マイクロリスPCMシリーズ

マイクロリス PCM シリーズ
Non-sieving 超高分子量ポリエチレン フィルター
＜オプチマイザー D-300/600 PCM ＞
＜インパクト 2 PCM ＞
実績の
超高分子量ポリエチレン
PCM シリーズに使用している
メンブレンは、フォトレジスト、溶剤
などのろ過に実績のある除粒子性能に
優れた超高分子量ポリエチレンを
使用しています。
Non-sieving テクノロジー
独自の技術により表示孔径よりも微細
な粒子を除去 * します。
＜マイクロガード Plus PCM ＞
多彩なラインアップ
試作・開発用のホールドアップ
ボリュームを極小に抑えた
小型ディスポーザブルフィルター
（オプチマイザー D-300/600）から、
バルクろ過用のカートリッジ
フィルター（マイクロガード Plus）、
使用点用の交換が容易なワンタッチ型
フィルター（インパクト 2）など、
多彩なラインアップをご用意。
＜オプチマイザー D-PCM ＞
ISO 登録認定工場による製品
コード 0 タイプ
コード 5 タイプ
PCM シリーズフィルターは、フォトレジストなどに実績のある
マイクロリスの超高分子量ポリエチレンメンブレンをベースに、
独自の技術を付加することにより表示孔径よりも微細な粒子を
除去できる * 画期的なフィルターです。微細なろ過が要求される
フォトレジストなどの試作から量産、ユースポイントまでお使い
頂けるラインアップを準備しています。
* 薬液の種類、組成によっては、除去できない場合もあります。
MC0414
■
オプチマイザー D-300/600 PCM ディスポーザブル フィルター
Optimizer D-300/600 PCM Disposable Filters
仕 様
除粒子径：
材 質： フィルター
サポート
ハウジング
膜面積：
接続部： 入口、出口
ドレン、ベント
0.02 µm
超高分子量ポリエチレン（PCM 仕様）
高密度ポリエチレン
高密度ポリエチレン
D - 300 ： 300 cm2 D - 600 ： 600 cm2
6.35 mm コンプレッション シール
3.175 mm コンプレッション シール
最高使用圧力： 0.34 MPa at 25˚C
最大許容差圧： 0.24 MPa at 25˚C
最高使用温度： 60˚C
付属品： ベント・ドレン封止用プラグ
（材質：ポリエチレン）
ベント・ドレン封止用プラグ
（4 個添付）
製品型番のご案内（梱包数： 2 個／箱）
孔 径
D-300
D-600
0.02 µm PCM
CWMX 031 S2
CWMX 061 S2
[kPa]
60
寸法図（単位： mm）
D-300 PCM
0.02 µm
D-300
D-600
出口
φ58
出口
流 量
22.7
ベント
ベント
φ58
D-600 PCM
0.02 µm
40
差
圧
22.7
64.3
49.3
20
0
19
入口
2
4
6
[ mL/sec]
流 量（H2O at RT）
19
ドレン
入口
■
0
ドレン
オプチマイザー D-PCM ディスポーザブル フィルター
Optimizer D-PCM Disposable Filters
仕 様
除粒子径：
材 質： フィルター
サポート、コア
ハウジング
膜面積：
接続部： 入口、出口
ドレン、ベント
0.02 µm、0.05 µm
超高分子量ポリエチレン（PCM 仕様）
高密度ポリエチレン
高密度ポリエチレン
2200 cm2
6.35 mm コンプレッション シール
6.35 mm コンプレッション シール
最高使用圧力：
最大許容正差圧：
最大許容逆差圧：
最高使用温度：
製品の重さ：
0.34 MPa at 25˚C
0.27 MPa at 25˚C
0.27 MPa at 25˚C
60˚C
約 130 g
ベント
ドレン
0.02 µm PCM
CWMX 0S1 S3
0.05 µm PCM
CWMZ 0S1 S3
入口
FLOW
φ69
製品型番
（単位： mm）
φ65
孔 径
寸法図
24
製品型番のご案内（梱包数： 3 個／箱）
出口
(90)
113
別売品のご案内（接液部材質： PTFE および PP、梱包数： 1 セット）
製 品 名
接続チューブ外径
型 番
エアーベント セット
3.18 mm
CW00 0S4 AV
アダプター セット
6.35 mm*
CW00 0S4 20
フェルール ナット
6.0、6.35 mm 兼用
JPMF JK0 01
0.2 MPa です。
＊ アダプターセット中のエアベントの接続チューブ外径は 3.18 mm となります。
● エアーベントセットとアダプターセットの最高使用圧力は
エアー ベント
セット
アダプター
セット
流 量
[kPa]
80
02
60
5µ
差
40
圧
0.0
m
20
0
0
1
2
流 量（H2O at RT）
▲ 写真中のチューブは 付属しておりません ▲
µm
0.
3
[ L/min]
■
インパクト 2 PCM フィルター
Impact 2 PCM Filters
仕 様
0.02 µm、0.05 µm
超高分子量ポリエチレン（PCM 仕様）
高密度ポリエチレン
高密度ポリエチレン
カルレッツ（OF タイプ）
なし（OM タイプ）
除粒子径：
材 質： フィルター
サポート
ハウジング
O-リング
膜面積：
最高使用圧力：
最大許容正差圧：
最大許容逆差圧：
最高使用温度：
ホールドアップ容積：
付属品：
1300 cm2
0.34 MPa at 25˚C
0.27 MPa at 25˚C
0.27 MPa at 25˚C
40˚C
≦ 55 mL
封止用キャップ（材質ポリエチレン）
製品型番のご案内（梱包数： 1 個／箱）
除粒子径
O -リングあり
O -リングなし
（ご使用マニホールド： OF タイプ） （ご使用マニホールド： OM タイプ）
0.02 µm PCM
A2MX 000 K1
A2MX 000 01
0.05 µm PCM
A2MZ 000 K1
A2MZ 000 01
O -リングあり
O -リングなし
フィルター選定についてのご注意
ご使用のインパクト 2 マニホールドによって
お選びいただくフィルターが変わりますので
ご注意下さい。
別売品のご案内
品
名
（ご使用マニホールド： OF タイプ） （ご使用マニホールド： OM タイプ）
インパクト 2
フラッシング シェル
A2A0 000 K1
A2A0 000 01
（ライン洗浄用空ハウジング）
インパクト 2
封止用キャップ＊（10 個入）
専用マニホールドは別売です。
詳しくは、MC0405 をご参照下さい。
流 量
10451J
[kPa ]
80
＊ 封止用キャップは使用済フィルターの廃棄、移動などで液だれ等による汚染を防止する
ためのものです。完全に密封する用途にはご使用いただけませんのでご注意下さい。
0.
02
µm
60
差
40
圧
0.0
5µ
m
20
0
インパクト 2 フラッシング シェル
材質：ハウジング 高密度ポリエチレン
O-リング カルレッツ
（O-リングありのみ）
型番： A2A0 000 □ 1
＊
封止用キャップ
（IN/OUT/VENT 一体型キャップ）
材質：ポリエチレン
型番： 10451J
0
5
10
流 量（H2O at RT）
15
[ mL/sec]
■
マイクロガード Plus PCM カートリッジ フィルター
Microgard Plus PCM Cartridge Filters
仕 様
除粒子径： 0.02 µm、0.05 µm
材 質： フィルター
サポート
コア、スリーブ
O-リング
膜面積： 10 インチ タイプ
20 インチ タイプ
最大許容差圧： 0.34 MPa at 20˚C
最大許容逆圧： 0.25 MPa at 20˚C
最高使用温度： 60˚C
超高分子量ポリエチレン（PCM 仕様）
高密度ポリエチレン
高密度ポリエチレン
テフロン被覆バイトン芯（規格： AS568A-222）
12000 cm2
24000 cm2
製品型番のご案内（梱包数： 1 個／箱）
コード 0 タイプ
コード 5 タイプ
除粒子径
10 インチ タイプ
20 インチ タイプ
10 インチ タイプ
20 インチ タイプ
0.02 µm PCM
CWMX 01P LT
CWMX 02P LT
CWMX 51P LT
CWMX 52P LT
0.05 µm PCM
CWMZ 01P LT
−
−
−
寸法図（単位： mm）
流 量（10 インチ タイプ）
▼ コード 0
（17.3）
0.
02
φ 70.5
µm
[kPa ]
50
40
0.0
5µ
m
差 30
圧 20
10 インチタイプ＝ 245 20 インチタイプ＝ 489
10
▼ コード 5
0
0
2
4
6
8
10
[ L/min ]
φ 70
流 量（H2O at 25˚C）
(17.3)
10 インチタイプ＝ ( 243) 20 インチタイプ＝ (487)
10 インチタイプ＝ ( 307) 20 インチタイプ＝ ( 551)
● ご不明な点は弊社までお問合せ下さい。
● 製品の仕様は改良の為、予告なく変更する場合があります。
登録商標 Optimizer®, Impact®, Microgard™ : Mykrolis Corporation
Kalrez®、Viton® : DuPont Dow Elastomers, L.L.C.
Teflon® : E.I. du Pont de Nemours and Company
日本インテグリス株式会社 （2006 年 1 月 1 日、日本マイクロリス株式会社とインテグリスジャパン株式会社が合併）
東 京／ TEL. (03) 5442-9718 FAX. (03) 5442-9738 〒 108-0073 東京都港区三田 1-4-28 三田国際ビル
大 阪／ TEL. (06) 6390-0594 FAX. (06) 6390-3110 〒 532-0011 大阪市淀川区西中島 6-1-1 新大阪プライムタワー
九 州／ TEL. (092) 471-8133 FAX. (092) 471-8134 〒 812-0013 福岡市博多区博多駅東 1-13-9 博多駅東 11 3 ビル
米沢工場（ISO9001/ISO14001 登録認定工場）／第一工場：〒 992-1128 山形県米沢市八幡原 2-4736-3 第二工場：〒 992-1128 山形県米沢市八幡原 3-3145-5
URL/http://www.entegris.com/nihon
お問い合せ用 E メールアドレス:
The materials integrity management company
[email protected]
081216.PDF