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空気中パーティクルカウンター 近藤工業株式会社

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空気中パーティクルカウンター 近藤工業株式会社
空気中パーティクルカウンター
粗粒子カウンター 100μm
リモートセンサー
SOLAIR 0.3μm
ハンドヘルド 0.2/0.3/0.5μm
近藤工業株式会社
LIGHTHOUSE WORLDWIDE SOLUTIONS 日本総代理店
優れた空気の条件
日進月歩のテクノロジーが必要としている環境空間は、より高品質化し多様化しています。
さらに、求められる空気のクオリティーは、その用途その時代によって変化します。1953年創立の近藤
工業が、空気中の微粒子を取除く高性能フィルタを日本に初めて紹介して50有余年、コンタミネーショ
ンコントロールのパイオニアとして、(ケンブリッジ)フィルタ及び関連機器/システムを通して、常に最先
端分野の一翼を担ってまいりました。今ここに、その使い易さと精度でご好評の米国LIGHTHOUSE社
製パーティクルカウンター・他をご紹介させて戴きます。
機種選択
粒径感度0.1/0.2/0.3/0.5μm、サンプル流量0.1/1.0cfmさらにハンドヘルドタイプ/据置タイプ/リ
モートセンサータイプと、
ご用途に応じた多数の機種を取り揃えております。 一般的に、サンプル流量の多いタイプの方が高清浄度測定に、少ないタイプが高濃度測定に適しており、そ
の機種の濃度限界を示している仕様欄「最大粒子濃度」をご確認下さい。
清浄度クラス分け
ここ数年のクリーンルームにおける清浄度のクラス分けに関する規格動向として、
1)国際規格ISO14644−1/−2が、1999・2000年に制定された
2)米国では連邦規格209Eが2001年11月に廃止され、
ISO14644に移行した
(但し、法的強制力を伴わないため、今でも旧規格FS209Eを適用しているケースが多い)
3)日本では2002年9月に、
JIS B 9920がISO14644に準拠した内容で改定された
があり、清浄度規格はISO14644に統合される状況となっております。
ISO14644は、1.0m3当りの粒径0.1μm以上の浮遊微粒子数を10のべき乗で表した指数Nで定義し
ており、清浄度はクラス1・クラス2・
・
・
・クラス9で表現され、
ISO規格なのでm単位となります。
以下に、
ISO14644の概要等を示しました。
■ISO14644概要
■清浄度クラスのグラフ表示
項 目
109
内 容
対象空間
クリーンルームおよびこれに準ずる清浄環境
クラス定義
1m の空気中に含まれる粒径0.1μm以上の粒子数を
10のべき乗で表した指数N
表示方法
ISOクラスN ; CR状態 ; 対象粒径 ; 粒子個数濃度
別途U表示・M表示あり
評価方法
1)測定点数が1または10以上
各点の平均値がクラスの上限濃度以下
2)測定点数が2∼9
平均値が上限濃度以下および95%UCLで評価
3)
クラス4より清浄な場合に逐次検定法の適用可
Cn=10N×
(0.1/D)
108
107
浮遊微粒子濃度
測定対象粒径
Cn
106
クラス9
105
クラス8
104
(個/m 3)
0.1∼5μmのうち1粒径、
または複数の粒径
クラス7
103
測定点数
√A A:対象床面積(m2)
最少サンプリング空気量
当該クラスの上限粒子数が20個以上となる量
及び2L以上で、計測時間は1分以上
102
クラス4
サンプリング回数
測定点数1のとき3回以上、2以上のとき各点最低1回
101
クラス3
測定点の高さ
原則として作業台高さ
測定器
パーティクルカウンター
クラス6
クラス1
100
0.1
0.2
0.3
1.0
5.0
粒径 D
(μm)
上限濃度(個/m3)
清浄度
〈ご参考〉FS209E
m単位
測定粒径
0.1μm
クラス5
クラス2
0.5
■清浄度クラスと上限濃度
クラス
(N)
2.08
3
0.2μm
0.3μm
ISOクラス1
10
2
ISOクラス2
100
24
0.5μm
1μm
ft単位
(個/m )
3
10
清浄度クラス
0.5μm
5μm
(個/ft )
3
4
ISOクラス3
1000
237
102
35
8
35.3
1
ISOクラス4
10000
2370
1020
352
83
353
10
ISOクラス5
100000
23700
10200
3520
832
29
3530
100
ISOクラス6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
35300
1000
ISOクラス7
352000
83200
2930
353000
10000
ISOクラス8
3520000
832000
29300
3530000
100000
ISOクラス9
35200000
8320000
293000
クラスM1.5/クラス1
クラスM2.5/クラス10
クラスM3.5/クラス100
クラスM4.5/クラス1000
クラスM5.5/クラス10000
クラスM6.5/クラス100000
空気中パーティクルカウンター
SOLAIR 1100LD
JIS規格・CE規格・北米規格適合
■
■
■
■
0.1μm感度 ■ 1.0cfmサンプル流量
8粒径同時計数 ■ 3000回データメモリ
14.5cmカラータッチスクリーン ■ AC/バッテリー駆動
ISO14644・FS209E・EC-GMP演算レポート
仕 様
粒 径 感 度 : 0.10μm(計数効率50%)
粒径チャンネル :8CH …0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、
1.0μm
サ ン プ ル 流 量 : 1.0立方フィート/分(28.3L/分)
最 大 粒 子 濃 度 : 50,000個/立方フィート
(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
プ リ ン タ ー : 内蔵式感熱プリンター
コミュニケーション : RS-232(RJ-45)、RS-485(Modbus)
外 装 ケ ー ス : ステンレス製
環 境 セ ン サ ー :〈オプション;温湿度・風速・差圧〉
寸 法 / 重 量 :203
(W)
×264(H)
×372(L)
mm/11.8kg
電 源 :100∼240V/50∼60Hz、充電式バッテリー
SOLAIR 3100/5100
■
■
■
■
■
0.3又は0.5μm感度 ■ 1.0cfmサンプル流量
6粒径同時計数 ■ 3000回データメモリ
14.5cmカラータッチスクリーン AC/バッテリー駆動
ISO14644・FS209E・EC-GMP演算レポート
仕 様
粒 径 感 度 : SA3100+ …0.3μm(計数効率50%)
SA5100+ …0.5μm(計数効率50%)
粒径チャンネル : 6CH SA3100+ …0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm
6CH SA5100+ …0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、10.0μm
サ ン プ ル 流 量 : 1.0立方フィート/分(28.3L/分)
最 大 粒 子 濃 度 : 500,000個/立方フィート
(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
プ リ ン タ ー : 内蔵式感熱プリンター
コミュニケーション : RS-232(RJ-45)、RS-485(Modbus)
外 装 ケ ー ス : ステンレス製
環 境 セ ン サ ー :〈オプション;温湿度・風速・差圧〉
寸 法 / 重 量 : 203(W)
×258(H)
×253(L)mm/6.7kg
電 源 :100∼240V/50∼60Hz、充電式バッテリー
HANDHELD 2016/3016/5016
■
■
■
■
0.2、0.3又は0.5μm感度 ■ 0.1cfmサンプル流量
6粒径同時計数 ■ 3000回データメモリ
9.65cmタッチスクリーン ■ AC/バッテリー駆動
ISO14644・FS209E・EC-GMP演算レポート
仕 様
粒 径 感 度 : HH2016…0.2μm(計数効率50%)
HH3016…0.3μm、HH5016…0.5μm
粒径チャンネル : 6CH HH2016…0.2、0.3、0.5、0.7、1.0、2.0μm
6CH HH3016…0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm
6CH HH5016…0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、10.0μm
サ ン プ ル 流 量 : 0.1立方フィート/分(2.83L/分)
最 大 粒 子 濃 度 : 4,000,000個/立方フィート
(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
プ リ ン タ ー :〈オプション;外置式感熱プリンター〉
コミュニケーション : RS-232(RJ-45)
外 装 ケ ー ス : 成型プラスティック
(高 耐衝撃性)
環 境 セ ン サ ー : 温湿度プローブ標準装備
寸 法 / 重 量 : 127(W)
×222(H)
×64(L)mm/1kg
電 源 : 100∼240V/50∼60Hz、充電式バッテリー
空気中パーティクルカウンター
SOLAIR 3010
■0.3μm感度 ■0.1cfmサンプル流量 ■6粒径同時計数
■3000回データメモリ ■14.5cmカラータッチスクリーン
■AC/バッテリー駆動
■ISO14644・FS209E・EC-GMP演算レポート
仕 様
粒 径 感 度 : 0.3μm
(計数効率50%)
粒径チャンネル : 6CH ・・・0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm
サ ン プ ル 流 量 : 0.1立方フィート/分(2.83L/分)
最 大 粒 子 濃 度 : 4,000,000個/立方フィート
(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
プ リ ン タ ー : 内蔵式感熱プリンター
コミュニケーション : RS-232(RJ-45)、RS-485(Modbus)
外 装 ケ ー ス : ステンレス製
環 境 セ ン サ ー : <オプション;温湿度・風速・差圧>
寸 法 / 重 量 : 203(W)
×258(H)
×247(L)
mm/6.7kg
電 源 : 100∼240V/50∼60Hz、充電式バッテリー
SOLAIR 3200/5200
■0.3又は0.5μm感度 ■2.0cfm又は50LPMサンプル流量
■6粒径同時計数 ■3000回データメモリ
■14.5cmカラータッチスクリーン ■AC/バッテリー駆動
■ISO14644・FS209E・EC-GMP演算レポート
仕 様
粒 径 感 度 : SA3200+ ・・・0.3μm
(計数効率50%)
SA5200+ ・・・0.5μm
(計数効率50%)
粒径チャンネル : 6CH SA3200+ ・・・0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm
6CH SA5200+ ・・・0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、10.0μm
サ ン プ ル 流 量 : 2.0立方フィート/分(56.6L/分)、50L/分
最 大 粒 子 濃 度 : 250,000個/立方フィート
(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
プ リ ン タ ー : 内蔵式感熱プリンター
コミュニケーション : RS-232(RJ-45)、RS-485(Modbus)
外 装 ケ ー ス : ステンレス製
環 境 セ ン サ ー : <オプション;温湿度・風速・差圧>
寸 法 / 重 量 : 203(W)
×264(H)
×395(L)
mm/11.8kg
電 源 : 100∼240V/50∼60Hz、充電式バッテリー
粗粒子カウンター
(BOULDER COUNTER)
■最大100μm測定 ■1.0cfmサンプル流量
■6粒径同時計測 ■3000回データメモリ
■AC/バッテリー駆動
仕 様
粒 径 感 度 : 5.0μm感度(計数効率50%)
粒径チャンネル : 6CH ・・・5.0、10、20、30、50、100μm
サ ン プ ル 流 量 : 1.0立方フィート/分(28.3L/分)
最 大 粒 子 濃 度 : 500,000個/立方フィート
(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
コミュニケーション : RS-232(RJ-45)、RS-485(Modbus)
外 装 ケ ー ス : ステンレス製
環 境 セ ン サ ー : <オプション;温湿度・風速・差圧>
寸 法 / 重 量 : 203(W)×258(H)×253(L)mm/6.8kg
電 源 : 100∼240V/50∼60Hz、充電式バッテリー
リモートセンサー
JIS規格・CE規格・北米規格適合
REMOTE
2014/3014/3104/5014/5104
■
■
■
■
■
0.2、0.3又は0.5μm感度
0.1又は1.0cfmサンプル流量
マルチセンサー式清浄度集中監視システム用センサー
標準2粒径同時計数〈オプション4粒径〉
外部真空源利用
仕 様
粒 径 感 度 : 0.2、0.3又は0.5μm(計数効率50%)
粒径チャンネル : R2014…標準2CH 0.2、0.3、(0.2、0.5)
μm
R3014/R3104………標準2CH 0.3、0.5μm
R5014/R5104………標準2CH 0.5、5.0μm
サ ン プ ル 流 量 : R3104/R5104…1.0立方フィート/分(28.3L/分)
R2014/R3014/R5014…0.1立方フィート/分(2.83L/分)
最 大 粒 子 濃 度 : R3104/R5104…500,000個/立方フィート(≦5%)
R2014/R3014/R5014…2,000,000個/立方フィート(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
コミュニケーション : RS-485(Modbus)
外 部 入 力 :〈オプション;温湿度プローブ〉
外 装 ケ ー ス : ステンレス製
寸 法 / 重 量 : R2014……107(W)
×76(H)
×51(L)mm/0.44kg
R3014/R5014/R5104…107(W)×76(H)×43(L)mm/0.44kg
R3104……107(W)
×84(H)
×89(L)mm/0.90kg
電 源 : 24VDC
REMOTE
2012/3012/3102/5012/5102
■
■
■
■
■
0.2、0.3又は0.5μm感度
0.1又は1.0cfmサンプル流量
マルチセンサー式清浄度集中監視システム用センサー
標準2粒径同時計測
外部真空源利用
仕 様
粒 径 感 度 : 0.2、0.3又は0.5μm感度(計数効率50%)
粒径チャンネル : R2012…0.2、0.3μm(0.2、0.5μm)
R3012/R3102…0.3、0.5μm
R5012/R5102…0.5、5.0μm
サ ン プ ル 流 量 : R3102/R5102…1.0立方フィート/分(28.3L/分)
R2012/R3012/R5012…0.1立方フィート/分(2.83L/分)
最 大 粒 子 濃 度 : R3102/R5102…500,000個/立方フィート(≦5%)
R2012/R3012/R5012…2,000,000個/立方フィート(≦5%)
光 源 : 半導体レーザー
コミュニケーション : 4-20mA出力
外 装 ケ ー ス : ステンレス製
寸 法 / 重 量 : R2012…107(W)×76(H)×43(L)mm/0.40kg
R3102…107(W)×84(H)×89(L)mm/0.90kg
R3012/R5102/R5012…107(W)×63(H)×43(L)mm/0.35kg
電 源 : 24VDC
リモートセンサーラインナップ
型 式
粒径感度
(μm)
標準粒径
レンジ数
サンプル流量
(cfm)
吸引源
データ出力(通信プロトコル)
1104
0.1
8
1.0
外部吸引源
計数値 RS485
2014P/3014P/5014P
0.2/0.3/0.5
4
0.1
ポンプ内蔵
計数値 RS485
2014/3014/5014
0.2/0.3/0.5
2
0.1
外部吸引源
計数値 RS485
3104/5104
0.3/0.5
2
1.0
外部吸引源
計数値 RS485
2012/3012/5012
0.2/0.3/0.5
2
0.1
外部吸引源
4−20mA出力
3102/5102
0.3/0.5
2
1.0
外部吸引源
4−20mA出力
清浄度集中監視システム(FMS)
清浄度集中監視システム(FMS)の方式には、複数の測定点からのサンプリングチューブを多点切替器(マニホールド)に集結
し、各測定点を順次切替え、選択した測定点のサンプルエアーをパーティクルカウンターへ送り、当該測定点の清浄度をモニタ
ーする
【チューブセレクト式】
と、各測定点にリモートセンサーを配置し、信号ケーブルでこれらを結び同様にモニターする
【マル
チセンサー式】
とがあります。現場状況によっては2つの方式を併用した
【混在式】
となる場合もあります。チューブセレクト式の方
が比較的廉価ですが、この方式は断続測定となり、チューブ長により計数損失が生じ大粒径測定には適しません。
清浄度評価の対象粒径は、新規格ISO14644によれば1粒径以上であれば良く、0.5μmのデータ(又は0.3、0.1μmのデー
タ)だけで充分です。従って、チューブセレクト式によるFMSは有効です。
その他、
ISO14644では、サンプリング時間;1分間以上、測定頻度;1時間に1回以上と規定しています。
システム概要
(配管切替式)
【チューブセレクト式】
【マルチセンサー式】
【混在式】
クリーンルーム
クリーンルーム
クリーンルーム
S
S
多点切替器
S
S
S
パソコン類
S
多点切替器
: リモートセンサー
: 信号ケーブル
パーティクルカウンター、他
S
パーティクルカウンター、他
パソコン類
パソコン類
対象パーティクルカウンター
● チューブセレクト式
● マルチセンサー式
【0.1μm、1.0cfm】
SOLAIR 1100(+)型
【0.3μm、1.0cfm】
SOLAIR 3100(+)型
【0.5μm、1.0cfm】
SOLAIR 5100(+)型
【0.3μm、0.1cfm】
REMOTE 3014型
【0.5μm、0.1cfm】
REMOTE 5014型
【0.3μm、1.0cfm】
REMOTE 3104型
【0.5μm、1.0cfm】
REMOTE 5104型
FMSの特徴
● チューブセレクト式・マルチセンサー式及び混在型:対応可
● システムバリデーション
(IQ・OQ):対応可
● オプション…外部警報・温湿度等アナログデータ取込
〈製薬業界対応〉
● コンピュータバリデーション対応可
● 米国 FDA21 CFR Part11
(電子記録・電子署名に関する法規)対応可
L I G H T H O U S E 社ご紹 介
1982年に設立された米国 Lighthouse Worldwide Solutions
(ライトハウス社)
は、
今やリアルタイム・コンタミネーション・モニ
タリングシステムにおいて世界のトップサプライヤーとなっております。
その優れたソフトウエアデザイン、
データインテグレーションの能力と各国に点在するサポート拠点を強みとして、
最先端のコンタミ
ネーション・モニタリング・ソリューションズをご提供しております。
お客様の製品品質向上に関し、弊社・近藤工業は、
ライトハウス社のパーティクルカウンター及びモニタリングシステムを通して寄与してまいります。
このカタログに掲載した製品は、改良などのため予告なしに内容を変更することがあります。
近藤工業株式会社
〈販売代理店〉
www.cambridgefilter.com
本 社 〒105-0014 東京都港区芝3丁目14番2号 芝ケンブリッジビル TEL 03(6400)5007 FAX 03(6400)5022
相模原SC 〒252-0217 神奈川県相模原市中央区小町通2丁目7番9号
TEL 042(770)2061 FAX 042(770)2066
大 阪営業所 TEL 06(6444)0008 名古屋営業所 TEL 052(222)1060
九 州営業所 TEL 092(262)6436 東 北営業所 TEL 022(217)2211
◎技術的なご質問は、相模原SCまでお問い合わせ下さい。
古紙配合率100%再生紙を使用しています
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