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株式会社ザイキューブ
BIZMATCH@nano tech 2007 貫通電極付きウェハレベルCSPの イメージセンサ商品化 要旨 株式会社ザイキューブ 2次元LSIの限界を打破することを目指し、キーテクノロジー(研磨、積層、接着、埋 め込み貫通接続、微小電極)を駆使して、究極の3次元LSIを実現し、高速、小型で 低消費電力のLSIを商品化する取り組みを発表する。 最初のステップとして、沖電気工業株式会社様と協業して、単層の貫通電極付き ウェハレベルCSPのCMOSイメージセンサの商品化を目指し、それ以降、各種機能 チップを積層した商品展開を図っていく。 ©2007 ZyCube Co., Ltd. All rights reserved Si貫通穴技術を活用した3次元LSIの実現 2DLSI ウェハ 半導体メーカー 1 ウェハ 2 ウェハ 3 ウェハ 4 アウトソース ZyCube技術の適用 ウェハ 1~4 3DLSI積層技術 3DLSI 設計・プロセス <CoC,CoW, WoW > 3DLSI の実現 ©2007 ZyCube Co., Ltd. All rights reserved 1 2DLSIより高機能 ・高性能・ローパワー BIZMATCH@nano tech 2007 3D積層LSI技術の応用範囲 ゲーム機市場 高画像処理 能力、小型化 ロボット市場 ネットワーク家電 ワイヤレス通信、 処理能力を持つ家電 高機能センサ 超高速CPU 大容量メモリ PC・サーバ市場 携帯端末・PDA市場 高知能センサ アナログ・デジタル 回路混載可能 超薄膜、超小型 3D積層の利点 • 省電力化 • 低発熱 • 低コスト化 • 静音化 • 小型化 • 大容量化 3D画像処理チップ 3Dプロセッサチップ 3Dイメージセンサ 3D-FPGA 3Dメモリ 3D-DSP 3D-SOC 2006年半導体市場規模 30兆円産業 画像処理 演算プロセッサ FPGA/PLD AV機器、ゲーム 機、ビデオ/カメラ 全てのPC、サー バの心臓部 高性能サーバ、 次世代のCPU DSP メモリ素子 ASIC DRAM、SRAM、 デジタル機器 フラッシュ には不可欠 省電力、小型 化には必須 ©2007 ZyCube Co., Ltd. All rights reserved ZyCubeのターゲット商品展開の例 ZyCubeの狙いはどれだけの売上サイズか? ←高 売上合計(単位:兆円) 並列再構成イメージ処理装置 60 センサ センサ+デジタル信号処理機能 アナログ/デジタル変換 世界の半導体売上 データ記録 50 データ処理機能 機能・性能 パワーIC ロジック LSI RF IC 単機能センサ 低→ 高機能センサ+ デジタル信号処理機能 ’07 ’08 ’09 ’10 ’11 ’12 (~65%) 30 センサ MM IC コントロールIC アナログLSI フラッシュメモリ フラッシュメモリ DRAM DRAM CPU 20 ザイキューブのターゲット (~13%又は5兆円) 10 カメラモジュール (センサ+デジタル信号処理機能+レンズ+パッケージ) ’06 世界の3次元半導体売上 40 超高機能3次元チップ 3次元積層メモリ 0 1990 ’13 1995 2000 2005 2010 2015 2020 2025 ザイキューブとOKI、貫通電極付ウェハレベルCSPのイメージセンサ商品化で協業合意 ~イメージセンサで世界最小・最薄の高密度化を実現~ (構造例) Test vehicle ©2007 ZyCube Co., Ltd. All rights reserved 2