NANOTS 2013 – 講演募集（締切： 8月2日）

NANOTS 2013 – 講演募集（締切： 8 月 2 日）
第 33 回 ナノテスティングシンポジウム
2013 年 11 月 13 日∼15 日
千里ライフサイエンスセンター，豊中市，大阪
ナノテスティングシンポジウム（旧名称 LSI テスティングシンポジウム）は、ナノスケールの構造を持った材料・デバイ
スのテスティング技術に関し、設計、プロセス、テスト、診断、解析、および設計・製造・テスト装置分野の研究者が一堂に会
し議論する場を提供することを目的として、毎年開催されています。第 33 回の今年度のシンポジウムでは、三日間に、特別招
待講演、特別セッション、技術セッション (一般講演)、コマーシャルセッション（新製品紹介）、コマーシャル展示、及びイブ
ニングセッションを行います。特別セッション、及び、技術セッションへの応募論文については、査読が実施され、テスティン
グに関する課題、解法、結果、結論の明確さに基づいて採択されます。下記に示される技術領域に関して、オリジナルで、コ
マーシャルでない、公開されていない、ナノテスティング技術の進展を促すような論文を奮ってご投稿下さい。
シンポジウムの背景
ナノテスティングシンポジウムは、昭和 56 年（1981 年）大阪大学工学部で開催された「ストロボ SEM とその応用」が始まりであり、
今年で第 33 回となる。半導体製造やテスティングのますます複雑化するに伴い、シンポジウムの名称も、昭和 57 年（1982 年）に「電
子ビームテスティングシンポジウム」に、平成 6 年（1994 年）に「LSI テスティングシンポジウム」、平成 25 年 (2013 年) に「ナノテス
ティングシンポジウム」に改称された。シンポジウムは、設計、製造プロセス、テスト、故障診断、故障解析、プロセス並びに設計への
フィードバックからなる LSI サイクルを網羅する、ナノスケールの構造を持った材料・デバイスのテスティング技術に関する主要な会議
として認められている。シンポジウムでは、技術セッション、チュートリアル、コマーシャルセッション、商業展示を行い、テスティング
に関する進展、動向だけでなく、最新の製品、システムに関する情報をも提供している。昨年度 (2012 年) は、29 社からの商業展示があ
り、344 名の参加者があった。ナノテスティングシンポジウムは、今まで以上に、
「ナノ構造のテスト」に関連する研究・開発に従事する
様々な分野の研究者が、様々な立場・視点から議論できる場を提供できる、ユニークで存在感のある、ますます重要な役割をはたす会議
となってきている。なお、ナノテスティングシンポジウムの主催はナノテスティング学会であり、協催は（社）電子情報通信学会、（社）
応用物理学会、日本信頼性学会、並びに（財）日本科学技術連盟である。
技術領域
次の領域に関する高い品質のオリジナルな研究概要を奮ってご投稿下さい。
ナノテスティングのための先進設計手法
キーワード：設計エラー診断、デバッグと診断容易化設計 (DFD)・
製造容易化設計 (DFM)・信頼性容易化設計 (DFR)・テスタビリ
ティ容易化設計 (DFT)・歩留り容易化設計 (DFY)
ナノテスティングのための先進プロセス技術
キーワード：配線:銅/低誘電率膜（low-k 材料）信頼性・ウェー
ハ準備・ウェーハの物理的特性・ウェーハの電気的特性・表面
準備:表面処理の制御とモニタリング・クリーニング・プロセス
コントロール・ドーパント拡散・酸化とゲート誘電体:誘電体薄
膜の計測・リソグラフィ・フォトマスク製作：フォトマスク品
質・装置信頼性・インライン計測：リソグラフィプロセスの計
測、フロントエンドプロセス（FEL）の計測、配線プロセス制
御、ファブ内 FIB・その場計測・歩留りモデル・歩留り管理・
電気的、物理的、および化学的特性
先進ナノテスティング
キーワード：システムオンチップ（SOC）テスティング・メモ
リテスティング・遅延テスティング・低消費電力テスティング・
組込自己テスティング・ソフトウェアベースの自己テスティン
グ・アナログとミックスド信号テスティング・IDDQ テスティ
ング・バーインテスティング・FPGA テスティング・高速 I/O
テスティング・RF テスティング
信頼性物理と信頼性工学
キーワード：故障の確率モデル · 加速寿命試験 · 寿命データ解
析
集積回路への放射線効果
キーワード：半導体デバイスへの放射線効果・緩和技術
先進の IC レベルのデバッグと診断
キーワード：シリコンデバッグ・欠陥診断・原因-結果分析法・
結果-原因分析法・スキャンチェーン診断・ロジック BIST 診断・
メモリ診断と自己修復
デバッグと診断のための先進プロービング技術
キーワード：ダイ露出・機械的プロービング・ビーム照射による
観測:電子ビーム（EBT,EBIC,RCI/EBAC), レーザビーム（LVP,
加熱抵抗変動法（静的：OBIRCH, 動的：SDL））
・発光観測（静
的：PEM、動的：TRE)・その他
デバッグと診断のための先進回路編集
・レイアウト-データベー
キーワード：集束イオンビーム（FIB）
ス駆動ナビゲーションシステム
故障解析のための物理解析
キーワード：パッケージ解析・デプロセッシング・平行面ポリッ
シング・断面解析・ 顕微鏡法・透過電子顕微鏡法・その他
故障解析のための化学的特性評価
キーワード：X 線分析（エネルギー分散）
・オージェ・2 次イオ
ン質量スペクトロスコピィ(SIMS)・ マイクロスポットフーリエ
変換赤外スペクトロスコピィ（FTIR）
・その他
新材料およびトランジスタの故障メカニズム
キーワード：プロセス関連の問題・ホットキャリア・NBTI・PBTI・
保護膜安定性・誘電体の完全性・高誘電率（high-k）ゲート酸
化膜・ラッチアップ・ESD・金属マイグレーション: 機械的な面
と熱的な面・低誘電率膜（low-k 材料）誘電体と Cu 配線・ナノ
テクノロジに関する信頼性
ナノテスティングの経済性
キーワード：経済効果・経済モデル・学習曲線・技術の駆動力・
工場および装置の経済
新デバイスのテスティング
キーワード：MEMS・液晶ディスプレイ (LCD)・ ナノチューブ・
PRAM・RRAM・FRAM・その他
先進のテスティング装置・システム
キーワード：透過電子顕微鏡 (TEM)・走査電子顕微鏡 (SEM)・
集束イオンビーム (FIB)・走査プローブ顕微鏡・その他
ナノテスティングの事例
キーワード：電気特性評価・ダイ露出・パッケージ解析・グロー
バル故障個所絞り込み・プローブによる故障個所絞り込み・欠
陥露出・物理的検査・化学的分析
特別招待講演・特別セッション・チュートリアル
第 33 回のナノテスティングシンポジウム では、Eckhard Wolfgang 氏 (ECPE Europen Center for Power Electronics e.V.) による
特別招待講演「End-of-Life Testing of Electronics Components and Systems」を、シンポジウム二日目に実施予定です。また、特
別セッション・チュートリアルを企画中です。詳細は、ウェブサイトにて公開予定です。
技術セッション（一般講演）講演申込
ナノテスティングに関する、先に示した領域の高い品質のオリジナルな研究概要を奮ってご投稿下さい。ご投稿者は、A4 用
紙 1 枚の概要（文字数 1000 字以内、MS ワード or pdf）とそれをサポートするデータ、図表を A4 用紙 1 枚にまとめ、合計 A4
用紙 2 枚の概要をオンラインでご投稿ください。A4 用紙 1 枚でのご投稿も可能です。概要には、題目、著者、所属、連絡者情
報、キーワード 5 個、および、少なくとも一つのナノテスティングの技術領域（先に記述した）を記述してください。つぎに、
ナノテスティングに関する課題の概観：現状とその限界、提案する解法、結果の要約等を記述して下さい。投稿締切りは平成
25 年 8 月 2 日です。なお、概要および採択後にご提出いただく論文は、英語もしくは日本語で記述してください。概要のサン
プル及び論文投稿手続きの詳細に関しては、つぎのウェブサイトに入って下さい。http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp/
投稿された概要は、つぎの指針に基づいて、ナノテスティング学会 企画運営委員会委員により査読される予定です。
• 内容にオリジナリティがあるか。
• 具体的な結果が達成されているか。
• 参加者へインパクト・興味を与えるか。
採択通知は、論文の執筆の仕方とともに、電子メールにて平成 25 年 9 月 13 日までに送付される予定です。最終の企業承認済
みの論文とコピーライトを、ナノテスティング 2013 会議録に掲載するために、平成 25 年 10 月 18 日までにオンラインで提出
してください。
商業展示申込とコマーシャルセッション（新製品紹介）講演申込
シンポジウムでは、新たに開発した、改良した、ナノテスティングに関係する装置等を参加者にご紹介できる、また、ディ
スカッションできる商業展示フロアを準備しています（11 月 14 日，15 日）。さらに、講演会場にて新製品をショートプレゼン
テーションにて紹介できる、コマーシャルセッションを準備しています。商業展示ならびにコマーシャルセッションへの申込
企業は、賛助会員（手続き中を含む）であることを条件と致します。コマーシャルセッションへの講演申込みは、A4 用紙 1 枚
の概要（文字数 1000 字以内、MS ワード or pdf）の提出をオンラインで行ってください。概要には、題目、著者、所属、連絡
者情報、キーワード数個、少なくとも一つのナノテスティングの技術領域（先に記述した）、商業展示の希望の有無、および、
新製品の概要を記述してください。申込み締切りは平成 25 年 8 月 2 日です。商業展示も、オンラインでお申し込みください。
詳細に関しては、つぎのウェブサイトに入って下さい。http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp/
イブニングセッション
ナノテスティングシンポジウムでは、シンポジウム 2 日目の夜、国際会議報告等のイブニングセッションを準備しています。
講演会場は、千里阪急ホテルです。コース A のシンポジウム参加費用には、イブニングセッション参加費も含まれています。詳
細は、ウェブサイトに入って下さい。http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp/
シンポジウム参加申込
シンポジウムのウェブサイトにより、オンラインでお申込みください。なお、オンライン参加申込システムは、平成 25 年 9
月の中旬にオープンになる予定です。
ナノテスティング学会 企画運営委員会
委員長:
中前幸治
– 大阪大学
委員:
後藤安則
– トヨタ自動車
小山 徹
– ルネサスエレクトロニクス
佐藤 貢
– 日立ハイテクノロジーズ
須賀三雄
– 日本電子
寺田浩敏
– 浜松ホトニクス
二川 清
– 金沢工業大学
益子洋治
– 大分大学
三好元介
– 東京大学
山崎裕一郎
– 東芝
吉井一郎
– DCG システムズ
ナノテスティング学会事務局
三浦克介・御堂義博 – 大阪大学
大阪大学 大学院情報科学研究科
情報システム工学専攻 中前研究室内
〒 565-0871 吹田市山田丘 2-1
電話: 06-6879-7813 Fax : 06-6879-7812
E-mail : [email protected]