仕様書 - 量子科学技術研究開発機構

真空排気設備改造用背圧システムの製作組立
仕様書
平成 28 年 9 月
国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構
核融合エネルギー研究開発部門 那珂核融合研究所
トカマクシステム技術開発部 JT-60 本体開発グループ
内容
第 1 章 一般仕様............................................................................................................................... 1
1.1 件名 ...................................................................................................................................... 1
1.2 目的 ...................................................................................................................................... 1
1.3 契約範囲 ................................................................................................................................ 1
1.4 作業場所 ................................................................................................................................ 1
1.5 作業期間 ................................................................................................................................ 1
1.6 納期 ...................................................................................................................................... 1
1.7 納入場所及び納入条件 .............................................................................................................. 1
1.8 検収条件 ................................................................................................................................ 1
1.9 保証 ...................................................................................................................................... 2
1.10 かし担保責任 ........................................................................................................................ 2
1.11 提出書類 .............................................................................................................................. 2
1.12 支給品 ................................................................................................................................. 3
1.13 貸与品 ................................................................................................................................. 3
1.14 品質管理 .............................................................................................................................. 4
1.15 適用法規・規格基準 ............................................................................................................... 4
1.16 産業財産権の取扱い ............................................................................................................... 4
1.17 秘密の保持 ........................................................................................................................... 4
1.18 安全管理等 ........................................................................................................................... 4
1.19 グリーン購入法の推進 ............................................................................................................ 5
1.20 協議..................................................................................................................................... 5
1.21 成果の帰属 ........................................................................................................................... 5
第2章
技術仕様書 .......................................................................................................................... 6
2.1 第 2 段フォアポンプの製作組立 ................................................................................................. 6
2.1.1 不要既設機器の撤去 .......................................................................................................... 6
2.1.2 組立 ................................................................................................................................ 7
2.2 粗引き系の製作組立 ................................................................................................................. 8
2.2.1 不要既設機器の撤去 .......................................................................................................... 8
2.2.2 組立 ................................................................................................................................ 9
2.3 リークテスト装置の改修 ......................................................................................................... 10
2.3.1 配管 .............................................................................................................................. 10
2.3.2 現場制御盤更新 .............................................................................................................. 10
2.4 質量分析計排気ユニットの改修 ............................................................................................... 11
2.4.1 既設配線・解体 .............................................................................................................. 11
2.4.2 排気ユニットの改造 ........................................................................................................ 11
2.4.3 圧空配管 ........................................................................................................................ 12
2.4.4 配線 .............................................................................................................................. 12
2.5 試験検査 .............................................................................................................................. 12
添付資料-1 ................................................................................................................................. 13
主要購入機器一覧表 ..................................................................................................................... 13
1. 真空ポンプ ............................................................................................................................. 13
1.1 第 2 段フォアポンプ用メカニカルブースターポンプ（真空排気設備室） .................................... 13
1.2 粗引き系メカニカルブースターポンプ（真空排気設備室） ....................................................... 13
1.3 粗引き系ドライ真空ポンプ（真空排気設備室） ...................................................................... 14
1.4 質量分析計排気ユニット用ターボ分子ポンプ ......................................................................... 14
2. 真空計 ................................................................................................................................... 15
2.1 メタル電離真空計 .............................................................................................................. 15
2.2 コンベクトロンゲージ ........................................................................................................ 15
2.3 コンベクトロンゲージ用コネクターキット ............................................................................ 16
2.4 コンベクトロンゲージ用接続用工具 ..................................................................................... 16
2.5 ＶＶ系残留ガス分析計（本体室・中央制御室） ...................................................................... 17
2.6 リークテスト装置ヘリウムリークディテクタ（真空排気設備室） ............................................. 17
添付資料-2 ................................................................................................................................. 18
支給機器一覧表 ........................................................................................................................... 18
1. 真空ポンプ ............................................................................................................................. 18
1.1 第 2 段フォアポンプドライ真空ポンプ（真空排気設備室） ...................................................... 18
2. アングルバルブ ....................................................................................................................... 18
2.1 第 2 段フォアポンプアングルバルブ（真空排気設備室） ......................................................... 18
2.2 粗引き系アングルバルブ（本体室・真空排気設備室） ............................................................. 19
2.3 粗引き系アングルバルブ（真空排気設備室） ......................................................................... 19
2.4 粗引き系アングルバルブ（真空排気設備室） ......................................................................... 20
添付資料-3 ................................................................................................................................. 21
添付資料目次 .............................................................................................................................. 21
第 1 章 一般仕様
1.1 件名
真空排気設備改造用背圧システムの製作組立
1.2 目的
本件では、老朽化した施設の防災対策として実施する真空排気設備の改造の一環として、既設の真空排気設備
が正常に運転できるようにメインポンプであるターボ分子ポンプの背圧システムを改造・製作し組み立てるもの
である。
1.3 契約範囲
(1) 第 2 段フォアポンプの製作組立
(2) 粗引き系の製作組立
(3) リークテスト装置の改修
(4) 質量分析計排気ユニットの改修
(5) 試験検査
1.4 作業場所
量子科学技術研究開発機構（以下「量研機構」という。） 那珂核融合研究所
(1) JT-60 実験棟 本体室（放射線第 1 種管理区域）
(2) JT-60 実験棟 真空排気設備室（放射線第 1 種管理区域）
(3) JT-60 実験棟 本体機器制御室（放射線第 2 種管理区域）
(4) 地下ダクトⅠ（放射線第 2 種管理区域）
1.5 作業期間
本作業における作業期間は、基本的に契約締結日から平成 29 年 3 月 20 日までとする。なお、作業工程の詳
細については、別途協議の上、決定するものとする。
1.6 納期
平成 29 年 3 月 31 日
1.7 納入場所及び納入条件
(1) 納入場所
茨城県那珂市向山 801-1
量研機構
那珂核融合研究所
JT-60 実験棟内指定場所
(2) 納入条件
据付調整後渡し
1.8 検収条件
第 1 章 1.7 項に示す納入場所に据付後、員数検査、外観検査及び第 2 章に定める試験検査及び第 1 章 1.11
項に示す提出書類の合格をもって検収とする。
1
1.9 保証
第2章に定める仕様及び機能要求を満足し、運転・制御ができることを保証すること。
1.10 かし担保責任
検収後 1 年以内に設計、製作上のかしが発見された場合、無償にて速やかに改修、補修又は交換を行うもの
とする。
1.11 提出書類
以下に示す書類を遅滞なく提出すること。
表 1.11
図書名
工程表
内容及び提出期限
紙
作業予定に変更が生じた場合は、変更後速やかに。
電子ファイル
PDF
下請負届
様式は、量研機構の様式とする。
確認図
製作開始前
1式
紙
電子ファイル
PDF
作業開始前。
文書 1 部
紙
作業者に変更があった場合は、速やかに。
電子ファイル
PDF
文書 2 部
紙
電子ファイル
PDF
文書 2 部
紙
電子ファイル
PDF
文書 3 部
紙
電子ファイル
PDF
文書 3 部
紙
電子ファイル
PDF
作業開始前
試験検査要領書
検査開始前
試験検査成績書
納入時
取扱説明書
納入時
納入時。
図面類は A3 版に縮小し製本したもの。
図面類を上記製本とは別に CD-ROM（もしくは DVD） 電子ファイル
3DCAD
を用いて納入すること。
2DCAD
その都度（詳細は別途協議）
類
（提出書類補足）
・提出ファイル形式
提出する完成図の電子ファイルの資料は、以下の形式を用いること。
2
要
要
不要
要
要
不要
不要
不要
PDF
その他量研機構
が必要とする書
3部
納入時。
打合せ後速やかに
確認
要
文書 3 部
作業要領書
議事録
形式
文書 3 部
作業開始 2 週間前
完成図
部数
契約後速やかに。
委任又は
作業従事者名簿
提出書類一覧
文書 2 部
紙
電子ファイル
PDF
不要
要
・3DCAD で作成した場合：Dassault system 社製 CATIA
V5、又は変換ファイル（STP、iges 等）
・2DCAD で作成した場合：オートデスク社の AutoCAD 用 DWG 形式 2014 版
・完成図の種類
提出する完成図の種類は、以下のとおりとする。
・組立図
・製作品部品図(量研機構で将来部品の改修、購入ができるレベルの図面)
・購入品部品図
・系統図
・配線系統図
・配管ルート図(サポート配置図、サポート詳細図を含む。)
・配管リスト
・機器リスト
・計器リスト
・展開接続図(ECWD)
・構成機器一覧表(メーカー、型式、仕様等)
・単線結線図
・ケーブルリスト
・特殊工具リスト
・附属品リスト、予備品リスト
（提出場所）
量研機構
核融合エネルギー研究開発部門 那珂核融合研究所
トカマクシステム技術開発部 JT-60 本体開発グループ
（確認方法）
「確認」は次の方法で行う。
量研機構が確認のために提出された図書を受領したときは、期日を記載した受領印を押印して返却する。また、
当該期限までに審査を完了し、確認しない場合には修正を指示し、修正などを指示しないときは、確認したもの
とする。
1.12 支給品
(1) 本仕様の支給品(真空ポンプ、バルブ)の詳細は添付資料-2 に示す。支給場所は量研機構構内とし、支給時期
は別途協議の上、決定するものとする。
(2) その他の支給品
電気・水に関して、本作業を行うに当たり必要とする場合に限り量研機構の指定する場所から無償で支給する。
1.13 貸与品
(1) 管理区域用防護機材
放射線第 1 種管理区域内の作業に 2 週間以上連続して従事する作業従事者に対しては、第 1 種管理区域用作
業衣、線量計を無償貸与する。また、2 週間未満の作業従事者に対しては、第 1 種管理区域用作業衣、安全靴、
ヘルメット、安全帯、線量計、排煙用排気装置及び仮設ダクト(蛇腹管等)類を無償貸与する。
3
(2) クレーン
本作業を実施するに当たって必要となる、建家内に設置されている天井クレーンを貸与する。ただし、クレー
ン運転士、玉掛け技能者及び受電に必要となる設備、吊り治具､屋外保管用地でのクレーン等は受注者が準備す
るものとする。各建屋の天井クレーン等の仕様は以下のとおりとする。
① JT-60 実験棟本体室・組立室
：250/70 t、30/5 t
② 地下ダクトⅠ
：2.8 t
(3) 設計図書、完成図
本作業に行うに当たり必要となる JT-60 に関する図書、図面などを貸与する。
(4) 事務所等
現地作業において事務所が必要となる場合は、量研機構内の土地を貸与する。ただし、通信機器などは受注者
が準備するものとする。
(5) 資材置き場
本作業に必要な資材置き場は、可能な範囲において作業場所付近にて無償貸与する。
(6) 放射化物・汚染物切断用工具
配管などの放射化物・汚染物の切断を実施するに当たって必要となる量研機構で保管されている電動工具を貸
与する。ただし、消耗品については受注者が準備するものとする。
1.14 品質管理
第１章 1.11 項に示した提出書類などが納期内に提出され、その内容が本仕様書に定める内容を満足すること
を確認して合格とする。
1.15 適用法規・規格基準
設計・製作・試験検査・据付調整などに当たっては、以下の法令、規格、基準等を適用又は準用して行うこと。
(1) 労働基準法
(2) 労働安全衛生法
(3) 放射線障害防止法
(4) 日本工業規格（JIS）
(5) 量研機構内規程、規格
(6) 那珂核融合研究所放射線安全取扱手引等放射線に関する諸規程
(7) その他受注業務に関し、適用又は準用すべき全ての法令・規格・基準など
1.16 産業財産権の取扱い
本製作組立により発生する産業財産権の取扱いは、別紙として添付に定める「産業財産権の取扱いについて」
によるものとする。
1.17 秘密の保持
本契約において作成され、又は量研機構が貸与した資料は、契約目的以外に使用してはならない。ただし、事
前に量研機構の承認を得た場合には、この限りではない。
1.18 安全管理等
(1) 一般安全管理
・作業計画に際し綿密かつ無理のない工程を組み、材料、労働安全対策等の準備を行い、作業の安全確保を
4
最優先としつつ、迅速な進捗を図るものとする。また、作業遂行上既設物の保護及び第三者への損害防止に
も留意し、必要な措置を講ずるとともに、火災その他の事故防止に努めるものとする。
・作業現場の安全衛生管理は、法令に従い受注者の責任において自主的に行うこと。
・受注者は、作業着手に先立ち量研機構と安全について十分に打合せを行った後着手すること。
・受注者は、作業現場の見やすい位置に、作業責任者名及び連絡先等を表示すること。
・作業中は、常に整理整頓を心掛ける等、安全及び衛生面にも十分に注意すること。
(2) 放射線管理
・受注者は、管理区域内で作業を行う場合は、量研機構が定める放射線管理仕様書を遵守しなければならな
い。
・受注者は、本作業期間中、心身ともに健康で身体に外傷のない作業員を従事させること。
・本作業を開始する前に、受注者側作業員は、量研機構が行う保安教育を受けること。ただし、放射線に関
する知識は、受注者側で教育すること。
・放射線管理及び異常時の対策は、量研機構の指示に従うこと。
(3) その他
・受注者は、従事者に対して法令上の責任及び風紀の維持に関する責任を負うこと。
・作業の監督者は、量研機構の担当者と常に密接に連絡を取りながら作業を進め、量研機構が行う作業工程調
整と協調すること。
・作業員は、放射線管理区域内作業である経験を有するか、もしくは事前に十分な教育を受けた者とすること。
・受注者は、量研機構が量子科学技術に関する研究・開発を行う機関であるため、高い技術力及び高い信頼性
を社会的に求められていることを認識し、量研機構の規程等を遵守し安全性に配慮し業務を遂行し得る能力を
有する者を従事させること。
1.19 グリーン購入法の推進
(1) 本契約において、グリーン購入法（国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律）に適用する環境
物品（事務用品、ＯＡ機器等）が発生する場合は、これを採用するものとする。
(2) 本仕様に定める提出図書（納入印刷物）については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準
を満たしたものであること。
1.20 協議
(1) 本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載されていない事項について疑義が生じた場合は、量研機
構と協議の上、その決定に従うものとする。
(2) 受注者は、量研機構の担当者と緊密な連絡をとりつつ製作並びに作業を行うこと。製作及び作業の途中で経
過報告を求めた場合には報告を行うこと。
(3) 本作業中に量研機構の財産に損害を与えた場合は、その補償について量研機構と協議の上、その決定に従う
こと。
1.21 成果の帰属
本検討により得られた成果を利用、又は処分する権利は量研機構に帰属する。提出された書類の所有権は全て
量研機構に帰属するものとする。ただし、受注者は書面による量研機構の承認を得て、この成果を利用できるも
のとする。
5
第 2 章 技術仕様書
2.1 第 2 段フォアポンプの製作組立
VV 系第 2 段フォアポンプ系統は、第 1 段フォアポンプ系の背圧側に位置し、システム全体の背圧圧力を維持
するものである。機器の構成は、第 1 段フォアポンプとの仕切り用のアングルバルブとメカニカルブースター
ポンプ(MBP)とドライ真空ポンプ(DRP)の直列となっている。また、真空計、リーク用バルブ等の付属機器も含
まれる。図 2.1-1 に概略系統を示す。これらの機器は、真空排気設備室に設置する。組立に必要な配管・パッキ
ン等のパーツ類は受注者が用意すること。詳細については、添付資料-1 に主要購入機器一覧表、添付資料-2 に
支給品一覧表、添付資料-3 に粗引き系の系統、改造前後の外観図及び配線図を参照すること。
図 2.1-1 第 2 段フォアポンプ・粗引きの系統図
2.1.1 不要既設機器の撤去
・真空排気設備室内の不要な配管、真空ポンプ及び制御盤等の既設機器を撤去すること。
・真空ポンプの潤滑油は、真空ポンプ(MBP：2 台、DRP：予備品含む 5 台)から抜き取り量研機構の指定する容
器に保管すること。
・真空配管及び真空ポンプ内部は、トリチウムにより表面汚染されているため、作業エリアを飛散防止策のため
ビニールで養生を施した上で、半面マスクやゴム手袋を着用し安全を確保しながら行うこと。
・解体に当たっては、機器ごとに分解しトリチウム汚染のある機器と無い機器に分類して保管すること。
・トリチウム汚染のある機器は、開口部を金属板及びゴム板等で封止養生した上で、真空排気設備室内に保管す
る。
・汚染が無い機器については、量研機構が指定する構内の保管場所に保管すること。詳細な保管場所は、別途協
議の上、決定する。
6
2.1.2 組立
(1) 排気系
・既設架台を一部新規機器に合わせた改造を行い、真空排気が可能な第 2 段フォアポンプユニットを 2 系統製
作し、設置すること。使用する真空ポンプは、MBP と DRP(支給品)とする。
・既設配管取合いフランジと MBP・DRP 及び真空ポンプ系(空調)配管間は、専用の配管を製作し、アングルバ
ルブ等の機器を介して接続する。
・既設配管取合いフランジと MBP・DRP 及び真空ポンプ系(空調)配管間は、専用の配管を製作し、アングルバ
ルブ(支給品)を介して接続する。
・真空配管には、ポートを設けコンベクトロンゲージ及びバルブ等を設置する。また、リークテスト装置と接続
が可能なようにすること。
・アングルバルブは、上流側(本体室側)配管と MBP 側配管位置を調整しながら組み込む。
・架台及びサポート等は、極力既設品を流用し組立を行うこと。
・各配管は、機器の設置位置により形状が変わるため現場合わせで加工・調整を行いながら組み立てること。
・真空排気設備室には、クレーンが設置されていないため、チェーンブロック等を用いて重量機器の組立を行う
こと。チェーンブロックを使用する場合には天井にある梁が利用できる。
(2) 圧空
・アングルバルブ等の駆動用圧空の接続口には、専用接手(6mm 変換)を取り付け、ナイロンチューブ(乳白色
6mm)にて既設電磁弁まで配管を敷設接続すること。
・ナイロンチューブ配管は、継手接続部に内径保護リングを使用すること。
(3) 冷却水
・冷却水配管は、冷却水集合ヘッダー部と負荷である DRP・MBP 間を専用継手及びナイロンチューブ(青色 1/2B)
を用いて接続する。
・ナイロンチューブ配管は、継手接続部に内径保護リングを使用すること。
・支給品の DRP(DRP4CM,4DM)の冷却水配管接続口の仕様は、添付資料-2 を参照すること。なお、接続に必
要な継手・ナイロンチューブ等は受注者が用意すること。
(4) 窒素ガス真空ポンプシールガス
① 窒素ガス供給ユニット
・既設窒素ガス供給ユニットを改造し、窒素ガスを DRP に供給できるようにすること。
・不要となる現場制御盤、電線管及び配線等の機器を解体し、量研機構の指定する場所に運搬すること。
a) 供給バルブ
・既設ガス供給用電磁弁 4 個を圧空駆動式バルブに交換すること。圧空駆動式バルブの仕様を下記に示す。
・圧空駆動式バルブ
型式：株式会社フジキン製 FRP-UDDF-71-9.52-NL 相当品
・圧空駆動式バルブの 2 個には、出口側に閉止板を取り付ける。
・電磁弁接続口までナイロンチューブ配管で配管を接続すること。
b) フロースイッチ
・配管には、窒素ガス流量測定用のフロースイッチ 2 個を圧空駆動式バルブと DRP 間に設置すること。使用ガ
スの供給流量は 5 SLM、圧力は 0.3 MPa とする。フロースイッチの仕様を下記に示す。
7
・デジタルフロースイッチ
型式：SMC 社製 PFM710-01-D-M 相当品
流量レンジ：0.2～10L/min
出力信号：アナログ 4-20mA(NPN 接点)
・現場制御盤の量研機構の別途指示する端子台まで配線を敷設すること。
c) 圧力スイッチ
・配管には、圧力スイッチを既設ユニットの減圧弁 2 次側に設置すること。圧力スイッチの仕様を下記に示す。
・圧力スイッチ
型式：SMC 株式会社製 PSE570-02-28 相当品
センサーレンジ：0-1MPa
出力信号：アナログ 4-20mA
・現場制御盤の量研機構の別途指示する端子台まで配線を敷設すること。
② 配管
・窒素ガス集合ヘッダーと負荷部である DRP 間を、既設配管(SUS 製 φ3/8)を流用して配管で接続すること。
・支給品の DRP(DRP4CM,4DM)の窒素ガス配管接続口の仕様は、添付資料-2 を参照すること。なお、接続に
必要な継手・ナイロンチューブ等は受注者が用意すること。
・接続にナイロンチューブ配管を使用する場合は、内径保護リングを使用すること。窒素ガスの供給圧力は
0.3MPa とする。
(5) ケーブル
・ケーブル(電源・制御等)は、制御盤の端子台等から各機器間までの敷設・接続を行うこと。
・専用ケーブル以外のケーブル及び敷設・接続に必要なパーツ類は受注者が用意すること。
・ケーブルは、原則として難燃性ケーブル(垂直トレイ燃焼試験合格 IEEE-383)を用いること。
・ケーブル仕様は、使用する計装機器等を考慮して適切な規格のものを使用すること。
2.2 粗引き系の製作組立
粗引き系統は、JT-60SA 真空容器を大気圧から分子流領域に達する圧力まで排気するものである。機器の構
成は、アングルバルブとメカニカルブースターポンプ(MBP)とドライ真空ポンプ(DRP)となっている。また、真
空計、リーク用バルブ等の付属機器も含まれる。概略粗引き系統を図 2.1-1 に示す。これらの機器は、真空排気
設備室及び粗引き系マニホールドに取付けているメインボルトとその下流側の真空計は本体室に設置する。組立
に必要な配管・パッキン等のパーツ類は受注者が用意すること。詳細については、添付資料-1 に主要購入機器
一覧表、添付資料-2 に支給品一覧表、添付資料-3 に粗引き系の系統、改造前後の外観図及び配線図を参照する
こと。
2.2.1 不要既設機器の撤去
・真空排気設備室及び本体室内の不要な配管、真空ポンプ等の機器及び制御盤等の既設機器を撤去すること。
なお、制御盤の端子台 1 次側ケーブルは、再利用するものとする。
・真空ポンプ（MBP：2 台、DRP：2 台）の潤滑油は、真空ポンプから抜き取り量研機構の指定する容器に保
管すること。
・真空配管及び真空ポンプ内部は、トリチウムにより表面汚染されているため、作業エリアを飛散防止策のため
ビニールで養生を施した上で、半面マスクやゴム手袋を着用し安全を確保しながら作業を行うこと。
・解体・撤去に当たっては、機器ごとに分解しトリチウム汚染のある機器と無い機器に分類して保管すること。
8
・トリチウム汚染のある機器は、開口部を金属板及びゴム板等で封止養生した上で、真空排気設備室及び組立室
内の計測架台内等の量研機構の指定する場所に保管する。
・汚染が無い機器については、量研機構が指定する構内の保管場所に保管すること。詳細な保管場所は、別途協
議の上、決定する。
2.2.2 組立
(1) 真空排気系
① 粗引き系排気ユニット(真空排気設備室)
・既設架台を一部新規機器に合わせ改造を行い、真空排気が可能なように粗引き系排気ユニットを 2 系統製作
し、設置すること。使用する真空ポンプは、MBP と DRP とする。
・既設配管取合いフランジと MBP・DRP 及び真空ポンプ系(空調)配管間は、専用の配管を製作し、アングルバ
ルブ(支給品)を介して接続する。
・真空配管には、ポートを設けコンベクトロンゲージ及びバルブ等を設置する。また、リークテスト装置と接続
が可能なようにすること。
・アングルバルブは、上流側（本体室側）配管と MBP 側配管位置を調整しながら組み込む。
② 既設マニホールドとの接続部(本体室)
・ 既 設 ア ン グ ル バ ル ブ (V1CR ・ V1DR 型 式 ； VAT37-100P) を 支 給 品 の ア ン グ ル バ ル ブ (VAT 社
26440-GE24-0001)に更新すること。
・既設と支給品アングルバルブの面間寸法が違うため、既設配管ベローズの固定を取り外して接続すること。
③ 共通
・架台及びサポート等は、極力既設品を流用し組立を行うこと。
・各配管は、機器の設置位置により形状が変わるため現場合わせで加工・調整を行いながら組み立てること。
・真空排気設備室には、クレーンが設置されていないため、チェーンブロック等を用いて重量機器の組立を行う
こと。チェーンブロックを使用する場合には天井にある梁が利用できる。
(2) 圧空
・アングルバルブ等の駆動用圧空接続口は、専用継手（6mm 変換）を取付け、ナイロンチューブ（乳白色 6mm）
にて既設電磁弁まで敷設し接続すること。
・ナイロンチューブ配管は、継手接続部に内径保護リングを使用すること。
(3) 冷却水
・冷却水配管は、既設冷却水集合ヘッダーと負荷である MBP・DRP 間を専用継手及びナイロンチューブ（青色
1/2B）を用いて接続する。
・ナイロンチューブ配管は、継手接続部に内径保護リングを使用すること。
(4) ガス導入系（真空ポンプシールガス/圧空）
① 配管
・真空ポンプ系シールガス集合ヘッダー部と負荷部である DRP 間を、接続に必要な継手等及びナイロンチュー
ブ（黄色・6mm）を用いてシールガス接続口（Rc1/4 雌ねじ）に接続すること。
・ナイロンチューブ配管は、継手接続部に内径保護リングを使用すること。シールガスの供給圧力は 0.3MPa
とする。
9
② フロースイッチ
・フロースイッチから量研機構が別途指定する現場制御盤の端子台まで配線すること。
(5) 現場制御盤
・粗引き系排気ユニットの構成機器を遠隔で操作可能な現場制御盤を新規に製作し、既設架台に取り付けること。
・盤内には、各真空ポンプの運転・起動用の遮断器、マグネットコンダクタ及び動作用リレー等を設置すること。
・真空計、フロースイッチ等の信号を伝送するための中継用端子台を設置すること。
(6) ケーブル
・現場制御盤の端子台から各機器まで運転に必要なケーブルの敷設接続すること。
・現場制御盤と他の盤間ケーブルは、既設ケーブルを流用すること。
・専用ケーブル以外のケーブル及び敷設接続に必要なパーツ類は受注者が用意すること。
・ケーブルは、原則として難燃性ケーブル(垂直トレイ燃焼試験合格 IEEE-383)を用いること。
2.3 リークテスト装置の改修
リークテスト装置(L/T 装置)は、第 2 段フォアポンプ系と粗引き系に接続し、JT-60SA 真空容器の真空漏洩
試験(L/T)を行うためのシステムである。主な構成機器は、第 2 段フォアポンプと粗引き系との仕切用のアング
ルバルブ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプとヘリウムリークディテクタ(He L/D)から成る。改修は、シス
テム内の配管変更と機器の更新を行い L/T が行えるようにする。詳細については、添付資料に L/T 装置の系統
及び配線図を参照すること。
2.3.1 配管
・既設ソープションポンプ(SP)を取外すこと。SP 取外しに伴い不要となる配管、真空バルブ等の取外し、配管
の変更を行い L/T が可能なようにすること。
・第 2 段フォアポンプ排気ユニットと粗引き系排気ユニットの改造に伴う接続位置が変更となるため、配管を
改造し、接続すること。
・機器の取外しに伴い不要となる配線、配管は取り外し、量研機構の指定する場所に運搬すること。
・既設クライオポンプ(ULVAC CRYO-U6H)の消耗品の交換を行う。
・He L/D を更新する。更新する He L/D の仕様は、添付資料-1 の主要購入機器一覧表参照のこと。
・システムを正常に運転させるために必要な配線、配管を敷設すること。
2.3.2 現場制御盤更新
・既設 PLC 等の機器を撤去し、新たにプログラムロジックコントローラ(PLC)、タッチパネル及び無停電電源装
置(UPS)を設置すること。設置する PLC 等の機器仕様は、表 2.3-1 に示す。
・PLC の更新に伴い、盤内配線を改造する。PLC と端子台や機器との配線については、量研機構が別途指示す
る端子台等に配線すること。
・PLC プログラムの製作は、仕様外とする。
10
表 2.3-1 PLC 等制御機器仕様表
番号
名称
メーカー
型式
員数
1
ベースモジュール
横河電機
F3BU09-0N
1
2
電源モジュール
横河電機
F3PU20-0S
1
3
PC リンクモジュール
横河電機
F3LC11-1F
1
4
ラダー通信モジュール
横河電機
F3RZ82-0F
1
5
IN モジュール
横河電機
F3XD32-3F
3
6
OUT モジュール
横河電機
F3YD32-1P
2
7
ブランクモジュール
横河電機
F3BL00-0N
1
8
光 FA バス 2 モジュール
横河電機
F3LR02-0N
1
9
タッチパネル
八紘電機
V808SDN
1
10
タッチパネル通信ケーブル
八紘電機
専用ケーブル
1
11
無停電電源装置(UPS)
オムロン
BU75RW
1
2.4 質量分析計排気ユニットの改修
質量分析計排気ユニットは、JT-60SA 真空容器の残留ガスを測定する質量分析計、真空ポンプ(ターボ分子ポ
ンプ、ロータリーポンプ)、圧力に応じて使い分ける切替バルブ等から成る(図 1.5.3-12)。詳細については、添
付資料の CD 系質量分析排気ユニットの系統を参照すること。
図 2.4-1 質量分析計排気ユニットの構成図
2.4.1 既設配線・解体
・既設の機器において更新対象機器である電離真空計、ピラニ真空計、質量分析計、電磁弁、配線及び制御盤等
の機器を撤去すること。
・撤去品は、JT-60 実験棟組立室の計測架台内、又は量研機構で指定する場所に運搬すること。
・既設電離真空計測定子等の真空にさらされた機器は、トリチウムで汚染されているおそれがあり、その他の機
器は放射化している。
2.4.2 排気ユニットの改造
・既設の排気ユニットと配管は、原則流用すること。
・既設ターボ分子ポンプ(TMP)を更新すること。購入したコントローラとケーブルは、量研機構が指定する場所
に保管すること。更新する TMP の仕様は、添付資料-1 の主要購入機器一覧表参照のこと。
11
・電離真空計をメタル電離真空計(ULVAC 製 M-13)に更新すること。設置場所は、既設品を取り外したポート
(UFC70 銅ガスケット)とする。購入したコントローラとケーブルは、量研機構が指定する場所に保管すること。
・コンベクトロンゲージ(MKS 社製 275)の測定子は、TMP とロータリーポンプ上流の真空バルブ間の配管を改
造し設置すること。コントローラは、量研機構が指定する場所に保管する。コンベクトロンゲージの仕様は、添
付資料-1 の主要購入機器一覧表参照のこと。
・コンベクトロンゲージのケーブルは、測定子と量研機構が別途指示する本体室内 LP11B 中継端子箱の端子台
までケーブルを敷設すること。
・ガス質量分析計(ULVAC 社製 HGM-200)をマニホールドに設置すること。遠隔で操作可能なように光ファイ
バーケーブルと RS232C の光変換器を設置する。ただし、光ファイバーケーブルの敷設は、仕様外とする。ガ
ス質量分析計の仕様は、添付資料-1 の主要購入機器一覧表参照のこと。
・ガス質量分析計と電離真空計測定子には、磁気シールドを設置すること。磁気シールドを製作する条件は、磁
気シールドの外側の磁場強度を 20mT の時、内側が 5mT 以下となるようにすること。
・排気ユニットに使用している電磁弁を、圧空操作式の更新すること。
2.4.3 圧空配管
・バルブの圧空取合い口は、ナイロンチューブ(6mm)の接続継手を設置する。
・ナイロンチューブ配管には継手接続部に内径保護リングを使用すること。
2.4.4 配線
・ケーブル及び敷設・接続に必要なパーツ類は受注者が用意すること。
・専用ケーブル以外のケーブルは、原則難燃性ケーブル(IEEE383)を用いること。
2.5 試験検査
現地組立後、以下に示す試験検査項目を実施する。
項 目
対 象
時
期
試験方法
1
外観検査
全て
組立完了後
目視
2
員数検査
新設部全て
組立完了後
目視
3
寸法検査
確認図に記載さ
れた主要寸法
組立完了後
5
気密試験
新設配管
組立完了後
6
絶縁抵抗
測定
7
導通確認
8
9
真空漏え
い試験
機器動作
試験
新規敷設ケーブ
ルと移設ケーブ
ル
組立に関連する
全てのケーブル
ノギス、スケール等による
目視
気体を用いて最高使用圧力
でスヌープまたは目視にて
漏れが無いことを確認
判定基準
有害な傷、変形、汚れなど
が無いこと。
仕様書、確認図に記載され
た員数と相違ないこと。
図面の寸法に相違ないこ
と。
気体の漏れが無いこと。
組立完了後
動力ケーブルとアース間の
絶縁抵抗を測定
適切な絶縁が確保されて
いること。
組立完了後
機器と端子台、端子台間の
導通を確認
真空配管接続部
組立完了後
真空法により漏えいを確認
新設全ての機器
組立完了後
全ての機器を操作し、正常
に動作することを確認。
結線確認図のとおりであ
ること。
性能に影響のある漏れが
ないこと。
正常に動作、信号の通信を
行えること。
12
添付資料-1
主要購入機器一覧表
1. 真空ポンプ
1.1 第 2 段フォアポンプ用メカニカルブースターポンプ（真空排気設備室）
（株式会社アルバック PRC-006A 相当品）
対象機器番号：
基本仕様：
MBP03CM
メカニカルブースターポンプ(水冷)
MBP03DM
フランジ口径； 給気口 VG80 相当、排気口 VF80 相当
排気速度；
≧ 500 m3/h（50Hz）
到達圧力；
≦ 0.4 Pa
最大給気口圧力；
≧ 1.3×103 Pa（50Hz）
最大許容圧力差；
≧ 7.3×103 Pa（50Hz）
必要冷却水流量；
≦ 5.0 L/min
冷却水接続口；
Rc 3/8
電源入力電圧；
200 VAC
電源入力周波数；
50Hz
電源入力相数；
3 相 2.2kW 以下
許容設置寸法；
300(W)×580(D)×280(H) 以内
1.2 粗引き系メカニカルブースターポンプ（真空排気設備室）
（株式会社アルバック PRC-018A 相当品）
対象機器番号：
基本仕様：
MBP01CR
メカニカルブースターポンプ(水冷)
MBP01DR
フランジ口径； 給気口 VG150 相当、排気口 VF100 相当
排気速度；
≧ 1,500 m3/h（50Hz）
到達圧力；
≦ 0.67 Pa
最大給気口圧力；
≧ 1.2×103 Pa（50Hz）
最大許容圧力差；
≧ 4.3×103 Pa（50Hz）
必要冷却水流量；
≦ 5.0 L/min
冷却水接続口；
Rc 3/8
電源入力電圧；
200 VAC
電源入力周波数；
50Hz
電源入力相数；
3 相 5.5kW 以下
許容設置寸法；
430(W)×1000(D)×360(H) 以内
13
1.3 粗引き系ドライ真空ポンプ（真空排気設備室）
（株式会社アルバック GR180A 相当品）
対象機器番号：
基本仕様：
DRP02CR
多段ルーツ式ドライポンプ(水冷)
DRP02CR
フランジ口径； 給気口 VG80 相当、排気口 NW40
排気速度；
≧ 183ｍ3/h（3,100 L/min）（50Hz）
到達圧力；
≦ 5.0 Pa（窒素ガス=軸シールガスが 5.0SLM の時）
最大給気口圧力；
大気圧
必要冷却水流量；
≦ 5.0 L/min
冷却水接続口；
Rc 3/8
電源入力電圧；
200 VAC
電源入力周波数；
50Hz
電源入力相数；
3 相 7.5kW 以下
許容設置寸法；
400(W)×1000(D)×500(H) 以内
1.4 質量分析計排気ユニット用ターボ分子ポンプ
（株式会社アルバック UTM-150 相当品）
対象機器番号：
基本仕様：
TMP01CQ
ターボ分子ポンプ(空冷)、電源セパレートタイプ（ケーブル長 30m）
TMP01DQ
フランジ口径； 給気口 ICF152 相当、排気口 NW25
排気速度；
N2：≧ 190 L/sec、H2：≧ 160 L/sec
到達圧力；
10-8 Pa
最大圧縮比；
N2：＞ 108、H2：104
N2 最大給気口圧力；
≧ 0.13 Pa（最大流量時）
N2 最大排気口圧力；
≧ 13 Pa（最大流量時）
N2 連続最大運転流量；
≧ 13 Sccm（水冷）
電源入力電圧；
100 ～ 240 VAC
電源入力周波数；
50Hz
電源入力相数；
単相
電源遠隔制御 I／O；
TMP START／STOP 接点入力
ACCELERATION（加速中） 接点出力
NORMAL（定常中） 接点出力
DECELERATION（減速中） 接点出力
FAILURE（故障） 接点出力
回転数出力（パルスまたは BCD）
14
2. 真空計
2.1 メタル電離真空計
（アルバック株式会社 model GI-M2、M-13 相当品）
対象機器番号：
基本仕様：
PE01CQ
メタル電離真空計測定子（M-13）
PE01DQ
フィラメント；
2本
接続フランジ口径；
ICF034 相当
コントローラ（GI-M2）
測定圧力範囲；
5.00×10-8～9.99×100 Pa
測定精度；
±15%
圧力表示；
仮数部 3 桁、指数部 2 桁のデジタル表示
測定子ケーブル長；
制御入力信号；
30m 以下（別途指定）
制御切替え,フィラメント ON/OFF,
フィラメント 1/2,DEGAS ON/OFF,
レンジホールド
制御出力信号；
アナログ出力（0～10V）,BCD 出力,
フィラメント ON/OFF,エミッション設定
DEGAS ON/OFF
DEGAS；
直接通電加熱方式
電源入力電圧；
100 VAC
電源入力周波数；
50Hz
電源入力相数；
単相
パネル設置寸法；
400(W)×1000(D)×500(H) 以内
2.2 コンベクトロンゲージ
（日本エム・ケー・エス株式会社 Series 275、475 相当品）
対象機器番号：
基本仕様：
PE01CR
コンベクトロン測定子（275）
PE02CR
フィラメント；
1式
PE01DR
接続フランジ口径；
ICF70 相当
PE02DR
コントローラ（475）
PE03CM
測定圧力範囲；
1.0×10-2 Pa～大気圧（Air and N2）
PE03DM
測定精度；
±15%
PE02CQ
圧力表示；
仮数部 3 桁、指数部 2 桁のデジタル表示
PE02DQ
測定子ケーブル長；
制御出力信号；
30m 以下（別途指定）
アナログ出力（0～10V）
電源入力電圧；
24 VDC
パネル設置寸法；
100(W)×160(D)×45(H) 以内
15
2.3 コンベクトロンゲージ用コネクターキット
（日本エム・ケー・エス株式会社）
対象機器番号：
基本仕様：
PE01CR
接続ケーブル用ゲージ側コネクターキット
PE02CR
型
式；007360
PE01DR
PE02DR
PE03CM
PE03DM
PE02CQ
PE02DQ
予備品
2.4 コンベクトロンゲージ用接続用工具
（PANCON 株式会社）
対象機器番号：
基本仕様：
475 入力電源用コネクター（100 個/1 組）
業
者
型
名；PANCON
式；CE156F18-3-D
コネクター圧着工具（1 個）
業
者
型
名；PANCON
式；MCT
コネクター圧着工具用ノーズダイス（1 個）
業
型
者
名；PANCON
式；CE156F
16
2.5 ＶＶ系残留ガス分析計（本体室・中央制御室）
（株式会社アルバック ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ
対象機器番号：
型式：HGM-202）
基本仕様：
PE01CQ
質量分離方法；四重極型質量分析計
PE01DQ
質量数範囲；1～200 amu
分解能；M/⊿M = 1M(10% P.H.)
検出器；二次電子増倍管
感度；4 A/Pa
最小検知分圧；10-13 Pa 台
最大使用圧力；1 × 10-2 Pa
SEM 印加電圧；-1.0～-3.0 kV(1V step)
フランジ口径； UFC70
電源電圧；DC 24 V±10% 50W
質量（センサユニット/分析管）；2.4 kg/0.81 kg
シリアル通信；RS232C
ソフトウェア；Qulee QCS Ver.3.0 以降(WindowsXP/7 対応)
パソコン
型式；DELL Latitude E6540
RS-232C 光変換器
員数；2 個
2.6 リークテスト装置ヘリウムリークディテクタ（真空排気設備室）
（株式会社アルバック ヘリウムリークディテクタ
対象機器番号：
L/D
型式：HELIOT 904W2-J1A）
基本仕様：
式； 株式会社アルバック社製 HELIOT 904W2-J1A
型
検 出 ガ ス ； 4He
最小可検リーク量； ＜5×10-13 Pa・m3/sec（4He）
テストポート最大排気速度； 5 L/sec（4He）
最大接続圧力； ＜1200 Pa
主排気ポンプ； ターボ分子ポンプ（排気速度：31 L/sec）
粗引きポンプ； 油回転ポンプ 135 L/min
起動時間/停止時間； <2min / <1min
内蔵校正リーク； 温度補正あり、経年減衰補正あり
テストポート形状； NW25（ISO）
外部インターフェース； RS232C
コントローラ； 本体分離タイプ（タブレット型、ワイヤレスリモート制御機能付）
表
示
部 ； 7 インチカラータッチパネル（静電容量式）
入 力 電 圧 ； AC100～120V
外部通信機能； RS232C、RS485、アナログ DC 出力、デジタル入出力
寸
法 ； W444mm×D660mm×H991mm 以内
言
語 ； 日本語
員
数 ； 1台
17
添付資料-2
支給機器一覧表
1. 真空ポンプ
1.1 第 2 段フォアポンプドライ真空ポンプ（真空排気設備室）
（株式会社アルバック 多段ルーツ式ドライポンプ
対象機器番号：
型式：GR90A）
基本仕様：
DRP04CM
フランジ口径； 給気口 VG80、排気口 NW40
DRP04DM
排気速度；
112 ｍ3/h（1,860 L/min）（50Hz）
到達圧力；
5.0 Pa（窒素ガス=軸シールガスが 5.0SLM の時）
最大給気口圧力；
大気圧
必要冷却水流量；
≧ 5.0 L/min
冷却方式；
水冷
冷却水接続口；
Rc 3/8
軸シールガス流量；
5.0 SLM
軸シールガス接続口；
Rc 1/4
電源入力電圧；
200 VAC
定格電流；
14.2 A
電源入力周波数；
50Hz
電源入力相数；
3 相 7.5kW 以下
重量；
188 kg
許容設置寸法；
400(W)×1,150(D)×500(H) 以内
2. アングルバルブ
2.1 第 2 段フォアポンプアングルバルブ（真空排気設備室）
（VAT 株式会社 Series26 高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール） 型式；26444-GE24-0001）
対象機器番号：
基本仕様：
V07CM
作動方式；
圧空作動式
V07DM
圧空圧力；
4.5 – 7 bar
電磁弁；
なし
シール材；
エラストマーO リング
継手型式/シールﾙ材；
ICF203 準拠/無酸素銅
圧空接続口(開閉) ；
female 1/8” ISO/NPT
リミットスイッチ；
あり(開閉別)
リミットスイッチ接点容量電圧； 5-50 V DC/AC
リミットスイッチ接点容量電流； 5-100 mA
重量；
16.5 kg
許容設置寸法；
400(W)×2230(D)×300(H) 以内
18
2.2 粗引き系アングルバルブ（本体室・真空排気設備室）
（VAT 株式会社 Series26 高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール） 型式；26440-GE24-0001）
対象機器番号：
基本仕様：
V01CR
作動方式；
圧空作動式（複動シリンダー）
V01DR
駆動用空圧；
4.5 – 7 bar
電磁弁；
なし
シール材質；
エラストマーO リング
継手型式/シール材；
ICF152 回転フランジ/無酸素銅
圧空接続口(開閉)；
female 1/8” ISO/NPT
リミットスイッチ；あり(開閉別)
リミットスイッチ接点容量電圧； 5-50 V DC/AC
リミットスイッチ接点容量電流； 5-100 mA
重量；
12.54 kg
許容設置寸法；
200(W)×350(D)×230(H) 以内
2.3 粗引き系アングルバルブ（真空排気設備室）
（VAT 株式会社 Series26 高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール） 型式；26444-GE24-0001）
対象機器番号：
基本仕様：
V02CR
作動方式；
圧空作動式
V02DR
圧空圧力；
4.5 – 7 bar
電磁弁；
なし
シール材；
エラストマーO リング
継手型式/シール材；
ICF203 準拠/無酸素銅
圧空接続口(開閉) ；
female 1/8” ISO/NPT
リミットスイッチ；
あり(開閉別)
リミットスイッチ接点容量電圧； 5-50 V DC/AC
リミットスイッチ接点容量電流； 5-100 mA
重量；
16.5 kg
許容設置寸法；
400(W)×2230(D)×300(H) 以内
19
2.4 粗引き系アングルバルブ（真空排気設備室）
（VAT 株式会社 Series26 高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール） 型式；26440-JE24-0001）
対象機器番号：
基本仕様：
V03CR
作動方式；
圧空作動式（複動シリンダー）
V03DR
駆動用空圧；
4.5 – 7 bar
電磁弁；
なし
シール材質；
エラストマーO リング
継手型式/シール材；
VF100/エラストマーO リング
圧空接続口(開閉)；
female 1/8” ISO/NPT
リミットスイッチ；あり(開閉別)
リミットスイッチ接点容量電圧； 5-50 V DC/AC
リミットスイッチ接点容量電流； 5-100 mA
重量；
12.54 kg
許容設置寸法；
200(W)×350(D)×230(H) 以内
20
添付資料-3
添付資料目次
番号
資料番号
名
1
添付資料-3.1
真空排気設備系統図（JT-60SA）
2
添付資料-3.2
VV 系第 2 段フォアポンプ系統図（JT-60SA）
3
添付資料-3.3
真空排気設備第 2 段フォアポンプユニット改造前後外観図
4
添付資料-3.4
C 系統第 2 段フォアポンプユニット配線図
5
添付資料-3.5
D 系統第 2 段フォアポンプユニット配線図
6
添付資料-3.6
圧空系・シールガス系統図
7
添付資料-3.7
真空排気設備室冷却水系統図
8
添付資料-3.8
窒素ガス導入系統図
9
添付資料-3.9
窒素ガス真空ポンプシールガスの窒素ガス供給ユニット仕様範囲
10
添付資料-3.10
窒素ガス真空ポンプシールガスの現場制御盤仕様範囲
11
添付資料-3.11
VV 系粗引き系統図（JT-60SA）
12
添付資料-3.12
粗引きポンプユニット改造前後外観図
13
添付資料-3.13
C 系統粗引き系ユニット配線図
14
添付資料-3.14
D 系統粗引き系ユニット配線図
15
添付資料-3.15
C 系統粗引き系と既設マニホールドの接続部
16
添付資料-3.16
D 系統粗引き系と既設マニホールドの接続部
17
添付資料-3.17
既設マニホールドとの接続部アングルバルブ面間寸法図
18
添付資料-3.18
リークテスト装置系統図（改造前後）
19
添付資料-3.19
リークテスト装置既設現場盤外観図
20
添付資料-3.20
リークテスト装置外観
21
添付資料-3.21
リークテスト装置現場制御盤外観図(案)
22
添付資料-3.22
リークテスト装置 PLC 構成図
23
添付資料-3.23
C 系統質量分析計排気ユニット系統図（改造前後）
24
添付資料-3.24
D 系統質量分析計排気ユニット系統図（改造前後）
21
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VULD-100
液休窒素トラップ
メカニカルプースタポンブ
PMB-006A ωLVAO)
朋
ドライ真空ポンプ
PDR-09080r o uLVAO)
真空排気設備第2段フオアポンプユニット(JT-60山
制御系(更新)
S?0-76-?,日
^48
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変更後
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記盆寸注は参考に付、原寸要確認のこと.
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ーー→".
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?75 Gau e MKS
250^^40
(支飴品)2644'』GE?4-0001
VAT【に=-203)相当品
配智サポート(新設
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星管(新設〕
B、1-BOA ULVA0 当品
メカニカルブースターポンプ
RC-006A 当
配管{更斬
Bd-80A 【1VAO)相当乱
配督サ六一K新設)
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【支給品)ドうイ真空二Hンプ
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11
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70
110C
真空排気設備第2段フ才アポンプユニット(dT-60SA)
添付資料一3.3 真空排気設備第2段フォアボンプユニット改造前後外観図
1
L3CM
TBO-11
J2461A
TB5-13
J2461A
0
TB5-14
Jコ461A
PE03CM
R2
TB5-15
RI
R3
R4
J2461A
め卜N
TB5-16
J2461A
ι入、川d
TB6-1
DRP04CM 軸シール流量一
4 20血A T
J7053ZI
TB6-2
J7053ZI
TB6-3
冷却水流艮4 20mA ?
J7053ZI
TB6叫
J705321
PLCV08CM OPEN
PLCV18CM OPEN
PLCV07CM OPEN
PLC DRP04CM ON
PLCMBP3CM ON
青
P24
N
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J2460A
Y
J2460A
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J2460A
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丁ち45
J2460A
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J2460A
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J2460A
RY4
RY3
P24
PLCDRP04CM
X.."
TB48
軸シール流 SIE
PLCMBP03CM/DRP04CM
冷却水流屋 Slg
J2460A
V07CM』E
茶 IP24
e Anal0 1
J2460A
PLC ν18CM OPEN slg
J2460A
PLC V07CM CLOSE S1Ξ
J2460A
PLC V07CM OPEN SIE
PLCDRP04CM 露流正常
青
X.."
X゛ー.
X.."
V18CM、C
TB410
■
TB411
V07CM、0
TB4-13
J2460A
X゛H,
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RY2
J2460A
RYI
J2460ム
N
J2460A
1容4-18
丘三
OCR3
J2541M
添付資料一3.4C系統第2段フォアポンプユニット配線図
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MCB3 MC3
Σ口雪、皿Σ
20OV 50H2
ぐ●良じ
Σコ寸■&之
J2541M
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TB]、SIC
TBI、TIC
Σ
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OCR4
Σ
MCB4 MC4
J2541M
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Jコ460A
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TB4-17
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PLCMBP03CM MCB正常
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MCB3
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J?460A
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TB415
歪
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PLCMBP03CM 電流正常
V18CM.0
V07CM、C
TB412
MCB4
PLCDRP04CM MCB正常
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SV
TB49
J2460A
PLC V18CM CLOSE si三
P24
P24
黒 10ErT_1
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P24
SV
V18CM-E
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TB41
SV
P24
VIOCM-E
V08CM-E
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J?460A
SV
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PLCVIOCM OPEN
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J2460A
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J7053ZI
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三
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CT変換器
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J7053ZI
MBP03CM 電流値
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三
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J7053ZI
DRP04CM 電流値
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MPB03CM/DRP04CM -
脚即づ邸Φ立0上UωD仁OU
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24351
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J2461A
L3DM
TB5-11
J2491A
B
B
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J2491A
G
TB5-15
0
24351
B
J2491A
R2
RI
R3
R4
J?491A
MBP03DM/DRP04DM
冷却水流量4 20mA
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4 20血A
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J7054ZI
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J7054Z】
TB6-3
J7054ZI
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J7054ZI
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J2490A
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青
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PLCV08DM OPEN
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J之490A
PLCVIODM OPEN
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TB6-6
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4 20血A
CT変換器
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J7054ZI
MBP03DM 電流値
dc
工
4 20血A
IB6-5
J7054ZI
DRP04DM 電流値
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TB5-16
Jコ491A
SV
冊
7容43
P24
VIODM-E
V08DM、E
J?490ム
王?4
SV
IB4叫
PLCV07DM OPEN
PLCDRP04DM ON
PLCMBP03DM ON
制御電源 P24
Y""
V07DM-E
IB4.5
J2490A
Y゛ー,
1宕46
J2490A
Y....
IB47
J2490A
J2490A
RY4
RY3
盟皿
P24
P24
SV
P24
P24
茶 fP24
P24
TB41
臼 An丑10
Σ合
黒 f0切_1
PLCDRP04DM
軸シール洗量S璃
MBP03CM/DRP04DM
冷却水読量S璃
X'.叶
TB48
青N
J2490A
X.ー'
TB49
Jコ490A
TB410
IB411
V08DM.C
PLC V07DM CLOSE slg
X.゛"
IB41?
V08DM、0
J2490A
X'.ー
PLC V07DM OPEN slg
J2490A
PLCDRP04DM 電流正常
J2960A
X゛゛ー
TB413
TB414
RY2
J2490A
RYI
J2490A
N
J2490A
寸ン化
制御電涯N
1ち417
ぜ配口0
PLCMBP03DMMCB正常
妥Uコ
MCB3
X舎.士.
N>匡
19416
J2490A
Mン正
X....
TB4-18
Σユ寸ミ配0
Σn雪区皿Σ
ぐ心●0,U=L
MCB3 MC3
ぐ0艮0
J2551M
20OV 50H2
Σ
.
TBI、RID
TBI、SID
TBI、TID
Σ
丘二
MCB4 MC4
J2551M
UΣ
194.15
一ン化
PLCMBP03DM 電流正常
X゛."
UΣ
Nン配
MCB4
PLC DRP04DM MCB正常
OCR4
OCR3
J2551M
添付資料一3.5D系統第2段フォアボンプユニット配線図
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PE03DM
TB5-13
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め卜寸Φ ↑ ぢ 匡
TB5-12
J2491A
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鵬裂霜斐鑾
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鵬偵隠嶋探叫撰
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ーー
(vgz)A一凶OzoaH
(V9Z)A一凶OZ0ヨ制
黙ーメーロハ
盆嶋探憾照
畿温嘉喉探憾煕
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鵬ヨ郷憾閥
玲入・YK憾唄
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鵬如一猷瑛探R出
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際0如旨小縮
際0卜入契八kへ鷲堤城黨樹
栴捷迦瑞謡害
、一=長蝉剖窒
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▼圏興昇晋誓
▼圏踴昇霞寄
(V9Zリー己0ι0ヨト
(V9Z)A一ど0 ι0ヨν
怜ハ¥KR団
作ハ¥KR出
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Ⅸ
Ⅸ
、1△' K
(県翌糧物) sozqos d」ウ0εS船 V09
嵩玉1
トハモ照堰
軟遍畍
林趨細
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仁態謹
休曜撰製
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V010R
24440-GE24-0001(VAT)
又給品
BLWOICR
既設
PE010R
・UI,・
275(MKS)
相当品
本体室
十
V05CR
FUDDF-71G-6.35-NL
真空排気設備室
(Fujlkln)相当品
ト遜
FLOICR
購入
L/T装置へ
VULH-10CM
(ULVAC)
既設
BLW02CR
購入
▼.1
会.1
V02CR
26444-GE24-0001
(VAT)支給品
PE02CR
275(MKS)
相当品
V06CR
FPR-UDDF-71-6.35-NL
^
冒■
(Fujik1Π)相当品
沙司
FL020R
購入
V030R
26440-GE24-0001
(VAT)支給品
MBPOICR
①
PRC-018A(ULVAC)
相当品
BLW03CR
購入
BLW04CR
購入
V04CR
FPR-UDDF-71-6.35-N_
仕様範囲
相当品
ー・→
'
)(
軸シ・ルガス
FIS
FIS11CR-G
PFM710-01-D-M
(Fujikln)相当品
①
ry
DRP02CR
GR180A(ULVAC)
相当品
真空ポンプ系
SILOICR
RS-01 キッ}、C
(ULVAC)相当品
BLW060R
既設
添付資料一3.11 >V系粗引き系統図(JT-60SA)
[蚕亘亙]
^
尺N
0山寸
6
106
125
バルブ
VULO-150 ωLVAC
パルプ
VULD-150F
ULVAO
パ」υプ
VULP-10OF特(ULVAO
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PME-010e uLVAC
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VV系真空排気設備あらびきポンプユニットWT-60U)
[蚕亘蚕ヨ
"御ボ苛往鍔界榔、M,品
リークテスト装置揺軽
望野註
配管新蝕
?644'-G三24-0001
VAT 0こ一203 -
ニンベクトロンゲーシ
756au e K圃
ペローム
(陀=』コ03
26440-J三?'-0001
VAT トー100-
10}・25
0-N
配智1票所
'櫨乱主
_俺j厚
配督新
80A
じライ真空ポンプ(GR-】80')相当品
メカニ刀ルプースターポンプ
炉RC-oleA _当ξ0
^30
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配督サ六一(断設)
こ0如
●冨
配督〔更新霄語)
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VV系あらびきボンプユニット WT-60SA)
添付資料一3.12 あらびきポンプユニット改造前後外観図
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C・Rユニット
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J2479A
PLC DRP02CR MCB正常
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冷却水流量S嶋
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PLCV04CR OPEN
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J7^621
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1,.0占
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