ゲートバルブ

450mm
ウエハ対応
ゲートバルブ
スリットバルブ／ドアバルブ
スリットバルブ
ドアバルブ
カセットなし
カセット式
トップアクセス可能
ドアバルブ
スリットバルブ
P.1
高いメンテナンス性を実現
ベローズ交換可能
スリットバルブ
P.1
高いメンテナンス性を実現
2段動作構造採用
スリットバルブ
エンドロック機構付
ドアバルブ
スリットバルブ
P.1
ドアバルブ
空気源が切れてもゲート位置を保持
バリエーション
200mm、300mmの詳細はWEBカタログまたはBest Pneumatics No.⑧
ボディ
厚み
（mm）
70
New
200mm
ウエハ対応タイプ
P.1211
450mm
ウエハ対応タイプ
300mm
ウエハ対応タイプ
60
¡56×496mm
50
¡46×236mm
¡32×222mm
200
¡50×336mm
300
450
開口幅（mm）
※開口寸法70×500mm、100×750mm対応可　※その他開口寸法につきましては、当社営業へお問合せください。
XGT/XGD Series
P-13-4A
XGT/XGD Series
トップアクセス
スリットバルブ
qトッププレート外し
w固定ボルト外し
チャンバー
チャンバー
ゲート
ベローズ交換
eゲートを本体取外し
ゲート
ゲート
スリットバルブ
qボディ取外し
eベローズ取外し
w側板取外し
側板
止めねじ
小ねじ
2段動作構造採用
スリットバルブ
ドアバルブ
ゲート上昇・下降の直線動作とゲート開閉のクランプ動作の2段動作構造
qゲート開
eクランプ、ゲート閉
w上昇
クランプ
上
昇
1
450mm ゲートバルブ
XGT/XGD Series
仕様
スリットバルブ
仕様
開口寸法（高さ×幅）
使用環境圧力
操作圧力
内部リーク量
逆圧時内部リーク量
外部リーク量
カセットなし
カセット式
56mm×496mm
大気圧∼1×10−6Pa(abs)
0.45∼0.6MPa
6.5×10−10Pa・m3/s※1
6.5×10−8Pa・m3/s※1、※2
6.5×10−11Pa・m3/s※1
使用温度
ゲート部：5∼150℃
アクチュエータ部：5∼80℃
継手、オートスイッチ部：5∼60℃
使用流体
不活性ガス
取付方向
エンドロック機構
質量
オートスイッチ
コネクタ
垂直
開閉位置ロック機構付※3
カセットなし：17kg
カセット式：25kg
なし、D-A93選択可
マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可
※1 常温時値OリングFKMの場合（ガス透過を除きます）
※2 逆圧力：0.1MPa(abs)以下。
※3 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、現状を維持す
る操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロック
の解除を行ってください。
ドアバルブ
仕様
開口寸法（高さ×幅）
使用環境圧力
操作圧力
リーク
0.4∼0.6MPa
6.5×10−10Pa・m3/s※1
使用温度
5∼60℃
使用流体
不活性ガス
取付方向
垂直(シリンダー下側)
エンドロック機構
閉位置ロック機構付※2
質量
オートスイッチ
ドアバルブ
56mm×496mm
大気圧∼1×10−6Pa(abs)
コネクタ
12kg
なし、D-A93選択可
マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可
※1 常温時値OリングFKMの場合（ガス透過を除きます）
※2 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、閉位置を維持
する操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロッ
クの解除を行ってください。
2
XGT/XGD Series
外形寸法図
スリットバルブ／XGT
カセットあり
622
70
496
56
485
56
123.5 63
496
142.5
69
144
カセットなし
485
67（ストローク）
107.5
75
142.5
144
56（開口寸法）
496（開口寸法）
37
514
69
ドアバルブ／XGD
496（開口寸法）
2×ø44
110
148
64
56（開口寸法）
80
（ストローク）
154
315
56
74
37
514