装置担当者 - 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

東北⼤学マイクロシステム融合研究開発センター　試作コインランドリ　装置担当リスト　（2016年4⽉〜）
分類
洗
浄
乾
燥
フ
ト
リ
ソ
グ
ラ
フ
イ
オ
ン 酸
注 化
⼊ 拡
散
熱
処
理
成
膜
エ
チ
ン
グ
接
合
研
磨
パ
ケ
ジ
ン
グ
測
定
番号
A-1
A-2
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A-5
A-6
A-7
A-8
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G-22
G-23
G-24
F-14
G-25
G-26
装置名称
エッチングチャンバー
リン酸槽
CO2 超臨界乾燥機
イナートオーブン（シンター炉）
真空オーブン
ブラシスクラバ
スピン乾燥機
有機ドラフトチャンバー
4"スピン乾燥機
6"スピン乾燥機
パターンジェネレータ
スピンコータ
クリーンオーブン
ポリイミドキュア炉
両⾯アライナ
⽚⾯アライナ
Raith EB描画装置
現像ドラフト
UV キュア装置
スピンコータ
スプレー現像装置
ステッパ
エリオニクス EB描画装置
レーザ描画装置
球⾯露光装置
酸化炉（半導体⽤）
酸化炉（MEMS⽤）
P拡散炉
P押し込み炉
B拡散炉
B押し込み炉
アニール炉
中電流イオン注⼊装置
⾼電流イオン注⼊装置
ランプアニール装置
メタル拡散炉
LPCVD（SiN）
LPCVD（Poly-Si）
LPCVD（SiO2）
熱CVD
住友精密PECVD
W-CVD
アネルバスパッタ装置
芝浦スパッタ装置
電⼦ビーム蒸着装置
ゾルゲル⾃動成膜装置
めっき装置
MOCVD
JPEL PECVD
住友精密TEOS PECVD
⾃動搬送 芝浦スパッタ装置
球⾯成膜⽤スパッタ装置
DeepRIE装置#1
DeepRIE装置#2
DeepRIE装置#3
アネルバRIE装置
アネルバSi RIE装置
Al-RIE装置
アルバック アッシング装置
ブランソン アッシング装置
ECRエッチング装置
アルバック多⽤途RIE装置
KOHエッチング槽
TMAHエッチング槽
DeepRIE装置#4
イオンミリング装置
ウェハ接合装置
東京精密 ダイサ
ディスコ ダイサ
ワイヤボンダ
レーザマーカ
6インチウェハ研磨装置
4インチウェハ研磨装置
サンドブラスト
EVG ウェハ接合装置
EVG ウェハ接合⽤アライナ
UVインプリント装置
熱インプリント装置
エキシマ洗浄装置
サーフェイスプレナー
ウォーターレーザ
ウェハゴミ検査装置
膜厚計
Dektak 段差計
Tenchor 段差計
深さ測定装置
4探針測定装置
拡がり抵抗測定装置
ウェハプローバ
⾦属顕微鏡
デジタル顕微鏡
熱電⼦SEM
FE-SEM
マイクロX線CT
エリプソ
超⾳波顕微鏡
デジタルサーモ顕微鏡
⾚外線顕微鏡
四重極質量分析装置
TOF-SIMS
クイックコータ
⾛査形プローブ顕微鏡
卓上型エリプソ
⼤⼝径AFM
レーザ／⽩⾊共焦点顕微鏡
サーフェイスプレナー
直線集束ビーム超⾳波材料解析システム#1
直線集束ビーム超⾳波材料解析システム#2
メーカ/型番
☆：主担当　○：オペトレ対応可能
⼾津 森⼭ 鈴⽊ 渡邉 菊⽥ 辺⾒ 庄⼦ ⿓⽥
アズワン PSH1200
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SCFluids CPD1100
ヤマト科学 DN63H
ヤマト科学 DP-31
全協化成
東邦化成 ZAA-4
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SEMITOOL PSC101
SEMITOOL PSC101
⽇本精⼯ TZ-310
ミカサ 1H-DXII
ヤマト科学 DE62
ヤマト科学 DN43H
Suss MA6/BA6
キヤノン PLA-501-FA
Raith 50
ウシオ電機 UMA-802
アクテス ASC-4000
アクテス ADE-3000S
キヤノン FPA1550M4W
エリオニクス ELS-G125S
Heidelberg Instruments DWL2000CE
東栄科学産業
東京エレクトロン XL-7
東京エレクトロン XL-7
東京エレクトロン XL-7
東京エレクトロン XL-7
東京エレクトロン XL-7
東京エレクトロン XL-7
東京エレクトロン XL-7
⽇新イオン機器 NH-20SR
住友イートンノバ NV-10
AG Associates AG4100
光洋リンドバーグ Model270
システムサービス
システムサービス
システムサービス
国際電気
住友精密 MPX-CVD
Applied Materials P-5000
アネルバ SPF-730
芝浦メカトロニクス CFS-4ESII
アネルバ EVC-1501
テクノファイン PZ-604
⼭本鍍⾦試験器
ワコム研究所 Doctor T
⽇本⽣産技術研究所 VDS-5600
住友精密 MPX-CVD
芝浦メカトロニクス !-Miller CFS-4EP-LL
和泉テック
住友精密 MUC-21
住友精密 MUC-21
STS
アネルバ DEA-506
アネルバ L-507DL
芝浦エレテック HIRRIE-100
アルバック UNA-2000
ブランソン IPC4000
アネルバ ECR6001
アルバック RIH-1515Z
住友精密 MUC-21
エヌ・エス／伯東 20IBE-C
Suss SB6e
東京精密
ディスコ DAD-522
West Bond
GSI ルモニクス WM-II
BNテクノロジー Bni62
BNテクノロジー Bni52
新東
EVG 520
EVG Smart View Aligner
東芝機械 ST-50
オリジン電気 Reprina-T50A
デアネヒステ EXC-1201-DN
ディスコ DAS8920
澁⾕⼯業 LAMICS AQL-1900
トプコン WM-3
ナノメトリクス NanoSpec3000
Dektak 8
Tencor AlphaStep 500
ユニオン光学 Hisomet
Solid State Measurements SSM150
東京精密 EM-20A
ニコン L150
キーエンス／クノーテクノクラフト
⽇⽴ S3700N
⽇⽴ S5000
コムスキャンテクノ ScanXmate D160TS110
アルバック
インサイト IS-350
アピステ　FSV-1200
オリンパス/浜松ホトニクス
キヤノンアネルバ M-101QA-TDM
CAMECA　TOF SIMS IV
サンユー電⼦　SC-701MkII
島津製作所 SPM-9700
フォトニックラティス SE-101
Digital Instruments Dimension3100
レーザーテック OPTELICS HYBRID LS-SD
ディスコ DAS8920
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