...

カタログ

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カタログ
スペラ 300 べローズポンプ
R
低脈圧ポンプ
PTFE Bellows Pump with No pulsation.
別途ダンパーの設置は不要、
また接液部はすべてふっ素樹脂製のクリーンなポンプです。
▲
洗浄装置循環ライン用
For Cleaning equipment
高温用
PS-E series
PS-E series
For Medium Temp.
For High Temp.
▲
薬液供給ライン用
For Chemical supply system
中温用
PS series
SPELA
R
For Medium Temp.
300 BELLOWS PUMP
中温用
▲
洗浄装置循環ライン用
(プラスチックタイプ)
For Cleaning equipment, Plastic type
中温用
PS-EN series
For Medium Temp.
PPLC 0902E
スペラ300べローズポンプの特長
T
1
IN
PO
T
2
IN
PO
低脈圧
ダンパー別途設置不要!
!
ポンプ単体で脈圧を抑える事ができ、低脈圧を実現!
液の流れがスムーズ!
ダンパー別途設置不要につき、
コンパクトな設計が可能。
<平面図>
スペラ300
■脈圧曲線
PS-E,PS,PS-ENシリーズ
3
スペラ300
フッ
トプリント
比率
低脈圧ポンプ
0.7
PS-20MA
フッ
トプリント
比率
低コスト
1
ダンパー別途設置不要で、コストダウン設計に貢献。
T
4
IN
PO
0.5
PS-E20MA
吐出圧力 MPaG
T
IN
フッ
トプリント
比率
低脈圧ポンプ
従来型
経過時間
PO
省スペース化
高品質
従来品
T
5
IN
べローズ
■屈曲部分形状
R形状型
べローズ素材に優れたふっ素
樹脂を用い、応力分散に適し
たR形状型を採用する事で、長
寿命化を実現。
特殊加工でR形状を形成し
応力分散
PO
〔ポンプ〕
PE-20MA
+
〔ダンパー〕
PA-20HB
スッキリ配管
従来のようなポンプ・ダンパー間の
配管不要!
よりコンパクトに!より簡潔に!
脈圧低減システム
スペラ300べローズポンプ内にダンパー機能を組み込んだ構造により、
ポンプ1台で脈圧を低減できます。
ダンパー機能
ポンプ機能
●接液部はすべて耐薬品性に優れたふっ素樹脂(PTFE・PFA)を使用しています。
1
ポンプ、継手、バルブなど、半導体・液晶工場内で
ピラー製品は幅広く使用されています。
PWシリーズ定量ポンプ
クリーンルーム階
洗浄装置
P
V
スペラ300ベローズポンプ
(PS-Eシリーズ)
薬液槽
洗浄槽
フィルタ
V
P
V
薬液供給階
スペラベローズポンプ
薬液供給装置
V
P
フィルタ
V
薬液タンク
V
スペラ300ベローズポンプ
(PSシリーズ)
V →バルブ
配管には、継手・チューブが
多数使用されています。
スペラベローズポンプ
一例)
ピラーストップバルブ
タンクローリー
スーパー300タイプ
ピラーフィッティング
ラインナップ
タイプ
Type
Line up
使用温度
(℃)
Operating
Temperature
最大供給
吐出量 /min
空気圧力 Discharge Capacity
(MPaG)
Max.Supply 2 10 20 40
主な用途
Application
Air Pressure
Circulating Pump
供給ポンプ
Supply Pump
プラスチックポンプ
Plastic Pump
PS-Eシリーズ
PSシリーズ
PS-ENシリーズ
掲載ページ
Page
中温 10∼100
0.4
中温 10∼100
0.3
○
○
○ Cleaning equipment
高温 10∼180
High
0.3
○
○
○ Cleaning equipment for high temp.
中温 10∼100
0.5
○
○
○ Chemical supply system
薬液供給ライン
7
中温 10∼100
0.3
○
洗浄装置循環ライン
9
Medium
循環ポンプ
備考
Remarks
Medium
Medium
Medium
枚葉洗浄ライン
○
Single water processing cleaner
3
洗浄装置循環ライン
※ 高温洗浄装置循環ライン
Cleaning equipment
※PS-E40H:
10∼160℃
5
2
SPELA 300 BELLOWS PUMP
R
性能曲線
PERFORMANCE CURVE
・PS-E2MA・
φ4×φ3×2M
吸込側 φ10×φ8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ6×φ4
φ4×φ3×2M
吸込側 φ10×φ8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ6×φ4
0.4
70
0.4
70
0.35
60
0.35
60
0.3
50
0.3
0.25
40
0.2
30
0.15
20
0.1
10
0.05
0
0
0.5
1
1.5
2
2.5
0
3
50
0.25
40
0.2
30
0.15
20
0.1
10
0.05
0
0
1
2
3
0
4
・PS-E10MA・
φ6×φ4×2M
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ12×φ10
φ6×φ4×2M
80
0.3
70
0.25
60
0.2
0.15
0
5
10
15
70
60
40
0.15
40
0.1
30
10
0
80
0.25
50
20
0.05
0.3
0.2
30
0.1
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ12×φ10
0
50
20
0.05
10
0
0
5
10
15
0
・PS-E20MA・
φ8×φ6×2M
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ19×φ15.
8
0.3
0.25
φ8×φ6×2M
140
0.3
140
120
0.25
120
0.2
100
100
0.2
80
0.15
60
0.1
40
0.05
0
20
0
5
10
15
20
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ19×φ15.
8
25
0
80
0.15
60
0.1
40
0.05
20
0
0
5
10
15
20
25
0
・PS-E40MA・
φ12×φ10×2M
吸込側 φ25×φ22×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ25×φ22
φ12×φ10×2M
吸込側 φ25×φ22×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ25×φ22
0.3
300
0.3
300
0.25
250
0.25
250
0.2
200
0.2
200
0.15
150
0.15
150
0.1
100
0.1
100
50
0.05
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
0
0.05
0
50
5
10
15
20
25
30
35
40
45
0
4
SPELA 300 BELLOWS PUMP
R
性能曲線
PERFORMANCE CURVE
流体:エチレングリコール
φ6×φ4×2M
流体:エチレングリコール
ETHYLENE GLYCOL
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
吐出側 φ1/2″
×φ3/8″
80
0.3
70
0.25
60
φ6×φ4×2M
ETHYLENE GLYCOL
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
吐出側 φ1/2″
×φ3/8″
0.3
80
0.25
70
60
0.2
50
0.2
0.15
40
0.15
40
0.1
30
30
0.1
20
0.05
0
10
0
5
10
15
0
50
20
0.05
0
10
0
5
10
15
流体:エチレングリコール
φ8×φ6×2M
流体:エチレングリコール
ETHYLENE GLYCOL
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
吐出側 φ19×φ15.
8
0
φ8×φ6×2M
ETHYLENE GLYCOL
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
吐出側 φ19×φ15.
8
0.3
120
0.3
120
0.25
100
0.25
100
0.2
80
0.2
80
0.15
60
0.15
60
0.1
40
0.1
40
0.05
20
0.05
20
0
0
5
10
15
20
25
0
0
0
5
10
15
20
流体:エチレングリコール
φ12×φ9×2M
25
0
流体:エチレングリコール
ETHYLENE GLYCOL
吸込側 φ11/4″
×φ11/10″
×2M
吐出側 φ1″
×φ7/8″
φ12×φ9×2M
ETHYLENE GLYCOL
吸込側 φ11/4″
×φ11/10″
×2M
吐出側 φ1″
×φ7/8″
0.3
300
0.3
300
0.25
250
0.25
250
0.2
200
0.2
200
0.15
150
0.15
150
0.1
100
0.1
100
50
0.05
0
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
0
50
0.05
0
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
0
6
PS シリーズ
series
中温用
For Medium Temp.
▲
薬液供給ライン用
For Chemical supply system
■低脈圧で液の流れがスムーズ。
Minimized pulsation.
■コンパクト。PEシリーズポンプ+アキュームレータ比約2/3に低減。
Spece saving design.
寸法
DIMENSIONS
※2
D
H
C
E F G
J K L
M
435 99 210 233
236
ー 218 193 148 197
198 157 83 Rc1/4" 4-M8 Rc1/4"
PS-20MA
480 121 226 289
291
ー 261 236.4 192 251
254 201 105 Rc3/8" 4-M10 Rc1/4"
ー
383 335 300 255 326
328 264 136.5 Rc1/2" 4-M12 Rc1/4"
ー
ー 335 300 255 326
328 264 136.5 Rc1/2" 4-M12 Rc1/4"
IN側
フランジ 544 164
出し
IN側
継手 544 164
出し
266
ー
266 389
STRUCTURAL CHART
PS-10MA,PS-20MA,PS-40MA(IN側継手出し)
PS-40MA(IN側フランジ出し)
OUT
OUT
2-N
(空気供給口)
Air Connection
K
EXH
K
J
J
(H)
IN
INT
(H)
IN
33
C
(B)
A
2-L
(空気供給口)
Air Connection
仕様
SPECIFICATIONS
Discharge quantity per stroke
E
7
J
N
PS-10MA
PS40MA
構造図
FLANGE
※1
※2
G
F
E
(D)
M
(D)
G
F
E
M
SPELA 300 BELLOWS PUMP
R
性能曲線
PERFORMANCE CURVE
・PS-10MA・
φ6×φ4×2M
0.5
0.45
0.4
0.35
0.3
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
φ6×φ4×2M
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ12×φ10
150
120
90
60
30
0
2
4
6
8
10
0
0.5
0.45
0.4
0.35
0.3
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
吸込側 φ19×φ15.
8×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ12×φ10
150
120
90
60
30
0
2
4
6
8
10
0
・PS-20MA・
φ8×φ6×2M
0.5
0.45
0.4
0.35
0.3
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
吸込側 φ25×φ22×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ19×φ15.
8
φ8×φ6×2M
300
250
200
150
100
50
0
5
10
15
20
0
0.5
0.45
0.4
0.35
0.3
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
吸込側 φ25×φ22×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ19×φ15.
8
300
250
200
150
100
50
0
5
10
15
20
0
・PS-40MA・
φ12×φ10×2M
0.5
0.45
0.4
0.35
0.3
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
吸込側 硬質塩化ビニル管
呼び径32
(揚程0.
5M)
吐出側 φ25×φ22
φ12×φ10×2M
500
400
300
200
100
0
10
20
30
40
0
0.5
0.45
0.4
0.35
0.3
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
吸込側 硬質塩化ビニル管
呼び径32
(揚程0.
5M)
吐出側 φ25×φ22
500
400
300
200
100
0
10
20
30
40
0
8
PS-EN20M
中温用
For Medium Temp.
▲
洗浄装置循環ライン用
(プラスチックタイプ)
For Cleaning equipment, Plastic type
■プラスチックタイプの低脈圧ポンプ。
Plastic type pump with no pulsation.
■PS-Eシリーズよりもコンパクト。
More compact than PS-E series pump.
寸法
DIMENSIONS
D
A B C
PS-EN20M 320 294 157.7
構造図
E
220
220
F G
H
J
K
L
170 66 170 120.3 49.5 Rc1/4" 4-φ12 Rc1/4"
STRUCTURAL CHART
2-M
(空気供給口)
Air Connection
2-K
(空気供給口)
Air Connection
OUT
(G)
INT
H
EXH
J
IN
C
B
A
仕様
SPECIFICATIONS
Discharge quantity per stroke
E
9
G
※1
M
(D)
F
E
L
SPELA 300 BELLOWS PUMP
R
■低脈圧(PS-Eシリーズと同等以上の脈動圧力範囲±22.0%以内)で液の流れがスムーズ。
■現行品PE、PS-Eシリーズより更にコンパクト化を実現。
ポンプ外形寸法〔W × L × H〕
(20Lポンプ比較・除く配管部)
現行品
PEシリーズ
PS-Eシリーズ
324 × 184 × 187 (フットプリント約596cm2)
W
L
H
373 × 176 × 181 (フットプリント約656cm2)
プラスチックタイプ
PS-ENシリーズ
320W × 170 L × 170 H(フットプリント約544cm2)
W
L
H
・PE比 …… 9%減
・PS-E比 … 17%減
■現行品PS-Eシリーズより約25%軽量化を計りメンテナンス性向上。
■ポンプ外観部及び一部を除く内部部品は全てプラスチック。接液部は全てふっ素樹脂。
■ファイバセンサ使用につき、標準品で防爆雰囲気での使用が可能。
・標準品はファイバセンサタイプです。近接センサタイプについては別途ご相談ください。
性能曲線
PERFORMANCE CURVE
・PS-EN20M・
φ8×φ6×2M
吸込側 φ19×φ16×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ19×φ16
0.3
0.25
φ8×φ6×2M
140
0.3
140
120
0.25
120
100
0.2
80
0.15
60
0.1
40
0.05
20
0
0
5
10
15
20
吸込側 φ19×φ16×2M
(揚程0.
5M)
吐出側 φ19×φ16
25
0
100
0.2
80
0.15
60
0.1
40
0.05
0
20
0
5
10
15
20
25
0
10
PB-12
■本社・営業本部 〒532-0022
大 阪 市 淀 川 区 野 中 南 2 丁目1 1 番 4 8 号
TEL:06
(6305)
1941 FAX:06
(6305)
0606
■三 田 工 場 〒669-1333
兵庫県三田市下内神字打場541番1号
TEL:079
(567)
2121 FAX:079
(567)
1624
■福知山事業所 〒620-0853
京都府福知山市長田野町2丁目66番地の3
TEL:0773
(27)
7871 FAX:0773
(27)
7870
■九 州 工 場 〒861-1116
熊 本 県 合 志 市 福 原 1 番 地 2 5
TEL:096
(292)
4511 FAX:096
(292)
4521
■東 京 支 店 〒100-0011
東 京 都 千 代 田 区 内 幸 町 2 丁目2 番 2 号
(富国生命ビル13階)
TEL:03
(3508)
1611 FAX:03
(3508)
1881
■横 浜 支 店 〒231-0012
横浜市中区相生町6丁目113番地
(オーク桜木町ビル8階)
TEL:045
(201)
1361 FAX:045
(201)
1391
Head Office :
11-48, Nonakaminami 2 Chome, Yodogawa-ku, Osaka, 532-0022 Japan.
Tel : 81-(0)6-6305-2821 Fax : 81-(0)6-6302-3300
E-mail : [email protected]
Nippon Pillar
Corporation of America
(Houston Office) :
6630 Roxburgh Drive, Suite 171, Houston, TX 77041, USA.
Tel : U.S.A(1)281-529-6367 Fax : U.S.A(1)281-529-6380
URL : http://www.nipponpillar.com/ E-mail : [email protected]
Nippon Pillar
Corporation of America
(Fremont Office) :
48521 Warm Springs Boulevard. Suite 317 Fremont, CA 94539, USA.
Tel : U.S.A(1)510-573-6146 Fax : U.S.A(1)510-573-6236
URL : http://www.nipponpillar.com/ E-mail : [email protected]
■大 阪 支 店 〒532-0022
大 阪 市 淀 川 区 野 中 南 2 丁目1 1 番 4 8 号
TEL:06
(6302)
5201 FAX:06
(6305)
0373
Nippon Pillar
Singapore Pte, Ltd. :
No.237 Pandan Loop #03-01 Westech Building, Singapore 128424
Tel : (65) 6861-7138 Fax : (65) 6862-9098
E-mail : [email protected]
■神 戸 支 店 〒673-0898
兵 庫 県 明 石 市 樽 屋 町 1 番 2 9
(日工住友生命ビル9階)
TEL:078
(914)
6654 FAX:078
(914)
6643
Taiwan Pillar
Industry Co.,Ltd. :
8F., No.45, SEC.1, MINQUAN E. RD., ZHONGSHAN DIST., TAIPEI CITY., 10452, TAIWAN.
Tel : TAIPEI(886) 2-2587-1911 Fax : TAIPEI(886) 2-2585-3131
URL : http://www.taiwanpillar.com.tw/ E-mail : [email protected]
Shanghai Pillar
Trading Co.,Ltd. :
Far East International Plaza A-1111, No.319, Xianxia Road, Changning
District, Shanghai China.(200051)
Tel : CHINA(86) 21-6208-7711
Fax : CHINA(86) 21-6235-0501
URL : http://www.pillar-cn.com/ E-mail : [email protected]
■名古屋支店 〒461-0005
名古屋市東区東桜1丁目4番13号
(アイ高岳ビル9階)
TEL:052
(962)
7861 FAX:052
(961)
5934
■京 都 支 店 〒600-8482
京都市下京区堀川通り綾小路下る綾堀川町
293番1
(堀川通り四条ビル5階)
TEL:075
(353)
4335 FAX:075
(353)
4336
■広 島 支 店 〒732-0827
広 島 市 南 区 稲 荷 町 4 番 1 号
(住友生命広島ビル4階)
TEL:082
(568)
2541 FAX:082
(262)
6685
■九 州 支 店 〒861-1116
熊 本 県 合 志 市 福 原 1 番 地 2 5
TEL:096
(292)
4511 FAX:096
(292)
4521
CAT. No.400901F 1606(M)
W16G013
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