薄型FFU（ファン・フィルタ・ユニット）

F-Stage 外形寸法図
◆F-Stage40・50・61
◆F-Stage122
A
◆開口寸法
A
Y
50
B
B
X
50
25
25
（115） 75
（115） 75
（40）
4-φ7
35
35
局所クリーン化・装置対応用
薄型ＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）
（40）
注）F-Stage40は、ｺﾝﾄﾛｰﾗBOXが別置となります。
富士クリーンルーム機器
A
B
X
Y
F-Stage40
400
400
370
370
F-Stage50
500
500
470
470
F-Stage61 F-Stage122
610
1220
610
610
580
580
580
1190
F-Stage
シリーズ
F-Stage 標準装備品
① 本体
② フィルタ
③ プレフィルタ
④ 取付金具
⑤ 本体～ｺﾝﾄﾛｰﾗBOX間接続ｹｰﾌﾞﾙ 2m 【F-Stage40のみ】
F-Stage オプション
① 差圧計・チューブ（3m）・ピトー管
② 異常表示ランプ
③ ＣＥマーキング対応 【F-Stage61・F-Stage122】
④ 本体～ｺﾝﾄﾛｰﾗBOX間延長ｹｰﾌﾞﾙ 4m 【F-Stage40のみ】
※本体～ｺﾝﾄﾛｰﾗBOX間のｹｰﾌﾞﾙは、全長で6m以内としてください。
インターネットで、富士電機クリーンルームのホームページにアクセスしてみませんか。
http://www.fesys.co.jp/sougou/seihin/CleanRoom/index.html
！ 安全に関するご注意
*ご使用の前に、「取扱説明書」や「仕様書」などをよくお読みいただくか、当社またはお買い上げの販売店にご相談のうえ、正しくお使いください。
*取扱いは当該分野の専門技術を有する人が行ってください。
富士電機システムズ株式会社
第一営業本部 第三統括部営 業第一部
TEL. 03-5435-7012
FAX. 03-5435-7415
西日本支社 Ａプロジェクト推進部
TEL. 06-6455-9841
FAX. 06-6455-7190
中部支社 第一営業部
TEL. 052-231-8506
FAX. 052-231-2205
本資料の内容は製品改良などのために変更することがありますのでご了承ください。
富士電機システムズ株式会社
K604-3a
F-Stage 標準仕様表
（）内はHEPA（t=40mm）の場合
外観
クリーンルームシステムにおける豊富な実績と確かな技術が、富士クリー
ンルーム機器の随所に生かされています。
富士電機システムズは、お客様のクリーン化に関するあらゆる課題の解決
をお手伝いできます。
プロセスに直結するパーティクル対策、気流制御、温度制御、ケミカル汚染対策
気流シミュレーション・気流可視化などの充実したエンジニアリングツール
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品名
F-Stage40
F-Stage50
F-Stage61
F-Stage122
A01D□4□□□□0-0 A11D□5□□□□0-0 A21D□6□□□□0-0 A3１D□1□□□□0-0
型式 （WLF-）
寸法 【mm】
Ａ
400
500
610
1220
Ｂ
400
500
610
610
H
75
電源
1φ200V／3φ200V
電動機
DCﾌﾞﾗｽﾚｽﾓｰﾀ
3
3.8（2.7）
6.3（4.4）
9.4（6.6）
15.1（12.2）
風量
【m /min】
風速
【m/s】
0.5（0.35）
0.5（0.35）
0.5（0.35）
0.37（0.3）
本体材質
ZAM／SUS430
速度制御方式
ボリューム（0～100％）
騒音
【ｄB（A)】
52（51）
51（50）
53（49）
54（54）
消費電力 【W】
38（31）
44（38）
65（45）
73（77）
質量（ﾌｨﾙﾀ含む） 【kg】
8.5
9.6
11.6
16.5
環境規制
RoHS対応
フィルタ
HEPA（t＝40mm／50mm） 99.99％（0.3μm）
ULPA（t＝50mm） 99.999％（0.1μm）
最近のクリーンルームにおいては、製造コスト削減、省エネルギーの要求から、従来の部屋全体クリーン化から局
所的なクリーン化が主流となってきています。
製造装置、搬送装置などに搭載されるファン・フィルタ・ユニットにも薄型、コンパクト、高機能が求められています。
F-Stageシリーズは、局所クリーン化・装置対応型の超薄型ファン・フィルタ・ユニットとして、これらのご要望にお応
えします。
※1
※2
※3
※4
※5
風量は、機外静圧 0Pa の場合の目安です。
騒音値は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧0Pa、ﾌｨﾙﾀ直下1.5mでの値です。
消費電力は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧0Pa、3Φ200V電源の場合の値です。
F-Stage40は、ｺﾝﾄﾛｰﾗBOXが別置となります。（標準付属ｹｰﾌﾞﾙ 2m）
吸込み側が一般大気等の場合には、塵埃保持量の大きなt=50mmのﾌｨﾙﾀｰを選定してください。
F-Stage の特長
●超薄型115mm （最小） 新開発HEPAフィルタ（厚み40mm）と組合せた場合
F-Stage 仕様表（CE対応）・・オプション
●更なる省エネを実現 最大機種で約34％の省エネルギー。（当社F-Cubeとの比較）
●低騒音化の実現 最大機種で約10ｄB低下。（当社F-Cubeとの比較）
●RoHS指令標準対応
品名
※中国向けの場合はご指定ください。
型式 （WLF-）
●CEマーキング対応可能 （オプション対応）
F-Stage50
F-Stage 型式の見方
ＷＬＦ A2 1 D H 6 １ １ 0 0 0 - 0
本体ｻｲｽﾞ
本体ｻｲｽﾞ
A0
A1
A2
A3
：
：
：
：
400×400×75
500×500×75
610×610×75
1220×610×75
製品改定番号
製品改定番号
ＣＥ対応
ＣＥ対応
電源
電源
0 ： 無し
1 ： 有り
1 ： AC 200V
差圧計ｾｯﾄ
差圧計ｾｯﾄ
ﾓｰﾀ種別
ﾓｰﾀ種別
異常ﾗﾝﾌﾟ
異常ﾗﾝﾌﾟ
D ： DCﾌﾞﾗｼﾚｽﾓｰﾀ
0 ： 無し
1 ： 有り
0 ： 無し
1 ： 有り
ﾌｨﾙﾀ種別
ﾌｨﾙﾀ種別
H ： HEPAﾌｨﾙﾀ
U ： ULPAﾌｨﾙﾀ
ｹｰｼﾝｸﾞ材質
ｹｰｼﾝｸﾞ材質
ﾌｨﾙﾀｻｲｽﾞ
ﾌｨﾙﾀｻｲｽﾞ
4
5
6
1
：
：
：
：
400×400
500×500
610×610
1220×610
ﾌｨﾙﾀ厚さ
ﾌｨﾙﾀ厚さ
1 ： 40mm
2 ： 50mm
（）内はHEPA（t=40mm）の場合
F-Stage61
F-Stage122
（CE）
（CE)
1 ： ZAM
2 ： SUS430
※ﾌｨﾙﾀ厚さ 40mmはHEPAﾌｨﾙﾀのみ
寸法
Ａ
Ｂ
H
電源
電動機
風量（最大） 【m3/min】
風速（最大） 【m/s】
速度制御方式
騒音
【ｄB（A)】
消費電力 【W】
質量
【kg】
本体材質
環境規制
CEマーキング
フィルタ
※1
※2
※3
※4
A21DU61□□□1-0
A3１DＵ11□□□1-0
610
610
1220
610
75
3φ200V
DCﾌﾞﾗｽﾚｽﾓｰﾀ
9.4（6.6）
15.1（12.2）
0.5（0.35）
0.37（0.3）
ボリューム（0～100％）
53（49）
54（54）
65（45）
77（73）
11.6
16.5
ZAM／SUS430
RoHS対応
CE対応
HEPA（t＝40mm／50mm） 99.99％（0.3μm）
ULPA（t＝50mm） 99.999％ （0.1μm）
F-Stage61（CE)
F-Stage122（CE)
風量は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧 0Pa の場合の目安です。
騒音値は、HEPAﾌｨﾙﾀ、機外静圧0Pa、ﾌｨﾙﾀ直下1.5mでの値です。
消費電力は、機外静圧0Pa、3Φ200V電源の場合の値です。
吸込み側が一般大気等の場合には、塵埃保持量の大きなt=50mmのﾌｨﾙﾀｰを選定してください。