ドライ真空ポンプカタログ

No. VP-0701
小型ドライ真空ポンプカタログ
DRY
VACUUM
PUMPS
CATALOG
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
メカニカルブースターポンプ
ドライ真空ポンプ付属部品
真空配管部品
Creating Small Vacuum Pumps
アルバック機工株式会社
www.ulvac-kiko.com
の
と
を目指す
アルバック機工のドライ真空ポンプはドライ真空ポンプ専門工場で製造を行っています。加工部
品質方針
門は、NC旋盤やマシニングセンターなど最新の工作機械を設備しています。徹底したコスト削減と
私たちは一人一人が仕事の
独自の製造ノウハウから生まれたドライ真空ポンプは、厳しい検査工程とランニングテストを経て出
品質を高め、お客様に満足
荷されます。また、アルバック機工のドライ真空ポンプは、より性能を高めるためのモデルチェンジ
していただける安全で高品
も積極的に行っています。ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプとそれぞれ専用の工場を有してい
質の商品およびサービスの
るのも、品質保証に根ざした小型真空ポンプのリーディングメーカーとしての製造ポリシーです。
提供に努めます
ISO9001、ISO14001
認証取得
徹底した品質保持を追求する−−ドライ真空ポンプ専門工場
高精度を誇るNC旋盤も、多数導入
している。
宮崎事業所全景
組立はクリーンな
環境の中で行われ、
独自の製造ノウハ
ウにより信頼性を
高めている。
厳しいランニングテストを終えた製品は
最終検査工程を経て出荷される。
カタログの見方
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-20D
RoHS対応
実効排気速度表示
DA-20D
1段型、2段型の区分
Ｓは1段型、Ｄは2段型を示します。Kがついた場合は組込型を示します。
Actual pumping speed
実効排気速度 Actual pumping speed
表記の値は50Hzにおける実効排気速度を示します。60Hzの場合は約1.2倍の能力が得られます。
型式
Type of Pump
（他社の場合、排気速度を設計排気速度で示している例がありますが、当社では一部の機種を除き
実効排気速度を採用しています）
RoSH指令対応機種
※在庫状況により未対応の場合があります。詳しくはお問い合わせください。
サーマルプロテクター内蔵／アンローダーバルブ（オプション）
With built-in thermal protector/Unloader valve (option)
コード付きプラグ
コード付き先ばら
コード付き圧着端子
スイッチ付き
寸法図 Dimensions
64
9
6
54
端子のみコードなし
OUT
118
165
178
大気圧の気体を吸入した場合の実効排気速度を示します。他のメーカによっては設計排気速度標示の場合
があり、その場合は1.2倍程度にすることによって換算できます。
11
到達圧力とはポンプの真空をつくる最大の能力で、この圧力に達するとポンプの排気速度は0となります。
ゴム脚4-M4
186
70
236
108
使用しているモータの定格を示します。
カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧でご希望の場合はご照会ください。別途お見積いたします。
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DA-20D
L/min.
20/24 (50/60Hz)
Pa
Motor
5.3×103
電源コードを含むポンプの単体の質量です。
アンローダーバルブ付
with unloader valve 9.3×103
標準の吸気管の外径を示します。これと異なるサイズをご希望の場合はお問い合わせください。
1φ,100V, 60W, 4P,Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, Outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.6
kg
7.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
118(W)×236(L)×184(H)
ポンプはこの使用雰囲気温度範囲内でご使用ください。
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
2
CONTENTS
Type
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ス
タ
ン
ダ
ー
ド
タ
イ
プ
／
減
圧
・
加
圧
両
用
タ
イ
プ
高
真
空
タ
イ
プ
ケ
ミ
カ
ル
タ
イ
プ
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
回
転
翼
型
ス
ク
ロ
ー
ル
型
メブ
カーポ
ニスン
カタプ
ルー
3
目 次
排気速度
L/min(50/60Hz)
到達圧力
Pa
頁
DAP-6D
DAP-12S
DA-15S
DA-15D
DA-30S
DA-20D
DA-40S
DA-30D
DA-60S
DA-41D/41DK
DA-81S/81SK
DA-60D
DA-120S
DA-121D
DA-241S
DAT-50D
DAT-100S
DAL-181D
DAL-361S
DAP-15
DAP-30
DAU-20
DAU-100
DAU-100H
MD4
MD8
DTU-20
MD4C
MD8C
DTC-21/21K
DTC-41/41K
DTC-60
DTC-120
DOP-9D
DOP-40D
DOP-80S
DOP-80SP
DOP-200S
DOP-50S4
DOP-100T
DOP-100ST
DOP-50DT
DOP-50F
DOP-300S
DOP-150T
DTP-45D
DTP-90S
DTP-90D
DTP-180S/180SQ
DSB-151
DSB-251
DSB-451
DSB-601
DIS-090
DIS-250
DIS-500
DVT-300
DVS-321
DVS-631
DISL-100
DISL-500
MBS-030
6/7
12/14
12/15
12/15
24/30
20/24
40/46
30/36
60/72
40/46
75/85
60/72
120/144
120/145
240/260
50/55
100/110
180/210
360/390
15/18
30/36
20/23
100/110
100/110
50/60
100/120
20/23
40/50
80/96
20/24
40/46
60/70
120/140
9.0/9.8
40/44
80/88
80/84
200/220
50/55
100/110
100/110
50/55
50/55
300/330
140/160
45/49
90/99
90/99
180/198
180/200
250/310
430/530
600/700
90/108
250/300
500/600
300
265/320
525/630
100/120
430/520
6.65×103
24.0×103
26.6×103
6.65×103
26.6×103
5.3×103
19.9×103
6.7×103
21.3×103
3.3×103
13.3×103
3.32×103
13.3×103
3.3×103
16.0×103
3.3×103
13.3×103
3.3×103
17.3×103
39.9×103
33.3×103
200.0
266.0
1.0×103
260.0
260.0
200.0
260.0
260.0
1.0×103
1.0×103
1.0×103
1.0×103
6.7×103
1.2×103
5.4×103
加圧専用
8.0×103
8.0×103
0.4×103
8.0×103
1.2×103
0.27×103
8.0×103
0.4×103
2.7×103
9.3×103
2.7×103
10.0×103
15.0×103
15.0×103
12.0×103
12.0×103
5.0
1.6
1.0
6.7
1.5
1.0
50.0
10.0
8
9
9
10
10
11
11
12
12
13
13
14
14
15
15
16
16
17
17
18
19
20
20
20
21
21
22
22
23
24
24
25
25
26
27
27
28
28
29
29
30
30
31
31
32
32
33
33
34
35
35
35
35
36
37
37
38
38
39
39
40
500/600
4.0×10-2
MBS-050
833/1000
4.0×10-2
型 式
特 長
・油を使用していないためクリーンな排気が可能です。
・メンテナンスが容易なため卓上用や大量生産される装置の
組込用として多くの用途で使われております。
・小型から大型機種までそろえました。用途に応じてお選び
いただけます。
・「DAP-15、DAP-30」は0.15MPaまでの加圧が可能な減
圧・加圧両用タイプです。
・オイルレスながら、高真空を実現したポンプです。高真空
が必要でありながらオイルポンプを使用したくない場合、
短時間で一定の真空度まで排気したい場合、狭小場所の吸
着ガスを吸引したい場合などに適します。
・接ガス部材質PTFE。高真空・耐食タイプ。
・耐食性に優れ、有機溶媒ガスを直接吸引できます。高価な冷
却トラップは不要です。吸引ガスを回収するためには、排気
側に水冷管を取付ける程度で十分です。
・高真空ですから、蒸気圧の低いガスにも十分対応いたします。
・スタンダード、加圧専用、減圧・加圧両用の各タイプがあ
ります。
・加圧専用タイプは小型のコンプレッサーとしてご利用いた
だけます。
・消耗部品が少なく長寿命です。
・低真空領域で安定した圧力が得られます。
・他の方式のドライポンプにくらべ大容量（高排気速度）型の
ポンプです。
・さらに他の方式にくらべ脈動が少なく、高速で吸着をくりか
えす用途に適します。
・オイルレスながらオイルポンプなみの高真空が得られます。
・排気速度が大きくクリーンな高真空が可能です。
・オイルの管理が不要のため、オイルポンプにくらべメンテ
費用が低減。エネルギーコストも大幅低減されます。
注）
スクロール型の排気速度は設計排気速度を表示しています。
41 ・バックポンプとの組み合わせにより、油回転真空ポンプを
超える高真空が得られます。排気速度が非常に早く、高
41
速／高真空が必要な用途に適します。
ポンプ選定のしおり
下記の計算式と機種別排気速度曲線により、使用目的によるポンプが選定できます。
（排気速度表は44ページ）
1．排気時間、排気速度の計算式
V
t＝
S
排気時間
（min）
example
P1
× 2.303 log
P2
タンク容積
（L）
ポンプ排気速度
（L/min）
2
80リットルのタンクを、大気圧から13kPaま
で減圧するのに要する時間は？
初期圧力
（Pa）
ポンプはDA-121Dを使用する。
最終圧力
（Pa）
S=
t0＝ t1 ＋ t2 ＋ t3 ＋ ……
example
1
大気圧→90kPa S1=124L/min t1= 80 2.303 log 101324 =0.08
90000
124
80
90000
90kPa→80kPa S2=123L/min t2=
2.303 log
=0.10
123
80000
80kPa→70kPa S3=122L/min t3= 80 2.303 log 80000 =0.10
122
70000
70kPa→60kPa S4=120L/min t4= 80 2.303 log 70000 =0.10
120
60000
80
60000
60kPa→50kPa S5=116L/min t5=
2.303 log
=0.15
116
50000
50kPa→40kPa S6=111L/min t6= 80 2.303 log 50000 =0.16
111
40000
80
40000
40kPa→30kPa S7=108L/min t7=
2.303 log
=0.21
108
30000
30kPa→20kPa S8=96L/min t8= 80 2.303 log 30000 =0.50
96
20000
20kPa→13kPa S9=86L/min t9= 80 2.303 log 20000 =0.40
13000
86
t0=t1∼＋t2∼＋t9＝1.80min
50リットルの容器を大気圧から10000Paま
で５分で減圧したい。どのポンプを選べばい
いでしょうか？
図の通り、1 0 0 0 0 P a で
23L/min以上の排気速度が
必要ですから、DA-30D以上
のポンプをお選びください。
ただし、配管コンダクタンス
や漏れ等を考慮して、実際
には安全率を見込んでお選
びください。
80
DA-121D
60
DA-60D
（L／min）
40
DAT-50D
DA-30D
20
DA-20D
4
0
S＝
1×10
Pa
V 50
t 5
2
3
× 2.303 log
v
P1 初期圧力
t ×2.303Log P2 最終圧力
P1 100000
P2 10000
（L／min）
50Hz
140
S ≒ 23 L /min (at 10000Pa)
DA-121D
120
排気速度
Pumping Speed
100
2．真空により、吸着吸引する場合の計算式
80
60
40
●真空吸着
パイプ
真空状態
真空吸着とは、真空
漏れが無い
20
と大気圧との差圧を利
用して物体を真空側に
0
1
2
3
大気の圧力
4
5
圧力
Pressure
6
7
8
9
10
×10kPa
L／min
吸い付けることです。大気圧は１kg/cm2です。したがって差圧による力は、絶対真空（真空圧力０）の場合は１
kg/cm2、真空圧力50662Pa（1/2気圧）の場合は0.5kg/cm2となります。
●実際の吸着
実際に吸着する際は、一般的に吸着パット、吸着ブロックが利用されます。
刃物
真空ポンプへ
真空ポンプへ
加工物
吸着パッド
吸着用ブロック
吸着用ブロック
真空ポンプへ
工作機械テーブル
4
真空吸着の力は、真空ポンプの性能と吸着パットや吸着ブロックの吸着面積により決まります。
多孔ブロックの場合の吸着面積Aの考え方
吸着パッドの場合の吸着面積Ａの考え方
真空ポンプへ
φD
φd
φd
吸着前はＡ＝πd2/4
φd
Ａ＝πd2/4×n（n：穴の数）となる
実際に吸着するとＡ＝πD2/4
計算式では次の通りです。
●実際の計算式
（101,324−P）
Ｗ＝
×A×Ｔ
101,324
Ｗ＝理論の吸着力（kg）
Ｐ＝吸着パットの圧力（Pa）
Ａ＝吸着パットの面積（cm2）
Ｔ＝大気圧による力（1kg/cm2）
●実際の計算例
0.5kgのワークを垂直吊りする場合、吸着パットの面積は？
吸着パットの圧力を40,000Paとする。
A＝
101,324×Ｗ
（101,324−P）×Ｔ
＝
101,324×0.5
101,324−40,000
＝ 0.83
（cm2）
垂直吊りなので、0.83×3＝2.69cm2 となります。
●安全率
垂直吊りの場合
理論計算値×３
横吊りの場合
理論計算値×６
Tips
アンローダーバルブ
UNLOADER VALVE
アンローダーバルブは、ダイアフラム型ドライ真空ポ
ンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気をすばやく
導入し、ポンプヘッドと外側の差圧をなくす機構です。
アンローダーバルブ作動図
真空 vacuum
真空 vacuum
大気圧
大気圧
atomospheric pressure
真空 vacuum
大気圧
大気圧
atomospheric pressure
真空 vacuum
大気圧
atomospheric pressure
大気圧
atomospheric pressure
大気圧
atomospheric pressure
大気圧−大気圧＝０＜起動トルク
5
大気圧
atomospheric pressure
ドライ真空ポンプ各タイプの動作原理
■ダイアフラム型
①ポンプヘッド
②ケーシング
③コネクティングロッド
④ダイアフラム
⑤ダイアフラム押え板
⑥排気弁
⑦吸気弁
ドライ真空ポンプ
排気口
1 吸気工程中間時
⑤ ⑥
⑦
吸気口
は空気の流れを示す。
はコネクティングロッドの次の工程への動きを示す。
工程順序は →
→ → 1
1 2
3 →4
2 吸気工程最終時（下死点）
①
⑦は引き込まれて開く。
⑥が引きつけられて閉じる。
⑦は完全に開く。
⑥が閉じたまま。
ダイアフラム
③
④
②
3 排気工程中間時
4 排気工程最終時（上死点）
回転軸中心
⑦は押されて閉じたまま。
⑥は押されて完全に開く。
⑦は押されて閉じる。
⑥が押されて開く。
■揺動ピストン型
ドライ真空ポンプ
排気口
■回転翼型ドライ
真空ポンプ
■メカニカルブースターポンプ
シリンダー
ローター
吸気口
反対方向に回転
するまゆ形ロータ
排気口
吸気口
ーを90°位相を
ずらせて取り付け
ピ
ス
ト
ン
A
B
ます。ローターは
シリンダーと接触
シリンダー
することなく気体
ローター
輸送します。
ベーン
C
D
この形式のポンプは、大気に放出する他の形式のポンプ（例
回
転
軸
中
心
えば油回転真空ポンプなど）を補助ポンプとして使用し、高真
空側に用います。
構造的に摺動部がなく、高速回転が可能で高排気速度のもの
ができます。
■スクロール型ドライ真空ポンプ
6
真空の圧力単位について
新計量法による圧力の単位には、ＳＩに係
る計量単位としてPa（パスカル）、N/m2（ニ
ュートン毎方平メートル）およびbar（バー
ル）が用いられるほか、非ＳＩ単位として、
生体内の圧力にTorr（トール）が、そして血
圧にmmHg（水銀柱ミリメートル）が認めら
れています。
真空圧力の表記には、次の二通りの方法が
あります。真空業界では、絶対圧力を使用し
ますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われ
るので、資料やカタログをご覧になるときは、
どちらの方法で圧力が表記されているか確認
する必要があります。
１.
絶対真空を０（ゼロ）とした絶対圧
単位の後にaまたはabsと記す（省略され
ることが多い）
２. 大気圧を０（ゼロ）としたゲージ圧
単位の後にGまたはGaugeと記す（省略
されることが多い）
■各圧力単位における大気圧の値
単位
読み方
絶対圧表記
ゲージ圧表記
真空圧力
真空圧力
大気圧
絶対真空 大気圧
範囲
Pa（N/m2）
パスカル
101325
絶対真空
範囲
←→
0
0
←→
-101325
kPa
キロパスカル
101.3
←→
0
0
←→
-101.3
M Pa
メガパスカル
0.101
←→
0
0
←→
-0.101
bar
バール
1.013
←→
0
0
←→
-1.013
mbar
ミリバール
1013
←→
0
0
←→
-1013
Torr
トール
760
←→
0
0
←→
-760
mmHg
ミリメータ水銀柱
760
←→
0
0
←→
-760
mmH2O
ミリメータ水柱
10342
←→
0
0
←→
-10342
1
←→
0
0
←→
-1
14.696
←→
0
0
←→
-14.696
1.0332
←→
0
0
←→
-1.0332
（Aq）
（アクア）
atm
気圧
psi（bf/in2）
ポンド平方インチ
キログラム
kgf/cm2
平方センチメートル
■単位の比較
（絶対真空）
Torr abs
（mmHg abs）
（大気圧）
減圧（真空圧）
100
200
300
400
500
600
700
0.9
加圧
760
1
トール
（ミリメータHg）
1.013
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0
10×103
20×103
30×103
40×103
50×103
60×103
70×103
80×103
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100 101.32
0
0.01
0.02
0.03
0.04
0.05
0.06
0.07
0.08
0.09
0.1 0.101
bar abs
バール
Pa abs
90×103 100×103 101325
パスカル
kPa abs
キロパスカル
MPa abs
メガパスカル
-760
トール
（ミリメータHg）
-1.01
-700
-600
-0.9
-0.8
-500
-400
-0.7
-300
-200
-100
0
Torr G
（mmHg）
-0.6
-0.5
-0.4
-0.3
-0.2
-0.1
0
-60×103
-50×103
-40×103
-30×103
-20×103
-10×103
0
-70
-60
-50
-40
-30
-20
-10
0
9.8
19.6
-70×10-3
-60×10-3
-50×10-3
-40×10-3
-30×10-3
-20×10-3
-10×10-3
0
9.8×10-3
19.6×10-3
bar G
バール
-101325 -90×103
-80×103
-70×103
Pa G
パスカル
-101
-90
-80
kPa G
キロパスカル
-101×10-3 -90×10-3 -80×10-3
MPa G
メガパスカル
キログラム毎平方 -1
センチメートル
0
-0.9
-0.8
-0.7
-0.6
-0.5
-0.4
-0.3
-0.2
-0.1
0
0.1
0.2
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
1.1
1.2
kg/cm2 abs
kg/cm2 G
キログラム毎平方
センチメートル
■単位換算表
To
From
1 Pa（N/m2）
Pa（N/m2）
Torr（mmHg）
atm
mbar
psi（bf/in2）
kgf/cm2
mH2O（15°
）
1
7.50×10-3
9.87×10-6
10-2
1.45×10-4
1.02×10-5
1.02×10-4
1 Torr（mmHg）
133.32
1
1.316×10-3
1.33
1.93×10-2
1.359×10-3
1.36×10-2
1 atm
1.013×105
760
1
1.013×103
14.696
1.033
10.34
1 mbar
100
0.750
9.87×10-4
1
1.45×10-2
1.02×10-3
10.206×10-3
1 psi
（bf/in2）
6.89×103
51.71
6.8×10-2
68.9
1
7.031×10-2
0.703
1 kgf/cm2
9.8×104
735.56
0.968
9.81×102
14.223
1
10
1 mH2O
9.8×103
73.49
9.68×10-2
98.0
1.421
0.1
1
7
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP-6D
■スタンダードタイプ Standard type
DAP-6D
DAP-12S
DA-15S
DA-15D
DA-30S
DA-20D
DA-40S
DA-30D
DA-60S
DA-41D/41DK
DA-81S/81SK
DA-60D
DA-120S
DA-121D
DA-241S
DAT-50D
DAT-100S
DAL-181D
DAL-361S
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
特 長
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
ダイアフラム型真空ポンプはゴムの薄膜（ダイアフラム）の往
復運動を利用して真空排気を行う真空ポンプです。真空ポンプ
寸法図 Dimensions
の基本性能である排気速度、到達圧力では比類のない能力を
有しています。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・小型、軽量、低価格
・すべての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も
（163）
155
91
考慮
（22）
コンデンサケース
67
45
24
（4）
M4ネジ
（EARTH取付）
89.6
95.6
（100.6）
55.5
・シンプルな構造でメンテナンスも容易
（94）
使用上の注意
１．ポンプを停止した後に再起動する場合ポンプ内を真空のま
4
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
まにしていると再起動が難しくなることがありますが、この
場合はポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
（なお
4-M4タップ
4-M3タップ
80
アンローダー機構内蔵のタイプはこの必要はありません）
49
57
CCW
4-ゴム脚
67
樹脂ファンカバー
M3タップ
M4タップ
中間スイッチ付
電源コード（約2m）
２．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合
は、それらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い
合わせください。
３．
「DA-15S、DA-15D、DA-30S」の長時間の連続運転はポン
仕様 Specifications
プ寿命を縮めます。スイッチの切り忘れにご注意ください。
Actual Pumping Speed
主な利用分野
メンテナンスが容易なため、大量生産される装置の組込用とし
て多くの用途で使われております。
１．吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット
Unit
DAP-6D
L/min.
6/7 (50/60Hz)
Pa
6.65×103
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
1φ, 100V, 10W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
２．分析機器、理化学機器
全負荷電流
３．半導体検査装置
Weight
４．デバイス組立
質量
５．自動機、包装機
Inlet, outlet pipe diameter
A
0.39/0.43 (50/60Hz)
kg
1.9
mm
Rc 1/8
℃
0∼40
mm
93(W)×163(L)×100.6(H)
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
8
DAP Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-15S
DAP-12S
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
IN
176.5
67
81
（4）
M4ネジ
（ERTH取付）
4-M4タップ
4-M3タップ
4-ゴム脚
67
49
57
CCW
樹脂
ファンカバー
60
4
（94）
89.6
95.6
（100.6）
55.5
45
24
M3タップ
M4タップ
80
10
（22）
182
コンデンサケース
（163）
155
91
45
22
2×2−φ4
90
56.5
ゴム脚
115
125
中間スイッチ付電源コード（約2m）
中間スイッチ付電源コード（約1.8m）
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
L/min.
DAP-12S
12/14 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
Pa
24.0×103
1φ, 100V, 10W, 4P, condenser run
使用電動機
A
0.39/0.43 (50/60Hz)
kg
1.9
mm
Rc 1/8
9
Motor
1φ, 100V, 25W, 4P, Condenser run
Full load current
A
0.6
Weight
kg
3.1
Inlet, outlet pipe diameter
mm
O.D.φ9×I.D.φ5
℃
7∼40
mm
125(W)×176.5(L)×182(H)
吸・排気口径
℃
0∼40
使用雰囲気温度範囲
最大寸法
26.6×103
質量
吸・排気口径
Overall dimensions
Pa
全負荷電流
質量
Ambient operation temp.range
Ultimate pressure
使用電動機
全負荷電流
Inlet, outlet pipe diameter
DA-15S
12/15 (50/60Hz)
到達圧力
Motor
Weight
Unit
L/min.
実効排気速度
到達圧力
Full load current
Actual Pumping Speed
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
93(W)×163(L)×100.6(H)
Overall dimensions
最大寸法
OUT
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-15D
DA-30S
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
（135）
20.5
22.5
（65）
115
125
90
56.5
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
DA-15D
L/min.
12/15 (50/60Hz)
実効排気速度
Pa
6.65×103
1φ, 100V, 39/43W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
0.79/0.82 (50/60Hz)
kg
3.9
mm
O.D.φ9×I.D.φ5
Weight
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
最大寸法
Full load current
質量
吸・排気口径
Overall dimensions
DA-30S
L/min.
24/30 (50/60Hz)
Pa
26.6×103
Motor
全負荷電流
質量
Ambient operation temp.range
Unit
1φ, 100V, 39/43W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
Inlet, outlet pipe diameter
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
Weight
Actual Pumping Speed
実効排気速度
到達圧力
Full load current
115
125
ゴム脚
中間スイッチ付電源コード（約1.8m）
中間スイッチ付電源コード（約1.8m）
Ultimate pressure
76
60
76
141
141
182
60
22
56.5
ゴム脚
Actual Pumping Speed
62.5
45
22
90
（65）
20.5
162
182
40
（135）
203
10
203
162
10
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
125(W)×203(L)×182(H)
Overall dimensions
最大寸法
A
0.79/0.82 (50/60Hz)
kg
3.9
mm
O.D.φ9×I.D.φ5
℃
7∼40
mm
135(W)×203(L)×182(H)
10
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-20D
DA-40S
RoHS対応
実効排気速度表示
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵／アンローダーバルブ（オプション）
サーマルプロテクター内蔵／アンローダーバルブ（オプション）
With built-in thermal protector/Unloader valve (option)
With built-in thermal protector/Unloader valve (option)
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
128
118
74
（70）
（165）
66.5
（178）
（11）
（11）
66.5
（178）
（70）
（165）
74
70
70
186
108
ゴム脚
236
（112）
4-M4
（240）
２芯変換アダプタ−
Ultimate pressure
到達圧力
Pa
20/24 (50/60Hz)
5.3×103
アンローダーバルブ付
with unloader valve 9.3×103
1φ,100V, 60W, 4P,Condenser run
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, Outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
11
（112）
２芯変換アダプタ−
DA-20D
L/min.
Motor
Full load current
236
（240）
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
仕様 Specifications
Unit
実効排気速度
108
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
ゴム脚
4-M4
186
Actual Pumping Speed
Unit
DA-40S
L/min.
40/46 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Pa
Motor
1.6
kg
7.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
118(W)×236(L)×184(H)
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
アンローダーバルブ付
with unloader valve 22.6×103
1φ, 100V, 60W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
19.9×103
A
1.6
kg
7.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
128(W)×236(L)×184(H)
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-30D
実効排気速度表示
DA-60S
RoHS対応
Actual pumping speed
RoHS対応
実効排気速度表示
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
278
212
167
27.5
212
278
27.5
22.5
60
Unit
DA-30D
L/min.
30/36 (50/60Hz)
Pa
6.7×103
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
使用電動機
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
kg
11.0
Pa
21.3×103
Motor
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
Full load current
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
Weight
kg
11.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc1/4)
℃
7∼40
mm
212(W)×278(L)×224.5(H)
質量
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
吸・排気口径
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
最大寸法
Ultimate pressure
全負荷電流
質量
Overall dimensions
DA-60S
60/72 (50/60Hz)
使用電動機
全負荷電流
Ambient operation temp.range
Unit
L/min.
到達圧力
Motor
Inlet, outlet pipe diameter
Actual Pumping Speed
実効排気速度
到達圧力
Weight
224.5
91
仕様 Specifications
実効排気速度
Full load current
136
160
ゴム脚 4-M4
プラグ付2芯電源コード（約1.8m）
仕様 Specifications
Ultimate pressure
60
200
プラグ付2芯電源コード（約1.8m）
Actual Pumping Speed
(160.5)
(25.5)
(194)
224.5
（160.5）
160
136
160
ゴム脚
4-M4
12
160
200
22.5
95
91
（25.5）
（194）
95
12
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
212(W)×278(L)×224.5(H)
Overall dimensions
最大寸法
12
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-41D/41DK
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual
pumping speed
DA-81S/81SK
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual
pumping speed
組込型 DA-41DK
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
組込型 DA-81SK
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
OUT
IN
（16.5）
IN
320
217
10.5
217
192
10.5
230
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
181
157
320
161
192
（16.5）
With built-in thermal protector
230
90
133
ゴム脚 4-M4
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
２芯変換アダプタ−
90
ゴム脚 4-M4
133
２芯変換アダプタ−
図面はDA-81S
図面はDA-41D
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
40/46 (50/60Hz)
Pa
3.3×103
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
kg
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
10.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ6 (G1/4)
℃
0∼40
mm
157(W)×336.5(L)×217(H) 140(W)×288(L)×202(H)
DA-41DKはDA-41Dの装置組込型です。
13
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DA-81SK
75/85 (50/60Hz)
Pa
13.3×103
1φ, 100V, 100W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DA-81S
L/min.
Motor
Full load current
2.5/2.7 (50/60Hz)
10.3
Unit
Actual Pumping Speed
1φ, 100V, 100W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DA-41DK
L/min.
Motor
Full load current
DA-41D
A
kg
2.5/2.7 (50/60Hz)
10.3
10.2
mm
O.D.φ12×I.D.φ8 (G1/4)
℃
0∼40
mm
181(W)×336.5(L)×217(H) 153(W)×288(L)×202(H)
DA-81SKはDA-81Sの装置組込型です。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-60D
DA-120S
実効排気速度表示
RoHS対応
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）／アンローダーバルブ内蔵
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）／アンローダーバルブ内蔵
With built-in thermal protector/Unloader valve
With built-in thermal protector/Unloader valve
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
（81）
（81）
90
108
（81）
90
225
238
229
201.5
（96）
108
（5）
（6）
仕様 Specifications
到達圧力
Unit
DA-60D
L/min.
60/72 (50/60Hz)
Pa
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
3.32×103
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
２芯変換アダプタ−
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
Actual Pumping Speed
Unit
DA-120S
L/min.
120/144 (50/60Hz)
Pa
13.3×103
実効排気速度
Motor
Full load current
110
140
（6）
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
300
340
347
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
２芯変換アダプタ−
Actual Pumping Speed
（9）
（5）
110
140
300
340
347
（92）
（92）
225
201.5
（238）
229
132
（96）
132
（9）
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
A
5.0
kg
19.0
mm
O.D.φ14×I.D.φ9 (G3/8)
℃
7∼40
mm
156(W)×347(L)×238(H)
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
A
5.0
kg
19.0
mm
O.D.φ14×I.D.φ9 (G3/8)
℃
7∼40
mm
162(W)×347(L)×238(H)
最大寸法
14
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-121D
実効排気速度表示
DA-241S
RoHS対応
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
207
272
285
354
363
402
411
120
144
ゴム脚4-M4
402
180
411
２芯変換アダプタ−
DA-121D
L/min.
120/145 (50/60Hz)
Pa
3.3×103
到達圧力
1φ, 100V, 400W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
15
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
実効排気速度
Ultimate pressure
Unit
DA-241S
L/min.
240/260 (50/60Hz)
Pa
16.0×103
Motor
1φ, 100V, 400W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
5.1/5.6 (50/60Hz)
kg
26.0
mm
O.D.φ16×I.D.φ12 (G1/2)
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
Actual Pumping Speed
到達圧力
Motor
Full load current
２芯変換アダプタ−
仕様 Specifications
Unit
Ultimate pressure
4-M5
タップ
120
144
180
ゴム脚4-M4
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
仕様 Specifications
実効排気速度
13
270
272
354
363
OUT
IN
4-M5
タップ
13
285
193.5
270
IN
Actual Pumping Speed
RoHS対応
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
OUT
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
最大寸法
スタンダードタイプ
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
℃
0∼40
mm
193.5(W)×411(L)×285(H)
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
5.6/6.2 (50/60Hz)
kg
26.0
mm
O.D.φ16×I.D.φ12 (G1/2)
℃
0∼40
mm
207(W)×411(L)×285(H)
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DAT Series
スタンダードタイプ
DAT Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAT-50D
DAT-100S
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
モーターリード線 機外長70mm
丸型端子 R1 . 25-5
寸法図 Dimensions
モーターリード線 機外長70mm
丸型端子 R1 . 25-5
φ132
φ132
54
4-M5深さ10
ゴム脚
75
120
150
10
50
130
232
144
144
305
305
54
10
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
50
130
232
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
50/55 (50/60Hz)
Pa
3.3×103
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DAT-50D
L/min.
Motor
Full load current
75
120
150
4-M5深さ8
4-M5深さ8
Actual Pumping Speed
4-M5深さ10
ゴム脚
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
kg
11.0
mm
O.D.φ12×I.D.φ8 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
150(W)×232(L)×305(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DAT-100S
L/min.
100/110 (50/60Hz)
Pa
13.3×103
Motor
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
kg
11.0
mm
O.D.φ12×I.D.φ8 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
150(W)×232(L)×305(H)
16
DAL Series
スタンダードタイプ
DAL Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAL-181D
DAL-361S
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
IN
OUT
ゴム脚4-M5
523.6
26.4
142.4
312.8
346
364.4
388
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Motor
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
17
ゴム脚4-M5
523.6
DAL-181D
Unit
180/210
Actual Pumping Speed
(50/60Hz)
実効排気速度
3.3×103
3φ, 200V, 0.5kW, 4P
使用電動機
Full load current
136
26.4
142.4
312.8
346
364.4
388
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
264
15
109
205.4
238.5
(274)
264
136
OUT
153.5
15
109
205.4
238.5
(274)
IN
153.5
A
2.4/2.9 (50/60Hz)
kg
37.0
mm
O.D.φ21×I.D.φ15 (G1/2)
℃
7∼40
mm
388(W)×523.6(L)×274(H)
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Motor
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
360/390
(50/60Hz)
17.3×103
3φ, 200V, 0.5kW, 4P
使用電動機
Full load current
DAL-361S
A
2.4/2.9 (50/60Hz)
kg
37.0
mm
O.D.φ21×I.D.φ15 (G1/2)
℃
7∼40
mm
388(W)×523.6(L)×274(H)
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP Series
減圧・加圧両用タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP-15
■減圧・加圧両用タイプ Vacuum and Pressure type
実効排気速度表示
DAP-15
RoHS対応
Actual pumping speed
DAP-30
特 長
減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口
に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれ
ば加圧ポンプとして使用することができます。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・小型、軽量、低価格
・すべての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も
考慮
・シンプルな構造でメンテナンスも容易
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
使用上の注意
寸法図 Dimensions
１．ポンプを停止した後に再起動する場合ポンプ内を真空のま
まにしていると再起動が難しくなることがありますが、この
場合はポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
196
63.5
２．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合
OUT
は、それらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い
合わせください。
主な利用分野
133
154
３．加圧で使用する場合は、0.15MPa以下でご使用ください。
52
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
メンテナンスが容易なため、大量生産される装置の組込用とし
75
て多くの用途で使われております。
50.5
91
4-φ5貫通
95
１．吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット
111
２．分析機器、理化学機器
３．半導体検査装置
中間スイッチ付電源コード（約1.8m）
４．デバイス組立
５．自動機、包装機
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Max. Pressure
加圧圧力(ゲージ圧)
Unit
DAP-15
L/min.
15/18 (50/60Hz)
Pa
39.9×103
MPa
0.15
Motor
1φ, 100V, 40W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.0
kg
3.6
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
111(W)×196(L)×154(H)
18
DAP Series
減圧・加圧両用タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP-30
■高真空タイプ High Vacuum type
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
DAU-20
MD4
DAU-100
MD8
DAU-100H
■高真空・耐食タイプ
High Vacuum and Anti-corrosive type
DTU-20
MD4C
MD8C
特 長
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
高真空タイプのダイアフラム型真空ポンプは、ダイアフラム型
真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求した真空ポンプです。
寸法図 Dimensions
DAU・MDシリーズでは、複数のポンプヘッドを３段式に配管
することにより、通常のダイアフラム式では得られない真空領
域を実現しています。
110
215
93
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・広域型ターボ分子ポンプのバックポンプとしても利用可能
20
IN
・
「DAU-100H」は大気、真空を繰り返すハードな間欠運転に
108
148
180
最適
・MDシリーズには耐食タイプもあります
12
使用上の注意
ゴム脚4-M4
23
12
135
100
１．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合
130
はそれらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い合
わせください。
中間スイッチ付電源コード（約1.8m）
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Max. Pressure
加圧圧力(ゲージ圧)
主な利用分野
Unit
DAP-30
L/min.
30/36 (50/60Hz)
Pa
33.3×103
MPa
0.15
1φ, 100V, 90W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
19
２．クライオポンプ排気系のバックポンプ
３．メカニカルブースターポンプのバックポンプ
４．ロードロック室排気
Motor
Full load current
１．広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
５．吸着搬送、ハンドリング
６．レーザガス循環・排気用
７．真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
A
2.0
kg
5.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (G1/4)
℃
7∼40
mm
142(W)×215(L)×180(H)
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DAU Series
高真空タイプ
DAU Series
高真空タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAU-20
DAU-100/100H
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
アンローダバルブ付
With unloader valve
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
（84）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
77
IN
13
OUT
48
229
20
127.5
310
291
（217）
（72）
123.5
IN
（72）
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
OUT
49.5
1310
148
4-5φ貫通
（97）
103
ガスバラストバルブ
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
プラグ付電源コ−ド（機外長2.2ｍ）
２芯変換アダプタ−
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
20/23 (50/60Hz)
Pa
200
1φ, 100V, 80W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
DAU-20
L/min.
Motor
Full load current
２芯変換アダプタ−
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
170
190
410
437
A
1.46
kg
7.5
mm
O.D.φ10×I.D.φ6 (Rc1/8)
℃
5∼40
mm
161(W)×327(L)×218(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Motor
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DAU-100H
100/110 (50/60Hz)
1000
266
1φ, 100V, 300W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
DAU-100
A
6.2/5.5 (50/60Hz)
kg
24.0
mm
KF-16 (NW-16)
℃
7∼40
mm
190(W)×437(L)×310(H)
20
MD Series
高真空タイプ
MD Series
高真空タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
MD4
MD8
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
470
端子
ボックス
230
240
スイッチ
ハンドル
188
300
324
63
150
106.5
131
ガスバラスト
バルブ
OUT
24
IN
サイレンサー
ゴム脚4-M6
281
134
315
235
プラグ付電源コ−ド
（機外長2.2ｍ）
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
MD4
L/min.
50/60 (50/60Hz)
Pa
260
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
3.2/3.6 (50/60Hz)
KF-16 (NW-16)
吸気管径
With silencer
排気管
21
260
Motor
1φ, 100V, 390W, 4P, Condenser run
Full load current
A
6.8/5.9 (50/60Hz)
Inlet pipe diameter
KF-25 (NW-25)
Outlet pipe
With silencer
排気管
kg
15.0
質量
最大寸法
Pa
吸気管径
Outlet pipe
Overall dimensions
Ultimate pressure
MD8
100/120 (50/60Hz)
全負荷電流
Inlet pipe diameter
使用雰囲気温度範囲
実効排気速度
Unit
L/min.
使用電動機
全負荷電流
Ambient operation temp.range
Actual Pumping Speed
到達圧力
Motor
Weight
プラグ付電源コ−ド（機外長2.2ｍ）
仕様 Specifications
Unit
到達圧力
Full load current
ゴム脚4-M6
245
２芯変換アダプタ−
２芯変換アダプタ−
仕様 Specifications
IN
110
240
Weight
kg
25.0
℃
7∼40
mm
240(W)×470(L)×324(H)
質量
℃
7∼40
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
315(W)×235(L)×188(H)
Overall dimensions
最大寸法
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DAU Series
高真空・耐食タイプ
MD Series
高真空・耐食タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DTU-20
MD4C
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
（84）
寸法図 Dimensions
77
13
IN
IN
サイレンサー
OUT
49.5
1310
148
ゴム脚4-M6
OUT
185
63
106.5
131
（217）
（72）
ガスバラスト
バルブ
（72）
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
281
134
315
241
（97）
103
ガスバラストバルブ
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
プラグ付電源コ−ド
（機外長2.2ｍ）
２芯変換アダプタ−
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
20/23 (50/60Hz)
Pa
200
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
実効排気速度
Ultimate pressure
Unit
MD4C
L/min.
40/50 (50/60Hz)
Pa
260
到達圧力
Motor
1φ, 100V, 80W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DTU-20
Actual Pumping Speed
Motor
Full load current
２芯変換アダプタ−
Full load current
A
1.46
kg
7.5
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
3.2/3.6 (50/60Hz)
mm
O.D.φ11×I.D.φ6
mm
O.D.φ11×I.D.φ6
kg
16.0
℃
7∼40
mm
315(W)×241(L)×185(H)
全負荷電流
Inlet pipe diameter
吸気管径
Outlet pipe
排気管
mm
O.D.φ10×I.D.φ6 (Rc1/8)
Weight
質量
℃
5∼40
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
161(W)×327(L)×218(H)
Overall dimensions
最大寸法
22
MD Series
高真空・耐食タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
MD8C
■ケミカルタイプ Chemical type
実効排気速度表示
DTC-21/21K
Actual pumping speed
DTC-41/41K
DTC-60
DTC-120
特 長
ケミカルタイプのダイアフラム型真空ポンプは、接ガス部に
PTFEを使用し、耐食性を高めた真空ポンプです。有機溶媒や
腐食性ガスを吸引する用途に最適です。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
・接ガス部にPTFEを使用。到達圧力は1kPaを実現
・耐食性に優れ、有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に
も最適
・組み込み専用のKタイプもあります
端子ボックス
使用上の注意
487
スイッチ
24
ハンドル
１．吸引する気体に粉体、液体、特殊ガス溶液などが混入する
場合、それらを取除く必要があります。ご使用の場合ご相
150
300
324
談ください。
主な利用分野
IN
OUT
245
110
ゴム脚 4-M6
240
１．ロータリーエバポレーター
２．真空濃縮、真空ろ過、遠心分離
２芯変換アダプタ−
プラグ付電源コ−ド（機外長2.2ｍ）
３．真空乾燥
４．レーザーガス循環
５．医療機器／製薬用機器
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Inlet pipe diameter
吸気管径
Outlet pipe
排気管
Weight
質量
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
６．特殊ガス充填
Unit
MD8C
L/min.
80/96 (50/60Hz)
Pa
260
1φ, 100V, 390W, 4P, Condenser run
A
6.8/5.9 (50/60Hz)
KF-25 (NW-25)
mm
O.D.φ11×I.D.φ6
kg
25.0
℃
7∼40
mm
240(W)×487(L)×324(H)
注）MD-8Cは外国為替及び外国貿易法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当しま
す。日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りくだ
さい。
23
７．分析機器、理化学機器
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DTC Series
ケミカルタイプ
DTC Series
ケミカルタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DTC-21/21K
DTC-41/41K
RoHS対応
組込型 DTC-21K
RoHS対応
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
組込型 DTC-41K
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
(16.5)
142
320
161
155
217
DIAPHRAGM TYPE DRY VACUUM PUMP
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
90
ゴム脚4-M4
186
２芯変換アダプタ−
ゴム脚4-M4
230
70
118
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
図面はDTC-41
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
Unit
DTC-21K
20/24 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
1.0×103
Pa
到達圧力
1.3
全負荷電流
Weight
kg
7.3
7.2
質量
Inlet, outlet pipe diameter
mm
O.Dφ9×I.Dφ5 (G1/4)
℃
0∼40
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
mm
×288.5（L）×202（H） 125（W）
×242（L）×184（H）
142（W）
DTC-21KはDTC-21の装置組込型です。
最大寸法
DTC-41K
40/46 (50/60Hz)
Pa
1.0×103
1φ, 100V, 100W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
A
DTC-41
L/min
Motor
1φ, 100V, 50W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DTC-21
Actual Pumping Speed
Motor
Full load current
133
２芯変換アダプタ−
図面はDTC-21
Actual Pumping Speed
ON
OFF
10.5
DIAPHRAGM TYPE DRY VACUUM PUMP
192
IN
202
OUT
272
133
175.1
（16.5）
10.6
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
A
kg
2.2/2.3 (50/60Hz)
10.3
10.2
mm
O.Dφ9×I.Dφ6 (G1/4)
℃
0∼40
mm
×336.5（L）×217（H） 136（W）
×288（L）×202（H）
155（W）
24
DTC Series
ケミカルタイプ
DTC Series
ケミカルタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DTC-60
DTC-120
RoHS対応
RoHS対応
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
OUT
寸法図 Dimensions
158
340
185
411
221
OUT
IN
203
IN
280
300
330
ゴム脚4-M4
Ultimate pressure
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
25
DTC-60
L/min
60/70 (50/60Hz)
Pa
1.0×103
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
２芯変換アダプタ−
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
仕様 Specifications
Motor
Full load current
144
180
4-M5
Unit
到達圧力
122
ゴム脚4-M4
360
402
プラグ付電源コ−ド
（約1.8ｍ）
仕様 Specifications
実効排気速度
279
287
300
110
150
２芯変換アダプタ−
Actual Pumping Speed
13
224
354
14
242
228
23
A
3.6/3.7 (50/60Hz)
kg
18.0
mm
O.Dφ14×I.Dφ9 (G3/8)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
0∼40
mm
×340（L）
×242（H）
158（W）
DTC-120
L/min
120/140 (50/60Hz)
Pa
1.0×103
Motor
使用電動機
1φ, 100V, 400W, 4P, Condenser run
Full load current
全負荷電流
A
5.3/6.0 (50/60Hz)
Weight
質量
kg
27.5
mm
O.Dφ16×I.Dφ10 (G1/2)
℃
0∼40
mm
203(W)×411(L)×300(H)
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
℃
Unit
Overall dimensions
最大寸法
注）DTC-120は外国為替及び外国貿易法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当し
ます。日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りく
ださい。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
／
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
ポ
ン
プ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-9D
■スタンダードタイプ Standard type
DOP-9D
DOP-40D
DOP-80S
DOP-200S
DOP-50S4
DOP-100T
DOP-100ST
DOP-50DT
DOP-50F
DOP-300S
DOP-150T
DTP-45D
DTP-90D
DTP-180S
DTP-180SQ
実効排気速度表示
Actual pumping speed
■加圧専用タイプ Pressure type
DOP-80SP
■減圧・加圧両用タイプ Vacuum and Pressure type
サーマルプロテクター内蔵
DTP-90S
With built-in thermal protector
特 長
寸法図 Dimensions
揺動ピストン型真空ポンプは、ピストンリングに特殊樹脂を使
用し、シリンダー内でピストンが往復運動することによって真
空排気する真空ポンプです。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
OUT
IN
109
・加圧専用タイプ、減圧・加圧両用タイプもあります
(18)
8.5
・大気圧に近い圧力帯での用途でも使用可能
・シンプルな構造でメンテナスも容易
110
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
使用上の注意
１．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場
合はそれらを取り除く必要があります。また加圧で使用する
75
41
126
場合は、最大加圧能力以上にならないよう注意してください。
91
170
２．
「DOP-80SP、DTP-90S」は加圧圧力の仕様値以下でご使
4-φ5貫通 用ください。
３．
「DOP-50S4、DOP-100ST、DOP-50DT」は使用圧力に制
限があります。到達圧力∼30kPaの範囲でご使用ください。
主な利用分野
（排気用）１．真空チャック、真空ピンセット
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
２．自動機等の真空吸着搬送
Ultimate pressure
３．真空包装、印刷機械
到達圧力
４．吸引器
５．チップマウンター
（加圧用）１．自動機の加圧源
DOP-9D
L/min.
9.0/9.8 (50/60Hz)
Pa
6.7×103
Motor
1φ, 100V, 40W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
２．空圧機器、印刷機械
Weight
３．耳鼻科・歯科用機器
質量
４．空気圧計測器
Inlet, outlet pipe diameter
５．酸素濃縮装置
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
Unit
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.1
kg
3.0
mm
O.D.φ8×I.D.φ5 (Rc 1/8)
℃
7∼40
mm
126(W)×170(L)×110(H)
26
DOP Series
スタンダードタイプ
DOP Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-40D
DOP-80S
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
実効排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
（270）
（270）
94
(25.5)
219
16
66.5
7
7
66.5
4-M5タップ
（27）
192
（246）
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
27
DOP-40D
40/44 (50/60Hz)
Actual Pumping Speed
1.2×103
Ultimate pressure
到達圧力
1φ, 100V, 210W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
（27）
192
（246）
実効排気速度
Motor
Full load current
（27）
4-M5タップ
89
104
132
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
15
15
89
104
132
1.5
1.5
15
15
（27）
16
IN
162.5
179
94
(25.5)
219
OUT
179
IN
OUT
(25.5)
162.5
(25.5)
Unit
DOP-80S
L/min.
80/88 (50/60Hz)
Pa
5.4×103
Motor
1φ, 100V, 210W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
3.2/3.9 (50/60Hz)
Full load current
全負荷電流
kg
7.0
Weight
質量
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
℃
7∼40
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
160(W)×270(L)×179(H)
Overall dimensions
最大寸法
A
3.2/3.9 (50/60Hz)
kg
7.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
160(W)×270(L)×179(H)
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DOP Series
加圧専用タイプ
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-80SP
実効排気速度表示
DOP-200S
RoHS対応
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
大排気量
タイプ
IN
OUT
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
（288）
(25.5)
サイレンサー
94
(25.5)
237
16
IN
OUT
（434）
（231）
19
89
104
4-M5タップ
26 （27）
120
132
（27）
210
（264）
136.85
15
15
136.85
（160）
（155）
85
310
（315）
164.5
7
66.5
181
（218）ゴム脚位置
1.5
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
IN
（352）
19
ゴム脚 4-M6
（379）
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Max. Pressure
加圧圧力（ゲージ圧）
Actual Pumping Speed
L/min.
80/84 (50/60Hz)
Pa
加圧専用 Only for pressure
MPa
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Ultimate pressure
0.5
Unit
DOP-200S
L/min.
200/220 (50/60Hz)
Pa
8.0×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
1φ, 100V, 300W, 4P Condenser run
使用電動機
全負荷電流
実効排気速度
到達圧力
Motor
Full load current
DOP-80SP
Full load current
全負荷電流
A
5.0/5.5 (50/60Hz)
kg
9.0
Weight
質量
Inlet pipe diameter
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
160(W)×288(L)×181(H)
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
315(W)×434(L)×231(H)
28
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DOP-Quattro Series
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-50S4
DOP-100T
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
ポンプヘッド組み合わせ
３ 段 式
高真空タイプ
50L/min
４機タイプ
IN
OUT
IN
OUT
IN
OUT
IN
OUT
サーマルプロテクター内蔵
OUT
IN
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
IN
IN
（352）
（240）
サイレンサー
（434）
（352）
IN
（218）ゴム脚位置
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
50/55 (50/60Hz)
Actual Pumping Speed
8.0×103
Ultimate pressure
到達圧力
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
全負荷電流
DOP-50S4
実効排気速度
Motor
Full load current
120
19
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
IN
（379）
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
136.85
（155）
（155）
310
120
（160）
（155）
136.85
（310）
136.85
IN
19
（218）ゴム脚位置
Unit
DOP-100T
L/min.
100/110 (50/60Hz)
Pa
0.4×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ12.0×I.D.φ8.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
310(W)×352(L)×240(H)
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、
「DOP-50S4」は、使用圧力に到
達圧力∼30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
136.85
サイレンサー
（315）
1919
29
スタンダードタイプ
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
315(W)×434(L)×231(H)
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DOP-Quattro Series
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-100ST
DOP-50DT
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
ポンプヘッド組み合わせ
50L/min
ツインタイプ
100L/min
ツインタイプ
IN
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
OUT
OUT IN
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
IN
OUT
IN
OUT
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
サイレンサー
（379）
（231）
IN
（231）
サイレンサー
IN
136.85
136.85
136.85
120
（310）
120
（160）
（320）
（160）
（218）ゴム脚位置
（352）
IN
（379）
19
1919
（218）ゴム脚位置
136.85
（434）
310
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
1919
IN
19
（352）
ゴム脚 4-M6
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
100/110 (50/60Hz)
Pa
8.0×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DOP-100ST
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
320(W)×434(L)×231(H)
注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、
「DOP-100ST」は、使用圧力に
到達圧力∼30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DOP-50DT
L/min.
50/55 (50/60Hz)
Pa
1.2×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
310(W)×379(L)×231(H)
注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、
「DOP-50DT」は、使用圧力に到
達圧力∼30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。
30
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DOP-Quattro Series
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-50F
DOP-300S
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
ポンプヘッド組み合わせ
大排気量
タイプ
４ 段 式
高真空タイプ
IN
OUT
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
OUT
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
サイレンサー
サイレンサー
（231）
19
IN
Unit
到達圧力
L/min.
50/55 (50/60Hz)
Pa
0.27×103
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
31
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DOP-300S
L/min.
300/330 (50/60Hz)
Pa
8.0×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
全負荷電流
DOP-50F
Actual Pumping Speed
Motor
Full load current
19
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Ultimate pressure
IN
（388）
ゴム脚 4-M6
実効排気速度
120
136.85
（160）
（361）
19
（379）
Actual Pumping Speed
（315）
（155）
136.85
310
120
（315）
（155）
310
（352）
（231）
（227）ゴム脚位置
（160）
（218）ゴム脚位置
（443）
136.85
（434）
136.85
IN
最大寸法
スタンダードタイプ
Full load current
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
315(W)×434(L)×231(H)
3φ, 200V, 400W, 4P
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
2.5/2.3 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
315(W)×443(L)×231(H)
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DTP Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-150T
DTP-45D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
３ 段 式
高真空タイプ
OUT
IN
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
サイレンサー
IN
66
電源コ−ド
（機外長200mm）
136.85
IN
（388）
（80）
（200）
161
120
136.85
（160）
（315）
（155）
（361）
（146）
OUT
（294）
（227）ゴム脚位置
171
（231）
（443）
310
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
89
132
204
238
250
19
4-M6タップ
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
140/160 (50/60Hz)
Pa
0.4×103
Motor
3φ, 200V, 400W, 4P
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DOP-150T
A
2.5/2.3 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
315(W)×443(L)×231(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DTP-45D
L/min.
45/49 (50/60Hz)
Pa
2.7×103
Motor
1φ, 100V, 230W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
3.0/3.1 (50/60Hz)
kg
7.5
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
146(W)×294(L)×200(H)
32
DTP Series
減圧・加圧両用タイプ
DTP Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DTP-90S
DTP-90D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
OUT
IN
(146)
(80)
IN
37
161
電源コード
（機外長200mm）
電源コ−ド
（機外長200mm）
89
204
4-M6タップ
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Max. Pressure
加圧圧力(ゲージ圧)
Unit
DTP-90S
L/min.
90/99 (50/60Hz)
Pa
9.3×103
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
Overall dimensions
最大寸法
33
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
MPa
0.2
1φ, 100V, 250W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
115
136.5
4-M6 タップ 仕様 Specifications
Motor
Full load current
216
266
132
238
250
使用雰囲気温度範囲
170
171
(216)
OUT
328
66
215
235
(271)
A
5.3/5.8 (50/60Hz)
kg
7.5
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
146(W)×271(L)×216(H)
Unit
DTP-90D
L/min.
90/99 (50/60Hz)
Pa
2.7×103
Motor
1φ, 100V, 375W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
3.6/4.3 (50/60Hz)
kg
10.0
mm
O.D.φ14×I.D.φ9 (Rc 3/8)
℃
7∼40
mm
170(W)×328(L)×235(H)
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DTP Series
スタンダードタイプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DTP-180S/180SQ
■スタンダードタイプ Standard type
DSB-151
実効排気速度表示
Actual pumping speed
DSB-251
DSB-451
DSB-601
特 長
回転翼型真空ポンプは、シリンダー内で回転するローターの溝
に挟み込まれた特殊カーボンの翼板が、シリンダー内をしゅう
動回転することにより真空排気するタイプの真空ポンプです。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
サーマルプロテクター内蔵（DTP-180Sのみ）
With built-in thermal protector
・低真空領域で大排気量を維持
・シンプルな構造でメンテナンスが容易
寸法図 Dimensions
使用上の注意
１．構造上排気中に多少摩耗したカーボン粉が含まれることが
ありますのでご注意ください。
170
OUT
297
IN
37
２．加圧でのご使用は避けてください。
３．温度の高い気体の排気には不適当です。
主な利用分野
215
235
揺
動
ピ
ス
ト
ン
／
回
転
翼
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
１．チップマウンター
２．印刷機械
電源コード
（機外長200mm）
216
115
136.5
4-M6タップ
266
３．各種包装機械
４．電子部品実装装置
５．製本機械
６．各種産業機械
図面はDTP-180S
などの吸着源に最適。
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
180/198 (50/60Hz)
Pa
10.0×103
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DTP-180SQ
L/min.
Motor
Full load current
DTP-180S
A
kg
mm
℃
mm
1φ, 100V, 375W, 4P
3φ, 200V, 375W, 4P
Condenser run
Condenser run
3.7/3.8 (50/60Hz)
2.0/1.7 (50/60Hz)
10.0
O.D.φ14×I.D.φ9 (Rc 3/8)
7∼40
170(W)×297(L)×235(H) 136.5(W)×297(L)×235(H)
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
34
DSB Series
スタンダードタイプ
DSB Series
スタンダードタイプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
DSB-151/251
DSB-451/601
DSB-151
DSB-451
DSB-251
DSB-601
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
B
K
A
J
B
K
A
J
N
R
14
C
14
D
D
C
R
N
H
I
G
H
E
F
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
DSB-151 413 229 230 198 125 157 202 100 φ9 303
DSB-251 435 229 230 198 125 157 202 100 φ9 319
K
N
75 G1/2
75 G1/2
仕様 Specifications
L/min.
DSB-151
180/200 (50/60Hz)
250/310 (50/60Hz)
Pa
Ultimate pressure
15.0×103
3φ, 200V, 370W
3φ, 200V, 550W
使用電動機
A
2.15/1.99 (50/60Hz)
2.95/2.75 (50/60Hz)
kg
22.0
26.0
mm
O.D.φ21×I.D.φ16 (G1/2)
35
DSB-451
DSB-601
L/min.
430/530 (50/60Hz)
600/700 (50/60Hz)
Pa
12.0×103
Motor
3φ, 200V, 900W
3φ, 200V, 1,250W
Full load current
A
5.0/4.7 (50/60Hz)
5.2/7.3 (50/60Hz)
Weight
kg
31.0
38.0
Inlet, outlet pipe diameter
mm
O.D.φ27×I.D.φ21 (G3/4)
℃
7∼40
吸・排気口径
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
最大寸法
Unit
質量
吸・排気口径
Overall dimensions
80 G3/4
全負荷電流
質量
Ambient operation temp.range
N
使用電動機
全負荷電流
Inlet, outlet pipe diameter
K
80 G3/4
到達圧力
Motor
Weight
Actual Pumping Speed
実効排気速度
到達圧力
Full load current
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
DSB-451 495 241 280 222 125 157 202 109 φ9 344
DSB-601 545 241 280 222 208 240 220 154 φ9 383
DSB-251
実効排気速度
Ultimate pressure
E
F
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
I
G
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
229(W)×413(L)×230(H)
229(W)×435(L)×230(H)
Overall dimensions
最大寸法
mm
241(W)×495(L)×280(H)
241(W)×545(L)×280(H)
回
転
翼
型
ド
ラ
イ
ポ
ン
プ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
DIS Series
スタンダードタイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
DIS-090
■スタンダードタイプ Standard type
DIS-090
DIS-250
DIS-500
設計排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
■縦型タイプ Vertical type
DVT-300
■静音タイプ Low noise type
DVS-321
DVS-631
■ローコストタイプ Low cost type
DISL-100
DISL-500
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
特 長
ガスバラスト機構付
With gas ballast
スクロール型真空ポンプは、固定された渦巻き型の壁（固定ス
クロール）に対面した、もう一方の渦巻き型の壁（従動スクロ
寸法図 Dimensions
ール）が偏芯運動することにより真空排気するタイプの真空ポ
ンプです。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・オイルを使用していない単体の真空ポンプとしては最高レベ
IN
ルの到達圧力
・油回転真空ポンプよりも駆動効率が良く、少ない消費電力で
308
123
91
運転
・豊富なラインナップで、さまざまな用途をカバー
225
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
副銘板
使用上の注意
１．爆発性ガス、引火性ガス、毒性ガス、腐食性ガス、有機溶
媒ガスの吸引はポンプの性能を損う場合があります。お問い
合わせください。
154
ガスバラスト吸気口
180
112
時間計
140
OUT
始動スイッチ
内蔵
固定用ボルト穴
M6用穴径7
２．粉体、生成物の吸引はポンプを損傷する場合があります。
トラップ等をご使用ください。
仕様 Specifications
主な利用分野
１．理化学分析機器
２．ドライ排気系のバックポンプ、真空排気装置
３．Heリークディテクター
４．真空含浸装置、真空脱泡装置
５．真空乾燥装置、真空熱処理炉
６．レーザー応用機械、光学機械
７．医療機械
８．真空吸着搬送装置、電子部品ハンドリング、ウエハー移送
その他
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
50Hz
Full load current
60Hz
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
Unit
DIS-090
L/min.
90/108 (50/60Hz)
Pa
5.0
1φ, 100/115/200/230V, 150W, 4P
A
2.6/1.3/1.6(100/200/230V)
2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)
kg
14.0
吸気口 KF25 排気口 KF16
℃
5∼40
g/hr
≦0.2（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）
dB
≦52（G.V.開時,≦57）
mm
214(W)×308(L)×225(H)
36
DIS Series
スタンダードタイプ
DIS Series
スタンダードタイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
Scroll Dry Vacuum Pump
DIS-250
DIS-500
設計排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
設計排気速度表示
RoHS対応
Actual
pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（1φモータのみ）
サーマルプロテクター内蔵（1φモータのみ）
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
ガスバラスト機構付 With gas ballast
ガスバラスト機構付 With gas ballast
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
OUT
IN
IN
ガスバラスト
吸気口
336
372
29 36
99
38
373
ガスバラスト
吸気口
46
328
400
96
122
397
252
290
4-φ11
ゴム板
130
170
101
時間計
42
52
136
40
180
260
288
OUT
図面はDIS-250、1φモータ
図面はDIS-500、3φモータ
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流 DIS-250
250/300 (50/60Hz)
Pa
50Hz
A
60Hz
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
37
Unit
L/min.
kg
1.6
1φ, 100/115/200/230V,
400W, 4P
4.8/2.6/2.4
(100/200/230V)
4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230V)
3φ, 200/208/230/380/415/460V,
400W, 4P
1.6/0.9/1.0
(200/380/415V)
1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460V)
25.0
23.0
吸気口 KF25 排気口 KF16
℃
5∼40
g/hr
≦1（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）
dB
≦58（G.V.開時,≦66）
mm
252(W)×400(L)×336(H)
252(W)×370(L)×336(H)
※使用電動機は2機種より選択
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流 4-Ｍ10
240
310
42
時間計
Unit
DIS-500
L/min.
500/600 (50/60Hz)
Pa
50Hz
A
60Hz
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
kg
1.0
1φ, 100/115/200/230V,
600W, 4P
8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)
10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V)
3φ, 200/208/230/380/415/460V,
600W, 4P
2.7/1.57/1.63
(200/380/415V)
2.8/2.6/2.5/1.47
(200/208/230/460V)
44.0
38.0
吸気口 KF40 排気口 KF25
℃
5∼40
g/hr
≦1（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）
dB
≦62
（G.V.開時,≦70）
≦60
（G.V.開時,≦68）
mm
290(W)×443(L)×397(H)
290(W)×372(L)×397(H)
※使用電動機は2機種より選択
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DVT Series
縦型タイプ
DVS Series
静音タイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
Scroll Dry Vacuum Pump
DVT-300
DVS-321
設計排気速度表示
設計排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
サーマルプロテクター内蔵
ガスバラスト機構付
With built-in thermal protector
With gas ballast
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
120
インバータ用端子箱
OUT
151
182
（157）
（220）
D3
8
22
φ
PC
IN
（259）
（15）
37
排油栓
37
15°
注油栓（1カ所）
（241）
509
OUT
22.5°
油面計
（354）
IN
227
2-φ21貫通
232
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
（300）
防振ゴム
（15）
（230）
（35）
（260）
（398）
125
4-φ10穴
（等ピッチ）
132
257
（取付も可能です）
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Outlet pipe diameter
排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気範囲
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Bearing oil
軸受潤滑油
Overall dimensions
最大寸法
Unit
DVT-300
L/min.
300
Pa
6.7
A
kg
1φ, 100V インバータ付
0.4kW, 4P
3φ/1φ, 200V インバータ付
0.4kW, 4P
8.8
4.4 (1φ) 2.5 (3φ)
26.0
KF25
KF25
℃
5∼40
dB
≦58
L
0.4 (SO-H)
mm
257(W)×273(L)×509(H)
※使用電動機は2機種より選択
Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
50Hz
Full load current
60Hz
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, Outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
Unit
DVS-321
L/min.
265/320 (50/60Hz)
Pa
1.5（別売オリフィス D1.0取付時 ≦3.0）
1φ100/115/200/230V, 400W, 4P
A
5.3/2.9/3.0(100/200/230V)
4.6/4.1/2.5/2.3(100/115/200/230V)
kg
35.0
吸気口 KF25 排気口 KF16
℃
5∼35
g/hr
≦2（別売オリフィス D1.0取付時 23）
dB
≦60/65 (50/60Hz)
mm
300(W)×398(L)×354(H)
38
DVS Series
静音タイプ
DISL Series
ローコストタイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
Scroll Dry Vacuum Pump
DVS-631
DISL-100
設計排気速度表示
設計排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
RoHS対応
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵（1φモータのみ）
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
ガスバラスト機構付
ガスバラスト機構付 With gas ballast
With gas ballast
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
175
124
IN
OUT
OUT
126
350
237
177
ガスバラスト
吸気口
280
15
111
28
184
367
48
IN
82
124
291
101
280
300
73
330
140
220
90
4-φ9
ガスバラスト吸気口
412
326
154
図面はDVS-631、3φ 200V
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流 Pa
50Hz
A
60Hz
kg
Actual Pumping Speed
525/630 (50/60Hz)
L/min.
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
39
DVS-631
設計排気速度
1.0（別売オリフィス D1.5取付時 ≦2.5）
1φ, 100/115/200/230V
600W, 4P
8.6/4.4/4.0
(100/200/230V)
7.8/6.7/4.0/3.5
(100/115/200/230V)
3φ, 200/220/230V
600W, 4P
2.8/2.7
(200/220V)
2.7/2.5/2.5
(200/220/230V)
50.0
44.0
吸気口 KF40 排気口 KF25
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DISL-100
L/min.
100/120 (50/60Hz)
Pa
50.0
Motor
1φ, 100/115/200/230V, 300W, 4P
使用電動機
Full load current
50Hz
全負荷電流
60Hz
Weight
質量
A
kg
5∼35
g/hr
≦2 (別売オリフィス D1.5取付時 23)
dB
≦60
Ambient operation temp.range
≦58/60 (50/60Hz)
使用雰囲気温度範囲
Max. water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Overall dimensions
mm
338(W)×491(D)×367(H)
326(W)×412(D)×367(H)
※使用電動機は2機種より選択
15.0
Inlet, Outlet pipe diameter
吸気口 KF25 排気口 KF16
吸・排気口径
℃
2.8/1.4/1.6(100/200/230V)
3.0/2.7/1.5/1.4(100/115/200/230V)
最大寸法
℃
5∼40
g/hr
≦4 (G.V. 開時)
mm
220(W)×350(L)×237(H)
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DISL Series
ローコストタイプ
メカニカルブースターポンプ
Mechanical Booster Pump
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
DISL-500
■スタンダードタイプ Standard type
設計排気速度表示
RoHS対応
Actual pumping speed
MBS-030
MBS-050
特 長
ケーシング内にある２個のまゆ型ローターが反対方向に同期回
転することにより真空排気するタイプの真空ポンプです。バッ
クポンプとの組み合わせで、高速排気、高真空排気が可能にな
ります。
ガスバラスト機構付
With gas ballast
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・他に類を見ない超小型
・当社の油回転真空ポンプとの組み合わせで、高速排気、高真
寸法図 Dimensions
空排気が可能
使用上の注意
（31）
時間計
１．構造上わずかな隙間でローターが回転するのでゴミやチリが
12
入らないよう配管の清掃、洗浄をしてから接続してください。
IN
361
335
107
２．バックポンプが必要です。本シリーズの他、バックポンプ
をご用意ください。
ガスバラスト
吸気口
（Rc1/8）
推奨バックポンプ仕様
202
OUT
（26）
ス
ク
ロ
ー
ル
型
／
メ
カ
ニ
カ
ル
ブ
ー
ス
タ
ー
ポ
ン
プ
最高到達圧力：１Pa以下
396
（27） 40
210
270
318
アジャスター
排 気 速 度：MBS-030 100∼135L/min以上
（40）
MBS-050 160∼200L/min以上
476
503
（48）
固定キャスター
自在キャスター
主な利用分野
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
設計排気速度
１．分析機器
Unit
DISL-500
L/min.
430/520(50/60Hz)
Pa
到達圧力
10.0
Motor
50Hz
3φ, 200/380/415V, 900W, 2P
使用電動機
60Hz
3φ, 200/208/230/460V, 1100W, 2P
Full load current
50Hz
全負荷電流
60Hz
Weight
質量
A
kg
Inlet pipe diameter
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max. water vapor torelance
最大寸法
５．液晶注入
3.6/1.9/1.8 (200/380/415V)
4.2/4.1/3.9/1.95 (200/208/230/460V)
52.0
KF25
吸・排気管
Overall dimensions
３．Heリークテスト、CO2ガスレーザー
４．真空脱泡、真空熱処理
Ultimate pressure
水蒸気吸引の許容値
２．真空乾燥器、凍結真空乾燥装置
℃
5∼40
g/hr
≦10 (G.V. 開時)
mm
318(W)×503(L)×361(H)
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
40
MBS Series
スタンダードタイプ
MBS Series
スタンダードタイプ
メカニカルブースターポンプ
メカニカルブースターポンプ
Mechanical Booster Pump
Mechanical Booster Pump
MBS-030
MBS-050
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（100Vのみ）
サーマルプロテクター内蔵（100Vのみ）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
4-M8
φ7
488
86
74
φ90
105
69
234
149
IN
86
83.5
4-M8
518
125
87
159
232
IN
160
80
注油栓
142
80
71
145
137
φ70
4-M8
180
140
50
OUT
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
100V
全負荷電流
200V
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Outlet pipe diameter
排気口径
Operation pressure
駆動圧力
Backing pump
バックポンプ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
4-φ7
147
排油栓
5
φ8
4-M8
30
排油栓
4-φ7
30
160
140
41
5
89
83.5
φ105
71
注油栓
φ8
175
0
172
86
74
With built-in thermal protector
50
OUT
仕様 Specifications
Unit
m3/h
L/min
Pa
MBS-030
30/36 (50/60Hz)
500/600 (50/60Hz)
4.0×10-2
1φ, 100V/200V, 300W, 2P, Condenser starting
A
mL
6.5/6.0 (50/60Hz)
3.3/3.0 (50/60Hz)
250
SMR-100
kg
14.0
mm
25 (VG-25)
mm
25 (VF-25)
Pa
4.0×103
GLD-136A, GLD-136C, GCD-136X
℃
7∼40
mm
172(W)×488(L)×145(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
100V
全負荷電流
200V
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Outlet pipe diameter
排気口径
Operation pressure
駆動圧力
Backing pump
バックポンプ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
Unit
m3/h
L/min
Pa
MBS-050
50/60 (50/60Hz)
833/1000 (50/60Hz)
4.0×10-2
1φ, 100V/200V, 300W, 2P, Condenser starting
A
mL
6.5/6.0 (50/60Hz)
3.3/3.0 (50/60Hz)
320
SMR-100
kg
16.0
mm
40 (VG-40)
mm
40 (VF-40)
Pa
4.0×103
GLD-201A, GLD-201B, GCD-201X
℃
7∼40
mm
175(W)×518(L)×160(H)
メ
カ
ニ
カ
ル
ブ
ー
ス
タ
ー
ポ
ン
プ
ドライ真空ポンプ用オプション部品&その他
真空ピンセット
Vacuum tweezers
ブルドン管真空計
Bourdon's tube pressure
真空ピンセットは、クリーンで精密な時計・貴金
属・眼鏡・光学部品等の吸着用として幅広い分野
で利用されています。ペンタッチの要領で品物に傷
や汚れをつけることなく、完全に吸着・手放しがで
きます。
目盛は絶対圧力をしめすMPa単位目盛で表示されて
います。目盛の数字がそのまま真空度として使用で
きます。
取付方向に合わせて、①ADTと②AT型の2機種から
お選びください。
真空ピンセット
集塵用捕集ビン
Dust catcher
φ79
24
3-PT3/8
18
DA-15S
DA-15D
DA-30S
0.04
φ52.4
0
34
OUTLET
0.06
VACUUM GAUGE
0.02
φ57
□14
50
0.08
0.1
47
MPa
R1/4
φ57
φ96
18.5
□14
（注）排気速度150L/min以上のポンプに付属した場合は
排気速度が低下いたします。
■各種ダイアフラム対応表
12
233
R1/4
2-M6深さ15
12
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
②AT型
①ADT型
INTLET
●適用機種
DA-30D、DA-60S、DAT-50D、DAT-100S、
DA-60D、DA-120S、DA-121D、DA-241S、
DOP-40D、DOP-80S、DSB-151、DSB-251、
DSB-451、DSB-601、DTP-45D、DTP-90S、
DTP-90D、DTP-180S、DTP-180SQ
18
吸着、吸引の用途で真空ポンプをご使用の場合、
様々な粉塵を吸いこみます。それら粉塵をポンプの
前段で捕集しポンプを保護するための部品です。
取付ネジ径R1/4
Diaphragms
DA-30D
DA-41D
DA-60S DA-41DK DAP-6D
DAT-50D DA-81S DAP-12S
DAT-100S DA-81SK
DA20D
(耐熱 NBR) DA-60D
DA-40S DA-120S
(耐熱 NBR)
NBR
●
●
●
FPM
▲
▲
▲
▲
テフロンシート
張り
▲
▲
▲
▲
●
DAU-20
DTU-20
DAU-100
DA-121D DTC-21/21K
DA-241S DTC-41/41K
DAL-181D DTC-60
DAL-361S DTC-120
●
DAP-15
DAP-30
▲
▲
●
●
CR
▲
●
EPDM
●
●
●
（注） ●印：標準 ▲印：オプション
■ドライ真空ポンプ別ホースニップル対応表
Dry Vacuum Pump Hose Nipple Correspondence Table
備考
標準に使用
特型仕様
DOP-200S
DOP-50S4
DA-15S
DOP-9D DOP-100T
DTC-21
DA-15D
DOP-100ST
DA-41D DA-81S DA-121D DTC-21K
DA-20D DA-60D DA-30S DAT-50D DAU-20 DAP-6D DAL-181D DAP-15 DAU-100 DOP-40D
ネジ径 外径 内径 長さ 材質 角
DOP-50DT
DAL-361S
DAT-100S
DTU-20
DOP-80S
DA-81SK
DTC-41 DTC-60 DTC-120
DAP-12S
DAP-30
DAU-100H
DA-241S
DA-41DK
DA-40S DA-120S DA-30D
DOP-80SP DOP-50F
DTC-41K
DA-60S
DOP-300S
DOP-150T
M8×P1 6.5 3.0 9.0 PPG
10
M8×P1 6.5 3.0 9.0 PPG
10
M8×P1 6.5 3.0 9.0 PPG
10
M8×P1 6.0 3.5 7.0 BSBM 14
PP
10.0 6.0
R 1/8
R 1/8
R 1/4
R 1/4
R 1/4
R 1/4
R 1/4
G 3/8
G 3/8
G 3/8
R 1/2
R 1/2
G 1/2
G 3/8
G 1/4
G 1/4
G 1/4
G 1/2
G 3/8
9.0
9.0
9.0
9.0
12.0
11.0
14.0
10.0
14.0
16.0
21.0
16.0
NW-16
9.0
12.0
9.0
16.0
9.0
5.0
5.0
5.0
5.0
8.0
8.0
9.0
6.0
10.0
12.0
15.0
12.0
18.5
11.5
18.5
23.5
24.5
27.5
30.0
37.0
Cr メッキ
Cr メッキ
BSBM
BSBM
14
14
14
14
14
17
21
21
BSBM
Ni メッキ
Cr メッキ
Cr メッキ
Cr メッキ
78.0 Cr メッキ 23
30.0 Cr メッキ
SUS
6.0
Ni メッキ
8.0
Ni メッキ
5.0
PTFE
10.0
PTFE
6.0
PTFE
変換アダプター
Rc1/4 × R1/2 ホースニップル変更にご利用ください。
Rc1/4 × R3/8 ホースニップル変更にご利用ください。
その他機種はお問合わせください。
42
Accessories for Dry Vacuum Pumps & Others
真空ポンプ用吸排気フィルター
特 長
仕 様
①各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフ
ィルターです。
②真空側、排気側いずれにも設置可能です。
③本製品は、ステンレス製の本体にイオン交換樹脂繊維
を素材としたフィルターです。
④排ガス中のパウダーのみではなく酸性ガス・オイルミス
トを効率よく捕捉することが出来ます。
⑤本機をご使用頂くことで、排気系の保守作業が軽減さ
れることに加え、操業性の向上、除外設備への負荷が
低減されます。
⑥取付けには、別途KF-クランプ、レジューサー、センタ
ーリング等が必要になります（別途、お問い合わせくだ
さい）
。
型 式
SGT-200
SGT-100
SGT-200
ろ過方式
アウト・イン・パス方式
適用機種
実効排気速度500L/min以下
使用圧力範囲
0.1MPa
使用雰囲気温度
7∼40℃
使用雰囲気湿度
SGT-100
85％（結露なきこと）
吸気接続口径
KF-25
KF-40
排気接続口径
KF-25
KF-40
真空配管用部品
品 名
①クランプ
②センターリング
③ブランクフランジ
④ノズル
⑤ニップル
⑥エルボ
⑦テイ
⑧クロス
⑨KFフランジ
⑩変換フランジ
①
規 格
SCK-1016
SCK-1025
SCK-1040
SCK-2016
SCK-2025
SCK-2040
SCK-4016
SCK-4025
SCK-4040
SCK-2512
SCK-2518
SCK-5016
SCK-5025
SCK-5040
SCK-6016
SCK-6025
SCK-6040
SCK-7016
SCK-7025
SCK-7040
SCK-8016
SCK-8025
SCK-3016
SCK-3025
SCK-3040
SCK-9025
SCK-9040
フランジサイズ
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF25
KF25
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF16
KF25
KF40
KF16/25
KF25/40
④
品 名
規 格
SCO-1025
SCO-1040
SCO-2025
SCO-2040
SCO-3016
SCO-3025
SCA-1614F
SCA-1638F
SCA-1612F
SCA-2514F
SCA-2538F
SCA-2512F
SCA-1614M
SCA-1638M
SCA-1612M
SCA-2514M
SCA-2538M
SCA-2512M
STK-016-250
STK-016-500
STK-016-1000
STK-025-250
STK-025-500
STK-025-1000
STK-040-250
STK-040-500
STK-040-1000
⑪ゲージポート
⑫リークポート
⑬VCRアダプタ
⑭フレキシブル
チューブ
フランジサイズ
KF25
KF40
KF25
KF40
KF16
KF25
KF16/メス
KF16/メス
KF16/メス
KF25/メス
KF25/メス
KF25/メス
KF16/オス
KF16/オス
KF16/オス
KF25/オス
KF25/オス
KF25/オス
KF16/250mm
KF16/500mm
KF16/1000mm
KF25/250mm
KF25/500mm
KF25/1000mm
KF40/250mm
KF40/500mm
KF40/1000mm
⑩
⑦
⑬
②
⑧
⑤
⑪
⑫
③
43
⑥
⑨
⑭
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
機種別排気速度曲線一覧表
Pumping Speed Curves
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
スタンダードタイプ
（L／min）
（NL／min）
（L／min）
（NL／min）
60
50Hz
50Hz
15
DA-40S
DA-15D
DA-15S
10
DAP-6D
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DAP-12S
0
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
DA-20D
8
9
10
（×10kPa）
0
1
2
3
4
6
7
8
9
10
（×10kPa）
L／min
NL／min
（L／min）
（NL／min）
150
50Hz
80
5
圧力
Pressure
L／min
NL／min
（L／min）
（NL／min）
100
50Hz
DA-121D
DA-120S
DA-60S
DA-60D
60
DAT-50D
40
DAT-100S
100
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DA-30S
20
5
50
20
0
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
8
0
9
10
（×10kPa）
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
L／min
NL／min
8
9
10
（×10kPa）
L／min
NL／min
減圧・加圧両用タイプ
L min
NL min
（NL／min）
40
50Hz
400
50Hz
DAL-361S
360
320
30
DAP-30
20
Booster Speed
240
DA-241S
200
DAL-181D
160
排気速度
Pumping Speed
280
排気速度
Pumping Speed
資
料
デ
ー
タ
集
DA-30D
40
DAP-15
120
10
80
40
0
1
2
3
4
5
圧力
Pressure
6
7
8
L min
NL min
9
10
10kPa
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9 10
（×10kPa）
0
0.5
1.0
1.5
2.0
（×10-1MPa）
圧力
Pressure
44
L／min ：排気速度
NL／min：標準状態における流量
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
高真空タイプ
L min
NL min
（m3／h）（L／min）
102
50Hz
120
50Hz
103
DAU-100
110
100
10
MD8C
80
70
60
50
40
MD8
102
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
90
MD4C
MD4
1
10
30
DAU-20
DTU-20
20
10
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10-1
10
（×10kPa）
圧力
Pressure
1
102
L/min
NL/min
103
104
105
（Pa）
圧力
Pressure
ケミカルタイプ
L min
NL min
50Hz
DTC-120
120
DTC-41
DTC-41K
40
排気速度
Pumping Speed
L min
NL min
50Hz
100
30
DTC-21
DTC-21K
20
排気速度
Pumping Speed
50
80
DTC-60
60
40
10
20
0
0
0
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
8
9
0
10
10kPa
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
10kPa
圧力
Pressure
L min
NL min
L min
NL min
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
（NL／min）
DOP-300S
250
DOP-80SP
60
50
DOP-40D
DTP-45D
40
50Hz
300
DOP-50DT
DOP-50S4
70
排気速度
Pumping Speed
80
排気速度
Pumping Speed
（NL／min）
350
50Hz
DTP-90D
DTP-90S
DOP-80S
90
30
DOP-200S
DTP-180S
DTP-180SQ
200
DOP-150T
150
100
20
50
10
DOP-9D
0
45
1
2
3 4
5
6
7 8 9 10
（×10kPa）
0
圧力
Pressure
1
2
3
4
5
（×10-1Mpa）
0
0
1
2
3
4
5
圧力
Pressure
6
7
8
9
10
（×10kPa）
資
料
デ
ー
タ
集
機種別排気速度曲線一覧表
L／min ：排気速度
NL／min：標準状態における流量
Pumping Speed Curves
回転翼型ドライ真空ポンプ
メカニカルブースターポンプ
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
Mechanical Booster Pump
（m3／h）（L／min）
103
（L／min）
700
50Hz
104
DSB-601
600
500
400
300
DSB-251
102
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DSB-451
103
MBS-050
MBS-030
10
2
10
200
DSB-151
100
1
0
1
2
3
4
5
6
7
8
10
10-2
9
10
（×10kPa）
50Hz
圧力
Pressure
10-1
1
102
10
103
圧力
Pressure
60Hz
104
（Pa）
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
スタンダードタイプ
（L／min）
1000
50Hz
50／60Hz
（L／min）
1000
DIS-500
DVT-300
100
DIS-090
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DIS-250
100
10
10
1
1
102
10
103
104
1
1
105
102
10
103
104
圧力
Pressure
（Pa）
圧力
Pressure
静音タイプ
105
（Pa）
ローコストタイプ
（L／min）
1000
50Hz
（L/min）
50Hz
DVS-631
1000
DISL-500
排気速度
Pumping Speed
DVS-321
排気速度
Pumping Speed
資
料
デ
ー
タ
集
縦型タイプ
100
10
1
100
DISL-100
10
1
10−1
1
10
102
103
圧力
Pressure
104
105
（Pa）
1
101
102
10
圧力
Pressure
3
104
105
（Pa）
排気速度曲線不記載の機種は、ご要求ください。
46
特約店一覧
ULVACグループ
北海道地区
㈱タナカ
011-731-0291
東北地区
東北化学薬品㈱（本社：青森県）
0172-33-8131
関東地区
三益半導体工業㈱（本社：群馬県）
アルバック イーエス㈱（本社：東京都）
稲畑産業㈱（本社：東京都）
高千穂精機㈱（本社：東京都）
027-372-2021
03-5218-6011
03-3639-6556
03-3204-0611
信越地区
アルバック イーエス㈱（松本支店）
㈱アヅマテクノス（本社：新潟県）
0263-51-0888
025-247-8386
北陸地区
㈱勝木太郎助商店（本社：石川県）
0761-22-6288
東海地区
遠藤科学㈱（本社：静岡県）
三弘アルバック㈱（本社：愛知県）
054-283-6222
052-702-6811
近畿地区
㈱京都タカオシン（本社：京都府）
三ツワ理化学工業㈱（本社：大阪府）
075-751-7755
06-6351-9631
中国地区
㈲友田大洋堂（本社：島根県）
㈱大熊（本社：岡山県）
0852-24-3456
0862-93-2171
四国地区
㈱大一器械（本社：徳島県）
増田薬品㈱（本社：香川県）
はじめ科学㈱（本社：愛媛県）
0886-56-8122
0878-51-0631
0899-22-2151
九州地区
アルバック九州㈱（本社：福岡県）
092-473-7191
海 外
POONGIL COMMERCIAL Co., Ltd. (KOREA)
02-765-1477
Kurt J. Lesker Company (AMERICA)
(1) 412-233-4200
Kurt J. Lesker Company (AMERICA)
(1) 925-449-0104
(1) 905-770-8450
Kurt J. Lesker Canada Inc. (CANADA)
Kurt J. Lesker Co., Ltd. (U.K.)
(44) 1424-719101
Kurt J. Lesker Company (HUNGARY)
(36) 1 383-5322
(49) 6126 988 728
Kurt J. Lesker Co., Ltd. (GERMANY)
Alwest-vacuum Ltd. (RUSSIA)
(495) 309-27-38
47
株式会社 アルバック
株式会社 アルバック・コーポレートセンター
●共業グループ アルバックテクノ株式会社
アルバック九州株式会社
アルバック東北株式会社
アルバック精機株式会社
●関連グループ アルバックマテリアル株式会社
日本リライアンス株式会社
アルバック成膜株式会社
アルバック理工株式会社
アルバック機工株式会社
アルバック・ファイ株式会社
アルバック・クライオ株式会社
株式会社 昭和真空
タイゴールド株式会社
アルバックエルダー株式会社
日真制御株式会社
真空セラミックス株式会社
株式会社RAS
株式会社イニシアム
アルバック イーエス株式会社
●専売会社
三弘アルバック株式会社
●海外法人
ULVAC Technologies, Inc. （米国）
Litrex Corporation（米国）
ULVAC TECHNOLOGIES LLC/CANADA（カナダ）
ULVAC G.m.b.H.（ドイツ）
OOO ULVAC（ロシア）
ULVAC(SHANGHAI) CO., LTD.（中国）
ULVAC NINGBO Co., Ltd.（中国）
ULVAC (SUZHOU) Co., Ltd.（中国）
ULVAC-TTI (Shanghai) Technology Corporation（中国）
ULVAC Orient (CHENGDU) Co., Ltd.（中国）
ULVAC Vacuum Furnace (Shenyang) Co., Ltd.（中国）
ULVAC Tianma Electric (Jing Jiang) Co., Ltd.（中国）
Hong Kong ULVAC Co., Ltd. （中国）
ULVAC TAIWAN INC.（台湾）
Ultra Clean Precision Technologies Corp.（台湾）
ULVAC System Control, TAIWAN, Ltd.（台湾）
ULVAC KOREA, Ltd. （韓国）
Pure Surface Technology, Ltd. （韓国）
ULVAC CRYOGENICS KOREA INCORPORATED（韓国）
ULVAC SINGAPORE PTE LTD（シンガポール/マレーシア）
ULVAC (THAILAND) LTD.（タイ）
「真空の極限」を追求する
先端技術企業群
ULVAC（アルバック）とアルバック機工
“ULVAC”とは“Ultimate in Vacuum（究極の真空）
”を
意味するULVACグループの真空応用製品のブランド名で
す。ULVACグループは、真空応用技術の極限に挑戦する
世界に類をみない先端技術企業群からなり、そのグループ
企業は国内外合わせて30社以上。アルバック機工は、その
グループの中でも特異な存在を誇り、利用分野の広い小型
真空ポンプを一手に担う中核企業の一つです。
Ultimate in Vacuum
ULVAC is an international organization made up of more
than 30 member companies with its primary
headquarters and manufacturing operations based in
Japan. The name “ULVAC” is derived from the words
“ULtimate in VACuum”.
ULVAC KIKO, as a division of ULVAC, manufactures
and markets a wide range of small vacuum pumps that
are utilized throughout many industries.