窒化シリコン薄膜 窒化シリコン薄膜

サンプルホルダや電子線透過真空窓に最適
窒化シリコン薄膜
英国Silson社は、X線フィルタや電子線フィルタなどの様々な用途に最適な窒化シリコン薄膜の製造･供給
を行なっております。短納期、低価格でのご提供が可能で、薄膜上への金属コーティング（蒸着）やグ
リッド及びスペーサの取り付けなど各種カスタム仕様にも柔軟にご対応致します。また、独自リソグラ
フィ技術を応用した解像度測定テストチャートや透過型回折格子、ゾーンプレートのご提供も致します。
窒化シリコン薄膜の特長・仕様
1
特長
アプリケ－ション
薄くて丈夫
X線顕微鏡・電子顕微鏡向けサンプルホルダ
高い耐圧性
電子線・イオンビーム透過用の真空窓
優れた表面精度
X線・光学フィルタ
化学的に無害
密着型顕微鏡用のレジスト材
低コスト
その他ご研究用途
2
標準仕様
名称
サイズ・厚みオプション
薄膜サイズ
0.1mm, 0.25mm, 0.5mm, 1.0mm, 1.5mm, 2.0mm, 3.0mm, 4.0mm,
5.0mm, 10.0mm, 15.0mm角
薄膜厚み
フレームサイズ
3
フレーム厚み
30nm, 50nm, 75nm, 100nm, 150nm, 200nm, 500nm, 1.0μm
5.0mm, 7.5mm, 10.0mm, 12.5mm, 14.0mm, 17.5mm, 23.5mm角,
2.65mm角（TEM用：コーナーカット済み）
200μm, 381μm, 525μm
4
窒化シリコン薄膜のオプション
■TEM用薄膜
■マルチアレイウィンドウ
フレームサイズ : 2.65mm角
(コーナーカット済み、3ｍｍΦ)
薄膜窓サイズ : 1.5mm角以下
ひとつのフレーム内に複数配
列のアレイ窓を作成可能。
■各種コーティング
■パターニング形成
Au, Al, Ti, Cr, Ni, Zr, Polymer,
Novolac, Parylens, SU‐8, 等の
各種コーティングに対応。
メンブレン上にグリッドやス
ペーサ等の任意のパターン形
成が可能。
■MEMSヒータ
■流体処理用
メンブレン上にAu(Gold)をパ
ターニングしたコイル式ヒー
タで、最大で250度まで発熱
可能。
流路を形成したパターングで、
流量観察用途向けに使用可能。
■リソグラフィウェハ
最小窓サイズ : 5um角
異なる窓サイズのアレイ化等、
柔軟に対応。
■ファインダーグリッド
メンブレン厚み： 100nm
グリッド部厚み： 50nm
※その他仕様にも柔軟に対応。
■電気回路形成
Au(Gold)パターニングにより
電気回路を形成。
■アルミニウムサポートリング
直径1.0インチ、厚み2.5mm
のアルミニウムサポートリン
グも準備。
■穴あきパターン形成
メンブレンやコーティングに配
列した穴を形成。直径10μm、
20μm、30μmなど。
■その他リソグラフィ製品
＊ゾーンプレート
＊ビームストッパー
＊テストチャート
＊透過型回折格子 等
お問合せ・販売代理店
理化学機器営業部
〒105‐0014
東京都港区芝3‐5‐1 コーンズハウス
TEL: 03‐5427‐7568 FAX: 03‐5427‐7572
大阪電子部品営業部
〒550‐0005
大阪市西区西本町1‐13‐40 コーンズハウス
TEL: 06‐6532‐1012 FAX: 06‐6532‐7749
●カタログの内容は予告無く変更する場合がありますので、ご了承願います。 ●このカタログの制作は平成24年3月です。