GENTLE MILL IV8 仕様書

２０１０年７月
日本フィジテック
GENTLE MILL IV8　仕様書
《低エネルギーイオンソース》
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イオン銃
加速電圧
イオンビーム電流
イオンビーム電流密度
ビーム径（FWHM）
¥ レート（Ｓｉ、入射角：30°）*
冷陰極式
100V～2kV
MAX 90µA
10mA/cm2
750〜1200µm
2.5µm/h 500V
28µm/h 2kV
《試料ステージ》
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試料サイズ
試料回転機能
試料反復機能
試料反転機能
ビーム入射角度
試料出し入れ
3mmΦメッシュ & FIB各種メッシュ
スピード可変
0~120°、スピード可変
180°反転（表・裏）
0~45°
ロードロックシステム
《制御系》
¥ ビルトインＰＣ
¥ 専用制御ソフトウェア
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高精度自動操作法
Windows XP
Gentle Mill Control Software (Gemics)® ver. 5
（１）　試料ステージ動作設定
（２）　イオンソース操作設定
※手動
※自動
（３）　Arガス自動流量調整
（４）　真空システム制御
（５）　作業進行モニタリングシステム
プリセットファイル式
《観察系》
¥ ＣＣＤカメラ
×50-400　ズームCCDカメラ
《真空系》
¥ 真空ポンプ
¥ 真空計
¥ 到達真空度
ダイヤフラムポンプ（粗引き：外置き）、ターボ分子ポンプ
全圧計 （ピラニ、ペニング）
5x10-6Torr以下
《寸法・重量》
¥ 寸法
¥ 重量
520(W)×720(D)×650(H)mm
約60kg
《ユーティリティ》
¥ 温度
¥ 湿度
¥ 電源
¥ Arガス
15℃~25℃
60％　ＲＨ以下
単相ＡＣ100V、3A（3Pコンセント）、50/60Ｈｚ
※コード長：　2m以内
純度：99.999％
絶対圧力：0.13-0.17MPa
※二次圧：0.1～0.5MPaのレギュレータをご準備願います。
継手：スエジロック（外径6mm）
装置側接続：スエジロック（外径6mm）
¥ N2ガス
電子制御式ニードル・バルブ
絶対圧力：0.1-0.15MPa
※二次圧：0.1～0.5MPaのレギュレータをご準備願います。
継手：スエジロック（外径6mm）
装置側接続：スエジロック（外径6mm）
《インターロック》
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停電時装置は自動停止します。通電後は真空系のみ自動排気作業を行います。
高圧（～2kV）真空度5×10－4Torr以下にならなければ高圧が入りません。
装置内温度冷却水不足等により装置内温度が40℃以上になった場合、警告ブザーがなります。
警報システム
ブザー式の警報　（冷却水システム）
LED式の警報　（電源系・ガス等）
画面上の警報 （全機能）
* 検収対象外項目
以上