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多段エジェクタ
ZL112・212 Series
省エネルギー、大流量の3段ディフューザ構造
ZA
ZX
(当社比:ノズル径ø1.3、
1段ノズルタイプでの比較)
能
真空圧力
1段性
3段ディフューザ構造で
吸込流量250%向上、
空気消費流量20%削減
Q1 Q2
Q2
Q1
ZR
Q3
Q3
2段性
能
3段性能
250%の吸込流量増加
吸込流量
l/min(ANR)
空気消費流量
l/min(ANR)
100
200
63
126
ZL112
吸込流量
ZL212
ZL212 Series
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ディフューザを上下に重ねて一体化。
コンパクト、大流量を実現
ZL
ZY□
(ZL112の2倍の流量)
ZF□
ZP□
破壊弁
破壊流量
調整ニードル
供給弁
SP
排気口
ワンタッチ管継手付
ZCUK
サイレンサ内蔵
配管作業が容易(ZL112のみ)
AMJ
真空圧力検出部
AMV
真空用デジタル圧力スイッチ付
SMC PRESSURE SWITCH
SMC PRESSURE SWITCH
AEP
SMC PRESSURE SWITCH
ポート排気
HEP
UNIT
RESET SET
RESET
RESET
SET
SET
LCD表示/ZSE4
バックライト付 LED表示/ZSE4E
LCD表示/ZSE4B
真空用
アダプタ付
真空用
圧力ゲージ付
関連
機器
■シリーズバリエーション
シリーズ
排気ポート
バルブ付
最大吸込流量 空気消費量
l/min(ANR) l/min(ANR) サイレンサ内蔵 ポート排気 供給弁・破壊弁付 供給弁付
ZL112
100
63
ZL212
200
126
真空圧力検出部オプション
真空用デジタル圧力スイッチ
ZSE4E
ZSE4B
ZSE4
真空用
真空用
圧力ゲージ アダプタ
1067
多段エジェクタ
ZL112
Series
型式表示方法
ZL1 12
ZL1 12
バルブなし
バルブ付
K1 5 M Z
E 25
ノズル径
1.2mm
12
リード線長さ
無記号
排気仕様
L
無記号 サイレンサ内蔵
ポート排気
P
単位仕様
無記号
排気ポート(EXH)
ねじ仕様
(ポート排気のみ)
注3)
ネジ山形状はGネジの規格
(JIS B0203)
に準拠してお
りますが、
その他の形状に
ついてはISO16030およ
びISO1179に準拠してお
りません。
無記号
F
N
T
M
真空用デジタル圧力スイッチ仕様
供給弁・破壊弁付
供給弁付
E
(ZSE4)
EB
(ZSE4B)
の場合
リード線長さ0.5(2.9)m
25 NPN出力
26 アナログ出力 リード線長さ0.5(2.9)m
リード線長さ0.5(2.9)m
65 PNP出力
EE
(ZSE4E)
の場合
リード線長さ0.5(2.9)m
27 NPN出力
26 アナログ出力 リード線長さ0.5(2.9)m
リード線長さ0.5(2.9)m
67 PNP出力
※無記号、真空用アダプタ(GN)、真空用圧
力ゲージ(G)の場合は不要です。
リード線取出し方法
リード線長さ0.3m
リード線長さ0.6m
リード線長さ0.3m
L型プラグ
リード線なし
コネクタ
コネクタなし
リード線長さ0.3m
M型プラグ
リード線なし
コネクタ
コネクタなし
グロメット
真空圧力検出部
ランプ・サージ電圧保護回路
無記号 ランプ・サージ電圧保護回路なし
サージ電圧保護回路付
S
ランプ・サージ電圧保護回路付
Z
ランプ・サージ電圧保護回路付(無極性タイプ)
U
※“U”タイプはDC24V、12Vのみです。
※ ACの場合、整流器でサージ電圧の発生を防止している
ので“S”タイプはありません。
マニュアル
無記号 ノンロックプッシュ式
プッシュターンロック式ドライバ操作形
D
1068
注2)SI単位固定
供給弁・破壊弁の組合せ
定格電圧
G
H
L
LN
LO
M
MN
MO
注1)単位切換機能付
注1)単位切換機能付は新計量法実施
(99年10月)以降、日本国内で使用
するためには販売することはでき
ません。
注2)固定単位:kPa
Rc1/2
G1/2 注3)
1/2-14NPT
1/2-14NPTF
K1
K2
DC仕様
5 24V
6 12V
6V
V
5V
S
3V
R
AC仕様(50/60Hz)
1 100V
2 200V
3 110V〔115V〕
4 220V〔230V〕
0.5m
2.9m
無記号 なし
GN 真空用アダプタ Rc1/8
真空用圧力ゲージ付
G
真空用デジタル圧力スイッチ付
E
EB 真空用デジタル圧力スイッチ付
EE 真空用デジタル圧力スイッチ付
ZSE4
ZSE4B
ZSE4E
多段エジェクタ
ZL112 Series
エジェクタ仕様
標準
ZL112
型式
ノズル径
バルブ付
最大吸込流量
空気消費量
1.2mm
100l/min
(ANR)
63l/min
(ANR)
最高真空圧力
最高使用圧力
−84kPa
0.7MPa
供給圧力範囲
標準供給圧力
0.2∼0.5MPa
0.4MPa
使用温度範囲
5∼50℃
ZA
ZX
ZR
供給弁・破壊弁仕様
ZM
SYJ514-□□□-S
品番
弁の切換方式
N.C
使用流体
空気
使用圧力範囲
内部パイロット形
周囲温度および使用流体温度
注1)応答時間
ZQ
0.2∼0.5MPa
5∼50℃
ZH
25ms以下
(0.5MPa時)
ZU
5Hz
最大作動頻度
ノンロックプッシュ式、プッシュターンロック式ドライバ操作形
手動操作
真空用圧力ゲージ付
ZMA
パイロット弁個別排気形、主弁・パイロット弁集合排気形
パイロット排気方式
不要
給油
ZY□
自由
取付姿勢
150/30m/s2
注2)耐衝撃/耐振動
ZF□
防塵
保護構造
注1)JIS B8374-1981の動的性能試験による。
(コイル温度20℃、定格電圧時、サージ電圧保護回路
なしの場合)
注2)耐衝撃:落下式衝撃試験機で主弁・可動鉄心の軸方向および直角方向、通電および非通電の
各条件でそれぞれ1回試験したとき誤動作なし。
(初期における値)
耐振動:45∼2000Hz 1掃引、主弁・可動鉄心の軸方向および直角方向、通電および非通
電の各条件で試験したとき誤動作なし。
(初期における値)
注3)バルブの詳細につきましては、Best Pneumatics No.qをご参照ください。
アダプタ
ZL
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
オプション仕様
AMV
真空用圧力ゲージ仕様
空気
−100∼100kPa
230゜
精度
クラス
使用温度範囲
関連
機器
ケース:ポリカーボネート/ABS樹脂
質量表
表示記号
標準
ZL112
(基本)
ポート排気仕様
圧力スイッチ仕様
バルブ仕様(1ヶ当り)
P
HEP
±3%F.S.(フルスパン)
3級
0∼50℃
材質
ポート排気
AEP
GZ30S
品番
使用流体
圧力レンジ
目盛角度
450g
+110g
+110g
+45g
V
1069
ZL112 Series
オプション仕様
真空用デジタル圧力スイッチ付
(ZSE4)
真空用デジタル圧力スイッチ仕様
品番
表示
ZSE4-00-□□-□-X105 ZSE4B-00-□□-□-X105 ZSE4E-00-□□-□-X105
LCD
−101∼0kPa
圧力設定範囲
最高使用圧力
LED
バックライト付LCD
−101∼10kPa
200kPa
OUT1:緑
OUT2:赤
緑
動作表示灯(ON時点灯)
200Hz
(5ms)
応答周波数
ヒステリシスモード
応差
ウィンドコンパレータモード
可変(3digit以上)
固定(3digit)
使用流体
空気、非腐食性ガス
温度特性
±3%F.S.以下
±1%F.S.以下
繰り返し精度
DC12∼24V(リップル±10%以下)
使用電圧
25mA以下
消費電流
45mA以下
−26、−27:50mA以下
−67:60mA以下
31/2桁(文字高8mm)
圧力表示
自己診断機能
可変(0から設定可)
(注1過電流)、過圧力、データエラー、0クリア時の圧力の有無
0∼50℃(結露しないこと)
使用温度範囲
500Vp-p パルス幅1
耐ノイズ
S 立上がり1nS
50/60Hz1分間
耐電圧
外部端子一括とケース間 AC1000V
絶縁抵抗
外部端子一括とケース間2MΩ(DC500Vメガ計にて)
耐振動
10∼500Hz振幅1.5mmまたは加速度10Gいずれか小さい方にてX、Y、Z方向各2時間
耐衝撃
100G X、Y、Z方向 各3回
注1)アナログ出力タイプにはありません。
出力仕様
ZSE4
ZSE4B
ZSE4E
1070
−25(L)
1出力 NPNオープンコレクタ30V、80mA以下
−26(L)
アナログ出力(1∼5V)
−65(L)
1出力 PNPオープンコレクタ80mA以下
−26(L)
アナログ出力(1∼5V)
−27(L)
2出力 NPNオープンコレクタ30V、80mA以下
−67(L)
2出力 PNPオープンコレクタ80mA以下
多段エジェクタ
ZL112 Series
構造図
!1
バルブなし
q
t
o
i
ZA
w
e
ZX
!0
ZR
ZM
r
y
バルブ付
ZMA
u
ZQ
!4
ZH
ZU
ZL
!6
!5
ZY□
ZF□
ZP□
SP
!3
!2
ZCUK
構成部品
番号
部品名
1
サクションカバー
2
フロントカバー
3
エンドカバー
4
ボディ
5
真空検出ユニット
6
ノズル
7
デイフュザー
8
AMJ
交換部品
部品品番
備考
バルブなし
番号
部品名
材質
PVF
9
吸音材B
10
吸音材A
PVF
11
サクションフィルタ
PE
AMV
部品品番
ZL112-SP01
(9、10、
11セット品番)
AEP
HEP
関連
機器
止め栓
真空スイッチ以外
リード線カバー
真空スイッチ仕様
12
フロントカバーB
バルブ付
13
バルブプレート
バルブ付
14
ニードル
15
供給弁(N.C)
SYJ514-□□□-S
バルブ付
16
破壊弁(N.C)
SYJ514-□□□-S
バルブ付
バルブ付
1071
ZL112 Series
外形寸法図/ZL112(バルブなし)シリーズ
50
2×ø5.4
取付穴
117
銘板
排気口
P
20
標準
V
ZL112
166
4.5
56
排気ポート(EXH.)
Rc1/2
35
(1/2-14NPTF,
G1/2
1/2-14NPT)
P
ポート排気
V
ZL112P
14
真空用圧力ゲージ
排気口
2×ø5.4
取付穴
排気口
2×ø5.4
取付穴
P
真空用圧力ゲージ付
V
ZL112-G
真空用アダプタRc1/8
7
P
真空用アダプタ付
V
ZL112-GN
61
真空用圧力スイッチ
真空用デジタル
圧力スイッチ付
2×ø5.4
取付穴
排気口
P
V
ZL112-E
500
(オプションL:2900)
空気圧供給ポート(P)
適用チューブ外径6
A部
真空ポート(V)
適用チューブ外径12
2×ø5.4
取付穴
銘板
59.5
EJECTOR
30
8.5
56
166
175
36
4.5
A部/真空用デジタル圧力スイッチ付の場合
ZL112-EB
(ZSE4B)
ZL112-EE
(ZSE4E)
(1.6)
28
ZL112-E
(ZSE4)
4×M4
ネジ深サ8(取付用)
85
1072
59
(2)
59
MULTISTAGE
多段エジェクタ
ZL112 Series
外形寸法図/ZL112(バルブ付)シリーズ
供給弁、破壊弁付
ZL112-K1□L□□-E25(L)-M
50
マニュアル
P
2×ø5.4
取付穴
117
排気口
10
13.5
破壊弁
ZA
P
マニュアル
10
SET
RESET
供給弁
19
V
SMCPRESSURE SWITCH
V
166
4.5
空気圧供給ポート(P) 真空ポート(V)
適用チューブ外径6 適用チューブ外径12
破壊流量調整ニードル
ZR
回路図
2×ø5.4
取付穴
ZM
500
(オプションL:2900)
ZMA
-+
銘板
-+
21.5
ZQ
59.5
MULTISTAGE
EJECTOR
66.5
35.7
ZX
ZH
4.5
216
36
8.5
ZU
166
17
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
59
85
SP
4×M4×0.7
ネジ深サ8(取付用)
供給弁付
ZCUK
ZL112-K2□L□□-E25(L)-M
AMJ
P
AMV
ブランキングプレートAss'y
(SYJ500-10-3A)
供給弁
SET
V
AEP
HEP
RESET
V
SMCPRESSURE SWITCH
P
関連
機器
回路図
-+
MULTISTAGE
EJECTOR
1073
多段エジェクタ
ZL212
Series
標準
型式表示方法
ZL2 12
リード線長さ
ノズル径
12
真空用圧力ゲージ付
無記号
1.2mm
L
0.5m
2.9m
排気仕様
単位仕様
無記号 サイレンサ内蔵
ポート排気
P
無記号
M
注1)単位切換機能付
注2)SI単位固定
注1)単位切換機能付は新計量法実施
(99年10月)以降、日本国内で使用
するためには販売することはでき
ません。
注2)固定単位:kPa
真空圧力検出部
無記号 なし
アダプタRc1/8
GN
真空用圧力ゲージ付
G
真空用デジタル圧力スイッチ付
E
真空用デジタル圧力スイッチ付
EB
真空用デジタル圧力スイッチ付
EE
真空用デジタル圧力スイッチ付
アダプタ付
ZSE4
ZSE4B
ZSE4E
真空用デジタル圧力スイッチ仕様
E
(ZSE4)
EB
(ZSE4B)
の場合
リード線長さ0.5(2.9)m
25 NPN出力
26 アナログ出力 リード線長さ0.5(2.9)m
リード線長さ0.5(2.9)m
65 PNP出力
EE
(ZSE4E)
の場合
リード線長さ0.5(2.9)m
27 NPN出力
26 アナログ出力 リード線長さ0.5(2.9)m
リード線長さ0.5(2.9)m
67 PNP出力
※無記号、真空用アダプタ(GN)、真空用圧力
ゲージ付(G)の場合は不要です。
エジェクタ仕様
ZL212
型式
ノズル径
1.2mm×2
最大吸込流量
空気消費量
最高真空圧力
ポート排気
200l/min
(ANR)
126l/min
(ANR)
最高使用圧力
−84kPa
0.7MPa
供給圧力範囲
標準供給圧力
使用温度範囲
0.2∼0.5MPa
0.4MPa
5∼50℃
表示記号
標準
質量表
ZL212
P
Ordeer オーダーメイド仕様
Mad
(詳細→P.1077をご参照ください。)
1074
V
700g
+300g
+110g
バルブ仕様(1ヶ当り) +45g
ポート排気仕様
圧力スイッチ仕様
多段エジェクタ
ZL212 Series
構造図
t
q
i
ZA
ZX
w
!0
ZR
o
ZM
ZMA
ZQ
ZH
y
r
e
u
ZU
ZL
ZY□
構成部品
番号
交換部品
部品名
備考
サクションカバー
9
2
フロントカバーA
10
3
エンドプレート
4
ボディ
5
真空検出ユニット
6
ノズル
7
デイフュザー
8
吸音材A
部品名
材質
PVF
P397114
吸音材
PVF
P397230
番号
1
ZF□
部品品番
ZP□
SP
ZCUK
止め栓
真空スイッチ以外
リード線カバー
真空スイッチ仕様
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
1075
ZL212 Series
外形寸法図/ZL212シリーズ
空気圧供給ポート(P)
Rc1/8
真空ポート(V)
Rc3/4
排気口
76
P
40
標準
ZL212
V
54
125
銘板
188
61
P
ポート排気
V
ZL212P
真空用圧力ゲージ
排気口
排気ポート(EXH.) Rc1
25
P
真空用圧力ゲージ付
V
ZL212-G
真空用アダプタRc1/8
排気口
7
P
真空用アダプタ付
V
ZL212-GN
真空用圧力スイッチ
真空用デジタル圧力
スイッチ付
排気口
P
V
ZL212-E
500
(オプションL:2900)
A部
2×ø4.4
取付穴
MULTISTAGE
8
52
76
EJECTOR
5
(40)
178.5
4.5
A部/真空用デジタル圧力スイッチ付の場合
4×M5×0.8
ネジ深サ6(取付用)
73
1076
87
(2)
ZL212-EB
(ZSE4B)
ZL212-EE
(ZSE4E)
(1.6)
27
ZL212-E
(ZSE4)
ZL Series
オーダーメイド仕様
Ordeer
Mad
詳しい仕様・寸法および納期については、お問い合わせください。
1 供給弁、破壊弁付
ZL212 バルブ 電圧 リード線取り出し
真空圧力スイッチ リード線取り出し
X132
ZA
ZX
供給弁・破壊弁付
ZR
ZL212タイプの供給弁、破壊弁付。
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
外形寸法図
ZP□
ZCUK
SET
V
SET
P
破壊弁
SMC PRESSURE SWITCH
SP
AMJ
供給弁
AMV
AEP
HEP
関連
機器
-+
-+
76
80.5
SMC
40
241.5
1077
ZL Series/製品個別注意事項q
ご使用の前に必ずお読みください。
安全上のご注意については前付38、39、真空用機器/共通注意事項についてはP.844∼
846をご確認ください。
エジェクタバルブの操作方法について
注意
q空気供給をONすると、圧縮空気がノズルからディフュ
ーザに流れることにより真空が発生します。
真空破壊弁をONすると、破壊流量調整ニードルを通過し真空
ポートに流れ、真空を急速破壊します。
雰囲気について
注意
q直射日光を避けてご使用ください。
電磁弁(ZL112シリーズ)について
注意
q電磁弁の製品個別注意事項については、電磁弁(SYJ500
シリーズ)のカタログをご確認ください。
1078
ZL Series/製品個別注意事項w
ご使用の前に必ずお読みください。
安全上のご注意については前付38、39、真空用機器/共通注意事項についてはP.844∼
846をご確認ください。
選 定
真空圧力
−80
吸込
−70
150
125
流量
100
−60
−50
75
費量
気消
−40
空
50
−30
−20
25
−10
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
−100
−90
吸込
−70
−60
−50
100
−30
−20
50
−10
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
ZA
0
0.6
供給圧力:0.4MPa時
−80
真空圧力[kPa]
−80
−70
−60
−50
−40
−30
ZR
ZM
ZMA
ZH
流量特性
−100
−90
ZX
ZQ
供給圧力[MPa]
−100
−90
真空圧力[kPa]
150
量
消費
空気
−40
0.6
流量特性
供給圧力:0.4MPa時
ZU
ZL
−70
−60
ZY□
−50
−40
ZF□
−30
−20
−20
ZP□
−10
−10
10
20
0
30 40 50 60 70 80 90 100 110 120
真空到達時間
測定条件/タンク容積:1l
−100
−90
供給圧力:0.4MPa
真空到達時間
−70
−66kPa
−60
−53kPa
−50
−40kPa
−40
−30
−26kPa
−20
−13kPa
タンク内真空圧力[kPa]
−80kPa
6
7
8
9
10
測定条件/タンク容積:1l
供給圧力:0.4MPa
到達真空圧力−89kPa
−50
−30
−26kPa
−20
−13kPa
AEP
HEP
関連
機器
1
2
3
4
5
6
真空到達時間[S]
《図の見方》
流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量の関係を表し、吸込流量が
変化すると真空圧力も変化することを示しています。一般には、エジェク
タの標準使用圧力での関係を示しています。下図で、Pmaxは最高真空圧
力、Qmaxは最大吸込流量を示しています。カタログ等で仕様として記載
されている値はこの値です。真空圧力の変化について、下記に説明します。
真空圧力
Pmax
P1
ZCUK
AMV
−40kPa
−40
SP
AMJ
−80kPa
−53kPa
11 12
密閉容器1lのタンクを大気圧からワーク等の吸着条件で決まる到達真
空圧力になるまでの時間を示しています。
到達真空圧力−89kPaの場合、
約8.8秒必要です。
260 300
−66kPa
真空到達時間[S]
《図の見方》
220
−60
0
5
180
−70
−10
4
140
−80
0
3
100
−100
−90
−10
2
60
吸込流量[l/min
(ANR)
]
到達真空圧力−89kPa
−80
1
20
130
吸込流量[l/min
(ANR)
]
タンク内真空圧力[kPa]
250
流量
200
供給圧力[MPa]
0
300
真空圧力
−80
真空圧力[kPa]
真空圧力[kPa]
−100
−90
吸込流量[l/min(ANR)]
空気消費量[l/min(ANR)]
ZL212
排気特性
吸込流量[l/min(ANR)]
空気消費量[l/min(ANR)]
ZL112
排気特性
qエジェクタの吸込口を塞ぎ、密閉すると吸
込流量は0となり、真空圧力は最高(Pmax)
となります。
w吸込口を開け、空気が流れる(空気が漏れる)
ようにすると、吸込流量は増加しますが、
真空圧力は低くなります。
(P1とQ1の状態)
Qmax eさらに吸込口を開け、全開すると、吸込流
Q1
量は最大(Qmax)となりますが、真空圧力
吸込流量
はほぼ0(大気圧)となります。通気性のあ
るワークや漏れのあるワークを吸着させ
る場合は、真空圧力があまり高くなりませ
んので注意が必要です。
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