メインクリーンルーム 装置名 正担当者 内線 副担当者 内線 副

メインクリーンルーム
装置名
パイロ酸化炉
水素アニール炉
Alエッチャー
STS ICP RIE#1
STS ICP RIE#2
ANELVA RIE#1
ANELVA RIE#2
FAB
イオン注入装置
P-TEOS CVD
EVGボンダ
YOUTECプラズマCVD
プラズマSiN-CVD
TEL LPCVD
DFR CONTACT ETCHER
エリプソメーター(CR)
接触式段差計
UV照射器
UHV-CVD
RTA#1
SiNエッチャー
O2アッシャー
微細電極形成装置
SiCN Cat-CVD
イオンビームミリング装置
ICP RIE ペガサスA
超臨界CO2乾燥装置
正担当者
田中徹研
田中徹研
田中徹研
池ヶ谷（田中徹研:M1)
中村（小野研:M2）
古林（末永研:研究員）
藩（小野研:D1）
Borriboon（羽根研:D3）
田中徹研
小島(技術部)
福士（小野研:研究員）
田中徹研
橋口（田中徹研:D3)
田中徹研
田中徹研
池ヶ谷（田中徹研:M1)
後藤（田中徹研:M2)
田中徹研
田中徹研
田中徹研
田中徹研
田中徹研
田中徹研
戸田（小野研:准教授）
小島（湯上研:M2)
島崎（小野研:M1）
佐藤（小野研:M2)
内線
6909
6909
6909
6909
5810
7281
5810
6965
6909
6256
6256
6909
6909
6909
6909
6909
6909
6909
6909
6909
6909
6909
6909
5810
6925
5810
5810
副担当者
内線 副担当者
菅原（田中徹研:D1)
島崎（小野研:M1）
菅原（田中徹研:D1)
6909
5810
6909
渡辺（技術部）
鈴木（羽根研:M2）
6256
6965
鈴木（田中徹研:M2）
木野（田中徹研:助教）
6909
6909
内線
金属蒸着室
装置名
ANELVAスパッタ
JEOLスパッタ
EIKOスパッタ
DC対向ターゲットスパッタ
RF対向ターゲットスパッタ（大阪真空）
EB蒸着
RFスパッタ（Alスパッタ）
SHIBAURAスパッタ#1
SHIBAURAスパッタ#2
ECRスパッタ
4探針測定器
先端融合ウェハボンダ
正担当者
筏井（坂研:M1）
武田（桑野研:M2）
佐本（羽根研:研究員）
Kaushik（田中秀研:助手）
田中（田中秀研:教授）
柚木（田中秀研:研究員）
田中徹研
後藤（田中徹研:M2）
山田（小野研:M2）
原（桑野研:准教授）
谷川（田中徹研:D1)
Wang（田中秀研:D3）
内線
6898
4771
6937
6937
6937
6937
6909
6909
5810
4771
6909
6937
副担当者
松浦（坂研:M2）
大塚（桑野研:M1）
内線 副担当者
6898 小桧山（湯上研:D2)
4771
中澤（羽根研:D1）
6965
長井（小柳研:研究員）
4119 小島（技術部)
原島（田中徹研:D1)
平野（田中秀研:助教）
6256
6937
イエロールーム
装置名
レーザー描画装置
EVGアライナー
EVG接合用基板洗浄
EVGプラズマ表面活性化装置
2流体洗浄装置
ミカサ片面アライナー
HMDS処理装置
正担当者
原島（田中徹研:D1)
早坂（田中秀研:D2)
福士（小野研:研究員）
福士（小野研:研究員）
佐本（羽根研:研究員）
坂本（技術部）
坂本（技術部）
内線
6909
6937
6256
6256
6937
6256
6256
副担当者
内線 副担当者
後藤（田中徹研:M2),池ヶ谷（田中徹研:M1)
6909 小島（技術部）
鈴木（田中徹研:M2)
6909
内線
6256
暗室
装置名
JEOL-EB
JEOL-SEM
正担当者
木野（田中徹研:助教）
木野（田中徹研:助教）
内線
6909
6909
副担当者
池ヶ谷（田中徹研:M1)
池ヶ谷（田中徹研:M1)
内線
内線 副担当者
6909
6909
内線
6925
6256
レーザー加工室
装置名
YAGレーザー
薄膜評価装置
パレリン蒸着
MBE
ホール効果測定装置
PL測定装置
PLD
正担当者
薛（小野研:D2）
小島(技術部）
浅尾（田中秀研:研究員）
田村（羽根研:D3）
田村（羽根研:D3）
平野（田中秀研:助教）
早坂（田中秀研:D2）
内線
5810
6256
6937
6965
6965
6937
6937
副担当者
内線 副担当者
羽根（羽根研:教授）
6965
佐本（羽根研:研究員）
長谷川（田中秀研:B4)
6937
6937
分析室
装置名
FE-SEM
熱電子SEM
FIB
SIMS
蛍光X線膜厚計
マルチターゲットスパッタ
急冷機構付真空加熱装置
正担当者
渡辺（技術部）
Nurasyikin（小野研:B4）
廣本（桑野研:M2）
小島（技術部）
小島（技術部）
Tsai（小野研:助手）
小林（芳賀研;D3)
内線
6256
6937
4771
6256
6256
5810
5251
副担当者
小桧山（湯上研:D2)
内線 副担当者
6925 小島（技術部）
清水(康)（桑野研:M1）
4771
光学測定室
装置名
紫外分光エリプソメーター
XeF2エッチャー
光パラメトリック発信器
マルチチャンネル分光器
ASTeXプラズマCVD
赤外接合評価装置
フェムト秒レーザ
光造形装置
断面試料作製研磨装置
断面試料作製ミリング装置
圧縮引張試験機
正担当者
小島（技術部）
伊藤（芳賀研:研究員）
佐々木（羽根研:助教）
佐々木（羽根研:助教）
朱（小野研:M2)
小島（技術部）
松永（芳賀研:助教）
松永（芳賀研:助教）
渡辺（技術部）
渡辺（技術部）
田中（田中秀研:教授）
内線
6256
5251
6965
6965
5810
6256
5251
5251
6256
6256
6937
副担当者
内線 副担当者
福士（小野研:研究員）
6256
小島（技術部）
小島（技術部）
6256
6256
内線
内線
6256
内線
組立評価室
装置名
めっきセット#1
めっきセット#2
ハイポスHIPOS
レーザードップラー振動計
紫外線露光装置
8.5GHzインピーダンスアナライザー
屈折率測定装置
ワイヤボンダ
14GHzネットワークアナライザー
プローバー
インピーダンスアナライザー
半導体パラメータアナライザ
ウェハプローブステーション
LSIテスタ
正担当者
坂本（技術部）
坂本（技術部）
Imran（小野研:M2）
Imran（小野研:M2）
原（桑野研:准教授）
門田（田中秀研:客員教授）
佐々木（羽根研:助教）
鈴木（田中秀研:M1)
平野（田中秀研:助教）
石川（田中秀研:助手）
松本（芳賀研:M2)
室山（田中秀研:准教授)
石川（田中秀研:助手）
室山（田中秀研:准教授)
内線
6256
6256
5810
5810
4771
6937
6965
6937
6937
6256
5251
6937
6256
6837
副担当者
佐藤（田中秀研:M1）
佐藤（田中秀研:M1）
内線 副担当者
6937
6937
内線
石川（田中秀研:助手）
6256 宮口（田中秀研:研究員）
6937
宮口（田中秀研:研究員）
6937
宮口（田中秀研:研究員）
6937
電気実験室
装置名
基板加工装置
旋盤
ボール盤
フライス盤
正担当者
石川（田中秀研:助手）
田中(康）（田中秀研:D1）
田中(康）（田中秀研:D1）
田中(康）（田中秀研:D1）
内線
6256
6937
6937
6937
副担当者
内線 副担当者
塚本（田中秀研:助教）
塚本（田中秀研:助教）
塚本（田中秀研:助教）
6937
6937
6937
3階実験室
装置名
研磨装置
ポリテック
全真空顕微FTIR
フリップチップボンダ
研削装置
ポリテック　高周波レーザードップラ計
紫外可視近赤外分光光度計
レーザダイサー
接合力評価装置
インピーダンス/マテリアルアナライザ
正担当者
小島（技術部）
猪股（小野研:助教）
小島（技術部）
福士（小野研:研究員）
塚本（田中秀研:助教）
平野（田中秀研:助教）
小島（技術部）
福士（小野研:研究員）
平野（田中秀研:助教）
大内（芳賀研:M2)
内線
6256
5810
6256
6256
6937
6937
6256
6256
6937
5251
副担当者
Feng(桑野研:D1)）
小島（技術部）
戸田（小野研:准教授）
小桧山（湯上研:D2）
内線 副担当者
4771
6256
5810
6925
田中（田中秀研:教授）
田中（田中秀研:D2）
田中（田中秀研:教授）
浅野（田中秀研:D1）
6937
6937
6937
6937
内線
内線
ナノマシニング棟
装置名
JEOL EB 5000LSS
縮小カメラ・現像
ESCA分析装置
走査型プローブ顕微鏡Ｏｌｙｍｐｕｓ
走査型プローブ顕微鏡Shimazu
ホットフィラメントCVD
投影露光装置
PE-CVD（CNTs）
レーザードップラー振動計
マスクレス露光装置
レーザー描画装置
UHV-STM&AFM
簡易マスク作製装置
パターンジェネレーター
正担当者
橋田（羽根研:M2）
猪股（小野研:助教）
小島（技術部）
吉田（田中秀研:助教）
吉田（田中秀研:助教）
吉田（田中秀研:助教）
小島（技術部）
安（小野研:D3）　山上（小野研:B4）
戸津（西澤センター:准教授）
小島（技術部）
小野（小野研:教授）
室山（田中秀研:准教授）
小島（技術部）
内線 副担当者
6965 Kaushik（田中秀研:助手）
5810
6256 田中(康）（田中秀研:D2）
6937
6937
6937
6256
5810
5810
229-4113
6256 渡辺（技術部）
5810 吉田（田中秀研:助教）
6937
6256
内線 副担当者
6937
6256 武田（桑野研:M2）
6937
4771
フロンティア棟
装置名
ダイサー
正担当者
廣本（桑野研:M2）
内線
4771
副担当者
清水（優）（桑野研:M1）
内線 副担当者
4771 Tsai（小野研:助手）
内線
5810
量子
装置名
全自動多目的X線回折装置
正担当者
小島（技術部）
内線
6256
副担当者
山本（渡辺研:M1）
内線 副担当者
7911 西澤（田中秀研:M1）
内線
6937
内線
6937