Variable micro- inspection system

Variable microinspection system
マジックス
Variable micro-inspection system
Modular System
Objective lenses
は くの
お
は
様な
と
が 在 ます。
は
る りの
おり
より
の 様な
ます。 くの
が
ですが
な
る
が
ます。
は
すること より
でもす
で
することが
ます。
の
す。こ が
ます。
ここ
は
Base units
現在の
の
り
02
の
は
です。
の なる
で
の
と
ることが
は この
ること より
ます。
は
よ
な
の
ロ
の
まりま
のもの
が が
です。
ます。
Tube lenses
の
と
と
の
は この
より まります。
では
まで
の
ます。
は
ます。
です。
Autofocus
は
ます。
で
が
と
が
が
な
すことなく
カ
でも
ます。
の
す。この
が
は
カ
グの
り
の
カ
カ
ます。
との
は ま まな
ます。
で
Designed for large
Sensors
Optical Performance
High NA
は
で
の
する は
カ
で
で
るよ
です。
で
することが
は
カ
現するため
た
で
です。
2
です。
は
の
で
の でも
の
の
よりはる
ます。
お
で く
ます。
な
ます。こ は
ことで 現
の
Object space telecentricity
の
の
の
03
が
の
おり
変
る
ます。
Chromatic correction
この
は 4 0
00
の
で
ます。
変
も
すること く
で
カ の
することなく
が
なります。
す。
の
カ の
ま
で
Long distance lenses
の
のよ な
の
との
ためカ
が
なりますが
はロ グ
よりカ
と ま
。
よ
とす
と
お
り
外なく
な
ます。 は1 0
と24
の2
です。
mag.x system
Variable micro-inspection system
Light source
G405-607-000
Fiber guide
G405-524-000
04
Fiber adapters
G192-043-000
Änderung
Urspr.:
US-D:
Tolerierung nach
Oberfläche
ISO 2768-mH
Ra 1,6μm
und ISO 8015
Oberflächenangaben nach
Optikdarstellung
ISO 1302
nach ISO 10110
Werkstückkanten
Optiktoleranzen
DIN ISO 13715
nach ISO 10110-11
Datum
Name
Bearb. 11.12.2013
pv
Gepr.
Verantw. 11.12.13
so
Name Dateiname 012654.DFT
Version: 0
Description
G192-043-000
Fiber adapter 9 mm
G192-011-000
Objective lens LD-Plan Apo 2x/0.08
G192-045-000
Fiber adapter 7 mm
G192-031-000
Tube lens 1x
G192-071-000
Camera adapter M72 Dalsa
G192-032-000
Tube lens 2.25x
G192-073-000
Camera adapter M42 SVS-Vistek
G192-001-000
Base unit without turret
G192-074-000
Camera adapter M95 e2v
G192-006-000
Base unit with manual turret
G192-044-901
Darkfield illumination adapter
G192-003-000
Base unit with motorized turret
G405-524-000
Liquid light guide
G192-080-000
Compact Base unit
G405-607-000
Light source CLS-LED
G192-080-905
Illumination tube 5x
G192-062-000
Polarizing filter slide short
G192-081-000
Base unit AF
G192-063-000
Polarizing filter slide long
4401-535-822-00
Piezo-Unit
G192-065-000
Dummy slide short
G192-009-000
Direct adapter
G192-066-000
Dummy slide long
not export controlled
Order number
Objective lens LD-Plan Apo 5x/0.2
Q internal use
Description
G192-012-000
Gewicht: 12,761 kg
Order number
1:3
Blatt
1
1
Blatt
1
1
US-ML:
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
Ers. d.:
192003000 HM
not export controlled
Q internal use
Gewicht: 12,761 kg
G192-006-000
Blatt
1
1
mag.x 125 (mit mot. Revolver)
Ers. f.:
1:3
Ers. d.:
AL-T1 A:
Datum
US-ML:
mag.x 125 (mit mot. Revolver)
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
Ers. f.:
EU-D:
Zust.
Verwendung
AL-T1 A:
pv
Oberfläche
Ra 1,6μm
Oberflächenangaben nach
ISO 1302
Werkstückkanten
DIN ISO 13715
Name
Blatt
1
1
Ers. d.:
Filterschieber Dummy
192065000 HM
Urspr.:
Ers. f.:
Base units w/ illumination
G192-001-000
restricted
Gewicht: 0,186 kg
192063000 HM
Urspr.:
Ers. d.:
Datum
not export controlled
192003000 HM
Änderung
US-ML:
1:1
Maßstab:
Gewicht: 0,033 kg
Werkstoff: POM, schwarz
Rohteil Nr.:
Benennung
Ers. f.:
Zust.
Verwendung
1:1
Filterschieber lang, drehbar
so
Blatt
1
1
US-ML:
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
Version: 0
Ers. d.:
US-D:
Tolerierung nach
Oberfläche
ISO 2768-mH
Ra 1,6μm
und ISO 8015
Oberflächenangaben nach
Optikdarstellung
ISO 1302
nach ISO 10110
Werkstückkanten
Optiktoleranzen
DIN ISO 13715
nach ISO 10110-11
Datum
Name
Bearb. 11.12.2013
pv
Gepr.
Verantw. 11.12.13
so
Name Dateiname 012652.DFT
Version: 0
Datum
Urspr.:
AL-T1 A:
Änderung
not export controlled
Blatt
1
1
US-D:
Tolerierung nach
Oberfläche
ISO 2768-mH
Ra 1,6μm
und ISO 8015
Oberflächenangaben nach
Optikdarstellung
ISO 1302
nach ISO 10110
Werkstückkanten
Optiktoleranzen
DIN ISO 13715
nach ISO 10110-11
Datum
Name
Bearb. 11.12.2013
pv
Gepr.
Verantw. 11.12.13
so
Name Dateiname 012651.DFT
Version: 0
G192-066-000
Zust.
Verwendung
Q internal use
Ers. d.:
EU-D:
Gewicht: 11,998 kg
Ers. f.:
G192-065-000
1:3
Ers. f.:
AL-T1 A:
Gewicht: 0,186 kg
192063000 HM
Urspr.:
EU-D:
restricted
1:1
Filterschieber lang, drehbar
US-ML:
not export controlled
US-ML:
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
US-D:
Tolerierung nach
ISO 2768-mH
und ISO 8015
Optikdarstellung
nach ISO 10110
Optiktoleranzen
nach ISO 10110-11
Datum
Bearb. 11.12.2013
Gepr.
Verantw. 11.12.13
Name Dateiname 012654.DFT
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
US-D:
Tolerierung nach
Oberfläche
ISO 2768-mH
Ra 1,6μm
und ISO 8015
Oberflächenangaben nach
Optikdarstellung
ISO 1302
nach ISO 10110
Werkstückkanten
Optiktoleranzen
DIN ISO 13715
nach ISO 10110-11
Datum
Name
Bearb. 11.12.2013
pv
Gepr.
Verantw. 11.12.13
so
Name Dateiname 012651.DFT
Version: 0
pv
Datum
Blatt
1
1
Gewicht: 0,101 kg
Änderung
Filterschieber, drehbar
192062000 HM
Urspr.:
Zust.
Verwendung
Oberfläche
Ra 1,6μm
Oberflächenangaben nach
ISO 1302
Werkstückkanten
DIN ISO 13715
Name
Ers. d.:
1:1
AL-T1 A:
G192-063-000
192001000 HM
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
not export controlled
restricted
LD 125 (ohne Revolver)
Ers. f.:
Datum
US-ML:
so
Version: 0
Änderung
US-D:
Tolerierung nach
Oberfläche
ISO 2768-mH
Ra 1,6μm
und ISO 8015
Oberflächenangaben nach
Optikdarstellung
ISO 1302
nach ISO 10110
Werkstückkanten
Optiktoleranzen
DIN ISO 13715
nach ISO 10110-11
Datum
Name
Bearb. 11.12.2013
pv
Gepr.
Verantw. 11.12.13
so
Name Dateiname 012649.DFT
Version: 0
Datum
Urspr.:
US-D:
Tolerierung nach
ISO 2768-mH
und ISO 8015
Optikdarstellung
nach ISO 10110
Optiktoleranzen
nach ISO 10110-11
Datum
Bearb. 11.12.2013
Gepr.
Verantw. 11.12.13
Name Dateiname 012653.DFT
Zust.
Verwendung
AL-T1 A:
AL-T1 A:
Datum
EU-D:
EU-D:
Änderung
Änderung
EU-D:
G192-062-000
Zust.
Verwendung
EU-D:
Zust.
Verwendung
Filters
G192-045-000
G192-003-000
Light source
G405-607-000
Camera adapters
G192-071-000
G192-073-000
Fiber guide
G405-524-000
G192-074-000
05
Tube lenses
Fiber adapters
G192-043-000
G192-045-000
EU-D:
G192-032-000
G192-031-000
Illumination tubes
AL-T1 A:
Tolerierung nach
ISO 2768-mH
und ISO 8015
Optikdarstellung
nach ISO 10110
US-D:
Direct Adapter
Oberfläche
Ra 1,6μm
Oberflächenangaben nach
ISO 1302
tion
Base units w/o illumination
US-ML:
Maßstab:
Werkstoff:
1:3
not export controlled
Q internal use
Gewicht: 12,761 kg
G192-003-000
G192-009-000
EU-D:
Zust.
Verwendung
AL-T1 A:
Änderung
Datum
US-D:
Tolerierung nach
Oberfläche
ISO 2768-mH
Ra 1,6μm
und ISO 8015
Oberflächenangaben nach
Optikdarstellung
ISO 1302
nach ISO 10110
Werkstückkanten
Optiktoleranzen
DIN ISO 13715
nach ISO 10110-11
Datum
Name
Bearb. 11.12.2013
pv
Gepr.
Verantw. 11.12.13
so
Name Dateiname 012655.DFT
Version: 0
G192-081-000
G192-080-905
Q internal use
1:1
Gewicht: 0,350 kg
mag.x Zwischentubus
192009000 HM
Urspr.:
G192-080-000
not export controlled
US-ML:
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
Ers. f.:
Ers. d.:
Blatt
1
1
Piezo Unit
4401-535-822-00
Objective lenses
G192-012-000
Darkfield illumination adapter
G192-011-000
G192-044-901
EU-D:
Zust.
Verwendung
AL-T1 A:
Änderung
Datum
US-D:
Tolerierung nach
ISO 2768-mH
und ISO 8015
Optikdarstellung
nach ISO 10110
Optiktoleranzen
nach ISO 10110-11
Datum
Bearb. 11.12.2013
Gepr.
Verantw. 11.12.13
Name Dateiname 012656.DFT
Urspr.:
not export controlled
US-ML:
Oberfläche
Ra 1,6μm
Oberflächenangaben nach
ISO 1302
Werkstückkanten
DIN ISO 13715
Name
pv
so
Version: 0
Q internal use
Maßstab:
Werkstoff:
Rohteil Nr.:
Benennung
1:1
Gewicht: 0,135 kg
Adapter Dunkelfeldbel. Volpi
4-Seg.Ringlicht
192044901 HM
Ers. f.:
Ers. d.:
Blatt
1
1
Variable micro-inspection system
Integrated Illumination
Performance Graphs
グ
は
ロ
ます。
は
の
カ
です。
の は
の
です。
す
は
な
お
とこ まで た
です。
06
の
は
は
が
ると
で
する は
た
です。 のため
は
た
の
が
ま
ます。この
は
の り
た
な
が内
ます。
の と
の の
が
め
の
ることが
ます。この
の
な
は
タの
より
内
な
と
もあります。
が
Applications
くの
お
ます。
が
と
す。また
も この
も
ま
と
の
まで 現
で
より
た
の
より 現
。
な
ロタ タ
の
02
2
2
22
ロ
2
な
の
22
4
グ
の
り
な
カ
り
が
ま
で
る
Configuration example:
Base unit with integrated illumination
Tube system –
– Polarizing filter, rotatable
07
– Filter
Polarizing filter, rotatable
–
– Light guide adapter
Turret –
–
Illumination unit
Objective –
Specifications
Objective
Plan apochromat
Tube lens
1x
2.25x
f‘tub = 250 mm
f‘tub = 563 mm
2y‘ = 25 mm
Magn. / NA
WD
f‘obj
δobj
R0, obj
M
2y
lp/mm
M
2y
mm
NA'
R0, ima
mm
mm
µm
lp/mm
2x / 0.08
24.8
125.0
± 42.7
293
2.0
12.5
0.040
147
4.5
12.5
0.018
65
5x / 0.20
13.0
50.0
± 6.8
733
5.0
5.0
0.040
147
11.25
5.0
0.018
65
NA: Numerical aperture in the object space = n · sin (σ)
WD: Working distance
f'obj: Focal length of the objective
f'tub: Focal length of the tube lens
δobj: Depth of field at 546 nm δobj = ±n · λ/(2 · NA2)
R0, ima: Cut off frequency in image space at 546 nm
R0, obj: Cut off frequency in object space at 546 nm Rcut,
obj = (2 · NA)/λ
mm
NA'
2y‘ = 56.25 mm
R0, ima
lp/mm
R0, ima: Cut off frequency in image space 546 nm
2y': Image field size (maximum detector diagonal)
2y: Object field size
M: Magnification of the overall system M = Vobj · Vtub
Discover the Q!
Discover the capabilities, knowledge, equipment
and technology of Qioptiq
Photonics for Innovation
開発営業課
〒103-0023 東京都中央区日本橋本町2-2-2
TEL 03-3270-4826 FAX 03-3245-1767
http://www.taiheiboeki.co.jp
[email protected]
仕様および外観は改良のため予告なく変更することがあります。
このカタログの記載内容は2014年11月現在のものです。