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ペルチェ効果を用いた CPU 冷却用薄膜の開発 Thin film
CPU Thin film fabrication for Central Processing Unit cooling
using Peltier effect
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Yasuhiro HASEGAWA (Graduate school of Science and Engineering)
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O2 30sccm
O2 25sccm
10-7
O2 20sccm
Cu2O Bulk
O2 15sccm
10-6
O2 15sccm
101
100
10-5
N2 1sccm
N2 4sccm
N2 2sccm
N2 6sccm
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Cu2O Ã̹ _4j¯ §
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