クリーンルームクリーン化施工技術

クリーンルームクリーン化施工技術
高度な清浄度空間を短工期で造り出すクリーンルームの施工計画技術
お　客　様　の　メ　リ　ッ　ト
○世界最高レベルの高清浄度空間が実現されます。
○施工期間が短いので、生産装置の早期稼働が可能となります。
技 術 の 特 徴
○施工段階を作業工程に合わせて区切り、各段階毎に作業内容、作業動線、作
業服装などを制限することにより、施工中のクリーンルームの清浄度を段階
的に高めていく技術です。
準備ステップ
第１ステップ
第２ステップ
クリーンアップ計画を策定
・建屋への出入口を１ヶ所
に限定し、靴履き替え室
・内装工事・設備工事開始時
・専用の作業靴に規制
・最終の清掃と性能検査
・クリーン服・クリーン靴の
を設置
・専用のクリーン清掃班を編成
着用
・入口前には靴洗いやエア
・クリーンルームの正圧管理
・入場者を限定し発塵を
ーガンを設置
・クリーンルーム施工講習会を
最小限に抑制
・クリーンルーム施工時の
開催
・クリーン度を目標値まで
第３ステップ
高める
全般注意事項について、
講習会を開催
建物内
粘着マット
上靴置き場
上靴エリア
すのこ(裸足エリア）
上靴置き場
外靴置き場
外靴エリア
すのこ(裸足エリア）
外靴置き場
泥落し床ブラシ
エアガン
屋外
クリーンアップ計画の進め方
クリーンアップ講習会
最終清掃
実 績 ・ 事 例
■液晶工場，半導体工場，半導体製造装置研究開発施設，他多数
S02G01
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