『運用変更』 清浄度が保てる最 小風量になるよう に調整しましょ う

空調・熱搬送設備
清浄度が保てる最
小風量になるよう
に調整しましょ
う。
クリーンルーム循環風量の変更
『運用変更』
対 策 例
外気導入量の制御
差圧制御装置
差圧計
クリーンルーム内の
清浄度を保てるような
最小風量となるよう
に、ファンの回転数を
調整することにより、
消費電力の削減を図り
ます。
自動排気
差圧ダンパー
クリーンルーム
循環風量
制御ダンパー
クリーン度を維持し、
室内を正圧に保つ
ための小型送風機
外気導入
制御ダンパー
インバータファン
過剰な循環風量の抑制
超高性能エアフィルタ
省エネ対策のポイント
・クリーンルームの場合、クリーン度を確保しながら、室内を正圧に保つ必要が
あるため、適正な外気導入量を行うことが必要です。
参考資料
クリーンルームの清浄度について
・一般的に、クリーンルームの清浄度は、単位体積中の基準の大きさ以上の
塵埃（微粒子）の数量で、清浄度クラスとしてクラス分けされています。
この数量が小さいほどゴミがない空間であり、大きいほど一般環境に近い
空間になります。
・清浄度を示す規格については、これまで「米国連邦規格Fed.Std.209E」が
使われていましたが、2001年に廃止され、現在は、国際統一規格であるISO
規格に移行されています。
ＩＳＯ清浄度クラス分類表
清浄度
クラス
056-O
上限濃度(個/m³)は、以下に示す対象粒径以上の粒子濃度を表している
0.1μm
0.2μm
米国連邦規格
基準相当値
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
－
－
－
－
－
－
－
－
ISO
クラス 1
10
2
ISO
クラス 2
100
24
10
4
ISO
クラス 3
1,000
237
102
35
8
－
クラス1
ISO
クラス 4
10,000
2,370
1,020
352
83
－
クラス10
ISO
クラス 5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
クラス100
ISO
1,000,000
クラス 6
237,000
102,000
35,200
8,320
293
クラス1,000
2,930
クラス10,000
ISO
クラス 7
－
－
－
352,000
83,200
ISO
クラス 8
－
－
－
3,520,000
832,000
ISO
クラス 9
－
－
－
－
8,320,000
29,300 クラス100,000
293,000
－