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TED高速メモリーソリューション 11月18日 東京エレクトロン デバイス株式会社 テクニカル・マーケティング担当 長谷 享 [email protected] TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 1 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 2 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 3 はじめに • メモリの現状とトレンド – – – – 著しいメモリの進化 数多くのメモリラインナップ メモリの高速化・低電圧化 設計の複雑化 • メモリ+FPGA開発における我々の課題 – FPGA + メモリ使用時の具体的な提案やサポート – 高速化設計へのノウハウ構築 – ターゲットメモリの推察 → 最適なメモリのご提案 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 4 メモリのトレンド1 アプリケーション別メモリ推移(PC/サーバ系) Now TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED エルピーダメモリ様 ご提供 5 メモリのトレンド2 ・DRAM- 大容量化の傾向 現在の主流は128M/256M品だが、今後は512M/1G品が主流となる見込み TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 6 メモリのトレンド3 ・DRAM- 高速化 ・JEDEC標準の主なDRAMのデータ転送速度 項目 SDR-SDRAM DDR-SDRAM DDR2-SDRAM CLK 133 MHz 100/133/166/200 MHz 200/266/333/400 MHz データ 転送速度 133 Mbps 200/266/333/400 Mbps 400/533/667/800 Mbps DIMM帯域幅(64bit時) 1 GBs 1.6/2.1/2.7/3.2 GBs 3.2/4.3/5.3/6.4 GBs 世代交代毎に転送速度は2倍に ・JEDEC標準の主なDRAMのRoad-Mapについて以下に示す DDR3 DDR2 DDR DDR3 DDR2 667/800 DDR2 400/533 DDR 333/400 DDR 266 PC133 2004 2005 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 2006 7 メモリのトレンド4 ・DRAM- 低消費電力化 ・電源電圧の低電圧化により、消費電力を削減 項目 イ ン タ ーフ ェ イ ス 電源電圧 SDR-SDRAM DDR-SDRAM DDR2-SDRAM LVTTL SSTL-2 SSTL-18 3.3 V 2.5 V 1.8 V 約70% TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 約70% 8 TEDメモリーソリューション • FPGA + メモリ使用時の具体的な提案やサポート – 高速メモリ評価ボードの開発 • ボード開発ノウハウの構築 • FPGA高速化設計のノウハウの構築 • お客様の開発期間の削減 • ターゲットメモリの推察 – DDR/DDR2 SDRAMを中心に • 今後の組み込み機器に主流となるメモリ • FPGAのトレンドと非常にマッチしている • FPGAの設計ノウハウが非常に重要 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 9 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 10 DDRメモリ評価ボード • TB-3S-1500-IMG TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 11 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 12 ボード仕様(1) TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 13 ボード仕様(2) TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 14 提供リファレンスデザイン TB-3S-1500-IMGに付属しています – DDRメモリコントロール (266Mbps*) – DVI Tx/Rx インターフェイス (162MHz*) – LVDS Channel Link Tx/Rx インターフェイス (90MHz*, 8/10bit対応) – RSDS Tx インターフェイス (135MHz) – MicroBlaze参照デザイン (*) あくまでスピードグレード -4のスペックです。 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 15 リファレンスデザイン例 (DVI+DDR) 最大162MHz 最大162MHz DVItoDVI (Through) FPGA RX ・スルーモード TX DVIからの入力データをそのままDVIに出力。 266Mbps 最大162MHz DVItoDVI (DDR) RX FPGA DDR 最大162MHz ・フレームバッファーモード DVIからの入力データを1フレーム分一旦 DDRメモリに蓄えディレーしてDVIに出力。 TX 266Mbps 最大162MHz DVItoDVI (DDR div) RX FPGA DDR 最大162MHz TX TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED ・1/4フレームバッファーモード DVIからの入力データから間引き処理をして 1フレーム分一旦DDRメモリに蓄え、画像サ イズを1/4にしてDVIに出力。空白の領域を 赤にして出力。 16 提供リファレンスデザイン例 ・ DVI+DDRのリファレンスデザインをRTLで提供 !! RTL 最大162MHz 最大162MHz DVItoDVI (Through) FPGA RX ・スルーモード TX DVIからの入力データをそのままDVIに出力する 266Mbps 最大162MHz DVItoDVI (DDR) ・フレームバッファーモード RX DVIからの入力データ(1フレーム分)を DDRメモリに蓄えた後、DVIに出力する FPGA DDR 最大162MHz TX 266Mbps 最大162MHz DVItoDVI (DDR div) RX FPGA ・1/4フレームバッファーモード DDR TX 最大162MHz DVIからの入力データ(1フレーム分)に 1/4間引き処理をし、DDRメモリに蓄えた後、 DVIに出力する。画像サイズは1/4となる。 空白の領域は赤で出力する。 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 17 オプションボード紹介 • ADDA • CameraLink • I/O拡張用 ス ス ー ー リ リ リ リ 次 順 ! 順次 ! ! ! 定 予 予定 • 100BASE-T Ethernet TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 18 更に詳細は・・・ • トレーニングにご参加ください!!! – 当評価ボードによる体験コースです。 動かす!!〈実践〉Spartan-3 DDR266コース 開催日:10/28(横浜) 11/8(横浜) 11/19(大阪) 11/25(横浜) 満員御礼 詳細は弊社HPをご参照ください。 http://ppg.teldevice.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 19 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 20 使用アプリケーション例 • • • • • • • • • フラットパネルディスプレイ (LCD/FED/・・・) プロジェクター(フロント/ リア) DVD/ HDD Recorder プリンター/ 複合機 SoC/ メモリ テスター セキュリティカメラ 各種検査装置 各種製造装置 etc… TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 21 使用事例 参考事例1 L V D S (FFC) RSDS(FPC) 映像処理ボード LCD PDP 有機EL FED ・・・ TCON、画像処理回路 ソフトCPU、DSP・・・ 参考事例2 DDR SDRAMを搭載でき、大容量の 映像データのバッファリングが可能。 CameraLink → FFC 変換ボード DVI TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 22 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 23 ボード開発における注意点 • ピン配置 • ボードレイアウト TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 24 ピン配置における注意点(1) • 高速動作のためにはFPGAダイの両サイドを使用 – より多くのピン数を確保できる(上下はクロックピンが集中) – 両サイド側のほうがバススキューが少ない DDR I/F TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 25 ピン配置における注意点(2) • DQ/DQSのピン配置(重要) – LVDSのペアピンにDQとDQSを同居させない(クロックライン共有化の為) LVDSペア IOFFへのクロック入力が共通 IOFFへのクロック入力が共通 ↓ ↓ 出力FFへのクロックが異なるDQ/DQS 出力FFへのクロックが異なるDQ/DQS は同一ペアに配置できない!! は同一ペアに配置できない!! TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 26 ピン配置における注意点(3) • DQ/DQSのピン配置(重要) – READ時DQSはローカルラインを使用する為、DQSのSkewを極力 低減させるDQSとDQの配置の考慮が必要 DQ<0> ~ <3> ★ポイント★ • ローカルラインに最適なピンをDQSに割り当て DQS<0> • 更にDQSの上下に4つずつのDQを配置し、 DQSのスキューを極力低減させる DQ<4> ~ <7> TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 27 ピン配置における注意点(3) • DQ/DQSのピン配置(重要) – ISE PACEにて推奨されるDQS/ DQピンをチェック PACE起動画面 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 28 ピン配置における注意点(3) • DQ/DQSのピン配置(重要) – ISE PACEにて推奨されるDQS/ DQピンをチェック DQS-Pin推奨配置Location DQS配置に対する推奨I/Oが、確認出来ます。 ※上記配置以外でもLocalClockを使用する事は可能です。 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 29 ピン配置における注意点(3) • DQ/DQSのピン配置(重要) – ISE PACEにて推奨されるDQS/ DQピンをチェック DQS DQ(Data)-Pin推奨配置Location DQSに対する推奨DQ信号の配置が表示されます。(緑色) TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 30 ボードレイアウトにおける注意点(1) • 終端抵抗の位置 (IBIS Simulationの必要性) – 配置場所によってインピーダンスが変わり、波形も変わる Before 周波数:133MHz Spartan3:STL2 2.50V CLASS-2 DDR SLOT 配置変更前 DDR SLOT DDR SLOT Spartan3 周波数:133MHz Spartan3:STL2 2.50V CLASS-2 DDR SLOT 配置変更後 DDR SLOT DDR SLOT After Spartan3 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 31 ボードレイアウトにおける注意点(2) • 終端抵抗の位置 – FPGA – DIMM間でFPGA側に終端・シリーズ抵抗を入れるのは困難? 配線間隔: 広い → 抵抗配置 容易 配線間隔: 狭い → 抵抗配置 困難 FPGA これも一例では・・・? DDR SLOT DDR SLOT DIMM 1.25V FPGA TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 抵抗をDIMM 側に集中 22Ω 50Ω 32 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 33 プリント基板開発の流れ 高速 FPGA・DRAMを実装する 高速FPGA・DRAMを実装する 要求仕様 プリント基板への要求 プリント基板への要求 設計ルールの検討 特性インピーダンス指定に対応した設計仕様 特性インピーダンス指定に対応した設計仕様 (高速差動配線における伝送損失も考慮) (高速差動配線における伝送損失も考慮) プレシミュレーション(波形解析) プレシミュレーション(波形解析) 部品配置・配線 ガイドラインや実績に基づくパターン設計 ガイドラインや実績に基づくパターン設計 (メモリバス・高速差動配線・電源) (メモリバス・高速差動配線・電源) 放射ノイズ抑制 放射ノイズ抑制 パターン検証 ポストシミュレーション(波形解析) ポストシミュレーション(波形解析) 基板製造 特性インピーダンスの品質保証 特性インピーダンスの品質保証 評 価 信号波形の実測・ノイズ源の解析 信号波形の実測・ノイズ源の解析 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 34 基礎知識 DDRメモリ搭載基板特有の課題 ・高速 FPGAとDDR-SDRAM間の配線 ・高速FPGAとDDR-SDRAM間の配線 − −信号反射の抑制(最適な伝送路線路の終端) 信号反射の抑制(最適な伝送路線路の終端) − −クロック線、アドレス線、コマンド線、データ線の配線長の考慮 クロック線、アドレス線、コマンド線、データ線の配線長の考慮 − /ライト時のタイミング考慮 −リード リード/ライト時のタイミング考慮 − −配線分岐の方法、伝搬遅延時間の考慮 配線分岐の方法、伝搬遅延時間の考慮 ・公開されているデザインガイド ・公開されているデザインガイド − http://www.jedec.org/) −JEDEC JEDEC::Reference ReferenceDesign DesignSpecification Specification((http://www.jedec.org/) − メーカーより公開されている技術資料など −DRAM DRAMメーカーより公開されている技術資料など ・必要に応じた波形シミュレーションの実施 ・必要に応じた波形シミュレーションの実施 − −伝送線路シミュレーターによる波形シミュレーション 伝送線路シミュレーターによる波形シミュレーション (プレシミュレーション/ポストシミュレーション) (プレシミュレーション/ポストシミュレーション) アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 35 設計ルールの検討(1) 特性インピーダンス指定に対応した設計仕様 t W W S W t εr εr h 150 60 計算値 実測値(GNDラインなし) 実測値(GNDラインあり) 50 実測値 計算値 差動インピーダンス(Ω) シングルエンド・インピーダンス(Ω) h 40 30 20 130 110 90 70 Zdiff実測値≠ Zdiff計算値 Z0実測値≠ Z0計算値 10 0.2 0.4 0.6 ライン幅(mm) 0.8 1.0 50 0.05 0.15 0.25 0.35 ライン幅(mm) 基板メーカーから、特性インピーダンス指定値に 対応した正確な基板仕様を入手する事が重要 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 36 設計ルールの検討(2) FPGA/DDR間の配線トポロジの一例 Xilinx:XC3S1500-4FG676C Vtt=1.25V FPGA Rs=22Ω 10mm 45mm 20mm 1mm SO-DIMMソケット Rt=51Ω 12mm 1mm SO-DIMMソケット 2mm 回路及び配線条件 配線インピーダンス:Zo=50Ω 動作周波数:133MHz(266Mbps) 抵抗:Rs=22Ω、Rt=51Ω FPGA:Spartan3(Xilinx社) メモリDDR-SDRAM SO-DIMM © 東京エレクトロン デバイス株式会社 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 37 設計ルールの検討(3) プレシミュレーション(配線トポロジーの決定) SO-DIMM DDR_A[0] +1.25V Rt 51Ω Spartan3 ■FPGA-P22 75 SSTL2_II Rsr/f=25/36Ω 1 Rs 22Ω 2 1 12 SO-DIMM 2 ■UD0-29 EDD2516AKTA ■UD4-29 ■UD1-29 ■UD5-29 INBUF1 ■UD7-29 ■UD3-29 ■UD6-29 ■UD2-29 Frequency : Duty : 66MHz 50% Zo : 50Ω 配線長 (mm) IBISモデル名 ■UD0-29 EDD2516AKTA ■UD4-29 ■UD1-29 ■UD5-29 INBUF1 ■UD7-29 ■UD3-29 ■UD6-29 ■UD2-29 a) Rt=51Ω固定でRsを可変させた場合 2) Rs=10Ω オーバーシュートの傾向が強い 1) Rs=22Ω ややオーバーシュートしているが振幅はほぼ適正 3) Rs=33Ω Low側マージンがやや狭くなる © イビテック株式会社 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 38 部品配置・配線(1) 放射ノイズ抑制(部品配置・電源プレーン設計段階) 「ノイズ抑制設計ルール」 「プレーン共振解析」 最大電圧(励振源電圧に対するプレーン上での最大値) 10.0 5.0 0.0 -5.0 最大電圧[dB] -10.0 -15.0 -20.0 -25.0 -30.0 -35.0 -40.0 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 周波数 [MHz] ①動作周波数に対応した配線長と部品配置の適正化 ②電源プレーン形状・パスコン配置の最適化 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 39 部品配置・配線(2) FPGA・DDR-SDRAM(単体)搭載基板のパターン設計例 DDR-SDRAM (両面搭載) 【設計レイアウト事例】 等長配線に関して ① CK信号のペアは等長とする。 ② CK信号に対してDQS信号を等長とする。 ③ CK信号とDQS信号を基準として他の(DQ、DM)信号を等長とする。 ④ CK信号を基準にアドレスを等長とする。 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 40 パターン検証(1) ポストシミュレーション (波形解析) ・メモリバスに対する パターン設計終了後の シミュレーション。 ・各ピンの遅延時間や、 波形のシミュレーション が可能。 波形シミュレーションの実例 パターン設計状態 パターン設計状態 レポート内容 シミュレーション・フロー ドライバ 出力波形 パターン設計データ 部品情報 (IBISモデル) IBISモデル) データ 修正 Overshoot 波形シミュレーション レシーバ 入力波形 レポート提示 ・各ピンの遅延時間 ・代表的な波形 製造データ Delay Rise min Delay Fall min Delay Rise max Delay Fall max Undershoot ●XTKシミュレーション波形と実機との比較( XTKシミュレーション波形と実機との比較(8層板,66MHzクロックライン) Tektronix TDS644Bをプローブとして XTKシミュレーションと実機評価を実施 レシーバー入力 レシーバー入力 ドライバー出力 ドライバー出力 XTKシミュレーション波形 XTKシミュレーション波形 実測波形 実測波形 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 41 パターン検証(2) 放射ノイズ抑制(配線後) ノイズ抑制設計ルール(配線長、ビア数、リターンパス、放射電界強度計算、 部品配置など)に対する適合性チェックと修正 エラー内容 エラー内容 修正候補 修正候補 アイカ工業(株)電子カンパニー http://www.aica.co.jp TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 42 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 43 その他メモリ評価ボード • エルピーダメモリ様ご提供評価ボード • Virtex4 DDR2評価ボード (開発中) TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 44 エルピーダ様ご提供 評価ボード ・ DDR 評価ボード (Spartan-3) ・ DDR400(Chip接続)はSpartan-3にて動作実績あり !! 【提供:ELPIDA Memory, Inc】 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 45 エルピーダ様ご提供 評価ボード ・ DDR2 評価ボード (Virtex2-Pro) ・ DDR2-400(DIMM接続)はVirtex2Proにて動作実績あり !! 【提供:ELPIDA Memory, Inc】 TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 46 Virtex4 DDR2 評価ボード DDR2 DIMM x2Slot 512MB/ 533Mbps DIP SW x10 -Pin Header LED x10 DDR2 Chip OSC OSC OSC OSC OSC OSC 512Mb/ 533Mbps ELPIDA JAPAN EDE5116AASE xxxxxxxxx XCF08P OSC OSC SMA Connector Sepideh UART - General I/O - Connect to Option board TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 47 ハードウェア仕様 Item Specification Remark Part type of FPGA XC4VLX25-10FF668 External Clock OSC x8, SMA Connecter x2, Connecter x8 OSC is socket type? Memory DDR2 SDRAM x2, DDR2 DIMM x2 (Elpida/ Micron/ Samsung) ELPIDA/ Micron/ Samsung SDRAM/ DIMM Extended I/O 1 Pin Header 30pin? Extended I/O 2 ? ? pin (Usable & Extended I/O ) RS232C 1 port FPGA Configuration XCF08P Other Input Push button x4, DIP switch x10 Other Output LED x10 Dimension ? Power DC12V Reference Design 533Mbps DDR2 memory control TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED ? XMILE support? 48 ブロック図 DC12V 1.2V 1.8V 0.9V 2.5V I/O Expand XCF08P Pin Headers Pin Headers 533Mbps DDR SDRAM (Chip) DDR SDRAM (Chip) 533Mbps DDR SDRAM (DIMM) DDR SDRAM (DIMM) OSC (SOCKET) OSC (SOCKET) 3.3V XC4VLX2510FF668 SMA LTC1348 JTAG Port DIP SW(x10) LED(x10) RS-232C Connector TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 49 オプションボード例 順次ラインナップ予定! DVI Tx DVI Rx DSP DVI Tx I/F CameraLink DVI Rx I/F DSP I/F HDMI Tx HDMI Tx I/F HDMI Rx HDMI Rx I/F Virtex2Pro TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED Optical Module 50 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 51 その他メモリソリューション • TE7720 – 汎用Flashを使用したConfiguration Chip • SDカード ホストコントローラ IP/ Chip – SDメモリ/ SDIO対応のコントローラ • NANDフラッシュコントローラ – その他SmartMediaおよびxD-Picture Cardに対応 • その他ボード 詳細はこちらから! http://inrevium.teldevice.co.jp/ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 52 Agenda • はじめに • DDRメモリ評価ボード(TB-3S-1500-IMG) – 評価ボード仕様紹介 – アプリケーション例 – ボード開発における注意点 – DDRメモリ搭載基板の設計手法例 – その他DDR/DDR2メモリ評価ボードご紹介 • その他メモリソリューション • まとめ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 53 まとめ • 我々はFPGA+メモリ開発におけるボード開発・FPGA 設計・テストフローに対して、トータルソリューションを ご提供します。 • 弊社ソリューション及び、各種セミナー・トレーニング の詳細は下記URLからご参照下さい。 http://ppg.teldevice.co.jp/ TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 54