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E6 壁
6294 3250 5261 F4Plastic 水素標的-間 4581 水素標的-間 F4PACa 2336 2646 STQ SU 表面(部分) 2840 410 VG30-) 16 絶縁フランジ( 386 504 Q12 表面か 1 2 12 3 4 5 9 液体水素標的 6 7 PACa らPま 14 145 13 11 282 10 300 120 100 280 58 74 で4 60 20 8 長さ補正用絶縁フランジ5mmt 127.5 71.5 300 95 132.5 95 110 10 16 600 535 10 568.5 341 16 527.5 100 70 16 300 277 100 172.2 E6 50 222 165 100 692 1033 16 60 504 通路 2314 2818 ケーブル類 DALI 架台 1. GV100 VF100-VF100 8.ターゲットチェンバー VF125-VG200(V225) 2. 変換フランジVG100-VG150(両面V120) 9. GV200 VF200-VF200 3. 変換フランジVF150-VG150(V150) 10. I管 VG200-VF200(V225) 4.ビームモニタチェンバー 11. 変換マイラフランジ VG200(V225)-VG250(V275) 5. 変換フランジVF150-VG200(V120) 12. Startチェンバー VF250-VG300(V325) 6. 絶縁フランジVF200-VG200(V120) 13. ベローズ VF300-VG300(V325) 7. 変換フランジVF200-VG125(V120) 14. 絶縁フランジ VF300-VF300 E6 床 330 798 1128 496 712 2290 585 架台底部端 218.8 400 600 壁