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SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
図 SEMI緊急遮断用EMOスイッチ 240 FBシリーズ樹脂コントロールボックス ▶ 01 565 AGAW形コントロールボックス ▶ 01 590 SEMI緊急遮断用(EMO)スイッチ/FBシリーズ樹脂製コントロールボックス 安全スイッチ・ セーフティプラグ 種類[形番・標準価格] ● 非接触安全スイッチ φ16 XAシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ はんだづけ端子形プッシュロック プルorターンリセットスイッチ メイン接点 モニタ接点 (b接点) (a接点) 品名・外観 1b 2b 3b 4b 1b 2b 3b 大形(φ40)ボタン 標準価格 (税別・円) 形番(ご注文形番) ー ー ー ー XA1E-BV401RH-EMO XA1E-BV402RH-EMO XA1E-BV403RH-EMO XA1E-BV404RH-EMO XA1E-BV411RH-EMO XA1E-BV412RH-EMO XA1E-BV413RH-EMO 1a 1a 1a 販売単位:1個 2,790 3,040 3,300 3,560 3,040 3,300 3,560 ● ● ティーチング ペンダント セーフティ モジュール 積層表示灯 カテゴリ別 制御回路例 φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチプッシュロック ターンリセットスイッチ メイン接点 モニタ接点 (b接点) (a接点) 品名・外観 大形(φ40)ボタン 販売単位:1個 標準価格 (税別・円) 形番(ご注文形番) 1b ー HW1B-V401R-EMO 2,065 1b 1a HW1B-V411R-EMO 2,410 2b ー HW1B-V402R-EMO 2,410 2b 2a HW1B-V422R-EMO 3,080 メイン接点 モニタ接点 (b接点) (a接点) ー 1b ー 2b ー 3b ー 4b 大形(φ40)ボタン 1b 2b 3b 2b 1a 1a 1a 2a 表示器 ボックス 足踏スイッチ 形番(ご注文形番) 感電防止用カバー付 IP20仕様 XW1E-BV401MFRH-EMO XW1E-BV402MFRH-EMO XW1E-BV403MFRH-EMO XW1E-BV404MFRH-EMO XW1E-BV411MFRH-EMO XW1E-BV412MFRH-EMO XW1E-BV413MFRH-EMO XW1E-BV422MFRH-EMO XW1E-BV401MRH-EMO XW1E-BV402MRH-EMO XW1E-BV403MRH-EMO XW1E-BV404MRH-EMO XW1E-BV411MRH-EMO XW1E-BV412MRH-EMO XW1E-BV413MRH-EMO XW1E-BV422MRH-EMO 販売単位:1個 標準価格 (税別・円) 2,630 2,940 3,250 3,560 2,940 3,250 3,560 3,560 ● ● 照光種別 コントロールユニット・外観 コンビネーションスタータ・ 配線用遮断機 受注生産品・ 納入事例 内圧防爆構造 防爆資料編 非照光式 押ボタンスイッチ (プッシュロックターンリセット) 販売単位:1個 形番(ご注文形番) 標準価格 SEMIスイッチガード付 (税別・円) 標準価格 (税別・円) 1b ー FB1W-HW1B-V401R-EMO-Y0 3,320 FB1W-HW1B-V401R-EMO-Y□ 4,350 2b ー FB1W-HW1B-V402R-EMO-Y0 3,640 FB1W-HW1B-V402R-EMO-Y□ 4,670 1b 1a FB1W-HW1B-V411R-EMO-Y0 3,640 FB1W-HW1B-V411R-EMO-Y□ 4,670 一覧 X6 XA XW HW XN HN コントロール ボックス SEMI対応 ● 照光種別 FBシリーズ樹脂製コントロールボックス〔φ22XWシリーズSEMI用EMO表示付〕 コントロールユニット・外観 メイン モニタ 接点 接点 (b接点)(a接点) 非照光式 1b 2b 3b 4b 1b 2b 3b 2b 形番(ご注文形番) SEMIスイッチガードなし ー ー ー ー 標準価格 (税別・円) FB1W-XW1E-BV401MRH-EMO-Y0 4,080 FB1W-XW1E-BV402MRH-EMO-Y0 4,390 FB1W-XW1E-BV403MRH-EMO-Y0 4,700 FB1W-XW1E-BV404MRH-EMO-Y0 5,010 1a FB1W-XW1E-BV411MRH-EMO-Y0 4,390 1a FB1W-XW1E-BV412MRH-EMO-Y0 4,700 1a FB1W-XW1E-BV413MRH-EMO-Y0 5,010 2a FB1W-XW1E-BV422MRH-EMO-Y0 5,010 注)形番の□にはSEMIスイッチガードの指定記号が入ります。 (2:HW9Z-KG3形、3:HW9Z-KG4形) HW9Z-KG3、HW9Z-KG4付きはSEMI S2に適合しています。詳しくは 242 頁をご覧ください。 φ22 XWシリーズ押ボタンスイッチ プッシュロックプルorターンリセット 販売単位:1個 SEMIスイッチガード付 標準価格 (税別・円) FB1W-XW1E-BV401MRH-EMO-Y□ FB1W-XW1E-BV402MRH-EMO-Y□ FB1W-XW1E-BV403MRH-EMO-Y□ FB1W-XW1E-BV404MRH-EMO-Y□ FB1W-XW1E-BV411MRH-EMO-Y□ FB1W-XW1E-BV412MRH-EMO-Y□ FB1W-XW1E-BV413MRH-EMO-Y□ FB1W-XW1E-BV422MRH-EMO-Y□ 5,110 5,420 5,730 6,040 5,420 5,730 6,040 6,040 FBシリーズ樹脂製コントロールボックスの詳細については、01 565 頁をご覧ください。 ご購入 最新の製品情報はこちら (15/05/13) www.idec.com/jpja 239 停止用 非常停止用スイッチ HWシリーズ SEMI用EMO表示付 SEMIスイッチガードなし 配線引込器具 各種案内 FBシリーズ樹脂製コントロールボックス〔φ22HWシリーズSEMI用EMO表示付〕 メイン モニタ 接点 接点 (b接点)(a接点) コントロール ユニット 端子台 ボタン色は、 RH(ブライト系赤)のみです。文字色は白です。 スイッチの仕様、取扱いについては、φ22XWシリーズ( 205 頁)をご覧ください。 ● バリア・ 検出機器 接続箱 φ22 XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ ねじ端子形プッシュロック プルorターンリセットスイッチ 品名・外観 セーフティコンポ 資料編 コントロール ボックス ※ボタン色は赤 (R)、 文字色は白です。 ※スイッチの仕様、取扱いについては、HWシリーズ( 218 頁)をご覧ください。 ● 非常停止用 スイッチ イネーブル スイッチ ボタン色は、 RH(ブライト系赤)のみです。文字色は白です。 スイッチの仕様、取扱いについては、φ16XAシリーズ( 199 頁)をご覧ください。 ● セーフティ ライトカーテン SEMI緊急遮断用EMOスイッチ 外形寸法図 φ16 XAシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ 取付穴加工図 取付パネル厚0. 5∼3. 7 (単位:mm) φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ LOC K ロックナット ø 16 .2 +0 0 .2 ゴムワッシャ 端子カバー XA9Z-VL2 1接点 49.4(1・2接点時) 2接点 4接点 ø2 K 25 26.5 40 21 25.8 30.4 ロックレバー φ 21 30.4 2.1 29.4 32 LOC ロックナット 29.4 13 69.4(4接点時) ø4 0 9. 8 ロックナット 20.6 41.4 27.2 19.8 8.7 17.9 25 +0.2 1.7 0 26.5 ● ● +0.2 0 ● はんだづけ端子形 1接点 ● 49.4(1・2接点時) 2接点 4接点 φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ ● 取付穴加工図 ● .8m ø2 FBシリーズコントロールボックス φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ ax . +0.2 0 3.2 ボックスカバー取付ねじ +0 0 .4 4−M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm) 2−ボックス正面取付用穴 コントロールユニット ø14ノックアウト 21 41 □ 76 21 24.1+0.4 0 2.3 29.4 32 R0 0.5 13 69.4(4接点時) 32.2 0 32.2 ø4 21 ボックスカバー 2−ø21.3ノックアウト 37 59.5 ボックスベース ロックナット パネル厚0.8∼6 FBコントロールボックス ● φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ 35 ボックスカバー ボックスカバー 2-φ21.3ノックアウト ボックスベース 59.5 ボックスベース 18 59.5 .6 18 Ø4 2- .6 15.5 62 2-φ21.3ノックアウト 240 4-M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm) 2-ボックス正面取付用穴 φ14ノックアウト 21 41 21 41 21 コントロールユニット ボックスカバー取付ねじ ガード Ø4 2- 15.5 62 32 SEMIスイッチガード (HW9Z-KG3形) 4-M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm) 2-ボックス正面取付用穴 φ14ノックアウト □76 コントロールユニット □76 ボックスカバー取付ねじ FBコントロールボックス φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+ 21 ● 18 端子カバー XW9Z-VL2M .6 15.5 62 M3端子ねじ ゴムワッシャ 20.1 ø4 18.5 2- 47.2 48.7 ご購入 最新の製品情報はこちら www.idec.com/jpja (10/12/28) ロ SEMI緊急遮断用EMOスイッチ FBコントロールボックス ● ● φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+ SEMIスイッチガード (HW9Z-KG4形) FBシリーズコントロールボックス φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+ SEMIスイッチガード(HW9Z-KG3形) 非接触安全スイッチ 4−M4タッピングねじ用下穴(深さ: 10mm) 4-M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm) 2-ボックス正面取付用穴 φ14ノックアウト コントロールユニット ボックスカバー取付ねじ ガード 安全スイッチ・ セーフティプラグ コントロールユニット ボックスカバー取付ねじ 2−ボックス正面取付用穴 ガード(HW9Z-KG3) ø14ノックアウト セーフティ ライトカーテン 非常停止用 スイッチ 35 21 41 .6 ø4 35 2- 15.5 62 .6 Ø4 2- 15.5 62 59.5 2-φ21.3ノックアウト セーフティ モジュール 積層表示灯 セーフティコンポ 資料編 ボックスベース バリア・ 検出機器 18 ボックスベース ティーチング ペンダント カテゴリ別 制御回路例 ボックスカバー 3ノックアウト 2−ø21. ボックスカバー 59.5 21 76 □ 21 41 90 21 □76 イネーブル スイッチ 18 コントロール ボックス 表示器 ボックス ● 足踏スイッチ FBシリーズコントロールボックス φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+ SEMIスイッチガード(HW9Z-KG4形) 接続箱 コントロール ユニット 4−M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm) 配線引込器具 コントロールユニット 2−ボックス正面取付用穴 ボックスカバー取付ねじ ガード(HW9Z-KG4) ø14ノックアウト 端子台 21 41 90 76 □ 35 15.5 62 受注生産品・ 納入事例 .6 ø4 2- 21 コンビネーションスタータ・ 配線用遮断機 内圧防爆構造 防爆資料編 各種案内 ボックスカバー 2−ø21.3ノックアウト 59.5 ボックスベース 18 一覧 X6 XW HW XN HN コントロール ボックス SEMI対応 停止用 ご購入 最新の製品情報はこちら (10/12/28) www.idec.com/jpja 241 非常停止用スイッチ XA SEMI緊急遮断用EMOスイッチ 下記のスイッチガードと緊急遮断用スイッチとの組合わせはTÜVラインランドの適合確認を受けております。 SEMI S2適合確認済の組合わせ スイッチガード形番 対応機種 形番 および外観写真との対比 XA9Z-KG1 XA1E-BV4 **** -EMO(①)、XA1E-BV3(②)、XA1E-LV3(③)、XA1E-BV4(③)、XA1E-LV4(③) HW9Z-KG3 XW1E-BV4 **** -EMO(④)、XW1E-BV4(⑤)、XW1E-LV4(⑤)、XW1E-TV4(⑤)、HW1B-V3(⑥)、 HW1B-V4(⑦)、HW1B-X4(⑧)、HW1B-Y2(⑨) HW9Z-KG4 XW1E-BV4 **** -EMO(⑩)、XW1E-BV4(⑪)、XW1E-LV4(⑪)、XW1E-TV4(⑪)、XW1E-BV5(⑫) HW1B-V3(⑬)、HW1B-V4(⑭)、HW1E(⑮)、HW1B-X4(⑯)、HW1B-Y2(⑰) HW9Z-KG5 XW1E-BV4****-EMO(⑱)、XW1E-BV4(⑲)、XW1E-LV4(⑲)、XW1E-TV4(⑲)、XW1E-BV5(⑳)、HW1B-V3(㉑)、 HW1B-V4(㉒)、HW1E(㉓)、HW1B-X4(㉔)、HW1B-Y2(㉕) ※は下記写真をご覧ください。 XA9Z-KG1形 ● ● ● HW9Z-KG3形 ● HW9Z-KG4形 HW9Z-KG5形 ⑲ ⑳ ⑱ ● ご注意 スイッチガードは半導体製造装置専用のため、 工作機械、 食品機械等の機械装置向けの非常停止用スイッチには使用しないでください。 (欧州機械指令、IEC60204-1、JIS B9960-1等では、 非常停止用スイッチは容易に接近・操作できるように要求されており、 現状ではスイッチガードの使用は認められていません。) 半導体業界安全規格SEMIとの関連について SEMI規格とは、半導体製造装置やフラットパネルディスプレー装置および材料メーカーで構成された業界団体のガイドラインであり、半導体業界に おいては事実上国際標準に等しく扱われています。SEMI規格(S2 0706)12.1項では “装置には「緊急遮断回路」 (EMO回路:Emergency Off回路)を 設けるべきである。EMOアクチュエーター(ボタン)が作動すると、作業員や設備に対する新たな危険の発生を伴わずに、装置は安全状態に移行すべき である。” と記載されています。これは溶剤や薬剤などの使用も多くその中には危険なものや有害物質なども含まれているため、処理用動力など止めて しまうと二次的な危険状態が生じる問題があるためと思われます。そのためSEMI規格では動力も含めたエネルギー供給を遮断させる通常の非常停止 スイッチとは別に、危険状態を作り出した負荷部分だけを遮断し、他の安全関連装置(煙探知機、漏洩ガス/水探知機、圧力測定装置等)の働きを維持 させる緊急遮断スイッチを設けることが必要とされています。 緊急遮断スイッチは誤操作の恐れがある場合にはガードを設けており、直接開路動作を有したスイッチで、ボタンの色は赤色、バックグランドは黄色で 操作部かバックグランドにEMOの表記が要求されています。 緊急遮断用( EMO )スイッチを半導体製造装置に取付けの際は、838mm ( 33in. )∼ 1,638mm( 64.5in. )の高さの範囲内に取り付けてください。 ( SEMI S8-0705 ) ● SEMI 規格では作業位置から3m以内にEMO スイッチを設けることが必要 ( SEMI S2-0706 12.5.2 ) です。 ● (EMO) 242 3m以内 (人) 図 3m以内 244 最大取付高さ 1638mm 最小取付高さ 838mm (EMO) ご購入 最新の製品情報はこちら www.idec.com/jpja (10/12/28) SEMI緊急遮断用EMOスイッチ SEMI S2適合スイッチ/スイッチガード 安全スイッチ・ セーフティプラグ シリーズ 種類[形番・標準価格] 品名・外観 販売単位:1個 形番 (ご注文形番) 標準価格 (税別・円) 適合スイッチ φ φ16緊急遮断用 スイッチガード XAシリーズ 16 XA9Z-KG1 1,030 XA1E-BV3 XA1E-BV4 XA1E-LV3 XA1E-LV4 非接触安全スイッチ セーフティ ライトカーテン 備考 ・SEMI S2適合 (当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド の適合確認を受けております) 非常停止用 スイッチ イネーブル スイッチ ティーチング ペンダント セーフティ モジュール 積層表示灯 φ22緊急遮断用 スイッチガード HW9Z-KG1 1,030 φ22緊急遮断用 スイッチガード HW9Z-KG2 1,030 φ22緊急遮断用 スイッチガード 1,030 22 φ22緊急遮断用 スイッチガード HW9Z-KG4※ 1,030 φ22緊急遮断用 スイッチガード HW9Z-KG5※ 1,030 ・SEMI S 2-0703 12.5.1項準拠品 ・国内で従来からあるサイズとして、多くの使用実績あり。 XW1E-BV4 XW1E-LV4 XW1E-TV4 HW1B-V3 HW1B-V4 HW1B-X4 HW1B-Y2 HW1E-BV4 HW1E-LV4 ・SEMI S2-0703 12.5.1項準拠品 ・SEMATECH Application Guide for SEMI S2-93 12.4項準拠品 ・円形のため全周囲からの誤動作防止に効果的。 XW1E-BV4 XW1E-LV4 XW1E-TV4 HW1B-V3 HW1B-V4 HW1B-X4 HW1B-Y2 XW1E-BV4 XW1E-BV5 XW1E-LV4 XW1E-TV4 HW1B-V3 HW1B-V4 HW1B-X4 HW1B-Y2 HW1E-BV4 HW1E-LV4 XW1E-BV4 XW1E-LV4 XW1E-TV4 XW1E-BV5 HW1B-V3 HW1B-V4 HW1B-X4 XW1B-Y2 HW1E-BV4 HW1E-LV4 カテゴリ別 制御回路例 セーフティコンポ 資料編 バリア・ 検出機器 コントロール ボックス 表示器 ボックス 足踏スイッチ 接続箱 コントロール ユニット 配線引込器具 端子台 ・SEMI S2適合 (当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド の適合確認を受けております) ・φ22用スイッチガードで最も小形なサイズです。 ・FBボックスに取付け可能。 最新の製品情報はこちら www.idec.com/jpja 内圧防爆構造 各種案内 ・SEMI S2適合 (当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド の適合確認を受けております) ・SEMATECH Application Guide for SEMI S2-93 12.4項準拠品 ・HW9Z-KG5形より幅が狭く省スペース。 ・FBボックスに取付け可能。 ・白色も用意。 一覧 X6 XA XW HW XN ・SEMI S2適合 (当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド の適合確認を受けております) ・SEMATECH Application Guide for SEMI S2-93 12.4項準拠品 ・内側に銘板取付け可能。 ・白色も用意。 ・材質:ポリアミド樹脂(PA6) 、保護構造:IP65(IEC 60529) ご購入 受注生産品・ 納入事例 防爆資料編 ・※(色記号) :無指定(黄:マンセル記号 2.5Y8/10近似) 、-W(白:マンセル記号 N9.5) (10/12/28) コンビネーションスタータ・ 配線用遮断機 図 244 ア 245 243 HN コントロール ボックス SEMI対応 停止用 非常停止用スイッチ φ HW シリーズ・XWシリーズ HW9Z-KG3 XW1E-BV4 XW1E-LV4 XW1E-TV4 HW1B-V3 HW1B-V4 HW1B-X4 HW1B-Y2 HW1E-BV4 HW1E-LV4 SEMI緊急遮断用EMOスイッチ SEMI S2適合スイッチ/スイッチガード 外形寸法図 (単位:mm) XA9Z-KG1形 ● ● HW9Z-KG1形 36.5 2 2. 47 ø2 64 2 ø2 23.1 19.1 HW9Z-KG2形 ● 38 22 ø1 ø90 ø76.1 ø80 32 ø66.8 ø57 36 ø51 6 42 HW9Z-KG3形 ● 35 25 25 76 40 33 ø90 67 ø74 52 42 36.2 34.4 27 22 ø2 2 2 ø66 HW9Z-KG5形 ● 35 φ ø2 HW9Z-KG4形 ø76 ● T=2. 0 T=2. 0 φ90 T=1. 5 75 50 T=2. 0 T=2. 0 T=1.5 取付パネル厚:1.2∼4.0 (HWAV形銘板併用時:1.2∼2.6) ● (単位:mm) +0.2 φ16 .8 R0 +0.4 6.2 φ22 . x Ma +0 .2 0 24.1 0 φ1 ● +0.2 *1.7 0 +0.2 17.9 0 ● *3.2 0 .4 +0 0 .3 2 φ2 パネルカット パネルカット A部 A部 +0. 2 0. 2 *印3. 2 穴は回り止め用です。 回り止めを使用しない時は不要。 0 + *印1. 7 穴は回り止め用です。 回り止めを使用しない時は不要。 0 回り止めが不要な場合、 または回り止めなしのパネルカットの場合は、緊急遮断用スイッチガードのA部をラジオペンチなどで折ってご使用ください。 "TOP"マーク側 "TOP"マーク側 "TOP"マーク側 "TOP"マーク側 ロックナット ロックナット 注)適合するスイッチとガードとの高さは右図のように3mm以下となります。 操作部 操作部 取付パネル厚:1∼2.2 取付パネル厚:1.2∼4 以下 トの締め付けには、別売の専用工具(形番:MW9Z-T1)を使用し、 ロックナットの締め付けには、別売の専用工具(形番:MT-001)を使用し、3mmロックナッ 推奨締付トルク0.88N・mで取り付けください。 推奨締付トルク2. 0N・mで取り付けください。 ・ご注文形番:HW9Z-EMO-NPP ・標準価格(税別) :825円( 10枚入) ・色:黄(文字色:赤) 244 ア 245 20 50 EMO ご購入 最新の製品情報はこちら www.idec.com/jpja (10/12/28) 17. 2.3 φ2 0 パネルカット パネルカット A部 A部 SEMI緊急遮断用EMOスイッチ +0. 2 0. 2 *印3. 2 穴は回り止め用です。 回り止めを使用しない時は不要。 0 + *印1. 7 穴は回り止め用です。 回り止めを使用しない時は不要。 0 回り止めが不要な場合、 または回り止めなしのパネルカットの場合は、緊急遮断用スイッチガードのA部をラジオペンチなどで折ってご使用ください。 "TOP"マーク側 ● φ16 "TOP"マーク側 安全スイッチ・ セーフティプラグ "TOP"マーク側 ロックナット ● φ22 "TOP"マーク側 ロックナット 非接触安全スイッチ セーフティ ライトカーテン 操作部 非常停止用 スイッチ 操作部 取付パネル厚:1∼2.2 イネーブル スイッチ 取付パネル厚:1.2∼4 ロックナットの締め付けには、別売の専用工具(形番:MT-001)を使用し、 推奨締付トルク0.88N・mで取り付けください。 ロックナットの締め付けには、別売の専用工具(形番:MW9Z-T1)を使用し、 推奨締付トルク2. 0N・mで取り付けください。 ティーチング ペンダント セーフティ モジュール ● 積層表示灯 EMOシール カテゴリ別 制御回路例 セーフティコンポ 資料編 ・ご注文形番:HW9Z-EMO-NPP ・標準価格(税別) :825円( 10枚入) ・色:黄(文字色:赤) バリア・ 検出機器 コントロール ボックス 20 50 表示器 ボックス EMO 足踏スイッチ 接続箱 コントロール ユニット 銘板(φ22非常停止用押ボタンスイッチ銘板) 品名 文字仕様 配線引込器具 形番(ご注文形番) 標準価格(税別・円) 備考 端子台 EMERGENCY OFF HWAV-74-Y 206 E O FF CY 大形(φ40)ボタン用銘板 EM ・地色:黄、文字:黒 ・取付パネル厚:0.8∼4.5mm ・材質:ポリアミド樹脂 RGEN コンビネーションスタータ・ 配線用遮断機 受注生産品・ 納入事例 φ60 内圧防爆構造 φ2 2 1.5 防爆資料編 1.0 各種案内 一覧 X6 XW HW XN HN コントロール ボックス SEMI対応 停止用 ご購入 最新の製品情報はこちら (10/12/28) www.idec.com/jpja 図 244 245 非常停止用スイッチ XA