クリーンルーム - 静岡大学 電子工学研究所

クリーンルーム（電子工学研究所３１４室）
ク リ ー ン ル ー ム (作 製 室 ）
ナノデバイスパターン描画システム
メーカー・形式：エリオニクス ELS-7700K
仕様・用途：ガラスマスクへの描画・サンプルへの直接描画
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
電気炉(４炉）
メーカー・形式：アサヒ理化製作所 ARF3-13A
仕様・用途：Si 基板の酸化・ドーピングなど
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
蒸着装置
メーカー・形式：アルバック VPC-260F
仕様・用途：メタル薄膜作製
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
FE-SEM
メーカー・形式：JEOL JSM-7600F
仕様・用途：表面の観察
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
反射分光膜厚計
メーカー・形式：大塚電子 FE-3000
仕様・用途：薄膜の膜厚測定
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
エリプソ
メーカー・形式：横溝 DHA-OLXS
仕様・用途：薄膜の膜厚測定
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
光学顕微鏡(画像取込み機能付き)
メーカー・形式： OLYMPUS MX51
仕様・用途： 表面の観察
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
四探針抵抗測定器
メーカー・形式：共和理研 K-705RS
仕様・用途：抵抗測定器
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
超純水製造装置
メーカー・形式：オルガノ FPC-0500
仕様・用途：超純水作製
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
ドラフト
メーカー・形式：YAMATO CVY180
仕様・用途：洗浄作業用
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
スピンコーター
メーカー・形式：ズース・マイクロテック DELTA80T
仕様・用途：レジスト塗布
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください
アライナ
メーカー・形式：ズース・マイクロテック MJB4
仕様・用途： レジスト作業用
担当者：水野
利用方法：担当者にご連絡ください