Z軸 θ軸 X軸 Y軸 Z軸 θ軸

形式
型式
ワークサイズ
ベース材質
キャリッジ・テーブル材質
ガイド
駆動
エンコーダ
制御機器
除振機能
重量
搭載荷重
θ軸
ＸＹＺ-320*320（仮）
300×300ガラス基板
石（インディアンブラック）
鉄材
リニアボールガイド
リニアシャフトモータ（コアレス)
オープンタイプガラススケール
ドライバまで
パッシブ除振台
250ｋｇ
2ｋｇ
※1
スペック
軸名
分解能
最高スピード
最高スピ
ド
最大加速度
有効ストローク
Z軸
X軸
Y軸
X軸
Y軸
0.04μm
150mm/s
0.06G
320mm
0.04μm
150mm/s ※2
0.06G ※2
320mm
2.0μm
2.0μm
2.0μm ※5
2.0μm ※5
精度
真直度（垂直）
真直度（水平）
姿勢精度（垂直）
姿勢精度（水平）
直角度（Ｘ−Ｙ）
繰り返し位置決め精度
絶対位置決め精度 2.0μm
±0.5μm
5.0μm
±0.5μm ※3
5.0μm ※3、※4、※5
オプション
機器／機能
エンコーダ
エンコーダ分解能
Ｚ軸ユニット
θ軸ユニット
除振機能
制御機器
内容
ステンレススケール／テープ式スケール
1μm∼0.05μm
ボールネジ駆動（ガントリ機構に組付）
DDモーター
ゴムダンパ／空気バネ／アクティブ除振台
モーションコントローラ
※1 オプションにより変わります。
※2 搭載ヘッド重量により変わります。
※3 搭載エンコーダにより変わります。