8．ガラス基板のエッチング（浮上スライダ−の試作） （1）ガラス基板を表面

８．ガラス基板のエッチング（浮上スライダ−の試作）
（１）ガラス基板を表面から２種類の深さでエッチングした。
３μｍ深さまでエッチング
0.5μm 深さまでエッチング
0.2
3.0
4.0
（２）要素技術と加工内容等
要 素 技 術
ガラスマスク
フォトリソグラフィー
エッチング
加 工 内 容 等
・マスク設計・製作
・ホトレジストによるパターニング
（レジストパターンの形成）
・エッチング液の選定
・ガラス板のエッチング