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真空に係わる産業構造 Industrial Structure on Vacuum
2 0 1 0 J A PA N VA C U U M I N D U S T RY A S S O C I AT I O N 真空に係わる産業構造 Industrial Structure on Vacuum Technology 第1階層 (民生・産業用製品製造) パソコン、テレビ、デジカメ、携帯電話、 カーナビ、食品、自動車、医薬品・化学 製品、理科学機器、等々 第2 階層 (部品・材料製造) LSI、センサー、LED、液晶、有機EL、レン ズ、工具、DVD、ミラー、ヘッドライト、金属 材料、化学材料、等々 第3 階層 (真空装置製造) スパッタ、蒸着、P-CVD、イオン注入、凍結乾燥、 含浸、冶金、等々、 第4 階層 (真空コンポーネント製造) 回転ポンプ、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ、バル ブ、蒸発源、ターゲット、真空計、制御器、電源、継ぎ 手、フランジ、軸シールユニット、ヒータ等々 1 第5 階層 (役務提供) チャンバ加工、委託加工、表面処理、サービ ス、役務提供、等々 1 Copyright (C) 2004 JVIA All rights reserved. 2 0 1 0 J A PA N VA C U U M I N D U S T RY A S S O C I AT I O N 第1階層 民生・産業用の製品製造産業 ビデオカメラ :光学レンズ・液晶・ 電子部品・半導体 (提供:ソニー) 自動車:電子部品・半導体・ミラー・鉄鋼・ 装飾部品(提供:トヨタ自動車) カーナビ:液晶・半導体・電子部品・ DVD/CD (提供:松下電器産業) パソコン:電子部品・半導体・液晶・ DVD/CD (提供:松下電器産業) 半導体・液晶・電子部品の製造には 成膜装置・エッチング装置・表面処理装置・ 電子顕微鏡等が用いられます 光学レンズの製造には 反射防止膜の成膜装置が用いられます 液晶テレビ:液晶・半導体・電子部品 (提供:松下電器産業) 2 カメラ:光学レンズ・電子部品 (提供:キヤノン販売) 携帯電話:電子部品・半導体・液晶 (提供:松下電器産業) 真空乾燥食品:凍結乾燥装置 (提供:明治食品) 核融合装置:ITER・真空排気装置ほか (提供:日本原子力研究所) 放射光利用設備SPring-8:真空ポンプ・ 真空排気装置・真空部品・真空計測器 (提供:高輝度光科学研究センター) 2 Copyright (C) 2004 JVIA All rights reserved. 2 0 1 0 J A PA N VA C U U M I N D U S T RY A S S O C I AT I O N 第2階層 部品・材料産業 カメラレンズ(提供:キヤノン販売) 切削工具(提供:ジオマテック) LEDランプ(提供:ローム) LSIデバイス(提供:ローム) 自動車用ヘッドライト(提供:小糸製作所) CMOSカメラモジュール (提供:ローム) 磁気ヘッド(提供:TDK) 3 有機ELディスプレイ(提供:TDK) DVD-R(提供:TDK) 高精度プリズム(提供:タムロン) 非球面レンズ(提供:タムロン) Copyright (C) 2004 JVIA All rights reserved. 3 2 0 1 0 J A PA N VA C U U M I N D U S T RY A S S O C I AT I O N 第3階層 真空装置産業 有機EL量産装置(提供:トッキ) DVDスパッタ装置 (提供:芝浦メカトロニクス) 光学膜蒸着装置 (提供:シンクロン) φ300mm対応PVD/CVD装置 (提供:アルバック) イオンプレーティング装置 (提供:神港精機) 水晶振動子周調装置 (提供:昭和真空) 4 超高真空実験装置 (提供:北野精機) ハードディスクスパッタ装置 (提供:アネルバ) 真空包装機 (提供:エヌ・ピー・シー) 真空含浸装置(電気部品製造) (提供:佐藤真空) 凍結乾燥装置:乾燥食品製造 (提供:共和真空技術) Copyright (C) 2004 JVIA All rights reserved. 4 2 0 1 0 J A PA N VA C U U M I N D U S T RY A S S O C I AT I O N 第4階層 真空コンポーネント産業 水晶式膜厚制御器 (提供:インフィコン) ゲートバルブ (提供:ブイテックス) ターボ分子ポンプ (提供:大阪真空機器) ドライポンプ (提供:樫山工業) クライオポンプ (提供:アルバッククライオ) DCマグネトロンスパッタ電源 (提供:アドバンストエナジー) ヘリウムデテクター (提供:島津製作所) 電離真空計 (提供:アネルバテクニクス) 油回転ポンプ (提供:大亜真空) 油拡散ポンプ (提供:芝浦エレテック) 5 スパッタ源 (提供:グリーンテック) 回転導入用磁気シール (提供:リガク) マスフローメータ (提供:アドバンストエナジー) 真空配管と継手 (提供:入江工研) ルーツポンプ排気セット (提供:神港精機) Copyright (C) 2004 JVIA All rights reserved. 電子銃蒸発源 (提供:日本電子) 抵抗加熱蒸発源 (提供:日本バックスメタル) 5 2 0 1 0 J A PA N VA C U U M I N D U S T RY A S S O C I AT I O N 第5階層 委託加工・役務 機械加工受託 (山川機械製作所提供) 真空チャンバー等受託加工 (山川機械製作所提供) 制御盤製作 (SNKエレクトロニクス提供) CAD設計受託 (湘南技術センター提供) 6 Copyright (C) 2004 JVIA All rights reserved. 組立作業 (三田工業所提供) プリント基板(SNKエレクト ロニクス提供) 6