のみ）
＊3. BCDモードと多点出力モードはモード切り替えスイッチで任意に選択できます。
各部の名称と機能
形D5VA-□□（リニア出力仕様）
形D5VM-□□（形B7Aシリアル通信仕様）
コネクタ
電源表示灯
電源投入時
緑色に点灯
します。
押し込み警告灯
測定範囲以上に
押し込んだ時赤
色に点灯します。
電源表示灯
電源投入時
緑色に点灯
します。
ノブ
コネクタ側に倒
すとアクチュエ
ー タ が TTPに
固定されます。
オフセット
調整用ボリウム
出力を±0.25㎜
の範囲で調整で
きます。
動作表示灯
動作に応じ
て橙色に点
灯、点滅し
ます。
押し込み警告灯
測定範囲以上に
押し込んだ時赤
色に点灯します。
設定項目表示灯
SETモ ー ド 時
の設定項目に応
じて橙色に点灯
します。
設定スイッチ＊
SETモード時に
チャネル、設定
位置調整、公差
を設定します。
モード切換スイッチ
BCD、 SET、 RUN
の各モードを切り換
えます。
コネクタ
ノブ
コネクタ側に倒
すとアクチュエ
ー タ が TTPに
固定されます。
オフセット
調整用ボリウム
出力を±0.25㎜ ＊ティーチング機能（形 D5VM シリーズ）
の範囲で調整で 設定はアクチュエータを設定したい位置に固定してティーチン
きます。
グスイッチを押します。
自動的に設定値が記憶され、電源を OFF にしてもそのまま設定
保持されるので、測定のたびに設定しなおす必要がありません。
動作表示灯の説明
BCD
アクチュエータの押し込み量の概略を表示。
（バーグラフ）
設定済みチャンネルを点灯。
設定チャンネルを点滅。
設定位置調整時（HEIGHT）
調整値状態を表示。
公差設定時
（WIDTH）
出力状態、公差を表示。
0∼15チャンネルの出力状態を表示。
チャンネル設定時
（CHANNEL）
SET
RUN
接触式変位センサ
D5V
19
外形寸法（イラストは形D5VA-□□□です。）
形D5VA-3B1
形D5VM-3B1
（単位：mm）
形D5VA-3P1
形D5VM-3P1
9
接続コード2m
（形XS3F-M421-402-R）
φ4
18.6
9
接続コード2m
（形XS3F-M421-402-R）
φ4
18.6
32.7
32.7
10.4
10.4
φ9
φ9
5.7
5.7
60
60
38±0.1
2-φ4.2
38±0.1
2-φ4.2
基準位置
基準位置
7
7
L20.5 FP（20.7）
6
6
L31 FP（31.2）
φ1
25
SR1.5
25
17.6
17.6
18
18
40
40
取りつけ穴加工寸法
取りつけ穴加工寸法
2-M4またはφ4.3
CADファイル
形式
38±0.3
形D5VA-3B1
D5VA_01
形D5VM-3B1
D5VM_01
2-M4またはφ4.3
38±0.3
形式
CADファイル
形D5VA-3P1
D5VA_02
9
形D5VA-3F1
形D5VM-3F1
接続コード2m
（形XS3F-M421-402-R）
φ4
18.6
32.7
10.4
φ9
5.7
60
38±0.1
2-φ4.2
基準位置
7
L16 FP（16.2）
6
φ5.5
25
M2.5深さ5
17.6
18
40
取りつけ穴加工寸法
形D5VAは出荷時“L”の位置での出力を4mAに設定しております。
形D5VM（BCDモード）は出荷時“L”の位置での出力を0000に設定しており
ます。
なお、FP
（フリーポジション）ではEEEEが出力され、測定範囲以上に押し込
んだ場合は、FFFFが出力されます。
2-M4またはφ4.3
38±0.3
20
接触式変位センサ
D5V
ご使用に際して
デジタルパネルメータとの接続例
形K3NX
品名
形式
形K3GN
品名
形式
デジタルパネルメータ
形K3NX-AD□□-□
・確度±0.1％rdg±1ディジット以下
・接点、トランジスタ、BCD、通信、リニアなど各種
出力ユニットを用意
・5段階判別
特長
小型デジタルパネルメータ
形K3GN-ND□□
mmの小型サイズ
・48
（W）
×24（H）
×83
（D）
・緑・赤の2色表示
・通信機能付きタイプもあります。
特長
接続例
形K3TX-AD□□
10
1
11
2
12
3
13
4
14
5
15
6
16
7
17
8
形K3GN-ND□□
形D5V
アンプ部
18
9
7
4
5
6
1
2
3
1
8
2
9
3
10
4
11
5
形D5V
アンプ部
12
6
4
5
6
1
2
3
注3
DC24V
注1 . 形K3NXは直流電流入力タイプをお使いください。
2 . 形 K3NX は各種出力ユニットを取り揃えていますので用途により選択し
てください。
3 . この配線はDC電源仕様の形K3NXをご使用の場合のものです。
AC電源仕様の形K3NXをご使用の場合は形K3NX用のAC電源と形D5M
アンプ用のDC電源を別配線してください。
種類／標準価格
形K3NX
出力形態
リレー接点
トランジスタ
HH、H、L、LL：各1a、PASS：1c
NPNオープンコレクタ（HH、H、PASS、L、LL）
電源電圧
DC12−24V
◎形K3NX-AD2A-C2
◎形K3NX-AD2A-T1
標準価格
（\）
37,500
形K3GN
出力形態
リレー接点出力
（2出力、各1a）
トランジスタ出力（NPNオープンクレクタ、3出力）
通信出力形態
なし
形式仕様
◎形K3GN-NDC
◎形K3GN-NDT1
標準価格
（\）
DC24V
DC24V
23,000
形K3NX、形K3GNの詳細につきましては、「デジタルパネルメータ／リニアセンサコントローラ総合カタログ
（カタログ番号：SAOO-311）」をご参照ください。
接触式変位センサ
D5V
21
変位センサ用語集
分解能について
アナログ出力信号をデジタル信号に変換する場合、出力は図
1のように階段状に分割されます。
分解能とは、デジタル信号として分割できる最小単位
（階段
一段の高さ）を意味し、「精度」
とは異なります。
しかしながら、接触式変位センサのようなアナログ機器はそ
れ自身では分解能は定義できません。
接触式変位センサではアナログセンサの分解能を「デジタル
パネルメータなどのAD変換器をもつ表示機器と接続した場
合の最小表示桁数」として定義しています。
出力︵ ︶
mA
「精度」とは一般的に図2のような項目に分類されます。
正確さ（かたより）
（1）
直線性
（2）
スパン誤差
（3）
オフセット誤差
精度
精密さ（ばらつき）
（4）
繰り返し性
（5）
指示の安定性
（6）
温度ドリフト
図2. 精度の分類
アナログ信号
22
20
18
16
14
12
10
8
6
4
2
0
0
1
2
3
4
変位量（mm）
直線性＝
（ズレの最大値）
／
（フルスケール）
＊100 ［%F.S.］…式
（1）
出力︵ ︶
出力︵ ︶
デジタル信号
22
20
mA 18
16
14
12
10
8
6
4
2
0
（1）直線性
図3に接触式変位センサの電流出力特性を示します。
例えば形D5SN-S04では、4mmの測定範囲に対して、4∼20mA
の電流を直線的に出力することが理想的な特性ですが、実際
の出力は直線からのズレを生じます。直線性とはこのズレの
度合いを示します。
直線性は一般的に式
（1）
で定義され、
［%F.S.
（パーセント・フ
ルスケール）］の単位で表わされます。
分解能
0
1
2
3
4
変位量（mm）
22
20
mA 18
16
14
12
10
8
6
4
2
0
ズレ
フルスケール
（=16mA）
理想特性
実際の特性
0
図1. センサのアナログ出力信号とデジタル出力信号
1
2
3
4
変位量（mm）
図3. 変位センサの出力特性
（2）スパン誤差
図4に示す通り、測定器の理想的な出力直線と実際の出力直
線との傾きのズレを意味します。
出力︵ ︶
22
スパン誤差
20
mA 18
16
14
12
10
8
理想特性
実際の特性
6
4
2
0
0
1
2
図4. スパン誤差
22
変位センサ用語集
3
4
変位量（mm）
（3）オフセット誤差
図5に示す通り、測定範囲の中心位置（例えば形D5SN-S04で
は変位量2mmの位置）
における測定器の理想的な出力と実際
の出力（回帰直線上の点）とのズレを意味します。
出力︵ ︶
22
20
mA 18
16
14
オフセット誤差
12
（6）温度ドリフト
周囲温度の変化によるアナログ出力の変動幅を温度ドリフ
トといいます。
1℃の変化に対する値を表し、接触式変位センサでは電気的
中点
（例：電圧出力の場合は0V位置）
での温度ドリフトを温度
特性として定義しています。
通常、測定範囲（フルスケール：F.S.）に対する比率で表現し
ます。
10
8
例）形D5SN-S01を使用時に周囲温度が1℃変動した場合の電
気的中点での出力変動
（センサヘッド＋アンプの温度特性：0.035％F.S.／℃、フ
ルスケール：1mm／F.S.）
0.00035 × 1 × 1 ＝ 0.00035mm ＝ 0.35μm
理想特性
実際の特性
6
4
2
0
0
1
2
3
4
変位量（mm）
図5. オフセット誤差
（4）繰り返し性
短時間内での指示値のばらつきを示します。メカ的な「がた
つき」やヒステリシスなどが原因となります。
指示値︵ ︶
1.9950
1.9949
mm 1.9948
1.9947
1.9946
1.9945
繰り返し性
1.9944
1.9943
1.9942
1.9941
1.9940
1.9939
0
5
10
15
20
25
測定回数
図6. 繰り返し性の例
（5）指示の安定性
温度一定環境における指示値の変動を示します。
回路の自己発熱による温度ドリフトなどが主な原因です。
変位換算出力変動値︵ ︶
μm
0
−0.5
指示の安定性
−1
−1.5
−2
0
1
2
3
4
時間（h）
図7. 指示の安定性の例
変位センサ用語集
23
傾斜センサ
（リニア出力タイプ）
形
D5R
傾斜角度をリニア出力
●±60°の広い測定角度。
●リニアリティ 1%の高精度を実現。
●IP67の高い防水防塵性。
●ローコストで省スペース。
種類／標準価格
種類
標準価格
（￥）
（納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。
）
形D5R-L02-60
形D5R-L02-15
8,900 定格／性能
項目
形式
検出角度範囲
電源電圧範囲
消費電流
出力範囲
出力
水平電圧
＊1
感度
出力電圧のレシオ性
＊2
水平電圧
温度
依存性 感度
直線性
応答時間
（90％到達時間）
非検出軸の感度 ＊3
振動印加時の
出力変動 ＊4
出力可能な電流
絶縁抵抗 ＊5
耐電圧 ＊5
保護構造
使用温度範囲
使用湿度範囲
保存温度範囲
保存湿度範囲
形D5R-L02-60
±60°
（検出幅120°）
DC5V±0.5V
20mA以下
1∼4V
2.5V±0.05V
±3％
25mV/°
形D5R-L02-15
±15°
（検出幅30°）
±3％
100mV/°
対電源比率変化±3％以下
±10mV/10℃以下
±20mV/10℃以下
±1.5％/10℃以下
1％F.S.以下
2.5s以下
1s以下
（＋60°
→0°
ステップ移動） （＋15°
→0°
ステップ移動）
±50mV以下
±50mV以下
−90°
0°
±200mV以下
0.1mA以下
（500Vメガ）
100MΩ以上
（リーク電流1mA以下）
1,000V 1分間
IP67 −20∼＋60℃
30∼95％RH
−30∼＋70℃
30∼95％RH（ただし、60∼70℃の場合は30∼60％RH）
全周での出力電圧について（±60°タイプ）
回転した位置にも検出エリアがあります（±15°タイプも同様）
180°
の検知が可能となります。＊6
2台を90°ずらして取り付けることにより、360°
（ただし、マイコン等による演算が必要です。）
正常取りつけ状態
補足説明
＊1. 電源電圧DC5V、周囲温度25℃時
＊2. 出力電圧のレシオ性
出力は電源電圧の20∼80％においてのレシオ出力です。
仕様の値は下記方法で測定した値です。
・傾き状態
：水平
・電圧変動範囲：4.5∼5.5V
・対電源比率変化（%）
＝（出力電圧÷電源電圧×100）−
（電源5Ｖ時の出力電圧÷5Ｖ×100）
＊3. 非検出軸の感度
非検出軸0°の出力電圧に対する、非検出軸を±20°傾斜さ
せた時の出力電圧の変化です。
直交角度の概念を下記に示します。
逆さになった状態
直交傾斜角度の概念
直交した角度目盛の付いた半球に
傾斜センサを取りつけ、接地点
（重
力方向）を測定点に変化させるイ
メージです。
例：検出軸＋15°
の状態
＋90°
非検出軸
−90°
＋90°
＋90°
−90°
0°
検出軸
＊4. 測定方法
・取りつけ状態水平
・振動周波数50∼250Hz、0.4mmp-p、最大98m/s2、前後、
左右、上下方向に振動を印加した時の振動の無い状態
に対する最大出力変動。
＊5. 絶縁抵抗・耐電圧は取り付けパネルと端子一括間の値です。
＊6. 360°検知イメージ
A
B
2.5V
傾斜センサ(リニア出力タイプ)
D5R
Bセンサが角度検知
AセンサがBセンサの上下を検知
B
A
Aセンサが角度検知
BセンサがAセンサの上下を検知
24
B
B
A
−90°
0°
90°
180°
270°
（270°
）
（−90°）
正常取りつけ状態で水平電圧を内部調整している為、0°位置
では2.5±0.05V、逆さになった状態の180°位置では2.5V±
0.2V（形D5R-L02-60）の範囲でばらつきます。
A
0V
正しくお使いください
お願い
通電したまま配線作業を行わないでください。誤って他の端
子と接触してしまうと、過電圧、逆電圧が加わり、故障の原
因となります。
本製品はDC5V仕様です。電圧、極性を確認してから電源を
投入してください。過電圧、逆電圧が加わると回路が故障し
正常に動作しなくなります。
正しい使い方
・推奨締付トルク
推奨締付トルクは4.1∼5.5N･mです。
ねじの緩み防止のため、平座金、バネ座金の使用を推奨い
たします。
・直射日光が当る場所への使用はできません。
屋外機器へご使用の場合は、カバーなどを設けてくださ
い。
・本製品の保護構造はIP67です。常時水中、油中での使用は
できません。
・センサケーブルの延長・切断はしないでください。
・センサは樹脂製品ですので、足場にしたり重いものを載せ
たりしないでください。
・マイコンボードなど、センサ出力を回路に取り込む場合
は、下図に示しますようなノイズ保護回路を入口に設けて
ください。この回路図は参考用ですので、ご採用時は実機
でのご確認をお願いいたします。
入力保護回路例
形D5R
＋5V
ノイズ吸収用コイル
または1kΩ程度の抵抗
アナログ
電圧出力
0V
負荷抵抗100kΩ程度
0.1μF程度のコンデンサ
・横方向の加速度に対する配慮
このセンサは内部液体の液面を検知しているため、横方向
の加速度も角度として出力します。
マイコン処理等によってこの影響が無くせない場合、ジャ
イロセンサなどの、角速度センサとの併用が必要になる場
合があります。
外形寸法
0.1
±
6.5
φ
3
φ1
−
2軸検知時の
取り付け
レイアウト
＋
21
取りつけ穴加工寸法
2-φ6.5または2-M6
6.5
12.5
35±0.2
37
−
13
＋
48±0.4
−
35±0.2
＋
45±0.4
13.5
線色と機能
茶：+5V
黒：アナログ電圧出力
青：0V
46±0.4
検出角度極性
φ4
傾斜センサ
形D5R-L02-□
（単位：mm）
＋方向
−方向
（ケーブルが下がる方向） （ケーブルが上がる方向）
5±1.5
50±7
2000+100
0
※公差無き寸法の公差は±0.8mmです。
CADファイル
傾斜センサ(リニア出力タイプ)
D5R
D5R_01
25
傾斜センサ
（ON/OFFタイプ）
形
D5R
傾斜が所定角度に達すると
スイッチング出力する傾斜センサ
●防水性・耐久性にすぐれたシール構造。
（IP67）
●2Aの大容量までの開閉が可能。
●使いやすく場所のとらないコンパクトタイプ。
種類／標準価格
スイッチング機能
1段動作
2段動作
（納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。
）
動作角度
±13°
±15°/17°
形式
形D5R-13
形D5R-1517
標準価格（￥）
5,200
5,500
性能
出力開閉容量︵Ａ︶
形D5R-13
形D5R-1517
項目
形式
電源電圧
DC12V（DC8∼16V）
1段目：±15°
動作角度
±13°
2段目：±17°
1段目：±15°＋1.5°
注.コード長は1mです。
出力偏差
±1.5°
2段目：（1段目＋2°）±1°
＊開閉容量は下記温度ディレーティングを行ってください。
出力方式
NPNオープンコレクタ方式 開閉容量 2A ＊
出力開閉容量
1段目：断続出力 1Hz
3
開閉容量は負荷電流のピークも含めた値です。
出力形態
連続出力
2段目：連続出力
2
消費電流
30mA出力
1.5
応答時間
1.2s以下
1
温度特性
動作点±1°
（−15∼＋60℃）
0
使用温度範囲 −20∼＋70℃
−20
50 70 80 100
保存温度範囲 −40∼＋80℃
動作周囲温度（℃）
出力特性
出力段回路図
出力特性
形D5R-13
赤（V）DC12V
動作範囲イメージ図（形D5R-1517）
前後
断続
連続
傾斜角度±13°を検出して連続出力します。
ON
負荷
OFF
白（S）
DC8∼16V
検出
回路
NPN
オープンコレクタ出力
黒（G）
傾斜角度±15°
（1段目）、±17°
（2段目）を検出
して以下の出力をします。
0V
1s
ON
1段目
OFF
ON
2段目
OFF
26
左右
形D5R-1517
傾斜センサ(ON/OFF)タイプ
D5R
−17°−15°
＋15°＋17°
正しくお使いください
正しい使い方
センサの取りつけについて
・取りつけは、必ず平座金とばね座金を使用し、ねじの締め
つけは4.9N･m以下の強度で締めつけてください。
・締めつけトルク不足の場合や、取りつけ面に異物が付着し
ている場合は正しく検出できない可能性があります。
保守・点検について
形D5Rを長期間安定動作させるために、次のようなチェック
を定期的に行ってください。
1. 取りつけ位置のズレ、ゆるみの有無。
2. 配線・結線部のゆるみ、接触不良、断線の有無。
3. 使用温度条件、周囲環境条件の確認。
センサの取り扱いについて
・本製品は、機器の傾斜角度を検出するもので、機器の転倒
事故をふせいだり、本器を設置した各種設備の故障や破損
などの異常を防止する装置ではありません。
・感電や怪我、故障の原因になりますので、絶対に分解しな
いでください。
・本製品は、保護構造 IP67 です。
（水密型（完全防水）とは異
なります。）常時水中、油中での使用はできません。
・センサケーブルの延長・切断はしないでください。
・誤配線または配線時の短絡に注意してください。
・センサの結線は、必ず電源を切ってから行ってください。
・本体は樹脂成形品ですので、足場にしたり、重い物を載せ
ないでください。
外形寸法
（単位：mm）
形D5R-13
形D5R-1517
70±0.2
φ6.6
前後
6.6
左右
取りつけ穴加工寸法
2-φ6.6またはM6
7.2
7.5
30
2-R3.3
84.5
50
70±0.2
検出方向
−
0°
（水平）
−θ
＋θ
φ5.5
40
15.5
7.3
＋
傾斜センサ(ON/OFF)タイプ
D5R
27
リニア振動センサ
形
D7F
設備、機械の振動状態を
リニア出力
●加速度、速度の切り替え可能。
●レベルメータによる設定、表示が可能。
●センサは水滴のかかるような悪環境で使用可能。
●微振動から大振動まで測定可能。
●4∼20mAの電流出力、ON/OFF、
モニタ出力を搭載。
種類／標準価格
（納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。
）
センサ部
コントローラ部
形状
形式
標準価格（￥）
形D7F-S03-05
31,500
形状
形式
標準価格（￥）
形D7F-C03
47,500
仕様
センサ部
定格
コントローラ部
定格
使用温度範囲
使用湿度範囲
保存温度
接続可能
振動センサコントローラ
耐久振動
耐久衝撃
保護構造
質量
−25∼＋70℃
25∼95％RH
−40∼＋80℃
形D7F-C03
10∼150Hz 片振幅0.35㎜または50m/s2
150m/s2 IP67 約40g（ケーブル除く）
性能
5.1mV/（m/s2）±20％（at100Hz）
10∼2,000Hz
（±3dB）
98m/s2（rms）
感度＊
周波数範囲
使用最大加速度
＊センサ単体での性能
性能
レンジ
（rms）
×1
×5
×10
周波数範囲
リニアリティ
ゲイン誤差
ゼロ点オフセット
ACC（加速度）側
VEL
（速度）側
0∼20㎜/s
0∼98m/s2
0∼4㎜/s
0∼19.6m/s2
0∼2㎜/s
0∼9.8m/s2
20∼2,000Hz
10∼1,000Hz
±5％FS（at100Hz）＊
±5％FS（at100Hz）＊
4±0.2mA
（at20℃）＊
＊コントローラ単体での性能
28
リニア振動センサ
D7F
DC12∼24V±10％
（DC10.8∼26.4V）
消費電流
100mA以下
使用温度範囲
−10∼＋55℃
使用湿度範囲
25∼85%RH
保存温度範囲
−25∼＋65℃
接続可能振動センサ
形D7F-S03-05
耐久振動
10∼150Hz 片振幅0.35㎜または50m/s2
耐久衝撃
150m/s2 出力範囲
4∼20mA
DC アナログ
許容負荷抵抗値 300Ω以下
出力形態
NPNオープンコレクタ
残留電圧
1.5V以下
漏れ電流
0.1mA以下
トランジスタ
DC26.4V
最大負荷電圧
最大シンク電流 100mA以下
出力
最小出力時間
50ms以上
×1レンジ5.1mV/
（m/s2）
（TYP）
ACC時
×5レンジ25.5mV/
（m/s2）
（TYP）
（参考値）
×10レンジ51mV/
（m/s2）
（TYP）
AC モニタ
×1レンジ25.4mV/
（mm/s）
（TYP）
＊
VEL時
（mm/s）
（TYP）
×5レンジ127mV/
（参考値）
×10レンジ254mV/（mm/s）
（TYP）
インピーダンス 10kΩ
電源電圧範囲
＊AC モニタの出力波形は簡易的な波形確認としてご使用ください。
精密測定や波形解析などには、ご使用になれません。
モニタ出力電圧は以下を示します。
各部の名称／機能
操作部
①RUN/SET切替スイッチ
レベルメータ表示を切り替えるスイッチ
です。
②ACC/VEL切替スイッチ
動作モード（加速度、速度）を切り替える
スイッチです。
③GAIN切替スイッチ
GAIN（増幅率）を切り替えるスイッチで
す。
④しきい値設定ボリューム
⑤
しきい値を設定するボリュームです。
③
⑥
⑦
表示部
⑤レベルメータ
（10段階）
⑧
②
SET ：設定しきい値を表示します。
④
①
⑥PWR/ALM表示
RUN：振動の大きさを表示します。
レベルメータ点灯数 振動レベルおよび設定しきい値
10
95∼ ％FS
9
85∼95％FS
電源供給時 ：緑色に点灯します。
センサ異常時：赤色に点灯します。
⑦OUTPUT表示
設定しきい値より大きい振動が入力され
た場合、出力トランジスタが動作し点灯
8
75∼85％FS
します。
7
65∼75％FS
注.SET状態でも出力および表示します。
6
55∼65％FS
5
45∼55％FS
4
35∼45％FS
RUN/SET切替スイッチがSET状態のと
3
25∼35％FS
きに点灯します。
2
15∼25％FS
1
5∼15％FS
⑧SET表示
注. レベルメータ表示は目安としてご使用ください。
外形寸法
（単位：㎜）
センサ部
形D7F-S03-05
17 0
−0.25
φ16 φ13
M6
0
17
−0.25
1.5
6.5±0.4 5
コントローラ部
形D7F-C03
（0.5）
45
23
6
6
φ6 φ4
収縮チューブ
35±5
5,000±100
CADファイル
D7F_06
取りつけ穴加工寸法
72.4
φ4.8
4.3
2-M3.5
4
35.2
75
10-M3.5
＋1
67
0
67
4.8
7
CADファイル
リニア振動センサ
D7F
D7F_05
29
■正しくお使いください
お願い
通電したまま配線作業を行わないでください。
また、通電中は端子の充電部には触れないでください。
感電の原因となります。
正しい使い方
センサ部の取りつけについて
・取りつけ表面の汚れをふき取り、呼び 17 のスパナを使用
し、ねじ取りつけをしてください。
最適締めつけトルク：4.4∼5.4N・m
取りつけ加工寸法 ：M6 深さ7以上
・締めつけトルク不足の場合や、取りつけ面に異物が付着し
ている場合は正しく検出できない可能性があります。
・センサ簡易取りつけ用磁石は検出位置を探すためのもの
です。恒久的に使用される場合は必ずねじ取りつけをして
ご使用ください。
・センサ簡易取りつけ磁石で垂直または逆さに取りつけさ
れる場合は、センサの落下にご注意ください。
コントローラの取り扱いについて
・指定のセンサ
（形D7F-S03）以外は接続しないでください。
・コントローラを分解しないでください。正常に動作しなく
なる恐れがあります。
・コントローラは水、油のかかる場所や、ほこりの多い場所
センサ簡易取りつけ用磁石外形寸法
M6
＋0.2
9.2
0
φ23
センサの取りつけ方向
・下図のようにセンサを取りつけてください。
センサ
振動方向
センサ
振動方向
振動方向
センサ
センサ
センサの取り扱いについて
・センサケーブルは所望の長さに切ってご使用いただいて
も問題ありませんが、ケーブルの延長はしないでくださ
い。
・センサを分解しないでください。正常に動作しなくなるお
それがあります。
・誤配線または配線時の短絡にご注意ください。
・センサを油のかかる所に設置しないでください。ゴムの劣
化によりセンサ内部に水、油などが浸入し、故障する恐れ
があります。
・センサは専用コントローラ
（形D7F-C03）
以外のものに接続
して使用しないでください。
振動方向
でのご使用は避けてください。
・コントローラを振動源に直接取りつけないでください。
DI Nからの取りはずしについて
・DINレールから取りはずすと
きは、右図のようにしてはず
してください。
マイナスドライバ
（幅4㎜以下）
30
リニア振動センサ
D7F
振動センサ(マニュアル設定タイプ）
形
D7F
設備機械などの異状を
振動で検出
●5つの処置モードで確度の高い異状判定。
●LEDレベルメータで振動レベルの確認が簡単。
●センサケーブルの断線、誤接続を検知可能。
●振動波形の確認にモニタ出力を装備。
●センサ部は水滴のかかる所でも使用できるIP67対応。
●まわり込み電流の影響を受けにくい絶縁型センサ。
種類／標準価格
（◎印の機種は標準在庫機種です。無印（受注生産機種）の納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。
）
センサ部
形状
コントローラ部
ケーブル長
形式
標準価格
（￥）
5m
◎形D7F-S01-05
28,500
10m
形D7F-S01-10
32,000
形状
形式
標準価格（￥）
◎形D7F-C01
44,500
定格／性能
センサ部
感度
検出周波数
共振周波数
使用最大加速度
衝撃（耐久）
振動（耐久）
保護構造
絶縁抵抗
耐電圧
周囲温度
周囲湿度
センサケーブル長
最適締付トルク
質量
コントローラ部
2
5.1mV/（m/s ）
（TYP.）
20Hz ∼2kHz
（±3dB）
約5kHz
784m/s2
29,400m/s2
10Hz ∼2kHz 、片振幅2㎜
または392m/s2
IP67（IEC規格 IP67に適合）
端子一括と外かく間 20MΩ以上
（DC100V ）
端子一括と外かく間 AC1,000V
50/60Hz 1min
−25∼＋70℃
（ただし、氷結および結露しないこと）
25∼95％RH
（ただし、氷結および結露しないこと）
5m、10m
4.4∼5.4N・m
約40g（ケーブル除く）
周波数範囲
電源電圧範囲
消費電流
リレー出力
モニタ出力＊
操作部
オンディレイ
オフディレイ
振動レベル表示
付加機能
振動
（耐久）
衝撃
（耐久）
周囲温度
周囲湿度
質量
20Hz∼20kHz
DC12∼24V±10％（DC10.8∼26.4V）
200mA以下
1c接点
（DC30V 3A 、AC250V 3A 抵抗負荷）
5.1mV
（m/s2）
モード切替スイッチ（MODE）
、
ゲイン切替スイッチ（GAIN）、
検出感度設定ボリューム
（SENS）
連続振動検出モード最小0.1s
単発振動検出モード5ms
1s
10段階レベルメータ
センサケーブル断線時リレー出力、
レベルメータ点滅
10∼150Hz 片振幅0.75㎜で
最大加速度98m/s2以下
294m/s2
−20∼＋60℃
（ただし、氷結および結露しないこと）
25∼95％RH
（ただし、氷結および結露しないこと）
約120g
＊ACモニタからの出力は、代表例で以下のとおりです。
X
レンジ
×001
×003
×010
×030
×100
加速度（X値）
（m/s2）
5.1mV/
（m/s2）
15.3mV/
（m/s2）
51mV/
（m/s2）
153mV/
（m/s2）
510mV/
振動センサ(マニュアル設定タイプ） D7F
31
各部の名称
モニタ出力
AC±4V（インピーダンス10kΩ）
リレー出力
振動センサコントローラ
形D7F-C01
●
振動センサからの信号を
処理し、異状判定を行い
外部出力します。
電源LED：電源供給時に点灯
出力LED：出力リレー動作時に点灯
検出LED：振動検出時に点灯
レベルメータ
振動レベルをひとめで
確認できるLEDレベルメータ
検出感度設定ボリューム
しきい値を変更する
L側
しきい値
モード切替スイッチ
波形処理モードを選択する
波 形 処 理
MODE
H側
振動波形
アプリケーション例
水滴のかかるような悪環境下でも使用可能。
A
連続振動検出（20Hz∼20kHz） 汎用、
モニタ用など
B
〃 （20Hz∼200Hz） アンバランス、偏心など
C
〃 （200Hz∼2kHz） 高速回転体の異状など
D
〃 （2kHz∼20kHz） ベアリングの傷など
E
単発振動検出
振動センサは、
IEC規格IP67（ 耐塵防浸形）
に適合
していますので、
水滴のかかるような悪環境下でも
使用できます。
接触、衝突など
ゲイン切替スイッチ
（1∼100倍）
信号を増幅率を変更する
（例）
信号を大きくする
●
振動センサ
形D7F-S01-05
圧電セラミックデバイスを
用いて、
振動加速度を
電気信号に変換します。
しきい値
振動波形
検出位置を探すのに便利な
センサ簡易取りつけ用磁石付き
センサ周波数特性
用語説明
オンディレイ/オフディレイは以下の時間を示します。
出
力
振動入力
あり
なし
0dB
リレー出力 ON
OFF
20Hz
2kHz
5kHz
（共振点）
周波数
オンディ
オン
ディレイ オフ
オフディ
ディレイ
外形寸法
（単位：㎜）
センサ部
形D7F-S01
取りつけねじ部（M6）
5
1.5
23
6
5,000±100※
φ16
（55）
ケーブル（φ4）
0
17 −0.25
0
17 −0.25
6.5±0.4
CADファイル
※ケーブル長10mの場合、10,000±100となります 。
取りつけ穴加工寸法
コントローラ部
形D7F-C01
45
75
2-M3.5
72.4
（67）
35.2
＋1
67
0
CADファイル
32
D7F_02
振動センサ(マニュアル設定タイプ） D7F
D7F_01
■正しくお使いください
お願い
通電したまま配線作業を行わないでください。
また、通電中は端子の充電部には触れないでください。
感電の原因となります。
正しい使い方
センサ部の取りつけについて
・取りつけ表面の汚れをふき取り、呼び 17 のスパナを使用
し、ねじ取りつけをしてください。
最適締めつけトルク：4.4∼5.4N・m
取りつけ加工寸法 ：M6深さ7以上
・締めつけトルク不足の場合や、取りつけ面に異物が付着し
ている場合は正しく検出できない可能性があります。
・センサ簡易取りつけ用磁石は検出位置を探すためのもの
です。恒久的に使用される場合は必ずねじ取りつけをして
ご使用ください。
・センサ簡易取りつけ磁石で垂直または逆さに取りつけさ
れる場合は、センサの落下にご注意ください。
コントローラの取り扱いについて
・指定のセンサ
（形D7F-S01）以外は接続しないでください。
・コントローラを分解しないでください。正常に動作しなく
なる恐れがあります。
・コントローラは水、油のかかる場所や、ほこりの多い場所
センサ簡易取りつけ用磁石外形寸法
M6
＋0.2
9.2
0
φ23
センサの取りつけ方向
・下図のようにセンサを取りつけてください。
センサ
振動方向
センサ
振動方向
振動方向
センサ
センサ
センサの取り扱いについて
・センサケーブルは所望の長さに切ってご使用いただいて
も問題ありませんが、ケーブルの延長はしないでくださ
い。
・センサを分解しないでください。正常に動作しなくなるお
それがあります。
・誤配線または配線時の短絡にご注意ください。
・センサを油のかかる所に設置しないでください。ゴムの劣
化によりセンサ内部に水、油などが浸入し、故障する恐れ
があります。
・センサは専用コントローラ
（形D7F-C01）
以外のものに接続
して使用しないでください。
振動方向
でのご使用は避けてください。
・コントローラを振動源に直接取りつけないでください。
DINからの取りはずしについて
・DIN レールから取りはずす
ときは、右図のようにして
はずしてください。
マイナスドライバ
（幅4㎜以下）
振動センサ(マニュアル設定タイプ） D7F
33
関連商品
スマートセンサ
分類
センサ形式
光学式
形ZX-LD□
形ZX-LD□L
形ZX-LT□
形ZX-LDA□□
適用アンプユニット
近接
接触式
形ZX-E□
形ZX-TD
形ZX-EDA□□
形ZX-TDA□□
形状
センサ・アンプ組合わせ
測定対象物
＊1
磁性金属
⃝
⃝
△
光沢物体
△
⃝
拡散物体 ＊2
⃝
⃝
透明体
×
△
液体
△
△
検出方法
不透明体
反射形
リニアリティ
透過形
±0.2％FS∼±2％FS
ビーム形状
スポット
ライン
ビーム径
φ50∼φ300μm
75μm×2mm∼450μm×2mm
０
5０
10０
20０
30０ 40０50０
40±10㎜（2μm）
測定範囲
反射形
（ ）
は
分解能
100±40㎜（16μm）
･ スクリーンビーム
･ スポット
――
･φ1㎜スポットタイプ
φ1㎜：0∼500㎜
φ1∼2.5㎜：500∼2000㎜
･ 5㎜幅スクリーン
ビームタイプ
0∼500㎜
･10㎜幅スクリーン
ビームタイプ
0∼500㎜
300±200㎜（300μm）
磁性金属
（非磁性金属は、
計測範囲や
リニアティが
異なります。）
⃝
⃝
⃝
×
渦電流式
接触式
±0.5％FS
±0.1％FS
――
――
――
･形ZX-EDR5
0∼0.5㎜
――
･形ZX-TDS01
±0.5㎜
･形ZX-ED01
0∼1㎜
･形ZX-TDS04
±2㎜
･形ZX-ED02
形ZX-EM02
0∼2㎜
･形ZX-TDS04-L
±2㎜
･形ZX-EM07M
0∼7㎜
･形ZX-EV04
0∼4㎜
正反射形
30±2㎜（0.25μm）
標準価格（￥）
オープン価格
･形ZX-EM02H
0∼2㎜
オープン価格
＊1. ⃝：最適です。 △：条件により適用可能です。 ×：適用できません。
＊2. 拡散物体：白色セラミック・白紙 ・白色塗装品など。 詳細につきましては、「センサ総合カタログ」（カタログ番号：SAOO-210）をご参照ください。
34
関連商品
オープン価格
変位センサ
光学式
分類
形Z300-S2
（センサヘッド）
形Z300-VC10V3
（コントローラ）
形Z300-S5
（センサヘッド）
形Z300-VC10V3
（コントローラ）
形Z300-S10
（センサヘッド）
形Z300-VC10V3
（コントローラ）
形Z300-S60
（センサヘッド）
形Z300-VC10V3
（コントローラ）
磁性金属
⃝
⃝
⃝
⃝
光沢物体
⃝
⃝
⃝
⃝
拡散物体 ＊2
⃝
⃝
⃝
⃝
透明体
⃝
⃝
⃝
⃝
液体
⃝
⃝
⃝
⃝
分解能
（応答時間）
0.02μm
0.1μm
1μm
8μm
40μm
リニアリティ
±0.05％FS
±0.1％FS
センサ部温度特性
0.01％FS/℃
0.01％FS/℃
センサ形式
形状
センサ・アンプ組合わせ
測定対象物
＊1
20μm×300μm
TPY
（測定中心距離）
スポット径
測定範囲
測定面
測定距離
10
20
30
40
50
30μm×400μm
（測定中心距離）
±0.07％FS（250∼750mm）
±0.1％FS（750∼950mm）
60μm×1000μm
（測定中心距離）
0.01％FS/℃
0.3㎜×16㎜
TPY（500㎜にて）
※CCD有効領域は10.3mm
20±1㎜
50±5㎜
100
100±20㎜
600±350㎜
標準価格（￥）
特長
オープン価格
オープン価格
スーパー
プレシジョンタイプ
超高精度・高分解能
超高精度
透明体・ガラス・金属・
黒ゴムに強い。
オープン価格
透明体・ガラス・金属・
黒ゴムに強い。
オープン価格
超長距離
計測レンジ700㎜
透明体・ガラス・金属・
黒ゴムに強い。
＊1. ⃝：最適です。 △：条件により適用可能です。 ×：適用できません。
＊2. 拡散物体：白色セラミック・白紙 ・白色塗装品など。
関連商品
35
変位センサ
光学式
分類
接触式
センサ形式
形Z4D-F04A
形Z4W-V25R
形Z4M-T30V/
T30V2
形D5SN
磁性金属
△
△
⃝
⃝
光沢物体
△
△
⃝
⃝
拡散物体 ＊2
⃝
⃝
⃝
⃝
透明体
×
×
⃝
⃝
液体
×
×
⃝
×
5μm（5ms）
10μm（5ms）
2μm（83.5ms）
5μm（16.7ms）
形状
センサ・アンプ組合わせ
測定対象物
＊1
分解能
（応答時間）
※ノーマルモードの場合
リニアリティ
センサ部温度特性
スポット径
測定範囲
測定面
測定距離
10
20
30
40
50
0.1μm（形D5SN-S01）
0.4μm（形D5SN-S04/S04-L）
±1％FS
±3％FS
±0.5％FS
0.3％FS（ 形D5SN-S01）
0.5％FS（ 形D5SN-S04/S04-L）
0.15％FS/℃
±0.3％FS/℃
0.03％FS/℃
0.03％FS/℃
φ2㎜
φ2㎜
0.1×5㎜
─
25±4㎜
30±2㎜
4±1.25㎜
100
0∼1㎜（形D5SN-S01）
0∼4㎜（形D5SN-S04-S04-L）
標準価格（￥）
特長
24,800
52,800
400,000
144,000（センサ＋アンプ）
小型アンプ内蔵
アンプ内蔵
保護構造IP66
高精度、
透明、
光沢、
色柄に強い
業界最小クラス
高精度＆長寿命
低測定力
絶縁型でIP67
＊1. ⃝：最適です。 △：条件により適用可能です。 ×：適用できません。 ＊2. 拡散物体：白色セラミック・白紙 ・白色塗装品など。
36
関連商品
変位センサ
検出方式
形状
検出距離
（単位：㎜）
特長
形式
60∼500
113
M30
・ワイドな測定レンジで高精度検出
・長距離検出でさまざまなアプリ
ケーションに対応
・温度補正機能付き設定プラグで
簡単に測定範囲の設定ができる
200∼2,000
標準価格
（￥）
◎形E4PA-LS50-M1
85,000
◎形E4PA-LS200-M1
90,000
◎形E4PA-LS400-M1
100,000
◎形E4PA-LS600-M1
110,000
◎形E4DA-LS7
42,800
＋
72,800
500∼4,000
反射形
800∼6,000
40
16.3
・0.2㎜の高分解能
・2msの高速応答
・4∼20mAのアナログ出力
40
30∼70
＋
◎形E4DA-WL1C
注．一覧表には概略仕様のみを掲載しています。
必ず詳細仕様および注意事項を「センサ総合カタログ
（カタログ番号：SAOO-210）」でご確認の上、
ご使用ください。
測長センサ
測定対象物
形式
不透明 透明
分解能／
リニアリティ
繰り返し精度
測定範囲
φ1
形ZX-LT001
0∼2000㎜
形ZX-LT005
⃝
△
5㎜
4μm
（平均回数64回）
0∼500㎜
10㎜
形ZX-LT010
0∼500㎜
光学式
30㎜
形Z4LB
-S30V2
＊1
（センサ部）
⃝
×
0∼300㎜
15μm（5ms）
30μm（0.3ms）
形Z4LB
-A3040□V2
＊2
（セット形式） 標準価格
（￥）
・小型センサヘッド
・可視光レーザ
・長距離検出2m
・小型センサヘッド
・可視光レーザ
オープン価格
・デジタル表示付き
・可視光レーザ
・デジタル表示付き
・センサ部・アンプ部
互換性あり
・ワイドな30㎜幅
・可視光レーザ
・デジタル表示付き
・センサ部・アンプ部
互換性あり
97,500
＊3
・ワイドな30㎜幅
・高精度タイプ
・デジタル表示付き
180,000
30㎜
±0.5％FS
40㎜
形Z4LC
（センサ部）
⃝
＋
形Z4LC-C28
（コントローラ部）
セールスポイント
測定領域
28㎜
20μm
⃝ （13.2ms
16回平均）
・小型センサヘッド
・低温度ドリフト
・ワイドな28㎜光幅
±0.1％FS
285,000
∼
分類
290,000
40または0∼300㎜
○：適合、 △：アプリケーションにより適合、×：不適合
＊1. 適合アンプ形式：形Z4LB-CV2（ NPNタイプ）、
形Z4LB-CPV2（ PNPタイプ）
＊2. センサ部、
アンプ部セット形式になります。□：なしのときNPN出力タイプ、
□：PのときPNP出力タイプ
＊3. センサ部、
アンプ部セット
（合計）価格
関連商品
37
MEMO
38
カタログ番号
写
SGSB-002C 2003年6月現在 ①ZN○
C OMRON Corporation 2002
○
All Rights Reserved.
お断りなく仕様などを変更することがありますのでご了承ください